半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種具備多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]具備基體、配置在基體上的多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件、以及將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件電性且機(jī)械性連接的多個(gè)凸塊電極的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置已為人所知(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件呈具有在第一方向上相互相對(duì)的一對(duì)第一邊以及在與第一方向正交的第二方向上相互相對(duì)的一對(duì)第二邊的平面形狀。多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件在并排的狀態(tài)下相互相鄰地配置在基體上。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0005]專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2000-022120號(hào)公報(bào)(段落
[0146])

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問(wèn)題
[0007]然而，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I所記載的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置中，有產(chǎn)生以下所述的問(wèn)題點(diǎn)的擔(dān)憂(yōu)?；w與多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件通過(guò)多個(gè)凸塊電極固化而相互機(jī)械性連接。此時(shí)，有因凸塊電極固化時(shí)所產(chǎn)生的凸塊電極的收縮等因素而導(dǎo)致各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的位置產(chǎn)生偏移的擔(dān)憂(yōu)。
[0008]在具有一對(duì)第二邊比一對(duì)第一邊短的平面形狀的半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中，將連接對(duì)應(yīng)的凸塊電極的多個(gè)導(dǎo)體焊墊為了縮短直至該導(dǎo)體焊墊為止的配線(xiàn)來(lái)降低配線(xiàn)電容，而配置在一對(duì)第一邊側(cè)。此時(shí)，為了更加降低配線(xiàn)電容，而將多個(gè)導(dǎo)體焊墊配置于在第二方向上看距第二邊較遠(yuǎn)的位置的情況。若多個(gè)導(dǎo)體焊墊即多個(gè)凸塊電極配置在一對(duì)第一邊側(cè)，則有在這些凸塊電極收縮時(shí)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中的在第二邊側(cè)的位置偏移擴(kuò)大的擔(dān)憂(yōu)。
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種以高的位置精度配置有多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置。
[0010]解決問(wèn)題的技術(shù)手段
[0011]本發(fā)明的一個(gè)觀(guān)點(diǎn)所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置具備:基體；多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件，其呈具有在第一方向上相互相對(duì)的一對(duì)第一邊以及比一對(duì)第一邊更短且在與第一方向正交的第二方向上相互相對(duì)的一對(duì)第二邊的平面形狀，并且在并排的狀態(tài)下相互相鄰地配置在基體上；多個(gè)凸塊電極，其分別配置在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的一對(duì)第一邊側(cè)，且將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件電性且機(jī)械性連接；以及多個(gè)虛設(shè)凸塊，其在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的一對(duì)第二邊側(cè)分別配置至少一個(gè)，并將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件機(jī)械性連接。
[0012]在本發(fā)明的一個(gè)觀(guān)點(diǎn)所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置中，虛設(shè)凸塊在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的一對(duì)第二邊側(cè)分別配置至少一個(gè)。即便因多個(gè)凸塊電極的收縮等因素使各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件將要產(chǎn)生位置偏移，由于虛設(shè)凸塊分別配置在一對(duì)第二邊側(cè)，因此仍能夠抑制在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件產(chǎn)生位置偏移。因此，多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件以高的位置精度配置。
[0013]可選地，各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件在第一方向上并排的狀態(tài)下相互相鄰。在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件在第一方向上并排的狀態(tài)下相互相鄰地配置的情況下，有因半導(dǎo)體光檢測(cè)元件彼此的干涉等因素而產(chǎn)生位置偏移的情況。然而，由于虛設(shè)凸塊分別配置在一對(duì)第二邊側(cè)，因此在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件在第一方向上并排的狀態(tài)下相互相鄰地配置的情況下，即便因半導(dǎo)體光檢測(cè)元件彼此的干涉等因素使各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件將要產(chǎn)生位置偏移，也能夠切實(shí)地抑制該位置偏移的產(chǎn)生。
[0014]可選地，多個(gè)虛設(shè)凸塊以橫跨相鄰的多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的方式配置。在該情況下，在相鄰的半導(dǎo)體光檢測(cè)元件彼此，謀求多個(gè)虛設(shè)凸塊的共有化。其結(jié)果，虛設(shè)凸塊的個(gè)數(shù)相對(duì)少了，能夠抑制成本的增加。
[0015]可選地，還具備:在第一邊和第二邊當(dāng)中在相鄰的多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中相互相鄰的邊側(cè)，以橫跨各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的方式配置至少一個(gè)，并將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件機(jī)械性連接的虛設(shè)凸塊。在該情況下，由于能夠更進(jìn)一步抑制在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件產(chǎn)生位置偏移，因此多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件以更高的位置精度配置。
