本發(fā)明涉及對襯底進行處理的襯底處理裝置，例如，涉及可掌握對襯底進行成膜處理的半導體制造裝置的運轉狀態(tài)的技術。

背景技術：

在半導體制造領域中，為了謀求襯底處理裝置的運轉率和生產(chǎn)效率的提高，以器件制造商(半導體器件的制造商)為主體進行著裝置的信息管理。作為基本的監(jiān)視方法，通常使用如下方法：通過服務器收集半導體制造裝置的信息，利用統(tǒng)計解析技術等來檢查裝置的異常。

例如，在專利文獻1中記載了對數(shù)據(jù)的健全性進行管理的方法，在專利文獻2中記載了與發(fā)生了數(shù)據(jù)異常時的異常解析有關的技術，在專利文獻3中記載了對構成襯底處理裝置的部件進行保養(yǎng)管理的技術。這些技術是與襯底處理裝置連接的管理裝置對襯底處理裝置的運轉狀態(tài)進行管理的技術。

但是，今后，器件的精細化進一步推進，并且裝置的數(shù)據(jù)量有增加的傾向，為此謀求著不增加器件制造商的負擔地、在裝置側進行自我監(jiān)視的生產(chǎn)管理。而且，已成為iot(internetofthings：物聯(lián)網(wǎng))強化時代，謀求著在裝置側進行數(shù)據(jù)處理的技術。因此，有必要采取用于使裝置更加穩(wěn)定運轉的對策。

現(xiàn)有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利第5855841號公報

專利文獻2：日本專利第5546197號公報

專利文獻3：日本專利第3300816號公報

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，能夠提供表示襯底處理裝置能否穩(wěn)定地運轉的信息的構成。

根據(jù)本發(fā)明的一個方案，提供如下的結構：至少具有對構成裝置的結構部件的狀態(tài)進行監(jiān)視的部件管理控制部、對從構成裝置的結構部件的動作狀態(tài)得到的裝置數(shù)據(jù)的健全性進行監(jiān)視的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部、和對從工廠設備提供給裝置的設備數(shù)據(jù)進行監(jiān)視的數(shù)據(jù)匹配控制部，基于從由部件管理控制部所獲取的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)匹配控制部所獲取的用力(必需能力)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)構成的組中選擇的多個監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，來導出對裝置的運用狀態(tài)進行評價的信息。

發(fā)明效果

根據(jù)上述結構，能夠提供表示襯底處理裝置能否穩(wěn)定地運轉的信息。

附圖說明

圖1是表示適合用于本發(fā)明的一實施方式的襯底處理裝置的立體圖。

圖2是表示適合用于本發(fā)明的一實施方式的襯底處理裝置的側剖視圖。

圖3是表示適合用于本發(fā)明的一實施方式的控制系統(tǒng)的功能結構的圖。

圖4是表示適合用于本發(fā)明的一實施方式的主控制器的功能結構的圖。

圖5是表示適合用于本發(fā)明的一實施方式的襯底處理系統(tǒng)的結構的圖。

圖6是說明適合用于本發(fā)明的一實施方式的裝置管理控制器的功能結構的圖。

圖7是說明本發(fā)明的一實施方式的匯總畫面顯示程序的處理流程的圖。

圖8是表示本發(fā)明的一實施方式的裝置的運用狀態(tài)的匯總畫面的顯示例的圖。

圖9是本發(fā)明的一實施方式的裝置的運轉狀態(tài)的診斷方法項目列表的一圖示例。

圖10是說明本發(fā)明的一實施方式的數(shù)據(jù)匹配動作的圖。

圖11是說明本發(fā)明的一實施方式的文件匹配的顯示畫面的圖。

圖12是本發(fā)明的一實施方式的文件匹配的處理流程圖。

圖13是本發(fā)明的一實施方式的保養(yǎng)部件管理的處理流程圖。

圖14是表示本發(fā)明的一實施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部的功能結構的圖。

圖15是本發(fā)明的一實施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視的處理流程圖。

圖16是說明本發(fā)明的一實施方式的裝置狀態(tài)監(jiān)視的圖。

圖17是本發(fā)明的一實施方式的數(shù)據(jù)解析支援控制的處理流程圖。

圖18是表示本發(fā)明的一實施方式的裝置的運用狀態(tài)的匯總畫面的顯示例的圖。

附圖標記說明

1…襯底處理裝置(裝置)、201…主控制器(操作部)、215…裝置管理控制器、215b…畫面顯示控制部、215c…數(shù)據(jù)匹配控制部、215d…部件管理控制部、215e…裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部、215h…存儲部、227…操作顯示部。

具體實施方式

(襯底處理裝置的概要)

以下，參照附圖對本發(fā)明的一實施方式進行說明。首先，在圖1、圖2中，對實施本發(fā)明的襯底處理裝置(以下，有時僅稱為裝置)1進行說明。

襯底處理裝置1具備殼體2，在該殼體2的正面壁3的下部開設有為了維護而設置的正面口4，正面口4通過正面門5而被開閉。

在殼體2的正面壁3上以將殼體2的內外連通的方式開設有晶片盒(pod)搬入搬出口6，晶片盒搬入搬出口6通過前閘門7而被開閉，在晶片盒搬入搬出口6的正面前方側設置有裝載口(loadport)8，裝載口8構成為將所載置的晶片盒9對位。

晶片盒9是密閉式的襯底搬送容器，通過未圖示的工序內搬送裝置而被搬入到裝載口8上，或者從裝載口8上搬出。

在殼體2內的前后方向的大致中央部的上部設置有旋轉式晶片盒架11，該旋轉式晶片盒架11構成為收納多個晶片盒9。

旋轉式晶片盒架11具備：垂直地立起設置并間歇旋轉的支柱12；和在上中下層的各位置處呈放射狀支承在該支柱12上的多層架板13。架板13構成為以載置多個晶片盒9的狀態(tài)收納晶片盒9。

在旋轉式晶片盒架11的下方設有晶片盒開啟器14，該晶片盒開啟器14載置晶片盒9，還具有能夠對該晶片盒9的蓋進行開閉的結構。

在裝載口8、旋轉式晶片盒架11、晶片盒開啟器14之間設置有晶片盒搬送機構15。晶片盒搬送機構15能夠保持晶片盒9地升降、且能夠在水平方向上前進后退，構成為在裝載口8、旋轉式晶片盒架11、晶片盒開啟器14之間搬送晶片盒9。

在殼體2內的前后方向上的大致中央部的下部，在后端的范圍內設有副殼體16。在該副殼體16的正面壁17以上下兩層排列地開設有一對晶片搬入搬出口(襯底搬入搬出口)19，該晶片搬入搬出口19用于相對于副殼體16內搬入搬出晶片(以后，也稱為襯底)18。對各個襯底搬入搬出口19設有晶片盒開啟器14。

晶片盒開啟器14具備：載置晶片盒9的載置臺21、和對晶片盒9的蓋進行開閉的開閉機構22。晶片盒開啟器14構成為，通過開閉機構22對載置于載置臺21的晶片盒9的蓋進行開閉，由此對晶片盒9的晶片出入口進行開閉。

副殼體16構成相對于配設有晶片盒搬送機構15和旋轉式晶片盒架11的空間(晶片盒搬送空間)為氣密的移載室23。在移載室23的前側區(qū)域設置有晶片移載機構(襯底移載機構)24，該襯底移載機構24具備載置襯底18的所需張數(shù)(在圖示中為5張)的晶片載置板25。晶片載置板25能夠在水平方向上直線移動、在水平方向上旋轉，并能夠升降。襯底移載機構24構成為相對于舟皿(以后，也稱為襯底保持體)26進行襯底18的裝填及推出。

在移載室23的后側區(qū)域，構成收容舟皿26并使舟皿26待機的待機部27，在該待機部27的上方設有縱型的處理爐28。處理爐28在內部形成處理室29，該處理室29的下端部成為爐口部，該爐口部通過爐口閘門31而被開閉。

在殼體2的右側端部與副殼體16的待機部27的右側端部之間設置有用于使舟皿26升降的舟皿升降機32。在與舟皿升降機32的升降臺連結的臂33上水平地安裝有作為蓋體的密封蓋34。蓋體34垂直地支承舟皿26，能夠在將該舟皿26裝入到上述處理室29的狀態(tài)下氣密地封堵爐口部。

舟皿26構成為將多張(例如，50張～125張左右)的晶片18以其中心對齊的水平姿勢多層地保持。

在與舟皿升降機32側相對的位置配設有清潔單元35。清潔單元35由供給風扇及防塵過濾器構成，以供給凈化后的環(huán)境氣體或者為非活性氣體的清潔氣體36。

構成為，從清潔單元35吹出的清潔氣體36流通到晶片移載機構24和舟皿26，然后被未圖示的管道吸入，而被排出到殼體2的外部，或者被清潔單元35吹出到移載室23內。

接下來，對裝置1的動作進行說明。

當晶片盒9被供給到裝載口8時，晶片盒搬入搬出口6通過前閘門7而被打開。裝載口8上的晶片盒9被晶片盒搬送裝置15從晶片盒搬入搬出口6通過而搬入到殼體2的內部，并被載置到旋轉式晶片盒架11的指定的架板13上。晶片盒9被旋轉式晶片盒架11暫時保管，然后被晶片盒搬送裝置15從架板13搬送到任一方的晶片盒開啟器14并被移載到載置臺21上，或者從裝載口8直接移載到載置臺21上。

此時，晶片搬入搬出口19通過開閉機構22而被關閉，在移載室23中流通并充滿著清潔氣體36。例如，通過使移載室23中作為清潔氣體36而充滿氮氣，將氧濃度設定為20ppm以下，遠低于殼體2內部(大氣環(huán)境氣體)的晶片盒搬送空間的氧濃度。

載置于載置臺21的晶片盒9的開口側端面被按壓到副殼體16的正面壁17中的晶片搬入搬出口19的開口緣邊部，并且該晶片盒9的蓋被開閉機構22取下，從而晶片出入口打開。

當晶片盒9被晶片盒開啟器14打開后，由襯底移載機構24從晶片盒9取出襯底18，并將襯底18移送到缺口對準機構(未圖示)，利用該缺口對準機構對合襯底18之后，襯底移載機構24將襯底18搬入到位于移載室23后方的待機部27，并裝填到舟皿26中。

向舟皿26交付了襯底18的襯底移載機構24返回到晶片盒9，并將接下來的襯底18裝填到上述舟皿26中。

在一方(上層或下層)的晶片盒開啟器14處的利用襯底移載機構24進行的襯底18向舟皿26的裝填作業(yè)中，由晶片盒搬送裝置15從旋轉式晶片盒架11向另一方(下層或上層)的晶片盒開啟器14搬送并移載其他晶片盒9，同時進行另一方的晶片盒開啟器14對晶片盒9的打開作業(yè)。

當預先指定的張數(shù)的襯底18被裝填到舟皿26中時，被爐口閘門31關閉的處理爐28的爐口部通過爐口閘門31而被打開。接著，舟皿26通過舟皿升降機32上升，而被搬入到處理室29中。

