T結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0050]圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的另一個實(shí)例的帶有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的TFT基板結(jié)構(gòu)的截面示意圖；
[0051]圖5是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的防靜電面板的截面示意圖；
[0052]圖6是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例制造具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板的方法的流程圖；以及
[0053]圖7是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例制造具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的面板的方法的流程圖。
[0054]附圖僅僅示出了本發(fā)明的示例性實(shí)施例，因此不應(yīng)當(dāng)被認(rèn)為是限制本發(fā)明的范圍，因?yàn)楸景l(fā)明容許有其它等效實(shí)施例。圖中示出的元件和特征不一定按比例繪制，相反地，重點(diǎn)放在了清楚地圖示示例性實(shí)施例的原理。在附圖中，附圖標(biāo)記標(biāo)出了相似或?qū)?yīng)但并不一定相同的元件。
【具體實(shí)施方式】
[0055]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0056]在本發(fā)明實(shí)施例的描述中需要說明的是，術(shù)語“上”、“下”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明實(shí)施例和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。當(dāng)諸如層、區(qū)域或襯底的要素被稱為在另一要素“上”或“上方”時(shí)，它可以直接在該另一要素上，或者也可以存在中間要素。相反，當(dāng)一個要素被稱為“直接在”另一要素“上”或者“上方”時(shí)，不存在中間要素。還應(yīng)當(dāng)理解，當(dāng)一個要素被稱為在另一要素“下”或“下方”時(shí)，它可以直接在該另一要素下或下方，或者也可以存在中間要素。相反，當(dāng)一個要素被稱為“直接在”另一要素“下”或者“下方”時(shí)，不存在中間要素。除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。
[0057]根據(jù)本發(fā)明的示例性實(shí)施例，提供了一種具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板，其中基板周邊的靜電屏蔽結(jié)構(gòu)為填充絕緣層中的溝槽的包覆式屏蔽結(jié)構(gòu)，能夠有效地屏蔽外界靜電，提高基板的抗靜電能力。
[0058]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的所述基板可以包括:
[0059]絕緣基底；
[0060]位于絕緣基底上的第一布線層；
[0061]位于所述第一布線層上的第一絕緣層；
[0062]位于所述第一絕緣層上的第二布線層；
[0063]位于所述第二布線層上的第二絕緣層；以及
[0064]位于所述第二絕緣層上的頂部布線層，
[0065]其中，在所述基板周邊，在所述第一絕緣層的溝槽中填充有由所述第二布線層的最外側(cè)布線形成的第一靜電屏蔽部，且在所述第二絕緣層的溝槽中填充有由所述頂部布線層的最外側(cè)布線形成的第二靜電屏蔽部，所述第一和第二靜電屏蔽部相連而形成所述靜電屏蔽結(jié)構(gòu)。
[0066]仍以液晶顯示器中使用的TFT基板為例，說明根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的具有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板的具體結(jié)構(gòu)。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，本發(fā)明實(shí)施例的基板不限于TFT基板，其可以為半導(dǎo)體領(lǐng)域的任何需要進(jìn)行有效靜電屏蔽的基板，例如，半導(dǎo)體存儲器基板、LED (發(fā)光二極管)顯示器基板等等。
