本揭示涉及一種晶舟夾具，特別是涉及一種伸縮式晶舟夾具。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制造工廠中通常配置有多臺(tái)的濕式工藝設(shè)備用于批次式的處理大量的晶圓。為了因應(yīng)電子產(chǎn)品的種類會(huì)使用不同形狀和尺寸的晶圓或基板。因此在進(jìn)行濕式工藝時(shí)，使用的晶舟(cas sette)種類也會(huì)有所不同。舉例來說，當(dāng)以大型基板進(jìn)行濕式工藝時(shí)，必須采用大尺寸的晶舟來承載所述大型基板。

然而，大尺寸晶舟的構(gòu)型復(fù)雜且重量重，若以現(xiàn)有的晶舟夾具難以有效地夾持住所述大尺寸晶舟。具體來說，現(xiàn)有的晶舟夾具是采用勾取或者是以非垂直于晶舟方向的夾持力(例如，以旋轉(zhuǎn)方式對(duì)晶舟施予一斜向的夾持力)來夾持晶舟，此方式容易導(dǎo)致舟晶發(fā)生滑動(dòng)或脫落。

有鑒于此，有必要提出一種晶舟夾具，用以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本揭示的目的在于提供一種伸縮式晶舟夾具，其是通過伸縮式的方法控制晶舟夾具以垂直于晶舟的方向施加或釋放夾持力，進(jìn)而避免現(xiàn)有技術(shù)中以非垂直于晶舟方向進(jìn)行夾持，容易導(dǎo)致舟晶發(fā)生滑動(dòng)或脫落的情況。

為達(dá)成上述目的，本揭示提供一種伸縮式晶舟夾具，適用于設(shè)置在一高架傳輸系統(tǒng)以傳送一晶舟。所述高架傳輸系統(tǒng)包含沿著一第一方向延伸的軌道，所述軌道具有一第一面和相對(duì)所述第一面的第二面，其中所述伸縮式晶舟夾具包括：一對(duì)連動(dòng)桿，沿著所述第一方向間隔設(shè)置在所述軌道的所述第一面，且每一所述連動(dòng)桿的第一端具有一凸塊；一滑塊組，設(shè)置在所述對(duì)連動(dòng)桿之間，具有一八字型斜向開槽，其中所述對(duì)連動(dòng)桿的所述對(duì)凸塊分別嵌設(shè)在所述八字型斜向開槽的相對(duì)的兩斜向開槽內(nèi)，使得所述一對(duì)凸塊可沿著所述八字型斜向開槽滑動(dòng)；以及一對(duì)夾持臂，沿著在一第二方向上且垂直所述第一面和所述第二面的直線延伸，其中所述夾持臂的一端與對(duì)應(yīng)的所述連動(dòng)桿連接，以及所述夾持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；其中當(dāng)所述滑塊組沿著一第三方向移動(dòng)時(shí)，所述對(duì)連動(dòng)桿隨著所述八字型斜向開槽而沿著在所述第一方向上的直線相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)而改變所述對(duì)連動(dòng)桿之間的距離。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述滑塊組包含：一基座，固定在所述軌道上，具有一沿著所述第三方向延伸的滑槽；一滑塊，通過所述滑槽可滑動(dòng)地安裝在所述基座上；以及一導(dǎo)向塊，固定在所述滑塊上，具有所述八字型斜向開槽。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述滑塊具有一限位塊，以及所述基座的末端設(shè)有一與所述限位塊相配合的止擋部。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述八字型斜向開槽由間隔設(shè)置的所述兩斜向開槽組成，并且彼此對(duì)稱于在所述第三方向上延伸的直線。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述八字型斜向開槽的所述兩斜向開槽的延伸方向相反，且所述兩斜向開槽之間的距離為逐漸改變。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向三者互相垂直。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對(duì)沿著所述第三方向延伸的連接桿，橫跨在所述軌道的所述第一面上，其中每一所述連接桿的兩端與對(duì)應(yīng)的所述夾持臂連接，以及每一所述連接桿還與對(duì)應(yīng)的所述連動(dòng)桿的第二端連接，使得所述對(duì)連接桿隨著所述對(duì)連動(dòng)桿之間距離的改變而移動(dòng)，進(jìn)而使所述對(duì)夾持臂沿著在所述第一方向上的直線相對(duì)移動(dòng)以改變所述對(duì)夾持臂之間的距離。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對(duì)緩沖塊，設(shè)置在所述軌道上，并且位在所述對(duì)連接桿之間及面對(duì)對(duì)應(yīng)的連接桿，用以緩沖對(duì)應(yīng)的所述連接桿前進(jìn)。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述伸縮式晶舟夾具還包含一對(duì)定位感測(cè)器，其中所述連接桿上設(shè)有與所述對(duì)定位感測(cè)器相配合的遮蔽塊，其中當(dāng)所述伸縮式晶舟夾具在一夾取狀態(tài)時(shí)，所述遮蔽塊遮蔽住其中之一所述定位感測(cè)器，以及當(dāng)所述伸縮式晶舟夾具在一松開狀態(tài)時(shí)，所述遮蔽塊遮蔽住另一所述定位感測(cè)器。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述夾持臂的所述卡扣件包含多個(gè)卡勾，用于卡扣在所述晶舟的對(duì)應(yīng)的開口上。