裝載后，通過密封蓋34氣密地封堵爐口部。此外，在本實施方式中，在該定時(裝載后)執(zhí)行將處理室29置換為非活性氣體的吹掃工序(預吹掃工序)。

通過氣體排氣機構(未圖示)對處理室29進行真空排氣，以使處理室29成為所期望的壓力(真空度)。另外，通過加熱器驅動部(未圖示)將處理室29加熱到規(guī)定溫度，以使處理室29成為所期望的溫度分布。此外，通過氣體供給機構(未圖示)向處理室29供給被控制為規(guī)定流量的處理氣體。

供給到處理室29的處理氣體與襯底18的表面接觸，在襯底18的表面上實施規(guī)定的處理。而且，反應后的處理氣體被氣體排氣機構從處理室29排出。

在經(jīng)過了預先設定的處理時間后，通過氣體供給機構從非活性氣體供給源(未圖示)供給非活性氣體，處理室29被置換為非活性氣體，并且處理室29的壓力恢復為常壓(后吹掃工序)。然后，通過舟皿升降機32并經(jīng)由蓋體34使舟皿26下降。

關于處理后的襯底18的搬出，以與上述說明相反的順序，將襯底18及晶片盒9搬出到殼體2的外部。未處理的襯底18進一步被裝填到上述舟皿26中，反復進行襯底18的批處理。

(控制系統(tǒng)200的功能結構)

接下來，參照圖3對以作為操作部的主控制器201為中心的控制系統(tǒng)200的功能結構進行說明。如圖3所示，控制系統(tǒng)200具備：操作部201、作為搬送控制部的搬送系統(tǒng)控制器211、作為處理控制部的處理系統(tǒng)控制器212、和作為數(shù)據(jù)監(jiān)視部的裝置管理控制器215。在本實施方式中，控制系統(tǒng)200被收容在裝置1內。

操作部201構成為通過例如100base-t等lan線路而與搬送控制部211及處理控制部212電連接，因此能夠進行各裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收和各文件的下載及上傳等。

在此，所謂裝置數(shù)據(jù)是裝置1在運轉狀態(tài)時產(chǎn)生的數(shù)據(jù)，例如，是裝置1在對襯底18進行處理時使各結構部件動作而產(chǎn)生的數(shù)據(jù)。例如，可列舉裝置1在對襯底18進行處理時的處理溫度、處理壓力、處理氣體的流量等與襯底處理有關的數(shù)據(jù)(監(jiān)視數(shù)據(jù))、例如所成膜的膜厚以及該膜厚的累積值等與制造出的制品襯底的品質有關的數(shù)據(jù)(處理數(shù)據(jù)(processdata))、與石英反應管、加熱器、閥、mfc(質量流量控制器)等裝置1的結構部件有關的數(shù)據(jù)(部件數(shù)據(jù))等數(shù)據(jù)。

另外，在本實施方式中，裝置數(shù)據(jù)還包含電力、水、氣體流量、排氣裝置等從顧客工廠向裝置1提供的數(shù)據(jù)(設備數(shù)據(jù))。另外裝置數(shù)據(jù)還包含與工藝配方執(zhí)行過程中的報警監(jiān)視有關的數(shù)據(jù)(報警發(fā)生信息數(shù)據(jù))、沒有執(zhí)行工藝配方期間的維護信息(事件數(shù)據(jù))、與異常解析有關的數(shù)據(jù)(異常解析數(shù)據(jù))等故障信息數(shù)據(jù)。

在操作部201上設有供作為外部存儲裝置的記錄介質(例如usb存儲器等)插入、拔出的作為安裝部的端口。向操作部201安裝有與該端口對應的操作系統(tǒng)(os)。另外，在操作部201上經(jīng)由例如通信網(wǎng)絡而連接有外部上級計算機和管理裝置。因此，即使裝置1設置在清潔室內的情況下，上級計算機也能夠配置在清潔室外的辦公室等中。另外，管理裝置通過lan線路與裝置1連接，具有從操作部201收集裝置數(shù)據(jù)的功能。

裝置管理控制器215構成為，通過lan線路與操作部201連接，從操作部201收集裝置數(shù)據(jù)，并基于對裝置數(shù)據(jù)加工而生成的數(shù)據(jù)來導出表示裝置的運用狀態(tài)的指標。此外，關于裝置管理控制器215將在后詳細描述。

搬送控制部211構成為，與主要由旋轉式晶片盒架11、舟皿升降機32、晶片盒搬送裝置15、襯底移載機構24、舟皿26以及旋轉機構(未圖示)構成的襯底搬送系統(tǒng)211a連接并對其進行控制。尤其是，搬送控制部211構成為，經(jīng)由動作控制器211a而分別控制舟皿升降機32、晶片盒搬送裝置15、襯底移載機構24的搬送動作。

處理控制部212具備：溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列發(fā)生器212d。這些溫度控制器212a、壓力控制器212b、氣體流量控制器212c、序列發(fā)生器212d構成副控制器，并與處理控制部212電連接，因此能夠進行各裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收、各文件的下載及上傳等。此外，處理控制部212和副控制器以分體部件的形式進行了圖示，但也可以是一體結構。

在溫度控制器212a上連接有由加熱器及溫度傳感器等構成的加熱機構212a。溫度控制器212a構成為，通過對處理爐28的加熱器的溫度進行控制來調節(jié)處理爐28內的溫度。此外，溫度控制器212a構成為對晶閘管進行控制并且控制向加熱器導線束供給的電力。

在壓力控制器212b上連接有通過壓力傳感器、作為壓力閥的apc閥及真空泵構成的氣體排氣機構212b。壓力控制器212b構成為，基于由壓力傳感器檢測到的壓力值來控制apc閥的開度及真空泵的動作，以使得處理室29內的壓力在所期望的定時成為所期望的壓力。

氣體流量控制器212c由mfc(massflowcontroller：質量流量控制器)構成。序列發(fā)生器212d構成為，通過使閥212d開閉而控制來自處理氣體供給管和吹掃氣體供給管的氣體的供給和停止。另外，處理控制部212構成為，對mfc212c、序列發(fā)生器212d進行控制，以使得向處理室29內供給的氣體的流量在所期望的定時成為所期望的流量。

另外，本實施方式的操作部201、搬送控制部211、處理控制部212、裝置管理控制器215能夠不依賴專用系統(tǒng)而是使用通常的計算機系統(tǒng)來實現(xiàn)。例如，能夠通過從存儲有用于執(zhí)行上述處理的程序的記錄介質(usb存儲器等)向通用計算機安裝該程序來構成執(zhí)行規(guī)定處理的各控制器。

而且，用于供給這些程序的手段是任意的。除了如上述那樣經(jīng)由規(guī)定的記錄介質供給以外，還可以例如經(jīng)由通信線路、通信網(wǎng)絡、通信系統(tǒng)等來供給。在該情況下，例如，也可以在通信網(wǎng)絡的公告板上公告該程序，將該程序疊加在載波上并經(jīng)由網(wǎng)絡來提供。然后，起動像這樣提供的程序，并在os的控制下與其他應用程序同樣地執(zhí)行，由此能夠執(zhí)行規(guī)定的處理。

(主控制器(操作部)201的結構)

接下來，參照圖4說明操作部201的結構。

操作部201構成為包括：主控控制部220、作為主控存儲部的硬盤222、包括顯示各種信息的顯示部和受理來自操作者的各種指示的操作部的操作顯示部227、與裝置1內外進行通信的作為主控通信部的發(fā)送接收模塊228。此外，所謂操作者，除了裝置操作員以外，還包括裝置管理者、裝置工程師、保養(yǎng)員、作業(yè)者。主控控制部220構成為包括作為處理部的cpu(中央處理裝置)224和作為臨時存儲部的存儲器(ram、rom等)226、且具有時鐘功能(未圖示)的計算機。

在硬盤222中保存有：定義了襯底的處理條件及處理順序的配方(recipe)等的各配方文件、用于執(zhí)行這些各配方文件的控制程序文件、定義了用于執(zhí)行配方的參數(shù)的參數(shù)文件、以及報錯處理程序文件及報錯處理的參數(shù)文件，除此之外，還保存有包含輸入處理參數(shù)的輸入畫面的各種畫面文件、各種圖標文件等(均未圖示)文件。

構成為，在作為顯示裝置的操作顯示部227上顯示用于操作裝置1的操作畫面。操作顯示部227的操作畫面是例如使用了液晶的觸摸面板。另外，操作顯示部227也可以是包括含有液晶顯示器等顯示部以及鍵盤及鼠標等器件的用戶界面部等的結構。

操作顯示部227構成為包括操作部和顯示部。也可以在操作顯示部227的操作畫面上設置向襯底搬送系統(tǒng)211a和襯底處理系統(tǒng)(加熱機構212a、氣體排氣機構212b以及氣體供給系統(tǒng)212c)輸入動作指示的作為輸入部的各操作按鈕。

操作顯示部227受理來自操作畫面的作業(yè)者進行的輸入指示，并將輸入的指示數(shù)據(jù)發(fā)送到操作部201。另外，操作顯示部227受理用于使在存儲器226等中展開的配方、或者在主控存儲部222中保存的多個配方中任意的襯底處理配方(也稱為工藝配方)等文件執(zhí)行的指示，并向主控控制部220發(fā)送。

在主控通信部228上連接有交換式集線器(switchinghub)等，操作部201構成為與外部計算機和裝置1內的其他控制器等進行數(shù)據(jù)的發(fā)送接收。另外，操作部201經(jīng)由未圖示的網(wǎng)絡對外部的上級計算機、例如主機計算機發(fā)送裝置1的狀態(tài)等裝置數(shù)據(jù)。

(襯底處理方法)

接下來，對使用本實施方式的裝置1來實施的、具有規(guī)定的處理工序的襯底處理方法進行說明。在此，對于規(guī)定的處理工序，列舉實施半導體器件的制造工序的工序之一的襯底處理工序(在此為成膜工序)的情況為例。

在實施襯底處理工序時，例如從操作部201將與待實施的襯底處理對應的襯底處理配方(工藝配方)下載到處理控制部212內的ram等存儲器中。由此，在配方執(zhí)行過程中，操作部201能夠對處理控制部212和搬送控制部211發(fā)出動作指示。此外，襯底處理工序至少具有搬入工序、成膜工序、搬出工序和回收工序。另外，移載工序(也可以包含向裝置1投入襯底的襯底投入工序)也可以包含在襯底處理工序中。

(移載工序)

從操作部201對搬送控制部211發(fā)出襯底移載機構24的驅動指示。然后，按照來自搬送控制部211的指示，襯底移載機構24開始從作為載置臺的交接臺21上的晶片盒9向舟皿26移載襯底18的移載處理。該移載處理一直進行到預定的所有襯底18向舟皿26的裝填完成。

(搬入工序)

在襯底18向舟皿26的裝填結束后，通過按照來自搬送控制部211的指示而動作的舟皿升降機32，使舟皿26在保持著襯底18的狀態(tài)下上升。舟皿26被裝入到形成于處理爐28內的處理室29。構成為，當舟皿26被完全裝滿后，蓋體34就將設于處理爐28下部的作為爐口邊緣的歧管(manifold)的下端氣密地封堵。

