本發(fā)明涉及半導(dǎo)體精密設(shè)備，具體而言，涉及一種微動(dòng)臺(tái)及具有其的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

1、目前，在半導(dǎo)體精密設(shè)備的微動(dòng)臺(tái)中，用于對(duì)硅片進(jìn)行交接的頂柱一般為固定設(shè)置的結(jié)構(gòu)，該頂柱也不會(huì)隨著旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

2、然而，采用這樣的設(shè)置方式，往往需要通過垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)控制吸盤的高度，從而調(diào)節(jié)頂柱凸出吸盤的量，這樣，將使得垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的垂向位移行程較長(zhǎng)，該行程需要覆蓋頂柱的高度。當(dāng)垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)部在較高位置時(shí)，將使得垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的整體重心偏上，不利于垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的整體運(yùn)行穩(wěn)定性，且在大加速度下將出現(xiàn)下偏擺的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的主要目的在于提供一種微動(dòng)臺(tái)及具有其的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中因采用固定設(shè)置的頂柱結(jié)構(gòu)不利于整體微動(dòng)臺(tái)的垂向運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性的技術(shù)問題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面，提供了一種微動(dòng)臺(tái)，包括：

3、旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括底座以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在底座上的旋轉(zhuǎn)臺(tái)；

4、頂升機(jī)構(gòu)，設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，頂升機(jī)構(gòu)的頂升部可升降地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上；

5、吸附件，設(shè)置在頂升部上。

6、進(jìn)一步地，頂升機(jī)構(gòu)包括：

7、連接件，頂升部設(shè)置在連接件的一側(cè)；

8、驅(qū)動(dòng)件，設(shè)置在連接件的另一側(cè)，驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端可升降地設(shè)置，驅(qū)動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)端與連接件驅(qū)動(dòng)連接；

9、導(dǎo)向件，與驅(qū)動(dòng)件間隔設(shè)置在連接件的另一側(cè)，導(dǎo)向件沿驅(qū)動(dòng)端的升降方向延伸，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有與導(dǎo)向件相適配的導(dǎo)向孔，導(dǎo)向件可升降地設(shè)置在導(dǎo)向孔內(nèi)。

10、進(jìn)一步地，連接件為環(huán)形結(jié)構(gòu)；

11、其中，頂升部為多個(gè)，多個(gè)頂升部沿連接件的周向間隔設(shè)置在連接件的一側(cè)；和/或，

12、驅(qū)動(dòng)件為多個(gè)，多個(gè)驅(qū)動(dòng)件沿連接件的周向間隔設(shè)置在連接件的另一側(cè)。

13、進(jìn)一步地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)具有貫通旋轉(zhuǎn)臺(tái)的兩側(cè)的安裝孔，微動(dòng)臺(tái)還包括導(dǎo)向套筒，導(dǎo)向套筒安裝在安裝孔內(nèi)，導(dǎo)向套筒具有導(dǎo)向孔；

14、其中，導(dǎo)向件上設(shè)置有限位凸起，限位凸起用于與導(dǎo)向套筒的端部進(jìn)行限位抵接；和/或，

15、微動(dòng)臺(tái)還包括止擋件，止擋件設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的下方，止擋件的至少部分設(shè)置在安裝孔的端部并與導(dǎo)向套筒的至少部分相對(duì)設(shè)置。

16、進(jìn)一步地，連接件包括相互連接的環(huán)形板和連接凸板，連接凸板凸出于環(huán)形板的外緣設(shè)置，頂升部為多個(gè)，驅(qū)動(dòng)件和連接凸板均為多個(gè)，多個(gè)驅(qū)動(dòng)件與多個(gè)連接凸板一一對(duì)應(yīng)地設(shè)置，各個(gè)驅(qū)動(dòng)件安裝在對(duì)應(yīng)的連接凸板上；

17、其中，多個(gè)頂升部沿環(huán)形板的周向間隔設(shè)置在環(huán)形板上；和/或，

18、多個(gè)連接凸板沿環(huán)形板的周向間隔設(shè)置；和/或，

19、多個(gè)連接凸板與多個(gè)頂升部沿環(huán)形板的周向錯(cuò)位設(shè)置。

20、進(jìn)一步地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有限位件，限位件位于連接件的上方；連接件上設(shè)置有第一檢測(cè)氣路，第一檢測(cè)氣路的進(jìn)氣口用于通入氣體，第一檢測(cè)氣路的出氣口與限位件相對(duì)設(shè)置，連接件可升降地運(yùn)動(dòng)以使第一檢測(cè)氣路的出氣口處于被限位件封堵的第一封堵位置或與限位件間隔設(shè)置的第一避讓位置；微動(dòng)臺(tái)還包括第一氣壓檢測(cè)件，第一氣壓檢測(cè)件的檢測(cè)頭設(shè)置在第一檢測(cè)氣路處，第一氣壓檢測(cè)件用于對(duì)第一檢測(cè)氣路的氣壓進(jìn)行檢測(cè)。

