電屏蔽部14以及可選的接地線12在基板的至少一個(gè)拐角處具有圓倒角，可以進(jìn)一步增加基板的靜電屏蔽能力。
[0078]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板中的靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的構(gòu)成層數(shù)不限于上面示例的兩層(第一靜電屏蔽部和第二靜電屏蔽部)，可以根據(jù)實(shí)際基板中的絕緣層的層數(shù)來(lái)改變靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的層數(shù)。例如，在第一與第二靜電屏蔽部之間還可以形成至少一個(gè)另外的靜電屏蔽部，其填充第一絕緣層與第二絕緣層之間的至少一個(gè)另外的絕緣層中的溝槽且與所述第一和第二靜電屏蔽部相連。
[0079]此外，需要注意的是，圖2、圖4所示的第一靜電屏蔽部13和第二靜電屏蔽部14以及圖4所示的接地線12的形狀僅僅是示例性的，而非限制性的。對(duì)各靜電屏蔽部的形狀沒(méi)有具體限制。
[0080]另外，在本發(fā)明實(shí)施例中，各布線層以及各半導(dǎo)體層等其他基板構(gòu)成要素的具體圖案和布置不限于圖2和圖4所示的情況，而是取決于具體的基板內(nèi)元器件設(shè)計(jì)。
[0081]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板，其可包括根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的上述基板，并且可以還包括具有一個(gè)或多個(gè)靜電屏蔽層的上蓋板，所述上蓋板與所述基板通過(guò)其間的封框膠而接合在一起，所述一個(gè)或多個(gè)靜電屏蔽層填充所述上蓋板的絕緣層中的溝槽且位于所述上蓋板的外周側(cè)與所述第一和第二屏蔽部相對(duì)的位置處，所述封框膠接觸所述第二屏蔽部和所述靜電屏蔽層，并且所述封框膠包含各向異性導(dǎo)電粒子。
[0082]仍以液晶顯示器中使用的包含TFT基板的面板為例，說(shuō)明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板的具體結(jié)構(gòu)。然而，如上所述，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的基板不限于TFT基板，相應(yīng)地，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的面板也不限于液晶面板，而可以是半導(dǎo)體領(lǐng)域的任何需要進(jìn)行有效靜電屏蔽的面板。
[0083]圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一個(gè)實(shí)例的具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板的截面示意圖。如圖5所示，面板500包括如圖2所示的基板200，并且還包括具有靜電屏蔽層10的上蓋板11，上蓋板11與基板200通過(guò)其間的封框膠9而接合在一起，靜電屏蔽層10填充上蓋板11的絕緣層中的溝槽且位于上蓋板11的與所述第一和第二屏蔽部13、14相對(duì)的位置處，封框膠9連接第二屏蔽部14和靜電屏蔽層10并且包含各向異性導(dǎo)電粒子。
[0084]通過(guò)包含各向異性導(dǎo)電粒子的封框膠9，基板200的第二屏蔽部14和上蓋板11的靜電屏蔽層10相連，從而，在面板的周邊，由靜電屏蔽部13和14、各向異性導(dǎo)電封框膠9和靜電屏蔽層10構(gòu)成的靜電屏蔽結(jié)構(gòu)以及可選的接地線完整包覆面板500，這使得在面板500中否則可能累積的靜電荷被靜電屏蔽結(jié)構(gòu)導(dǎo)走，防止外部靜電傳過(guò)屏蔽結(jié)構(gòu)而損傷面板內(nèi)部走線及元器件。因此根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的使用這種包覆式靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板，可以屏蔽外部靜電對(duì)面板的影響，也可以屏蔽外部電場(chǎng)對(duì)面板造成的干擾。
[0085]在將圖5所示的面板500應(yīng)用于液晶面板時(shí)，具體地，上蓋板11可以為彩膜，并且靜電屏蔽層10可以為透明的，例如可以使用銦錫氧化物、銦鋅氧化物等材料制作。
[0086]對(duì)封框膠中的各向異性導(dǎo)電粒子不做具體限制，可以使用本領(lǐng)域公知的各向異性導(dǎo)電粒子?？蛇x地，所示各向異性導(dǎo)電粒子為各向異性導(dǎo)電金球。
[0087]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種制造具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板的方法，可包括以下步驟:
[0088]在絕緣基底上形成圖案化的第一布線層；
[0089]在所述第一布線層上形成第一絕緣層；
[0090]在所述基板周邊，在所述第一絕緣層中開第一溝槽；
[0091]在所述第一絕緣層上形成圖案化的第二布線層；
[0092]在所述第二布線層上形成第二絕緣層；