(成膜工序)

以使處理室29的壓力成為規(guī)定的成膜壓力(真空度)的方式，按照來自壓力控制部212b的指示并基于由壓力傳感器測定的壓力信息對壓力調整裝置進行反饋控制。另外，以使處理室29的溫度成為規(guī)定的溫度(成膜溫度)的方式，按照來自溫度控制部212a的指示并基于作為溫度檢測器的溫度傳感器檢測到的溫度信息來對向加熱器的通電情況進行反饋控制。

接下來，按照來自搬送控制部211的指示使基于旋轉機構進行的舟皿26及襯底18的旋轉開始。然后，在維持為規(guī)定的壓力、規(guī)定的溫度的狀態(tài)下，向舟皿26所保持的多張襯底18供給規(guī)定的氣體(處理氣體)而對襯底18進行規(guī)定的處理(例如成膜處理)。

(搬出工序)

當對載置于舟皿26的襯底18進行的成膜工序完成后，按照來自搬送控制部211的指示，之后使基于旋轉機構進行的舟皿26及襯底18的旋轉停止，通過舟皿升降機32使蓋體34下降而使歧管的下端開口，并且將保持著處理完畢的襯底18的舟皿26搬出到處理爐28的外部。

(回收工序)

保持著處理完畢的襯底18的舟皿26被從清潔單元35吹出的清潔氣體36極為有效地冷卻。然后，當冷卻到例如150℃以下時，從舟皿26取出處理完畢的襯底18并移載到晶片盒9中，然后，進行未處理的新襯底18向舟皿26的移載。

通過執(zhí)行工藝配方，反復執(zhí)行以上的各工序，由此本實施方式的裝置1能夠以高生產(chǎn)能力進行例如對襯底18上的膜形成。

(襯底處理系統(tǒng)的結構)

圖5是表示在本實施方式中使用的襯底處理系統(tǒng)的結構的圖。如圖5所示那樣，在該襯底處理系統(tǒng)中，主(master，主導)裝置1(0)和重復(repeat)裝置1(1)～1(6)通過網(wǎng)絡連接。在圖5的例子中，重復裝置1是裝置1(1)～1(6)這6臺，但不限于6臺。

所謂主裝置1(0)是具有成為標準的裝置數(shù)據(jù)和文件的襯底處理裝置(裝置)。主裝置1(0)及重復裝置具有與裝置同樣的硬件結構，并具有裝置管理控制器215。主裝置1(0)是例如進行調整以使裝置數(shù)據(jù)變?yōu)闇蚀_恰當?shù)难b置1的初號機。重復裝置是例如第2臺以后的裝置1，經(jīng)由網(wǎng)絡從主裝置1(0)接收主裝置1(0)所具有的裝置數(shù)據(jù)和文件的副本，并分別存儲到各重復裝置的存儲部中。

在本實施方式中，將裝置管理控制器215設置在裝置1內。另外，通過使分別設置于主裝置1(0)和各裝置1中的裝置管理控制器215彼此經(jīng)由網(wǎng)絡連接，能夠使各裝置1共享主裝置的裝置數(shù)據(jù)和文件。另外，由于各裝置1能夠共享主裝置1(0)的裝置數(shù)據(jù)和文件，因此成為能夠容易地進行文件匹配、異常原因解析和裝置狀態(tài)監(jiān)視等的結構。

由此，各裝置1成為能夠監(jiān)視裝置1是否處于可穩(wěn)定運轉的運用狀態(tài)的結構。也就是說，能夠監(jiān)視裝置1能否持續(xù)正常運轉的狀態(tài)、另外是否正在接近故障狀態(tài)等。

所謂文件匹配是指，裝置1使該裝置1的各種信息與主裝置1(0)的各種信息匹配，具體而言復制主裝置1(0)的文件、與裝置1(0)的文件進行比較、核對。另外，文件匹配具有在裝置數(shù)據(jù)的復制中不需要使用usb存儲器、裝置制造商的保養(yǎng)員能夠容易地進行作業(yè)這樣的優(yōu)點。

(裝置管理控制器215的功能結構)

圖6是說明在本實施方式中使用的裝置管理控制器的功能結構的圖。對裝置1的健康狀態(tài)(裝置的綜合運用狀態(tài))進行檢查的作為健康檢查控制器的裝置管理控制器215構成為，導出對裝置1的各種運用狀態(tài)評價的信息(例如，成為裝置1的穩(wěn)定運轉的指標的信息，其是從表示對裝置1與主裝置1(0)之間的裝置數(shù)據(jù)的匹配狀態(tài)、裝置1的裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時變化量、構成裝置1的部件的劣化狀態(tài)、裝置1的故障發(fā)生狀況等進行監(jiān)視而得到的結果的數(shù)據(jù)中的至少一個以上導出的)。

裝置管理控制器215可以構成為，進行對裝置1的綜合運用狀態(tài)進行評價的信息的量化，例如在后述裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)等上進行顯示從而能夠一目了然地掌握，另外，還可以構成為，基于將對裝置1的綜合運用狀態(tài)進行評價的信息量化而得到的數(shù)值來監(jiān)視裝置1的運轉狀態(tài)，在無法穩(wěn)定運轉或者有無法穩(wěn)定運轉的隱患的情況下，發(fā)出警報(例如，使警報音鳴響和/或進行顯示等)。

另外，裝置管理控制器215構成為，能夠通過裝置1的操作顯示部227操作用于導出裝置1的穩(wěn)定運轉指標所需的后述4個功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)。

如圖6所示，裝置管理控制器215構成為，具備從由畫面顯示部215a、畫面顯示控制部215b、數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f構成的組中選擇的多個控制部、在與操作部201之間進行該裝置1的裝置數(shù)據(jù)的發(fā)送接收的通信部215g、至少存儲裝置數(shù)據(jù)的存儲部215h。此外，在本實施方式中，通過各個控制部執(zhí)行4個功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)，但也可以構成為使一個控制部含有所有的功能。另外，在本實施方式中，不限于4個功能，只要有多個功能即可。

裝置管理控制器215構成為具有從由以下控制部構成的組中選擇的多個控制部，所述以下控制部為：判定從工廠設備供給的設備數(shù)據(jù)的妥當性的數(shù)據(jù)匹配控制部215c、對構成裝置的結構部件的狀態(tài)的部件數(shù)據(jù)的劣化以及消耗程度進行監(jiān)視的部件管理控制部215d、對從構成裝置的結構部件的動作狀態(tài)得到的裝置數(shù)據(jù)的健全性進行監(jiān)視的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、以及對裝置的故障信息的產(chǎn)生狀況進行監(jiān)視的數(shù)據(jù)解析控制部215f。

另外，裝置管理控制器215構成為，基于從由部件管理控制部215d所獲取的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、和數(shù)據(jù)匹配控制部215c所判定的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)構成的組中選擇的多個監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，來導出對裝置的運用狀態(tài)進行評價的信息。此外，代替存儲部215h，也可以構成為使用主控存儲部222和臨時存儲部226。

另外，如上述那樣，在監(jiān)視結果數(shù)據(jù)中含有：表示對預先指定的裝置數(shù)據(jù)與對應于該裝置數(shù)據(jù)的標準數(shù)據(jù)進行比較的結果的數(shù)據(jù)即裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)；表示對裝置所具有的設備數(shù)據(jù)與成為該設備數(shù)據(jù)的基準的基準數(shù)據(jù)進行核對的結果的數(shù)據(jù)即用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)；表示對裝置數(shù)據(jù)中的示出結構部件的狀態(tài)的部件數(shù)據(jù)與示出保養(yǎng)時期的閾值數(shù)據(jù)進行比較的結果的數(shù)據(jù)即保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)；以及表示某規(guī)定期間內的故障信息數(shù)據(jù)的發(fā)生頻率的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。另外，有時這些監(jiān)視結果數(shù)據(jù)也簡單地總稱為監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。

裝置管理控制器215構成為，在裝置1啟動時等處理開始前執(zhí)行數(shù)據(jù)匹配程序而實現(xiàn)數(shù)據(jù)匹配控制部215c，在裝置1的運轉過程中，執(zhí)行部件管理程序而實現(xiàn)部件管理控制部215d、并執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視程序而實現(xiàn)裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e。另外，裝置管理控制器215構成為，在裝置1的運轉過程中和停止中，執(zhí)行報警監(jiān)視程序和數(shù)據(jù)解析程序而實現(xiàn)數(shù)據(jù)解析控制部(報警監(jiān)視控制部)215f、并通過執(zhí)行畫面顯示程序而實現(xiàn)畫面顯示控制部215b。

裝置管理控制器215作為硬件結構而具有與操作部201同樣的結構。裝置管理控制器215也可以具有收集裝置數(shù)據(jù)并蓄積到存儲部215h中的作為數(shù)據(jù)庫的功能，能夠對蓄積的裝置數(shù)據(jù)施以加工而使其圖表化，并顯示到畫面顯示部215a或操作顯示部227上。

此外，在本實施方式中，與具有襯底處理功能和上級報告功能的操作部201另行地設置裝置管理控制器215，但不限于這樣的方式。例如，當然也可以是，操作部201監(jiān)視包含與部件的壽命有關的部件數(shù)據(jù)、與裝置狀態(tài)的監(jiān)視有關的裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)、與報警監(jiān)視有關的報警發(fā)生信息數(shù)據(jù)等故障信息數(shù)據(jù)在內的裝置數(shù)據(jù)，并且操作部201具有裝置間的數(shù)據(jù)匹配功能。而且，在本實施方式中，還可以構成為，裝置管理控制器215所具有的四個功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)組入到操作部201、搬送控制部211、處理控制部212中的任一個的控制器中。

(畫面顯示部215a)

畫面顯示部215a構成為，在后述的裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)等上顯示各種數(shù)據(jù)的后述的結果數(shù)據(jù)。但是，在作為顯示裝置而使用外置的終端或操作顯示部227的情況下，也可以省略畫面顯示部215a。此外，還可以構成為，代替畫面顯示部215a而使用操作顯示部227，或者也可以用為了參照畫面而連接的終端等來代替。

(畫面顯示控制部215b)

畫面顯示控制部215b通過執(zhí)行畫面顯示程序而控制成：將裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面等的各種數(shù)據(jù)加工成畫面顯示用的數(shù)據(jù)而生成畫面顯示數(shù)據(jù)并更新，且顯示到操作顯示部227上。

(畫面顯示控制功能)

接下來，使用圖7說明本實施方式中的畫面顯示控制功能、也就是通過裝置管理控制器215的畫面顯示控制部215b執(zhí)行的畫面顯示程序的處理流程。在本實施方式中，說明對后述的裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面(圖8、圖18)進行顯示的功能。

如圖7所示那樣，在該畫面顯示程序中，按照匯總畫面顯示工序(圖7的步驟s11)、監(jiān)視結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)、數(shù)據(jù)判定工序(s13)、判定結果顯示工序(s14)的順序執(zhí)行。此外，在本實施方式中不限于按照上述工序的順序，例如也可以在數(shù)據(jù)判定工序(s13)之后接著進行匯總畫面顯示工序(s11)。