[0067]參考圖2，其示出了根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一個實(shí)例的帶有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的TFT基板結(jié)構(gòu)的截面示意圖。并且參考圖3，其中圖3A是帶有接地線的TFT結(jié)構(gòu)的示意圖，圖3B是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的一個實(shí)例的帶有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的TFT結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0068]如圖2所示，帶有靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的TFT基板200包括:絕緣基底1 ;位于絕緣基底1上的第一布線層2，其可以包括柵極布線、其他信號線等；位于第一布線層2上的第一絕緣層3 ;位于第一絕緣層3上的第二布線層5，其可以包括源漏極布線與其他信號線；位于所述第二布線層5上的第二絕緣層6 ;以及位于所述第二絕緣層6上的頂部布線層7，其中，在基板200周邊，在第一絕緣層3的溝槽中填充有由第二布線層5的最外側(cè)布線形成的第一靜電屏蔽部13，且在第二絕緣層6的溝槽中填充有由頂部布線層7的最外側(cè)布線形成的第二靜電屏蔽部14，所述第一和第二靜電屏蔽部相連而形成TFT靜電屏蔽結(jié)構(gòu)。
[0069]與使用接地線12的常規(guī)基板100 (圖3A)中相比，在根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例設(shè)計(jì)的基板(圖3B)中，在基板200的周邊形成的導(dǎo)電靜電屏蔽部13和14填充在基底上的絕緣層(為清楚起見，絕緣層未在圖3A和3B中示出)中形成的溝槽而完整包覆基板，這使得在基板中否則可能累積的靜電荷被靜電屏蔽結(jié)構(gòu)導(dǎo)走，防止外部靜電傳過屏蔽結(jié)構(gòu)而損傷基板內(nèi)部走線及元器件。因此根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的使用這種包覆式靜電屏蔽結(jié)構(gòu)的基板，可以保護(hù)基板中的內(nèi)部走線及元器件免受靜電的影響，提高基板的靜電屏蔽效果。
[0070]在圖2所示的TFT基板中，還包括與常規(guī)TFT基板相同的其他部件，例如位于第一絕緣層3上的像素電極層4、第二絕緣層6上的公共電極層7、第一絕緣層3上的半導(dǎo)體層8等。并且，圖2所示的TFT基板中，第一布線層包括柵極布線、其他信號線等，第二布線層包括源漏極布線與其他信號線，頂部電極層7為公共電極層。然而，本領(lǐng)域技術(shù)人員將理解，本發(fā)明實(shí)施例的構(gòu)思也適用于其他半導(dǎo)體應(yīng)用的基板，其中基板的各部件的種類、結(jié)構(gòu)、數(shù)量、位置等不限于圖2所示出的那些。在其他半導(dǎo)體應(yīng)用中，例如，上述像素電極層、位于頂部布線層的公共電極層、位于第一絕緣層上的半導(dǎo)體層等不是必需的，或者可以存在于與圖2所示例的位置不同的位置處，或者可以包括圖2中沒有示出的其他部件。
[0071]絕緣基底可以由單層或多層的絕緣材料形成，也可以是在導(dǎo)電材料上覆有絕緣材料的復(fù)合絕緣基底。只要具有絕緣特性，所述絕緣材料可以為本領(lǐng)域可用的任何絕緣材料，例如，諸如玻璃等的無機(jī)材料、諸如聚酰亞胺、聚醚醚酮等的有機(jī)材料及其組合等等。
[0072]根據(jù)具體需要，絕緣基底可以是透明的或不透明的。在需要透光的應(yīng)用(例如顯示器等)中，絕緣基底可以為透明的。特別地，在用于液晶顯示器中時(shí)，所述基板可以為TFT基板，且所述絕緣基底可以為透明的。在其他不需要基底透光的應(yīng)用(例如半導(dǎo)體存儲器等)中，絕緣基底可以為不透明的。
[0073]第一布線層、第二布線層和頂部布線層的每一者的構(gòu)成材料可以是任何具有導(dǎo)電性的材料，例如，金屬、合金、金屬性材料、或它們的組合等。此外，第一布線層、第二布線層和頂部布線層中的每一者可以是單層或多層。
[0074]對第一絕緣層和第二絕緣層的每一者的構(gòu)成材料和層數(shù)沒有任何限制，其可以是任何具有絕緣性的材料。
[0075]可選地，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的另一實(shí)例，如圖4所示，第一布線層2的最外側(cè)布線可以形成接地線12，接地線12位于第一靜電屏蔽部13下方且與第一靜電屏蔽部13相連。也就是，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的該另一實(shí)例，可以保留常規(guī)基板設(shè)計(jì)中的接地線部分，在接地線的基礎(chǔ)上增加靜電屏蔽結(jié)構(gòu)，這同樣可以實(shí)現(xiàn)提高基板靜電屏蔽能力的效果。
[0076]可選地，第一靜電屏蔽部13和第二靜電屏蔽部14以及可選的接地線12可以在基板的至少一個拐角處使用圓倒角，如圖3B所示。需要注意的是，圖3B為示意圖，雖然在圖3B中示出了在基板的一個拐角處使用圓倒角，但其僅僅是示例性的。第一靜電屏蔽部13和第二靜電屏蔽部14以及可選的接地線12可以在基板的一個或多個拐角處使用圓倒角，也可以在基板的每個拐角處使用圓倒角。
[0077]通過使第一靜電屏蔽部13和第二靜