于本揭示其中之一優(yōu)選實(shí)施例當(dāng)中，所述夾持臂的所述卡扣件包含一橫桿，用于卡扣在所述晶舟的對(duì)應(yīng)的側(cè)邊凹槽上。

相較于先前技術(shù)，本揭示通過控制滑塊組以改變兩連動(dòng)桿之間的距離，進(jìn)而使兩夾持臂隨著兩連動(dòng)桿之間的距離改變而沿著一直線一同朝向晶舟靠近或者是遠(yuǎn)離晶舟。

附圖說明

圖1顯示一種根據(jù)本揭示第一優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具的第一動(dòng)作位置示意圖；

圖2顯示圖1的滑塊組的零件爆炸圖；

圖3顯示一種根據(jù)本揭示第一優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具的第二動(dòng)作位置示意圖；

圖4顯示圖3的滑塊組的零件爆炸圖；

圖5顯示圖1的A部分的另一角度視圖；

圖6顯示圖3的C部分的另一角度視圖；

圖7顯示圖1的B部分的另一角度視圖；

圖8顯示圖3的D部分的另一角度視圖；以及

圖9顯示一種根據(jù)本揭示第二優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具的示意圖。

具體實(shí)施方式

為了讓本揭示的上述及其他目的、特征、優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文將特舉本揭示優(yōu)選實(shí)施例，并配合所附圖式，作詳細(xì)說明如下。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，其顯示一種根據(jù)本揭示第一優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具10的第一動(dòng)作位置示意圖。所述伸縮式晶舟夾具10適用于設(shè)置在一高架傳輸系統(tǒng)20上。通過將所述伸縮式晶舟夾具10與所述高架傳輸系統(tǒng)20配合使用，可將晶舟傳送到生產(chǎn)線上的特定位置，例如濕式工藝機(jī)臺(tái)內(nèi)。所述高架傳輸系統(tǒng)20包含沿著一第一方向(如X方向)延伸的軌道21。所述軌道21具有一第一面210和相對(duì)所述第一面210的第二面，并且所述第一面210是作為承載所述伸縮式晶舟夾具10的部分元件的承載面。

如圖1所示，所述伸縮式晶舟夾具10包含一對(duì)連動(dòng)桿11、滑塊組12、一對(duì)連接桿13、和一對(duì)夾持臂14。所述滑塊組12設(shè)置在所述軌道21的所述第一面210上。所述連動(dòng)桿11包含一第一端110和相對(duì)所述第一端110的第二端112，其中所述第一端110上設(shè)有一凸塊114。所述對(duì)連動(dòng)桿11分別通過所述凸塊114可滑動(dòng)地連接在所述滑塊組12的兩側(cè)(詳述于后)。也就是說，所述對(duì)連動(dòng)桿11和所述滑塊組12沿著所述第一方向X呈一直線排列在所述軌道21的所述第一面210上。所述對(duì)連接桿13沿著垂直于所述第一方向X的第三方向(如Z方向)延伸。所述連接桿13橫跨在所述軌道21的所述第一面210上方，其中每一所述連接桿13的兩端與對(duì)應(yīng)的所述夾持臂14連接，以及每一所述連接桿13還與對(duì)應(yīng)的所述連動(dòng)桿11的第二端112垂直連接。所述夾持臂14沿著在一第二方向(如Y方向)上且垂直所述軌道21的所述第一面210和所述第二面的直線延伸。所述夾持臂14的一端與對(duì)應(yīng)的所述連動(dòng)桿13連接，以及所述夾持臂14的另一端具有一用于卡扣在晶舟上的卡扣件142。在本實(shí)施例中，所述對(duì)夾持臂14的所述卡扣件142彼此相對(duì)，并且所述卡扣件142包含多個(gè)卡勾，用于卡扣在所述晶舟的對(duì)應(yīng)的開口上。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，其顯示圖1的滑塊組12的零件爆炸圖。所述滑塊組12包括基座120、滑塊121和導(dǎo)向塊122。所述基座120固定連接在所述軌道21的所述第一面210上，具有一對(duì)沿著所述第三方向Y延伸的滑槽1201。所述滑塊121通過所述對(duì)滑槽1201可滑動(dòng)地安裝在所述基座120上。所述導(dǎo)向塊122通過鎖固件固定在所述滑塊121上，使得所述導(dǎo)向塊122可隨著所述滑塊121移動(dòng)。所述導(dǎo)向塊122具有八字型斜向開槽1221。所述八字型斜向開槽1221由間隔設(shè)置的兩斜向開槽組成，并且所述兩斜向開槽彼此對(duì)稱于在所述第三方向Z上延伸的直線。再者，由于所述八字型斜向開槽1221的所述兩斜向開槽的延伸方向相反，故所述兩斜向開槽之間的距離R為逐漸改變。