首先，執(zhí)行匯總畫面顯示工序(s11)。由此，如圖8及圖18所示那樣的預先選擇的各畫面被顯示在操作畫面上。

接下來，在監(jiān)視結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，畫面顯示控制部215b從存儲部215h獲取圖6所示的4個控制部(數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f)輸出的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)中的、為了作為匯總畫面顯示到本實施方式中的操作顯示部227上所使用的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，進行在s12中獲取的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的判定和給分。在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定由數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f各自輸出的結果數(shù)據(jù)是正常還是異常、以及異常到何種程度。

被判定為異常的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的給分針對由數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析控制部215f分別輸出的每個監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，使用通過預先決定的規(guī)則所分配的分數(shù)而計算出。

另外，分數(shù)分配在各控制部中賦予加權，在裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e中被判定為異常的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的分配分數(shù)比在部件管理控制部215d中被判定為異常的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的分配分數(shù)高。

接下來，在判定結果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b根據(jù)數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結果和給分結果分別更新并顯示在s11中顯示的裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面。

(數(shù)據(jù)匹配控制部215c)

數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的安裝(setup)時(例如，第一次啟動時)，對裝置1所具有的與顧客用力(顧客必需能力)有關的設備數(shù)據(jù)、和在顧客用力范圍確認用的初始值表中示出的作為基準值(幅度)的基準數(shù)據(jù)進行核對。數(shù)據(jù)匹配控制部215c將裝置1所具有的與用力有關的項目的實測值與基準數(shù)據(jù)進行比較，根據(jù)相對于該基準數(shù)據(jù)的偏離情況來判定是異常還是正常。該功能在裝置1的設置時嵌入到裝置管理控制器215中，并監(jiān)視設備數(shù)據(jù)。也可以是，在裝置1的設置時將主裝置1(0)的當前的實測值作為基準數(shù)據(jù)與裝置1所具有的設備數(shù)據(jù)進行核對。

數(shù)據(jù)匹配控制部215c確認與用力有關的設備數(shù)據(jù)是否進入到初始值表所示的基準值的范圍內或者進入到主裝置的當前值的±3％以內，并作為用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而存儲到存儲部215h中。具體而言，將被診斷為偏離了基準數(shù)據(jù)的設備數(shù)據(jù)和偏離了基準數(shù)據(jù)的設備數(shù)據(jù)的數(shù)量作為用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而存儲到存儲部215h中。此時，數(shù)據(jù)匹配控制部215c構成為能夠彼此區(qū)分(即，分別能夠識別)地存儲偏離了基準值的情況下的數(shù)據(jù)和偏離了主裝置的當前值的情況下的數(shù)據(jù)。

另外，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的處理開始前，將設備數(shù)據(jù)與基準數(shù)據(jù)進行比較，由此數(shù)據(jù)匹配控制部215c能夠防止在設備數(shù)據(jù)異常的狀態(tài)下直接執(zhí)行工藝配方。

此外，也可以構成為，在裝置1的處理開始前進行的設備數(shù)據(jù)的監(jiān)視不僅由數(shù)據(jù)匹配控制部215c執(zhí)行，而且還由數(shù)據(jù)匹配控制部215c以外的控制部、例如裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行。

而且，數(shù)據(jù)匹配控制部215c構成為，通過執(zhí)行數(shù)據(jù)匹配程序，而執(zhí)行文件匹配功能，該文件匹配功能為實施從操作部201接收到的該裝置1的文件與主裝置1(0)的文件之間的復制和/或比較的功能。該文件匹配功能的詳細內容將在后敘述。

(部件管理控制部215d)

部件管理控制部215d通過執(zhí)行部件管理程序而執(zhí)行保養(yǎng)時期監(jiān)視功能，基于從操作部201接收到的該裝置1的部件數(shù)據(jù)(例如，部件的使用次數(shù)和使用時間)而更新存儲在存儲部215h中的部件數(shù)據(jù)。另外，構成為，對部件管理控制部215d構建了如下結構：基于部件的過去的使用次數(shù)和使用時間的變化來預測使用次數(shù)和使用時間達到制造商更換推薦值的時期。

使用圖13對本實施方式中的部件管理控制部215d進行的保養(yǎng)時期監(jiān)視的處理流程進行說明。

如圖13所示，通過處理控制部212以一定周期向操作部201報告裝置數(shù)據(jù)(圖13的步驟s51)。操作部201從收集到的裝置數(shù)據(jù)提取出作為監(jiān)視對象的部件數(shù)據(jù)，并將該部件數(shù)據(jù)以一定周期向裝置管理控制器215(部件管理控制部215d)報告(s52)。此外，也可以是，部件管理控制部215d從裝置數(shù)據(jù)提取出部件數(shù)據(jù)。

部件管理控制部215d針對收集到的部件數(shù)據(jù)(裝置數(shù)據(jù))，與對各個部件數(shù)據(jù)的每一個設定的閾值進行比較(s53)。該閾值可以是部件生產(chǎn)商的推薦值，也可以是根據(jù)使用的實際情況而對推薦值實施加減而得到的值。在部件數(shù)據(jù)沒有超過該閾值的情況下(s54中為“否”)，返回到s53，并且將對部件數(shù)據(jù)和與該部件數(shù)據(jù)對應的閾值進行比較的結果(正常)作為保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而存儲到存儲部215h中。

另一方面，在部件數(shù)據(jù)超過了該閾值的情況下(s54中為“是”)，將超過了該閾值這一信息向操作部201通知，并且將對部件數(shù)據(jù)和與該部件數(shù)據(jù)對應的閾值進行比較的結果(異常)作為保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而存儲到存儲部215h中(s55)。然后，操作部201將表示保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)超過了閾值的警告顯示到操作顯示部227上(s56)。

操作部201參照預先保存在主控存儲部222中的裝置管理數(shù)據(jù)，來判斷由部件數(shù)據(jù)超過了閾值的保養(yǎng)部件構成的模塊的狀態(tài)是否為下一個動作執(zhí)行等待狀態(tài)等能夠指定維護的狀態(tài)(s57)。若為可轉至維護的狀態(tài)(s57中為“是”)，則發(fā)出指示以指定維護(s58)。若不為可轉至維護的狀態(tài)(s57中為“否”)，則一直等待直到成為可轉至維護的狀態(tài)。

處理控制部212在從操作部201接收到維護指定時，將相應的模塊的狀態(tài)轉移至維護等待狀態(tài)(s59)，將已轉移到維護等待狀態(tài)的情況通知給操作部201(s60)，并使得不能執(zhí)行該模塊的下一個動作。此外，所謂模塊是裝置1的結構部位，不必與圖8的“模塊(module)”一致。

操作部201在s58中發(fā)出了維護指示之后從處理控制部212接收到向維護等待狀態(tài)的轉移時，對維護對象模塊進行維護指定(s61)。

在維護指定后，針對被指定了維護的處理模塊(processmodule)，執(zhí)行維護(s62)。例如，處理模塊的累積膜厚異常的情況下，實施執(zhí)行清洗配方、或者進行舟皿26更換等的恢復處理。在恢復處理后，進行規(guī)定的安裝(setup)作業(yè)，維護結束(s63)。

操作者在對象模塊被維護之后，通過操作顯示部227的操作畫面進行維護解除指定。于是，操作部201向處理控制部212發(fā)出維護解除的指令(s64)。處理控制部212將對象模塊的狀態(tài)變更為下一動作執(zhí)行等待狀態(tài)，并將其設為處理控制部212可使用的模塊(s65)。

操作部201顯示用于催促保養(yǎng)對象的部件數(shù)據(jù)的初始化的畫面(s66)，并且判定保養(yǎng)對象的部件數(shù)據(jù)有無初始化(s67)。在沒有初始化必要的情況下(s67中為“否”)，使該流程圖的處理結束，在存在有初始化必要的部件數(shù)據(jù)的情況下(s67中為“是”)，選擇哪個部件是初始化對象部件。

若選擇了初始化對象部件，則操作部201向部件管理控制部215d指示進行與維護實施完畢模塊相關聯(lián)的保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)的初始化(s68)。部件管理控制部215d基于來自操作部201的指示進行初始化對象的部件數(shù)據(jù)的初始化(s69)。

例如，使初始化對象的部件數(shù)據(jù)的監(jiān)視值(例如使用次數(shù))清零(存在也稱為重置的情況)。此外，也可以構成為，操作部201能夠從操作顯示部227受理操作員的輸入，來使部件數(shù)據(jù)的監(jiān)視值清零，如此，從監(jiān)視部件壽命這一觀點出發(fā)，能夠更高效地掌握部件的動作狀況。

另外，構成為，通過該初始化，部件管理控制部215d實施使s53的閾值比較的結果是被判定為異常的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)恢復為正常的處理。

根據(jù)本實施方式中的部件管理控制部215d的部件管理處理，部件管理控制部215d能夠在保養(yǎng)部件的故障前掌握推薦的保養(yǎng)定時，因此能夠實現(xiàn)裝置1的更為穩(wěn)定的運轉及制品襯底的批次作廢比例的降低。

根據(jù)本實施方式的部件管理控制部215d的部件管理處理，部件管理控制部215d將操作顯示部227切換為對象模塊的部件保養(yǎng)畫面，并且使與對象模塊相關聯(lián)的保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)初始化，因此在維護后使裝置1恢復為能夠生產(chǎn)的模塊的情況下，能夠可靠地進行維護指定的解除。

根據(jù)本實施方式中的部件管理控制部215d的部件管理處理，由于部件管理控制部215d能夠將保養(yǎng)部件的部件數(shù)據(jù)(例如使用次數(shù))按時間軸以圖表顯示在操作顯示部227上，因此能夠通過操作顯示部227畫面來預測監(jiān)視對象部件的監(jiān)視值的維護時期，從而能夠事先準備保養(yǎng)部件。

(裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e)

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e通過執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視程序來執(zhí)行裝置狀態(tài)監(jiān)視功能。裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e時時刻刻從操作部201接收到該裝置1的裝置數(shù)據(jù)，并更新在存儲部215h中存儲的裝置數(shù)據(jù)，并且基于從例如主裝置1(0)得到的標準數(shù)據(jù)、即裝置1應作為目標的標準數(shù)據(jù)(例如，反應室溫度的經(jīng)時波形、上限值、下限值等)來時時刻刻進行裝置1的裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。也就是說，能夠時時刻刻將裝置1的裝置數(shù)據(jù)與標準數(shù)據(jù)進行比較來監(jiān)視裝置1的裝置數(shù)據(jù)。由此，能夠實現(xiàn)誤報少的裝置狀態(tài)的監(jiān)視。

接下來，使用圖14和圖15對在裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e中執(zhí)行的裝置狀態(tài)監(jiān)視程序進行說明。裝置狀態(tài)監(jiān)視程序保存在裝置管理控制器215的存儲器內(例如存儲部215h中)，實現(xiàn)裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e。

如圖14所示，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e具備：設定部311、波段生成部312、fdc(faultdetection&classification：故障檢測和分類)監(jiān)視部313、計數(shù)顯示部314、以及診斷部315。另外，fdc監(jiān)視部313具備比較部313a、計數(shù)部313b以及判定部313c。