21、進(jìn)一步地，頂升機(jī)構(gòu)還包括通氣筒，通氣筒與第一檢測(cè)氣路的進(jìn)氣口連通；

22、其中，通氣筒與驅(qū)動(dòng)件間隔設(shè)置在連接件的另一側(cè)；和/或，

23、旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有與通氣筒相適配的避讓凹槽。

24、進(jìn)一步地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有第二檢測(cè)氣路，第二檢測(cè)氣路的進(jìn)氣口用于通入氣體，第二檢測(cè)氣路的出氣口與連接件的至少部分相對(duì)設(shè)置，連接件可升降地運(yùn)動(dòng)以處于對(duì)第二檢測(cè)氣路的出氣口進(jìn)行封堵的第二封堵位置或與第二檢測(cè)氣路的出氣口間隔設(shè)置的第二避讓位置；微動(dòng)臺(tái)還包括第二氣壓檢測(cè)件，第二氣壓檢測(cè)件的檢測(cè)頭設(shè)置在第二檢測(cè)氣路處，第二氣壓檢測(cè)件用于對(duì)第二檢測(cè)氣路的氣壓進(jìn)行檢測(cè)。

25、進(jìn)一步地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)置有限位件，限位件位于連接件的上方，限位件與連接件的一側(cè)的至少部分相對(duì)設(shè)置，限位件的靠近連接件的一側(cè)或連接件的一側(cè)設(shè)置有第一限位球頭，第一限位球頭凸出于限位件的靠近連接件的一側(cè)設(shè)置或凸出于連接件的一側(cè)設(shè)置；和/或，

26、連接件的另一側(cè)與旋轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)體的至少部分相對(duì)設(shè)置，旋轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)體的靠近連接件的一側(cè)或連接件的另一側(cè)設(shè)置有第二限位球頭，第二限位球頭凸出于旋轉(zhuǎn)臺(tái)的臺(tái)體的靠近連接件的一側(cè)設(shè)置或凸出于連接件的另一側(cè)設(shè)置。

27、進(jìn)一步地，旋轉(zhuǎn)臺(tái)包括相互連接的臺(tái)體和凸起部，凸起部設(shè)置在臺(tái)體的上方，凸起部為多個(gè)，多個(gè)凸起部沿臺(tái)體的周向間隔設(shè)置，相鄰兩個(gè)臺(tái)體之間形成一個(gè)定位槽；連接件包括相互連接的環(huán)形板和連接凸板，連接凸板設(shè)置在環(huán)形板的外周緣處，環(huán)形板設(shè)置在多個(gè)凸起部?jī)?nèi)，連接凸板設(shè)置在定位槽內(nèi)；驅(qū)動(dòng)件設(shè)置在連接凸板上，臺(tái)體上設(shè)置有與驅(qū)動(dòng)件相適配的避讓凹部，驅(qū)動(dòng)件設(shè)置在避讓凹部?jī)?nèi)。

28、進(jìn)一步地，頂升機(jī)構(gòu)還包括：

29、抽真空件，與驅(qū)動(dòng)件間隔設(shè)置在連接件的另一側(cè)，抽真空件與頂升部的氣路連通。

30、進(jìn)一步地，連接件上設(shè)置有連接通路，頂升部為多個(gè)，多個(gè)頂升部間隔設(shè)置在連接件的一側(cè)，多個(gè)頂升部的氣路均與連接通路連通，抽真空件與連接通路連通。

31、進(jìn)一步地，微動(dòng)臺(tái)還包括吸盤，吸盤設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上方，吸盤上設(shè)置有與頂升部相適配的避讓孔，頂升部可升降地穿設(shè)在避讓孔內(nèi)；吸盤包括主體部和柔性連接部；

32、其中，所述主體部上設(shè)置有至少兩個(gè)環(huán)形槽，至少兩個(gè)環(huán)形槽沿主體部的徑向間隔設(shè)置，至少一個(gè)環(huán)形槽設(shè)置在主體部的邊緣處；柔性連接部為至少兩個(gè)，至少兩個(gè)柔性連接部與至少兩個(gè)環(huán)形槽一一對(duì)應(yīng)地設(shè)置，各個(gè)柔性連接部設(shè)置在對(duì)應(yīng)的環(huán)形槽內(nèi)。