[0093]在所述基板周邊，在所述第二絕緣層中開第二溝槽；以及
[0094]在所述第二絕緣層上形成圖案化的頂部布線層，
[0095]其中，所述第二布線層的最外側(cè)布線填充所述第一溝槽而形成第一靜電屏蔽部，且所述頂部布線層的最外側(cè)布線填充所述第二溝槽而形成第二靜電屏蔽部，所述第一和第二靜電屏蔽部相連而形成所述靜電屏蔽結(jié)構(gòu)。
[0096]下面根據(jù)圖2中所示例的結(jié)構(gòu)，參考圖6對(duì)本發(fā)明實(shí)施例提供的基板制造方法進(jìn)行詳細(xì)的描述。
[0097]如圖6所示，在步驟S602，在絕緣基底1上形成第一布線材料，并對(duì)該第一布線材料進(jìn)行圖案化而形成第一布線層2。
[0098]在步驟S604，在第一布線層2上沉積第一絕緣材料以完全覆蓋第一布線層2，并對(duì)第一絕緣材料進(jìn)行平面化而形成第一絕緣層3。
[0099]在步驟S606，在基板周邊的與稍后形成的第二布線層的最外側(cè)布線對(duì)應(yīng)的區(qū)域，對(duì)第一絕緣層3開第一溝槽。
[0100]在步驟S608，在具有第一溝槽的第一絕緣層3上形成第二布線材料，并對(duì)該第二布線材料進(jìn)行圖案化而形成第二布線層5。在該步驟中，第一溝槽被第二布線材料填充而形成第一靜電屏蔽部13。與稍后形成的第二靜電屏蔽部14相連的第一靜電屏蔽部13的形狀不限于圖2中所示的形狀。第一靜電屏蔽部13可以在第一溝槽上口兩側(cè)的第一絕緣層3上保留一定寬度(如圖2所示)以更方便地與稍后形成的第二靜電屏蔽部14相連，但本發(fā)明實(shí)施例并不限于此，例如，第一靜電屏蔽部13可以與第一溝槽的上口同寬。
[0101]在步驟S610，在第二布線層5上沉積第二絕緣材料以完全覆蓋第二布線層5，并對(duì)第二絕緣材料進(jìn)行平面化而形成第二絕緣層6。
[0102]在步驟S612，在基板周邊的與第一靜電屏蔽部13相對(duì)應(yīng)的區(qū)域，對(duì)第二絕緣層6開第二溝槽。
[0103]在步驟S614，在具有第二溝槽的第二絕緣層6上形成頂部布線材料，并對(duì)該頂部布線材料進(jìn)行圖案化而形成頂部布線層7。在該步驟中，第二溝槽被頂部布線材料填充而形成與第一靜電屏蔽部13相連的第二靜電屏蔽部14。能夠與第一靜電屏蔽部13相連的第二靜電屏蔽部14的形狀不限于圖2中所示的形狀。第二靜電屏蔽部14可以在第二溝槽上口兩側(cè)的第二絕緣層6上保留一定寬度(如圖2所示)以更方便地與可能存在的其他靜電屏蔽部相連，但本發(fā)明實(shí)施例并不限于此，例如，第二靜電屏蔽部14可以與第二溝槽的上口同寬。
[0104]由此，完成根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板200的制造。
[0105]可選地，如圖4所示，第一布線層2的最外側(cè)布線可以形成接地線12，接地線12位于第一靜電屏蔽部13下方且與第一靜電屏蔽部13相連。也就是，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的該另一實(shí)例，可以保留常規(guī)基板設(shè)計(jì)中的接地線部分，在接地線的基礎(chǔ)上增加靜電屏蔽結(jié)構(gòu)，這同樣可以實(shí)現(xiàn)提高面板靜電屏蔽能力的效果。
[0106]可選地，可以在形成第二布線層5之后且在形成第二絕緣層6和頂部布線層7之前，在第二布線層5上形成至少一個(gè)另外的絕緣層，并且在與第一和第二靜電屏蔽部對(duì)應(yīng)的位置處，對(duì)所述至少一個(gè)另外的絕緣層開出至少一個(gè)另外的溝槽，該溝槽在后續(xù)的至少一個(gè)另外的布線材料沉積過(guò)程中被該另外的布線材料填充而形成至少一個(gè)另外的靜電屏蔽部，所述至少一個(gè)另外的靜電屏蔽部與所述第一和第二靜電屏蔽部相連。也就是，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的方法制造的基板中的靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的構(gòu)成層數(shù)不限于上面示例的兩層(第一靜電屏蔽部和第二靜電屏蔽部)，可以根據(jù)實(shí)際基板中的絕緣層的層數(shù)來(lái)改變靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的層數(shù)。
[0107]基板200的各層的配置已經(jīng)在針對(duì)圖2進(jìn)行的詳細(xì)描述中進(jìn)行了說(shuō)明，在此不再進(jìn)行贅述。
[0108]在上述基板制造方法中，各步驟中所使用的工藝為半導(dǎo)體領(lǐng)域中常規(guī)的工藝，對(duì)此不進(jìn)行具體限制。
[0109]通過(guò)上述基板制造方法，制造出具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板，其中基板周邊的靜電屏蔽結(jié)構(gòu)為包覆式屏蔽結(jié)構(gòu)，能夠有效地屏蔽外界靜電，提高基板的抗靜電能力。
[0110]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供一種制造具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板的方法，其可包括根據(jù)上述基板制造方法