設定部311對波段生成部312、fdc監(jiān)視部313及診斷部315指示進行通過來自操作顯示部227的輸入(操作指令的輸入等)等而指定的波段管理的設定。

波段生成部312基于通過設定部311設定的標準數(shù)據(jù)、上限的指定值以及下限的指定值而生成波段。在此，所謂波段是指通過使相對于基于標準數(shù)據(jù)(成為標準的裝置所具有的數(shù)據(jù)，例如，主裝置1(0)的主數(shù)據(jù)(masterdata))的波形具有幅度而規(guī)定的范圍。具體而言，是指通過在構成標準數(shù)據(jù)的各數(shù)據(jù)點的值的基礎上指定上限值、或下限值、或者上限值及下限值而規(guī)定的范圍。

另外，被指定為裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的監(jiān)視對象的裝置數(shù)據(jù)為裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)，表示該裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)被裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e監(jiān)視的結果的數(shù)據(jù)是裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。以后，將標準數(shù)據(jù)作為主數(shù)據(jù)來進行說明。

fdc監(jiān)視部313將波段生成部312所生成的波段和從裝置1時時刻刻產(chǎn)生的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))進行比較，若裝置數(shù)據(jù)偏離波段預先規(guī)定的次數(shù)以上，則判斷為裝置數(shù)據(jù)異常。另外，構成為，在檢測到異常的情況下，例如在操作顯示部227上顯示檢測到異常的主旨。在此，將對波段和裝置數(shù)據(jù)進行比較而偏離波段的數(shù)據(jù)點稱為偏離點。

計數(shù)顯示部314構成為，針對通過fdc監(jiān)視部313計數(shù)的偏離點，將每次批處理的偏離點的數(shù)量顯示在操作顯示部227上。診斷部315使用異常診斷規(guī)則來進行由偏離點的數(shù)量構成的統(tǒng)計量的診斷。另外，構成為，在診斷為異常的情況下，例如在操作顯示部227上顯示檢測到異常的主旨。

(fdc監(jiān)視部)

fdc監(jiān)視部313將從操作部201接收到的裝置數(shù)據(jù)與基于成為該裝置數(shù)據(jù)的判定基準的主數(shù)據(jù)而生成的波段進行比較，由此進行裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

比較部313a按構成主數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)點的間隔(例如，1秒)來比較裝置數(shù)據(jù)是否沒有偏離波段，并將比較結果保存到存儲部215h中。比較部313a與偏離波段的數(shù)據(jù)點的數(shù)量無關地，反復進行裝置數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)點與波段的比較直到不再獲取到所指定的裝置數(shù)據(jù)為止。

計數(shù)部313b在由比較部313a針對所設定的裝置數(shù)據(jù)結束了所有數(shù)據(jù)點的比較后，基于保存在存儲部215h中的比較結果來對偏離了波段的點的總數(shù)進行計數(shù)。另外，計數(shù)部313b將裝置數(shù)據(jù)的值、主數(shù)據(jù)的值、與該主數(shù)據(jù)對應的波段(針對主數(shù)據(jù)的上限值及下限值)、以及所計數(shù)得到的計數(shù)值建立關聯(lián)，并作為關聯(lián)數(shù)據(jù)而保存到存儲部215h中。

判定部313c在由計數(shù)部313b計數(shù)得到的計數(shù)值超過預先設定的值的情況下，判定為裝置數(shù)據(jù)異常，在為預先設定的值以下的情況下，判定為裝置數(shù)據(jù)正常。將該判定的結果作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而保存到存儲部215h中。

圖15是fdc監(jiān)視部313所進行的監(jiān)視的流程圖。以下，利用圖15說明fdc監(jiān)視部313進行的監(jiān)視的流程。

在步驟101(s101)中，比較部313a針對被設定為監(jiān)視對象的項目(診斷對象項目)的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))，從存儲部215h讀出裝置數(shù)據(jù)的值。

在步驟102(s102)中，比較部313a使用基于成為判定監(jiān)視對象的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))的基準的主數(shù)據(jù)而生成的波段，對步驟s101中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值與波段進行比較。具體而言，比較裝置數(shù)據(jù)的值是否沒有超過被設定為波段的上限值或下限值。

在比較的結果為裝置數(shù)據(jù)的值落入波段范圍內的情況下，即在裝置數(shù)據(jù)的值為上限值以下且下限值以上的情況下，轉移至步驟103。另一方面，在比較的結果為裝置數(shù)據(jù)的值沒有落入波段范圍內的情況下，即在裝置數(shù)據(jù)的值超過了上限值或者低于下限值的情況下，轉移至步驟104。

在步驟103(s103)中，比較部313a判定在步驟200中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值為正常的正常點，并在存儲部215h中保存比較結果(ok)。

另一方面，在步驟104(s104)中，比較部313a判定在步驟101中獲取的裝置數(shù)據(jù)的值為異常的偏離點，并在存儲部215h中保存比較結果(ng)。

在步驟105(s105)中，比較部313a確認在存儲部215h中是否保存有作為裝置數(shù)據(jù)的下一個數(shù)據(jù)點，在有保存的情況下，轉移到步驟101，在沒有作為裝置數(shù)據(jù)保存的下一個數(shù)據(jù)點的情況下，轉移到步驟106。

在步驟106(s106)中，計數(shù)部313b基于保存在存儲部215h中的比較結果對在步驟104中判定為偏離點的數(shù)量進行計數(shù)。

在步驟107(s107)中，判定部313c對在步驟106中所計數(shù)得到的計數(shù)值和作為預先設定的次數(shù)的閾值進行比較。在計數(shù)值為閾值以下的情況下，轉移到步驟108，在計數(shù)值超過了閾值的情況下，轉移到步驟109。

在步驟108(s108)中，判定部313c判定為裝置數(shù)據(jù)正常，并結束該裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

在步驟109(s109)中，判定部313c判定為裝置數(shù)據(jù)異常，并在操作顯示部227上顯示檢測到異常的主旨，結束該裝置數(shù)據(jù)的監(jiān)視。

此外，在該處理流程中，也可以構成為，將裝置數(shù)據(jù)和比較結果保存到主控存儲部222而非存儲部215h中。

以上，對由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行的fdc之一的波段管理進行了說明，但以往的fdc為u.fdc(userfdc：用戶故障檢測與分類)，著眼于用戶側(器件制造商側)的數(shù)據(jù)為監(jiān)視對象，不適于與襯底處理裝置1的結構部件、例如部件的消耗度有關的監(jiān)視。也就是說，在利用了spc(statisticalprocesscontrol：統(tǒng)計過程控制)的u.fdc中，作為監(jiān)視裝置狀態(tài)的功能而不充分。于是，在本發(fā)明中，開發(fā)了通過獨有的fdc(s.fdc(specialfdc：特殊故障檢測與分類))來監(jiān)視裝置狀態(tài)的技術，因此在以下進行說明。

(mfc(massflowcontroller：質量流量控制器)的零點修正)

作為s.fdc，使用圖16說明對mfc的零點修正的狀態(tài)進行監(jiān)視的實施例。該監(jiān)視由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e執(zhí)行。通過該監(jiān)視，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e求出mfc流量電壓相對于批處理數(shù)的斜度，由此預測應進行零點修正的批次。所謂批次，是指從晶片18被裝填到舟皿26中起，到晶片18在處理室29中被處理后從舟皿26中取出為止。

圖16的縱軸是在mfc中流動的氣體的流量為零時從mfc輸出的流量電壓。該流量電壓表示在mfc中流動的氣體的流量的大小，因此原本必須為零。圖16的橫軸表示裝置1的襯底處理批次數(shù)。裝置1的批處理按照批次no999、998、···3、2、1的順序進行。

如圖16所示，可知mfc流量電壓隨著批處理的反復進行而增大，也就是說可知mfc的零點發(fā)生了偏離。零點修正用于修正該偏離。成為裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的監(jiān)視對象的mfc流量電壓也包含在裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)中。因此，同樣地，表示對該mfc流量電壓與閾值(上限值)進行比較的結果的數(shù)據(jù)包含在裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)中。

在該實施例中，將進行零點修正的mfc流量電壓的閾值(上限值)設為0.05v。另外，成為mfc流量電壓的監(jiān)視對象的僅是裝置1內大量存在的mfc中與襯底的品質有關的mfc。此外，雖然在此沒有記載，但也能夠適用于壓力傳感器的零點修正。

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e在配方開始前的定時和配方執(zhí)行過程中流動于mfc的氣體流量為零的定時，獲取mfc流量電壓并存儲到存儲部215h中，并且將所獲取的流量電壓與閾值進行比較。然后，在所獲取的流量電壓超過了閾值的情況下，作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而將表示監(jiān)視對象的mfc的流量電壓為異常的數(shù)據(jù)存儲到存儲部215h中，并且在配方結束后進行零點修正。此外，也可以構成為，不將mfc流量電壓存儲到存儲部215h中，而是將其存儲到主控存儲部222中。

流動于mfc的氣體流量為零的定時是該mfc的一次側(氣體流動的上游側)開閉閥和二次側(氣體流動的下游側)開閉閥雙方均關閉時。裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e預先計算出在配方執(zhí)行過程中成為mfc流量零的定時、也就是一次側閥和二次側閥均成為關閉的時刻，當來到該時刻時，從mfc獲取mfc流量電壓，并與閾值進行比較。

另外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e構成為，針對一個mfc將一次批處理中獲取的多個mfc流量電壓中最大的流量電壓與閾值進行比較。因此，即使一次超過了閾值的情況下，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e也判定為mfc流量電壓異常，并將表示mfc的流量電壓為異常的數(shù)據(jù)存儲到存儲部215h中。此外，在所獲取的流量電壓沒有達到閾值的情況下，作為裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)將表示監(jiān)視對象的mfc的流量電壓為正常的數(shù)據(jù)存儲到存儲部215h中。

而且，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e針對一個mfc將在一個批處理中獲取的多個mfc流量電壓中最大的流量電壓存儲到存儲部215h中。然后，針對每一批次、或者每多個批次求出mfc流量電壓相對于批次數(shù)(圖16的橫軸)的斜度，并根據(jù)該斜度預測mfc流量電壓達到閾值的批次、也就是應進行零點修正的批次，并將預測結果顯示到操作顯示部227上。例如，如圖16所示的虛線圓圈a那樣顯示。圓圈a表示mfc流量電壓達到閾值的批次。

此外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e也可以不預測mfc流量電壓達到閾值的批次，而僅將圖16所示的圖表的數(shù)據(jù)發(fā)送到畫面顯示控制部215b。在該情況下，基于從裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e接收到的圖表數(shù)據(jù)，畫面顯示控制部215b使圖16所示的圖表顯示到操作顯示部227上。進而，保養(yǎng)員等操作者看到圖表就可判斷應進行零點修正的批次。

裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e對與襯底的品質有關的全部mfc進行這樣的mfc流量電壓監(jiān)視。另外，上述的mfc流量電壓監(jiān)視也可以組入到配方中。