33、進(jìn)一步地，吸盤還包括垂向柔性密封件，垂向柔性密封件設(shè)置在避讓孔內(nèi)；和/或，

34、主體部上設(shè)置有與柔性連接部相適配的安裝槽，柔性連接部包括相互連接的固定部和形變部，固定部固定安裝在安裝槽內(nèi)，形變部的至少部分凸出于安裝槽的槽口設(shè)置，固定部和形變部的連接處設(shè)置有減弱槽。

35、進(jìn)一步地，微動(dòng)臺(tái)還包括：

36、吸盤，設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)的上方，旋轉(zhuǎn)臺(tái)與吸盤驅(qū)動(dòng)連接以帶動(dòng)吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)；

37、剎車結(jié)構(gòu)，剎車結(jié)構(gòu)的至少部分可活動(dòng)地設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)和吸盤之間，剎車結(jié)構(gòu)具有使剎車結(jié)構(gòu)的至少部分與吸盤貼合的剎車位置以及使剎車結(jié)構(gòu)的至少部分與吸盤間隔設(shè)置的松開位置。

38、進(jìn)一步地，微動(dòng)臺(tái)還包括垂向定子部和垂向動(dòng)子部，垂向動(dòng)子部相對(duì)于垂向定子部可升降地設(shè)置，垂向定子部與底座驅(qū)動(dòng)連接；剎車結(jié)構(gòu)包括：

39、剎車片，形成剎車結(jié)構(gòu)的至少部分，剎車片上設(shè)置有氣道；當(dāng)氣道內(nèi)通入氣體時(shí)，剎車片與吸盤間隔設(shè)置；當(dāng)氣道內(nèi)未通入氣體或通入負(fù)壓時(shí)，剎車片與吸盤貼合；

40、簧片，剎車片安裝在簧片上，簧片與垂向動(dòng)子部固定連接；

41、彈性支撐件，設(shè)置在簧片的遠(yuǎn)離剎車片的一側(cè)，彈性支撐件的一端用于對(duì)剎車片或簧片進(jìn)行支撐，彈性支撐件的另一端與垂向動(dòng)子部連接。

42、進(jìn)一步地，微動(dòng)臺(tái)還包括垂向定子部和垂向動(dòng)子部，垂向定子部具有安裝凹槽，垂向動(dòng)子部相對(duì)于垂向定子部可升降地設(shè)置在安裝凹槽內(nèi)，垂向定子部與底座驅(qū)動(dòng)連接；微動(dòng)臺(tái)還包括：

43、第一交叉滾柱導(dǎo)軌，設(shè)置在安裝凹槽的一側(cè)，第一交叉滾柱導(dǎo)軌的兩側(cè)分別與垂向定子部和垂向動(dòng)子部連接；

44、第二交叉滾柱導(dǎo)軌，設(shè)置在安裝凹槽的另一側(cè)，第二交叉滾柱導(dǎo)軌與第一交叉滾柱導(dǎo)軌相對(duì)設(shè)置，第二交叉滾柱導(dǎo)軌的兩側(cè)分別與垂向定子部和垂向動(dòng)子部連接；

45、其中，第一交叉滾柱導(dǎo)軌和第二交叉滾柱導(dǎo)軌中的一個(gè)與安裝凹槽的一側(cè)的槽壁貼合，第一交叉滾柱導(dǎo)軌和第二交叉滾柱導(dǎo)軌中的另一個(gè)與安裝凹槽的一側(cè)的槽壁間隔設(shè)置。

46、根據(jù)本發(fā)明的另一方面，提供了一種運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，包括：

47、粗動(dòng)臺(tái)；

48、上述提供的微動(dòng)臺(tái)，粗動(dòng)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)部與微動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)連接。

49、應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，頂升機(jī)構(gòu)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，頂升機(jī)構(gòu)的頂升部能夠相對(duì)于旋轉(zhuǎn)臺(tái)進(jìn)行升降，從而帶動(dòng)吸附件進(jìn)行升降，并通過吸附件對(duì)待處理件進(jìn)行吸附。采用本實(shí)施例中的結(jié)構(gòu)，由于頂升機(jī)構(gòu)本身有升降功能，所以不需要旋轉(zhuǎn)臺(tái)的垂向行程，從而能夠避免垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)因行程過長(zhǎng)在較高位置易出現(xiàn)整體重心偏上而影響垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的情況，有利于提高垂向驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的整體運(yùn)行穩(wěn)定性，提高了整體結(jié)構(gòu)在rx和ry方向上的剛度。