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微動(dòng)臺(tái)及具有其的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):40575044發(fā)布日期:2025-01-03 11:40閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種微動(dòng)臺(tái),其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述連接件(22)為環(huán)形結(jié)構(gòu);

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述連接件(22)包括相互連接的環(huán)形板(221)和連接凸板(222),所述連接凸板(222)凸出于所述環(huán)形板(221)的外緣設(shè)置,所述頂升部(21)為多個(gè),所述驅(qū)動(dòng)件(23)和所述連接凸板(222)均為多個(gè),多個(gè)所述驅(qū)動(dòng)件(23)與多個(gè)所述連接凸板(222)一一對(duì)應(yīng)地設(shè)置,各個(gè)所述驅(qū)動(dòng)件(23)安裝在對(duì)應(yīng)的所述連接凸板(222)上;

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(12)上設(shè)置有限位件(60),所述限位件(60)位于所述連接件(22)的上方;所述連接件(22)上設(shè)置有第一檢測氣路(223),所述第一檢測氣路(223)的進(jìn)氣口用于通入氣體,所述第一檢測氣路(223)的出氣口與所述限位件(60)相對(duì)設(shè)置,所述連接件(22)可升降地運(yùn)動(dòng)以使所述第一檢測氣路(223)的出氣口處于被所述限位件(60)封堵的第一封堵位置或與所述限位件(60)間隔設(shè)置的第一避讓位置;所述微動(dòng)臺(tái)還包括第一氣壓檢測件,所述第一氣壓檢測件的檢測頭設(shè)置在所述第一檢測氣路(223)處,所述第一氣壓檢測件用于對(duì)所述第一檢測氣路(223)的氣壓進(jìn)行檢測。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述頂升機(jī)構(gòu)(20)還包括通氣筒(25),所述通氣筒(25)與所述第一檢測氣路(223)的進(jìn)氣口連通;

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(12)上設(shè)置有第二檢測氣路(121),所述第二檢測氣路(121)的進(jìn)氣口用于通入氣體,所述第二檢測氣路(121)的出氣口與所述連接件(22)的至少部分相對(duì)設(shè)置,所述連接件(22)可升降地運(yùn)動(dòng)以處于對(duì)所述第二檢測氣路(121)的出氣口進(jìn)行封堵的第二封堵位置或與所述第二檢測氣路(121)的出氣口間隔設(shè)置的第二避讓位置;所述微動(dòng)臺(tái)還包括第二氣壓檢測件,所述第二氣壓檢測件的檢測頭設(shè)置在所述第二檢測氣路(121)處,所述第二氣壓檢測件用于對(duì)所述第二檢測氣路(121)的氣壓進(jìn)行檢測。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(12)包括相互連接的臺(tái)體(122)和凸起部(123),所述凸起部(123)設(shè)置在所述臺(tái)體(122)的上方,所述凸起部(123)為多個(gè),多個(gè)所述凸起部(123)沿所述臺(tái)體(122)的周向間隔設(shè)置,相鄰兩個(gè)所述臺(tái)體(122)之間形成一個(gè)定位槽;所述連接件(22)包括相互連接的環(huán)形板(221)和連接凸板(222),所述連接凸板(222)設(shè)置在所述環(huán)形板(221)的外周緣處,所述環(huán)形板(221)設(shè)置在多個(gè)所述凸起部(123)內(nèi),所述連接凸板(222)設(shè)置在所述定位槽內(nèi);所述驅(qū)動(dòng)件(23)設(shè)置在所述連接凸板(222)上,所述臺(tái)體(122)上設(shè)置有與所述驅(qū)動(dòng)件(23)相適配的避讓凹部,所述驅(qū)動(dòng)件(23)設(shè)置在所述避讓凹部內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述微動(dòng)臺(tái)還包括吸盤(70),所述吸盤(70)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)臺(tái)(12)的上方,所述吸盤(70)上設(shè)置有與所述頂升部(21)相適配的避讓孔(74),所述頂升部(21)可升降地穿設(shè)在所述避讓孔(74)內(nèi);所述吸盤(70)包括主體部(71)和柔性連接部(73);

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述微動(dòng)臺(tái)還包括:

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述微動(dòng)臺(tái)還包括垂向定子部(91)和垂向動(dòng)子部(92),所述垂向動(dòng)子部(92)相對(duì)于所述垂向定子部(91)可升降地設(shè)置,所述垂向定子部(91)與所述底座(11)驅(qū)動(dòng)連接;所述剎車結(jié)構(gòu)(80)包括:

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微動(dòng)臺(tái),其特征在于,所述微動(dòng)臺(tái)還包括垂向定子部(91)和垂向動(dòng)子部(92),所述垂向定子部(91)具有安裝凹槽,所述垂向動(dòng)子部(92)相對(duì)于所述垂向定子部(91)可升降地設(shè)置在所述安裝凹槽內(nèi),所述垂向定子部(91)與所述底座(11)驅(qū)動(dòng)連接;所述微動(dòng)臺(tái)還包括:

14.一種運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種微動(dòng)臺(tái)及具有其的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng),包括:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括底座以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座上的旋轉(zhuǎn)臺(tái);頂升機(jī)構(gòu),設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上,頂升機(jī)構(gòu)的頂升部可升降地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上;吸附件,設(shè)置在頂升部上。通過本發(fā)明提供的技術(shù)方案,能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中因采用固定設(shè)置的頂柱結(jié)構(gòu)不利于整體微動(dòng)臺(tái)的垂向運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性的技術(shù)問題。

技術(shù)研發(fā)人員:謝怡仁,吳火亮,高元楨
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海隱冠半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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