根據(jù)本實施方式中的裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e的裝置狀態(tài)監(jiān)視處理，由于構成為，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e分別使用fdc對多個裝置數(shù)據(jù)(反應室溫度和壓力等)進行基于監(jiān)視對象的裝置數(shù)據(jù)(裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù))的異常診斷，因此能夠實現(xiàn)更為準確的裝置狀態(tài)的監(jiān)視，另外，容易在異常顯現(xiàn)化前的階段掌握異常原因。

另外，裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e構成為不僅能夠利用裝置1的用戶所使用的數(shù)據(jù)異常診斷方法即公知的u.fdc，而且還能夠利用裝置1的制造商獨自創(chuàng)建的數(shù)據(jù)異常診斷方法即s.fdc，因此能夠容易地以更大范圍精密地掌握異常原因。

(數(shù)據(jù)解析控制部215f、報警監(jiān)視控制部)

數(shù)據(jù)解析控制部215f構成為，通過執(zhí)行數(shù)據(jù)解析程序，在發(fā)生了異常(例如，作為制造物的襯底的膜厚異常)時，將用于供保養(yǎng)員解析異常原因的解析數(shù)據(jù)顯示到操作顯示部227上。另外，數(shù)據(jù)解析控制部215f如后述那樣作為報警監(jiān)視控制部而發(fā)揮功能。

(解析支援功能)

在此，使用圖17說明數(shù)據(jù)解析控制部215f所執(zhí)行的解析支援功能的處理流程。

(數(shù)據(jù)接收工序(s121))

首先，數(shù)據(jù)解析控制部215f經(jīng)由通信部215g從操作部201、處理控制部211、搬送控制部212接收表示工藝配方的推進狀況或裝置1的異常狀態(tài)的裝置數(shù)據(jù)(故障信息數(shù)據(jù))，并存儲到存儲部215h中。在所接收的故障信息數(shù)據(jù)中附加有用于對作為數(shù)據(jù)產(chǎn)生源的裝置1的結構部位進行特定的構成特定信息、對在數(shù)據(jù)產(chǎn)生時裝置1所執(zhí)行的配方進行特定的配方特定信息、對數(shù)據(jù)的產(chǎn)生時刻進行特定的數(shù)據(jù)時刻信息、和對異常進行特定的異常特定信息。此外，也可以構成為，代替存儲部215h而使用主控存儲部222。

(驗證項目表的創(chuàng)建工序(s122))

數(shù)據(jù)解析控制部215f在受理包含上述異常特定信息、構成特定信息以及配方特定信息在內的基本信息的輸入后，參照保存在存儲部215h中的結構部位獲取表來獲取與構成特定信息建立了關聯(lián)的結構部位特定信息。接下來，數(shù)據(jù)解析控制部215f參照保存在存儲部215h中的異常解析信息表來提取出與異常特定信息、結構部位特定信息均建立了關聯(lián)的驗證項目特定信息。然后，創(chuàng)建驗證項目表。

(驗證項目表的顯示工序(s123))

然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f使創(chuàng)建的驗證項目表顯示到操作顯示部227上。

(配方特定信息的獲取工序(s124))

接下來，數(shù)據(jù)解析控制部215f受理由保養(yǎng)員通過操作顯示部227對顯示在驗證項目表中的驗證項目特定信息的選擇操作。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f從基本信息獲取配方特定信息。

(從生產(chǎn)歷史信息進行的配方檢索工序(s125))

數(shù)據(jù)解析控制部215f參照生產(chǎn)歷史信息并檢索有無保存在基本信息中的配方特定信息。檢索例如如下進行：從記錄在生產(chǎn)歷史信息中的多個配方中最新的配方朝向過去的配方追溯。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f若從生產(chǎn)歷史信息內檢測到保存在基本信息中的配方特定信息，則分別獲取通過該配方特定信息特定出的配方的開始時刻及結束時刻。

(數(shù)據(jù)讀出工序(s126))

數(shù)據(jù)解析控制部215f將在從獲取的開始時刻到結束時刻的期間產(chǎn)生并與配方特定信息及驗證項目特定信息均建立了關聯(lián)的數(shù)據(jù)作為故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)而從存儲部215h中讀出。

此外，在參照生產(chǎn)歷史信息時，在通過配方特定信息特定出的配方被實施了多次的情況下，數(shù)據(jù)解析控制部215f讀出規(guī)定次數(shù)量(例如從最新的配方起追溯的10次量)的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。即，數(shù)據(jù)解析控制部215f將工序s126反復執(zhí)行規(guī)定次數(shù)量。

(圖表創(chuàng)建、顯示工序(s127))

然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f基于與所讀出的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)建立了關聯(lián)的數(shù)據(jù)時刻信息，以使配方的開始時刻一致且在時序上重合的方式對該數(shù)據(jù)進行圖表化。然后，數(shù)據(jù)解析控制部215f使創(chuàng)建的時序圖表顯示在操作顯示部227上。

本實施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f構成為，參照異常解析信息表，提取出與異常特定信息及結構部位特定信息均建立了關聯(lián)的驗證項目特定信息，并使提取出的驗證項目特定信息顯示，由此創(chuàng)建并顯示驗證項目表。由此，保養(yǎng)員能夠毫無遺漏地知曉進行異常解析所需的驗證項目，能夠準確地進行異常解析。

另外，在驗證項目表中僅記載了與異常特定信息及結構部位特定信息均建立了關聯(lián)的驗證項目特定信息，因此能夠防止保養(yǎng)員進行無需實施的驗證項目，從而能夠避免在異常解析中浪費無謂的時間。

本實施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f受理在驗證項目表中顯示的驗證項目特定信息的選擇操作，從數(shù)據(jù)庫讀出與配方特定信息及驗證項目特定信息均建立了關聯(lián)的數(shù)據(jù)(故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù))，并基于數(shù)據(jù)時刻信息以使配方的開始時刻一致并在時序上重合的方式對所讀出的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)創(chuàng)建時序圖表，且顯示到操作顯示部227上。由此，有助于縮短解析時間以及減輕因保養(yǎng)員的技術差異而導致的解析錯誤。

本實施方式的數(shù)據(jù)解析控制部215f構成為，在創(chuàng)建時序圖表時能夠反復讀出規(guī)定次數(shù)量(例如從最新的配方追溯的10次量)的數(shù)據(jù)。而且，構成為，基于數(shù)據(jù)時刻信息以使配方的開始時刻一致并在時序上重合的方式將所讀出的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)圖表化，由此創(chuàng)建時序圖表并將時序圖表顯示到操作顯示部227上。由此，能夠減輕進行異常解析的保養(yǎng)員的與數(shù)據(jù)獲取有關的作業(yè)負擔。

(實施例1)

接下來，基于圖7所示的畫面顯示程序的處理流程，說明使圖8所示的裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面顯示到操作顯示部227上的處理、以及使用圖9所示的診斷方法項目列表導出對裝置1的運用狀態(tài)進行評價的信息的處理。

另外，在本實施例中構成為，分別使用裝置管理控制器215所具有的4個功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)中的、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)解析控制部215f輸出的故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)來導出表示裝置1的運用狀態(tài)的信息。

首先，執(zhí)行圖7所示的匯總畫面顯示工序(s11)。由此，從存儲部215h讀出例如圖8所示的包含健康檢查視圖(healthcheckview)畫面(異常部位顯示畫面)、供給檢查(supplycheck)畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)、健康概括(healthsummary)畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)、詳細信息(detailinformation)畫面(詳細信息顯示畫面)的圖標文件，并將這些各畫面匯總地顯示在操作顯示部227的畫面上。

接下來，在圖7所示的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，畫面顯示控制部215b根據(jù)圖9所示的診斷方法項目列表的診斷方法項目，根據(jù)需要從存儲部215h獲取數(shù)據(jù)匹配控制部215c、部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e、數(shù)據(jù)解析支援控制部215f各自輸出的診斷結果數(shù)據(jù)(監(jiān)視結果數(shù)據(jù))。以下，即使在沒有特別記載的情況下，也構成為各控制部輸出的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)在每次被輸出時存儲在存儲部215h中。

(詳細信息畫面中的診斷對象項目)

首先，參照圖8對裝置狀態(tài)監(jiān)視的對象進行說明。在詳細信息顯示畫面中，作為裝置1的結構“劃分”而示出了反應室、移載室、裝載室、搬送系統(tǒng)、顧客用力。另外，作為反應室的“模塊”(module)而示出了溫度、壓力、氣體、排氣壓、水。另外，作為移載室的“模塊”而示出了o2(氧氣)濃度、壓力、溫度。另外，作為裝載室的“模塊”而示出了n2(氮氣)排氣量、排氣壓。另外，作為襯底搬送系統(tǒng)的“模塊”而示出了晶片盒開啟器。另外，作為顧客用力的“模塊”而示出了氣體(gas)、壓力、排氣壓、pump、水。

這些“模塊”是部件管理控制部215d和裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e等控制部的監(jiān)視對象、也就是裝置的健康狀態(tài)的診斷對象(穩(wěn)定運轉的評價對象)即診斷對象項目。在圖8的例子中，例如，與作為“結構劃分”的反應室有關的診斷對象是反應室溫度、反應室壓力、向反應室供給的氣體(處理氣體和稀釋氣體等)的流量、將反應室內的氣體排出的排氣壓、向反應室的結構物供給的冷卻水的流量。

作為“結構劃分”的顧客用力的診斷對象項目的氣體、壓力分別是從顧客設備向裝置1供給的氣體(處理氣體和稀釋氣體)的流量、壓力。排氣壓是從裝置1向顧客設備排氣的壓力，水是從顧客設備向裝置1供給的冷卻水的流量。顧客用力(顧客必需能力)是與從裝置用戶供給的項目有關的裝置數(shù)據(jù)，也稱為設備數(shù)據(jù)(效用數(shù)據(jù))(utilitydata)。

如圖8所示，構成為，與顧客用力有關的診斷對象項目與其他診斷對象項目分離并集中地顯示于一處。由此，在產(chǎn)生了裝置異常的情況下，能夠明確地掌握該產(chǎn)生部位是顧客承擔責任的與顧客用力有關的部位、還是裝置制造商承擔責任的部位。

(詳細信息畫面中的診斷方法項目)

接下來，使用圖9說明作為部件管理控制部215d和裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e等控制部診斷裝置數(shù)據(jù)的基準的診斷方法項目列表。診斷方法項目列表具有序號(no)欄、表示診斷方法項目的診斷項目欄、表示診斷方法的內容和診斷的施行方式的診斷方式欄、以及分數(shù)欄(在圖9的例子中示出減分法)。

序號1(no.1)及序號2(no.2)的診斷方法項目(u.fdc、s.fdc)是將裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時變化量的異常與標準數(shù)據(jù)的上限值或下限值或者上限值及下限值進行比較來診斷的項目，由裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e監(jiān)視。fdc是如下技術：持續(xù)進行從裝置1輸出的特性值的監(jiān)視，在檢測到監(jiān)視值(即裝置數(shù)據(jù))有異常的情況下，即監(jiān)視值相對于標準數(shù)據(jù)偏離規(guī)定值以上的情況下，對其結果進行統(tǒng)計處理，由此對異常的種類進行分類，即對異常原因和異常部位進行診斷。