[0016]本發(fā)明的另一觀(guān)點(diǎn)所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置具備:基體；多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件，其呈具有在第一方向上相互相對(duì)的一對(duì)第一邊以及在與第一方向正交的第二方向上相互相對(duì)的一對(duì)第二邊的平面形狀，并且在第一方向上并排的狀態(tài)下相互相鄰地配置在基體上；多個(gè)凸塊電極，其分別配置在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的一對(duì)第一邊側(cè)，并將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件電性且機(jī)械性連接；以及多個(gè)虛設(shè)凸塊，其在相鄰的多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中相互相鄰的第一邊側(cè)，以橫跨各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的方式配置，并將基體與各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件機(jī)械性連接。
[0017]在本發(fā)明的另一觀(guān)點(diǎn)所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置中，多個(gè)虛設(shè)凸塊在相鄰的多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中相互相鄰的第一邊側(cè)，以橫跨各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的方式配置。即便因多個(gè)凸塊電極的收縮等因素使各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件將要產(chǎn)生位置偏移，也由于虛設(shè)凸塊分別在第一邊側(cè)以橫跨各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的方式配置，因此能夠抑制在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件產(chǎn)生位置偏移。因此，多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件以高的位置精度配置。
[0018]可選地，在多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件中，配置有由相同制造工序形成且連接多個(gè)凸塊電極及多個(gè)虛設(shè)凸塊的多個(gè)導(dǎo)體焊墊。在該情況下，連接凸塊電極的導(dǎo)體焊墊和連接虛設(shè)凸塊的導(dǎo)體焊墊的位置精度極高。因此，可以更高的位置精度配置多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件。
[0019]可選地，多個(gè)凸塊電極是焊料凸塊，多個(gè)虛設(shè)凸塊是熔點(diǎn)比多個(gè)凸塊電極低的焊料凸塊。在該情況下，凸塊電極的固化比虛設(shè)凸塊的固化更早開(kāi)始，而虛設(shè)凸塊處于熔融的狀態(tài)，因此在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)下，凸塊電極固化。因此，能夠更進(jìn)一步抑制在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件產(chǎn)生位置偏移。
[0020]可選地，多個(gè)虛設(shè)凸塊小于多個(gè)凸塊電極。不僅凸塊電極，虛設(shè)凸塊也在固化時(shí)收縮。然而，由于虛設(shè)凸塊小于凸塊電極，因此虛設(shè)凸塊的收縮率小，在收縮時(shí)作用于半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的力極小。因此，能夠切實(shí)地抑制在各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件產(chǎn)生位置偏移。
[0021]可選地，各半導(dǎo)體光檢測(cè)元件是可以取得以第二方向?yàn)殚L(zhǎng)度方向的二維圖像和進(jìn)行TDI驅(qū)動(dòng)的固體攝像元件。
[0022]發(fā)明的效果
[0023]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種以高的位置精度配置有多個(gè)半導(dǎo)體光檢測(cè)元件的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置。
【附圖說(shuō)明】
[0024]圖1是表示第一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0025]圖2是用于說(shuō)明第一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的截面結(jié)構(gòu)的圖。
[0026]圖3是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0027]圖4是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0028]圖5是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0029]圖6是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0030]圖7是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0031]圖8是表示第二實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0032]圖9是用于說(shuō)明第二實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的截面結(jié)構(gòu)的圖。
[0033]圖10是表示第一實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0034]圖11是表示第二實(shí)施方式的變化例所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。
[0035]附圖的說(shuō)明:
[0036]I, 2…半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置，3…基體，5, 7…導(dǎo)體焊墊，10…半導(dǎo)體光檢測(cè)元件，13…第一邊，15…第二邊，25, 27…導(dǎo)體焊墊，35…凸塊電極，37…虛設(shè)凸塊。
【具體實(shí)施方式】
[0037]以下，參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式詳細(xì)說(shuō)明。再者，在說(shuō)明中，對(duì)相同要素或具有相同功能的要素使用相同符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0038](第一實(shí)施方式)
[0039]參照?qǐng)D1和圖2，說(shuō)明第一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置I的結(jié)構(gòu)。圖1是表示第一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的俯視圖。圖2是用于說(shuō)明第一實(shí)施方式所涉及的半導(dǎo)體光檢測(cè)裝置的截