如圖1和圖2所示，所述對(duì)連動(dòng)桿11的所述對(duì)凸塊114分別可滑動(dòng)地嵌設(shè)在所述八字型斜向開槽1221的相對(duì)的兩斜向開槽內(nèi)，使得所述對(duì)凸塊114可沿著所述八字型斜向開槽1221滑動(dòng)。因此，當(dāng)所述滑塊組12的所述滑塊121連帶所述導(dǎo)向塊122沿著所述第三方向Z移動(dòng)時(shí)，所述對(duì)連動(dòng)桿11會(huì)隨著所述八字型斜向開槽1221而沿著在所述第一方向X上的直線相對(duì)移動(dòng)，進(jìn)而改變所述對(duì)連動(dòng)桿11之間的距離。再者，由于所述對(duì)連接桿13分別與對(duì)應(yīng)的連動(dòng)桿11連接，因此所述對(duì)連接桿13會(huì)隨著所述對(duì)連動(dòng)桿11之間距離的改變而移動(dòng)，進(jìn)而使所述對(duì)夾持臂14沿著在所述第一方向X上的直線相對(duì)移動(dòng)(即以垂直晶舟的方向移動(dòng))以改變所述對(duì)夾持臂14之間的距離。

如圖1和圖2所示，所述伸縮式晶舟夾具10是位在一松開狀態(tài)。更明確地說，所述滑塊組12的所述滑塊121還包含一限位塊1211，以及所述基座120的末端設(shè)有一與所述限位塊1211相配合的止擋部1202，其中所述限位塊1211會(huì)隨著所述滑塊121移動(dòng)。當(dāng)所述伸縮式晶舟夾具10位在所述松開狀態(tài)時(shí)，所述滑塊組12的所述滑塊121連帶所述導(dǎo)向塊122沿著所述第三方向Z移動(dòng)，即所述限位塊1211與所述止擋部1202彼此分開到相距最大的距離，使得所述對(duì)連動(dòng)桿11的所述對(duì)凸塊114分別位在于所述八字型斜向開槽1221的所述兩斜向開槽的相距最遠(yuǎn)的兩端，進(jìn)而使得所述對(duì)連動(dòng)桿11位在相距最遠(yuǎn)的位置。因此，所述對(duì)連接桿13會(huì)隨著所述對(duì)連動(dòng)桿11移動(dòng)而分離，使得所述對(duì)夾持臂14沿著直線朝遠(yuǎn)離彼此的方向移動(dòng)，進(jìn)而讓所述對(duì)夾持臂14開啟到最大(大于晶舟的長(zhǎng)度)。

請(qǐng)參照?qǐng)D3和圖4，圖3顯示一種根據(jù)本揭示第一優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具10的第二動(dòng)作位置示意圖，以及圖4顯示圖3的滑塊組12的零件爆炸圖。在圖3和圖4中所述伸縮式晶舟夾具10是位在一夾取狀態(tài)。也就是說，所述滑塊組12的所述滑塊121連帶所述導(dǎo)向塊122朝相反于所述第三方向Z的方向移動(dòng)，即所述限位塊1211與所述止擋部1202彼此靠近直到互相抵靠接觸，使得所述對(duì)連動(dòng)桿11的所述對(duì)凸塊114分別位在于所述八字型斜向開槽1221的所述兩斜向開槽的相距最短的兩端，進(jìn)而使得所述對(duì)連動(dòng)桿11位在相距最近的位置。因此，所述對(duì)連接桿13會(huì)隨著所述對(duì)連動(dòng)桿11移動(dòng)而彼此靠近，連帶使所述對(duì)夾持臂14沿著直線朝靠近彼此的方向移動(dòng)，進(jìn)而讓所述對(duì)夾持臂14收合并分隔一適當(dāng)?shù)木嚯x(小于或等于于晶舟的長(zhǎng)度)，以夾持所述晶舟。應(yīng)當(dāng)注意的是，本揭示可通過各種適當(dāng)?shù)膭?dòng)力裝置控制所述滑塊組12的所述滑塊121相對(duì)所述基座120的作動(dòng)，例如氣壓缸、步進(jìn)馬達(dá)等。