在該fdc中不含有后述的零件(parts)、也就是不含有部件壽命(使用次數(shù)和使用時間)的診斷。由于在通過fdc檢測到異常的情況下，裝置1尚能運轉且不會立即造成制造物的異常，因此不發(fā)出伴隨著蜂鳴器鳴響的報警。

u.fdc是用于檢查裝置1的狀態(tài)是否是能夠繼續(xù)并正常地維持裝置1的制造物(例如進行了成膜的襯底)的品質的狀態(tài)的診斷方法項目。u.fdc是裝置1的用戶創(chuàng)建并使用的診斷方法項目，作為使用了通常的spc(statisticalprocesscontrol：統(tǒng)計過程控制，一種統(tǒng)計方法)的診斷方法是公知的。u.fdc是直接影響到制造物的品質的診斷方法項目，檢查例如反應室的溫度、壓力等。

在u.fdc中，診斷反應室的溫度是否處于預先設定的上限值與下限值之間。在圖9的例子中，u.fdc使用spc的規(guī)則1(超過3σ)來診斷。在u.fdc中，集中于半導體制造領域所需的最低限度的spc項目(例如，反應室的溫度和壓力、襯底移載室的氧濃度等)，用戶僅進行指定配方/步驟/項目(溫度等)的簡單設定即可，因此易于使用。

s.fdc是用于檢查裝置1的結構物(例如開閉閥、加熱器和/或mfc)的狀態(tài)是否處于正常范圍內的診斷方法項目，是裝置1的制造商所創(chuàng)建的診斷方法項目。s.fdc是例如與mfc的零點修正有關的診斷方法，診斷流量零時的mfc的流量電壓是否處于預先設定的上限值與下限值之間。s.fdc是裝置管理控制器215中標準裝備的、該裝置專用的診斷方法項目，由于是該裝置專用的，所以由適合該裝置的監(jiān)視內容構成。用戶能夠切換地設定s.fdc的診斷方法項目的有效、無效來使用，但不能改變診斷的內容。

序號3(no.3)的零件(parts)是裝置1的制造商創(chuàng)建并使用的診斷方法項目，是用于通過對與構成裝置1的部件壽命相關聯(lián)的部件數(shù)據(jù)(使用時間、使用次數(shù)等)和部件生產(chǎn)商的推薦值進行比較來診斷部件的保養(yǎng)時期的項目。例如，將使用次數(shù)達到部件生產(chǎn)商的推薦值的時期診斷為保養(yǎng)時期。另外，也可以構成為，基于至此為止的實際使用情況，將使用次數(shù)達到部件生產(chǎn)商的推薦值的90％或者120％的時期診斷為保養(yǎng)時期。像這樣，基于部件生產(chǎn)商的推薦值來判斷保養(yǎng)時期。

零件由部件管理控制部215d監(jiān)視。部件管理控制部215d在判斷為使用次數(shù)達到了部件的保養(yǎng)時期時判定為異常，并作為保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)存儲到存儲部215h中。然而，即使在部件管理控制部215d檢測到基于零件導致的異常的情況下，由于該異常不會立即造成制造物的異常，因此部件管理控制部215d也不會發(fā)出伴隨著蜂鳴器鳴響的報警。

零件的對象主要是空氣閥、氣缸、馬達驅動器等驅動系統(tǒng)的部件，例如對驅動系統(tǒng)的部件的使用次數(shù)進行計數(shù)并同時監(jiān)視其是否達到制造商推薦值(閾值)。作為診斷方法項目的零件在裝置1的設置時組入到裝置管理控制器215中，在用戶沒有意識到的情況下自動地進行管理。

序號4(no.4)的報警(alarm)是基于裝置1不能運轉那樣的異常信息(故障信息)的產(chǎn)生次數(shù)來診斷裝置1的狀態(tài)的診斷方法項目。另外，報警構成為不與上述序號1～3的u.fdc、s.fdc、零件重疊(也就是說，涉及與序號1～3的u.fdc、s.fdc、零件不同的異常)，另外，構成為僅對特定的故障進行判定，并將因同一原因導致的故障信息的重復排除在外。

報警伴隨著蜂鳴器鳴響而發(fā)出，例如，在襯底搬送時襯底沒有載置在舟皿26的規(guī)定位置的情況下，傳感器檢測到異常而由此發(fā)出報警。另外，例如，當反應室溫度在襯底處理開始時沒有上升到規(guī)定溫度的情況下，傳感器檢測到異常而由此發(fā)出報警。另外，例如，在移載室23的門沒有關閉的情況下，傳感器檢測到異常而由此發(fā)出報警。

報警由裝置管理控制器215以外的裝置1的控制器(操作部201、搬送控制部211、處理控制部212等)監(jiān)視，若檢測到異常，蜂鳴器就鳴響，向數(shù)據(jù)解析控制部215f通知故障信息數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)解析控制部215f基于接收到的故障信息數(shù)據(jù)，如圖8示出的詳細信息顯示畫面所示那樣，通過對象部位的類別(結構劃分和模塊)對在裝置1中產(chǎn)生的故障信息數(shù)據(jù)進行分類，監(jiān)視每個類別的產(chǎn)生傾向。

該功能在裝置1的設置時組入在裝置管理控制器215中，在用戶沒有意識到的情況下自動地進行管理。像這樣，數(shù)據(jù)解析控制部215f作為對裝置1的故障信息數(shù)據(jù)的產(chǎn)生狀況進行監(jiān)視的報警監(jiān)視控制部而發(fā)揮功能。

此外，也可以構成為，基于報警的故障信息數(shù)據(jù)的監(jiān)視由數(shù)據(jù)解析控制部215f以外的控制部進行。

(供給檢查畫面中的診斷對象項目的診斷)

數(shù)據(jù)匹配控制部215c在裝置1的襯底處理開始前，對在供給狀態(tài)顯示畫面中顯示的診斷對象項目進行診斷。在此，襯底處理開始前也包含裝置交付后的啟動時等的、襯底向裝置內的投入前以及襯底的搬送時。

在圖8所示的供給狀態(tài)顯示畫面中，原料氣體(圖8中表示為前驅物(precursor))、冷卻水(圖8中表示為冷卻水流量(coolingwterfliow))、向反應室的n2氣體供給量(圖8中表示為ltp(lowtemperaturepurge)purge&blower：低溫吹掃)、排氣量(圖8中表示為排出(exhaust))、真空泵的排氣量(圖8中表示為泵(pump))、向移載室的n2氣體流量(圖8中表示為風扇(fan))這6個項目是診斷對象項目。這6個項目是設備數(shù)據(jù)，其一部分與上述詳細信息顯示畫面的顧客用力的“模塊”、即診斷對象項目重合。

數(shù)據(jù)匹配控制部215c將顧客用力確認用的初始值表中示出的基準值或者將主裝置1(0)的當前的實測值設定為基準數(shù)據(jù)。例如，在裝置1的處理開始前，對與圖8所示的診斷對象項目對應的設備數(shù)據(jù)與基準數(shù)據(jù)分別進行比較。各個項目的實測值與基準數(shù)據(jù)(顧客用力確認用的初始值表中示出的基準值或主裝置1(0)的實測值)進行比較，數(shù)據(jù)匹配控制部215c根據(jù)相對于實測值的偏離情況來判定為異常。

畫面顯示控制部215b構成為，針對每個診斷對象項目從存儲部215h獲取與u.fdc、s.fdc、零件、報警有關的各診斷結果數(shù)據(jù)。例如，如果為反應室溫度，則獲取針對縱型反應室內的各區(qū)域(例如，u(上)區(qū)域、cu(中上)區(qū)域、cl(中下)區(qū)域、l(下)區(qū)域)的設定值(設定溫度)、當前值等與溫度有關聯(lián)的裝置數(shù)據(jù)的診斷結果數(shù)據(jù)(u.fdc、s.fdc、零件、報警)。

在此，與u.fdc、s.fdc有關的診斷結果數(shù)據(jù)是裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，與零件(部件管理)有關的診斷結果數(shù)據(jù)是保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，與報警(故障信息管理)有關的診斷結果數(shù)據(jù)是故障信息監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。

另外，獲取在供給狀態(tài)顯示畫面中使用的診斷結果數(shù)據(jù)。該診斷結果數(shù)據(jù)是如上述那樣對與來自顧客的用力有關的設備數(shù)據(jù)和基準數(shù)據(jù)進行比較得到的結果數(shù)據(jù)，是與作為診斷對象項目的、氣體(gas)、壓力、排氣壓、泵(pump)、水、前驅物、冷卻水流量、低溫吹掃、排出、泵、風扇有關的數(shù)據(jù)。該與來自顧客的用力有關的設備數(shù)據(jù)的診斷結果數(shù)據(jù)是用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，執(zhí)行在s12中獲取的診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分。在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，關于診斷對象項目，判定診斷結果數(shù)據(jù)是正常還是異常，以及異常到何種程度。

(對詳細信息畫面的診斷對象項目的判定)

在對詳細信息顯示畫面的診斷對象項目的判定中，針對各診斷對象項目進行各診斷結果數(shù)據(jù)(與u.fdc、s.fdc、零件、報警有關的診斷結果數(shù)據(jù))的判定和給分。

例如，在診斷對象項目為反應室溫度的情況下，畫面顯示控制部215b針對反應室溫度，使用從裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e接收并存儲在存儲部215h中的診斷結果數(shù)據(jù)，按照圖9的分數(shù)欄的減分法對診斷結果數(shù)據(jù)進行判定并給分。

具體而言，畫面顯示控制部215b在圖9所示的診斷方法項目列表中，將異常數(shù)據(jù)為2件以上的情況判定為異常大(×)，從滿分(100分)減去在圖9的分數(shù)欄的“×”欄中定義的分數(shù)。另外，將異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù))為1件的情況判定為異常小(△)，從滿分減去在圖9的“△”欄中定義的分數(shù)。另外，將沒有異常數(shù)據(jù)的情況判定為正常(○)，為滿分。

另外，畫面顯示控制部215b在原本沒有成為診斷對象的情況、沒有獲取到與診斷對象項目相關聯(lián)的診斷結果數(shù)據(jù)等不存在成為判定對象的診斷結果數(shù)據(jù)的情況下，判定為數(shù)據(jù)判定對象外(―)。判定結果和給分結果存儲在存儲部215h中。

在圖8的例子中，首先進行與反應室溫度項目有關的診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分。關于反應室溫度項目，即使只有一個表示異常的診斷方法項目，也將反應室溫度數(shù)據(jù)判定為異常。另外，將針對與反應室溫度數(shù)據(jù)有關的所有診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)而沒有異常產(chǎn)生的情況判定為正常。

當針對與反應室溫度項目有關的診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分結束時，對下一個診斷對象項目(例如反應室壓力)，同樣地針對與反應室壓力有關的各診斷方法項目進行診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分。如此，針對與所有診斷對象項目有關的各診斷方法項目，進行診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分(也就是健康狀態(tài)的量化)。

(詳細信息畫面和健康概括畫面的給分處理)