請(qǐng)參照?qǐng)D5和圖6，圖5顯示圖1的A部分的另一角度視圖，以及圖6顯示圖3的C部分的另一角度視圖。所述伸縮式晶舟夾具10還包含一對(duì)定位感測(cè)器161和162，其中所述對(duì)定位感測(cè)器161和162在第一方向X上彼此相距一距離。所述連接桿13上設(shè)有與所述對(duì)定位感測(cè)器161和162相配合的遮蔽塊131。所述遮蔽塊131包含一對(duì)位在兩側(cè)且與所述對(duì)定位感測(cè)器161和162分別對(duì)應(yīng)的擋板1311、1312。如圖5所示，當(dāng)所述伸縮式晶舟夾具10位在所述松開狀態(tài)時(shí)，所述遮蔽塊131的其中之一擋板1311位在所述定位感測(cè)器161的訊號(hào)傳遞路徑上，使得所述定位感測(cè)器161的訊號(hào)被遮蔽。此時(shí)，另一所述定位感測(cè)器162保持在正常傳遞訊號(hào)的狀態(tài)。再者，如圖6所示，當(dāng)所述伸縮式晶舟夾具10位在所述夾取狀態(tài)時(shí)，位在所述定位感測(cè)器161的訊號(hào)傳遞路徑上擋板1311離開，使得所述定位感測(cè)器161的訊號(hào)可順利傳遞，以及所述遮蔽塊131的另一擋板1312移動(dòng)到所述定位感測(cè)器162的訊號(hào)傳遞路徑上，使得所述定位感測(cè)器162的訊號(hào)被遮蔽。因此，本揭示通過控制所述滑塊組12的相對(duì)運(yùn)動(dòng)以帶動(dòng)所述連接桿13移動(dòng)，連帶使得所述遮蔽塊131隨的運(yùn)動(dòng)，進(jìn)而使用者可通過所述對(duì)定位感測(cè)器161和162的輸出訊號(hào)判斷所述伸縮式晶舟夾具10的所述對(duì)夾持臂14是否移動(dòng)到定位點(diǎn)。

請(qǐng)參照?qǐng)D7和圖8，圖7顯示圖1的B部分的另一角度視圖，以及圖8顯示圖3的D部分的另一角度視圖。所述伸縮式晶舟夾具10還包含一對(duì)緩沖塊15，設(shè)置在所述軌道21上，并且位在所述對(duì)連接桿13之間及面對(duì)對(duì)應(yīng)的連接桿13，用以緩沖對(duì)應(yīng)的所述連接桿13前進(jìn)，進(jìn)而可防止當(dāng)所述對(duì)夾持臂14在夾取晶舟時(shí)，因移動(dòng)過快或者是移動(dòng)到超過預(yù)設(shè)的位置，而導(dǎo)致沖撞晶舟。

請(qǐng)參照?qǐng)D9，其顯示一種根據(jù)本揭示第二優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具30的示意圖。本揭示第二優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具30的結(jié)構(gòu)與作動(dòng)方式大致相同于本揭示第一優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具10，兩者差別在于：第二優(yōu)選實(shí)施例的伸縮式晶舟夾具30的夾持臂34的卡扣件342的結(jié)構(gòu)不同于第一優(yōu)選實(shí)施例的夾持臂14的卡扣件142。詳言之，在第二優(yōu)選實(shí)施例中，所述對(duì)夾持臂34的所述卡扣件342包含一橫桿，用于卡扣在所述晶舟的對(duì)應(yīng)的側(cè)邊凹槽上。

綜上所述，本揭示通過控制滑塊組以改變兩連動(dòng)桿之間的距離，進(jìn)而使兩夾持臂隨著兩連動(dòng)桿之間的距離改變而沿著直線一同朝向晶舟彼此靠近或者是彼此遠(yuǎn)離。也就是說，本揭示通過伸縮式的方法控制晶舟夾具以垂直于晶舟的方向施加或釋放夾持力，進(jìn)而避免現(xiàn)有技術(shù)中以非垂直于晶舟方向進(jìn)行夾持，容易導(dǎo)致舟晶發(fā)生滑動(dòng)或脫落的情況。

以上僅是本揭示的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本領(lǐng)域具有通常知識(shí)者，在不脫離本揭示原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本揭示的保護(hù)范圍。