在此，詳細說明詳細信息顯示畫面和健康狀態(tài)概要顯示畫面的給分處理。在該處理中，通過畫面顯示控制部215b進行接下來的s201～s205所示那樣的給分。

(s201)

首先，針對反應室溫度項目，計算并合計出u.fdc、s.fdc、零件、報警各自的負分數(shù)。在圖8的例子中，針對s.fdc，由于2件以上的數(shù)據(jù)為異常(×)，因此s.fdc的負分數(shù)為30分(參照圖9)。

另外，針對零件，由于1件數(shù)據(jù)為異常(△)，因此零件的負分數(shù)為10分。u.fdc和警報為無負分數(shù)。因此，針對反應室溫度項目，負分數(shù)的合計為40分，分數(shù)(score)為60分(100-40)。

(s202)

對所有診斷對象項目、即詳細信息畫面的所有模塊(從圖8所示的反應室的溫度到顧客用力的水為止)實施該判定和計算，獲取針對所有診斷對象項目的分數(shù)，并存儲到存儲部215h中。

(s203)

接下來，計算出對所有診斷對象項目統(tǒng)計的、各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)各自的負分數(shù)的合計，并存儲到存儲部215h中。

例如，針對u.fdc，計算所有診斷對象項目(反應室的溫度～顧客用力的水)的負分數(shù)的合計。在圖8的例子中，針對反應室排氣壓項目而1件數(shù)據(jù)為異常(△)，針對顧客用力的排氣壓項目而1件數(shù)據(jù)為異常(△)，因此u.fdc的負分數(shù)的合計為30分。

同樣地，計算出s.fdc的負分數(shù)的合計、零件的負分數(shù)的合計、報警的負分數(shù)的合計。在圖8的例子中，s.fdc的負分數(shù)為30分，零件的負分數(shù)為20分，報警的負分數(shù)為5分。

(s204)

接下來，針對與各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)有關的負分數(shù)，分別計算出當天的當前值、當天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個月的平均值，并存儲到存儲部215h中。最近一周的平均值是在一周內對1日量的平均值(或者最大值)進行平均而得到的值，最近一個月的平均值是在一個月內對1日量的平均值(或者最大值)進行平均而得到的值。

(s205)

接下來，針對與各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)有關的負分數(shù)，對各自的當天的當前值進行合計，并從滿分(100分)減去該合計值，由此計算出裝置1的健康指數(shù)(裝置的綜合運用狀態(tài)的評價指數(shù))。在圖8的例子中，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示了健康指數(shù)為95分。此外，該95分是一個例示，應注意與詳細信息顯示畫面的分數(shù)并不一致。

此外，在實施例1中，通過異常數(shù)據(jù)的個數(shù)來劃分為“△”、“×”，但不限于該方式，也可以構成為，即使異常為1件以上，也為“×”，即使表示接近異常的警告為1件以上，也定義為“△”。

另外，在上述的說明中，在s203中，計算出各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)各自的負分數(shù)的合計，并存儲在存儲部215h中，但也可以構成為，計算出各診斷方法項目的分數(shù)(100分-負分數(shù))的合計，并存儲到存儲部215h中。

另外，在上述說明中，在s204中，針對與各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)有關的負分數(shù)，分別計算出當天的當前值、當天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個月的平均值，并存儲在存儲部215h中，但也可以構成為，針對各診斷方法項目的分數(shù)(100分-負分數(shù))，分別計算出當天的當前值、當天量的平均值、最近一周的平均值、最近一個月的平均值，并存儲到存儲部215h中。

(對供給檢查畫面的診斷對象項目的判定)

另外，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定在供給狀態(tài)顯示畫面中使用的診斷結果數(shù)據(jù)。即，判定各個診斷對象項目的襯底處理開始時的實測值相對于初始值表中所示的基準值或主裝置的值是否超過了規(guī)定的閾值(例如±3％)。

在圖8的例子中，針對冷卻水流量，裝置1的處理開始時的值相對于初始值表所示的基準值超出了±3％的情況(用a表示)被判定為2件，針對低溫吹掃，裝置1的處理開始時的值相對于主裝置的值超過了±3％的情況(用b表示)被判定為1件，針對排出，裝置1的處理開始時的值相對于初始值表所示的基準值超過了±3％的情況(用a表示)被判定為1件。

(判定結果顯示工序：s14)

接下來，在判定結果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b從存儲部215h讀出數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結果和給分結果，更新并顯示圖8所示的詳細信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面。

(詳細信息畫面的更新)

在詳細信息顯示畫面的更新中，針對與各診斷對象項目有關的各診斷方法項目欄(u.fdc、s.fdc、零件、報警)的診斷結果數(shù)據(jù)，在詳細信息畫面的各診斷方法項目欄(u.fdc、s.fdc、零件、報警)中，將正常的情況顯示為“○”，將判定為2件以上異常的情況顯示為“×”，將判定為1件異常的情況顯示為“△”，將不存在成為判定對象的診斷結果數(shù)據(jù)的情況顯示為“―”。另外，在詳細信息顯示畫面的分數(shù)欄中顯示與各診斷對象項目有關的分數(shù)。

詳細而言，在與u.fdc和s.fdc有關的診斷結果數(shù)據(jù)判定為無異常(無異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“○”，在1件裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)判定為有異常(有異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“△”，在2件以上裝置狀態(tài)監(jiān)視數(shù)據(jù)判定為有異常(有異常數(shù)據(jù))的情況下顯示“×”。由此，能夠容易地掌握與u.fdc、s.fdc有關的異常狀態(tài)。

另外，在與零件有關的診斷結果數(shù)據(jù)判定為無異常(沒有超過閾值)的情況下顯示“○”，在1件部件數(shù)據(jù)判定為有異常(超過閾值)的情況下顯示“△”，在2件以上部件數(shù)據(jù)判定為有異常(超過閾值)的情況下顯示“×”。由此，能夠容易地掌握與部件壽命有關的異常狀態(tài)。

另外，關于與報警有關的診斷結果數(shù)據(jù)，在沒有故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“○”，在有1件故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“△”，在有2件以上故障信息數(shù)據(jù)的情況下顯示“×”。在故障信息數(shù)據(jù)的標識符(id)相同的情況下，與報警的產(chǎn)生數(shù)無關地診斷為產(chǎn)生了1件故障。由此，能夠容易地掌握與故障信息產(chǎn)生狀態(tài)有關的異常狀態(tài)。

另外，在詳細信息顯示畫面中，“×”顯示為紅色、“△”顯示為黃色，分色地進行顯示。對于分數(shù)欄也是，若分數(shù)不足100分且為80分以上則顯示黃色，若不足80則顯示紅色，分色地進行顯示。

此外，在詳細信息顯示畫面中，構成為，若點擊顯示為“×”或“△”的單元，則畫面顯示控制部215b進而顯示診斷對象項目的詳細信息。由此，例如，在診斷對象項目為反應室溫度的情況下，可知曉反應室的哪個部分(上層、中層、下層等)的溫度成為異常的原因。

(健康檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b也可以構成為，顯示裝置1的整體圖，并且為了能夠辨別包含被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù)的單元(在圖8中示出為結構劃分)和項目(在圖8中示出為模塊)、即被判定為異常的裝置1的結構部位是異常的，而進行標記或著色，來更新并顯示異常部位顯示畫面。在圖8的例子中，在裝置1的整體立體圖中，反應室單元(圖中的a)被以紅色著色來顯示。另外，適當設定異常的辨別顯示，以使得在例如fdc、零件、報警等診斷方法項目的各自中異常有2個以上的情況、分數(shù)欄的分數(shù)在規(guī)定分數(shù)以下的情況下進行異常的辨別顯示。

(健康概括畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b構成為，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示當天或過去一周或過去一個月的與u.fdc、s.fdc、零件、報警有關的健康狀態(tài)的變化。在圖8的例子中，畫面顯示控制部215b關于各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)如上述那樣分別計算出當天的分數(shù)、最近一周的分數(shù)的平均值、最近一個月的分數(shù)的平均值，并通過柱狀圖顯示在健康狀態(tài)概要顯示畫面上。柱狀圖的縱軸是用于比較的相對值，縱軸的0～4相當于分數(shù)的0～100。

該健康狀態(tài)是從滿分(100分)減去當天或過去一周或過去一個月的u.fdc、s.fdc、零件、報警的負分數(shù)而得到的。由此，操作者針對各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)能夠容易地掌握當天的裝置健康狀態(tài)、最近一周的健康狀態(tài)、最近一個月的健康狀態(tài)。

此外，也可以構成為，通過柱狀圖在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示當天或過去一周或過去一個月的u.fdc、s.fdc、零件、報警的件數(shù)和/或負分數(shù)。由此，能夠容易地掌握u.fdc、s.fdc、零件、報警各自的異常狀態(tài)變化。

另外，畫面顯示控制部215b構成為，將表示裝置的健康狀態(tài)的健康指數(shù)更新并以數(shù)值顯示到健康狀態(tài)概要顯示畫面上。在圖8的例子中，在健康狀態(tài)概要顯示畫面的右上部顯示為“95分”。該健康指數(shù)如上述的s205中所示那樣是集合了各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警、分數(shù))的綜合分數(shù)。

由此，操作者能夠簡單且一目了然地掌握當天的裝置健康狀態(tài)。此外，也可以不用數(shù)字而是通過包含過去幾周量或幾日量的柱狀圖等來顯示健康指數(shù)。若像這樣進行顯示，則容易知曉例如最近一周的裝置健康狀態(tài)的推移。另外，也可以構成為，若該健康指數(shù)為規(guī)定的閾值以下，則為了使裝置1的健康狀態(tài)得到確認，而使裝置1的蜂鳴器鳴響來發(fā)出警報。

(供給檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的、與作為診斷對象項目的前驅物、冷卻水流量、低溫吹掃、排出、泵、風扇有關的設備數(shù)據(jù)的診斷結果數(shù)據(jù)，更新并顯示供給狀態(tài)顯示畫面。此時，畫面顯示控制部215b以設備數(shù)據(jù)中的被診斷為異常的診斷結果數(shù)據(jù)的數(shù)量來顯示表示異常產(chǎn)生的圖標。

例如，當上述診斷對象項目的實測值相對于初始值表所示的基準值超過±3％而不同時，使供給狀態(tài)顯示畫面的相應項目對應地顯示表示該主旨的圖標a。另外，當各個診斷對象項目的實測值相對于主裝置的值超過±3％而不同時，使供給狀態(tài)顯示畫面的相應項目對應地顯示表示該主旨的圖標b。圖標a和圖標b是將例如將感嘆號圖形化而得到的，通過使其顏色不同而能夠彼此識別地顯示。在圖8的例子中，圖標a和圖標b分別用a和b表示。

像這樣，在判定結果顯示工序(s14)中構成為，畫面顯示控制部215b基于在診斷結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結果和給分結果來對匯總畫面顯示工序(s11)中獲取的各畫面文件進行加工并顯示。

在本實施例中，畫面顯示控制部215b構成為顯示圖8所示的匯總畫面，但圖8的圖示例只不過是用于示出說明本發(fā)明的一例。

例如，在供給狀態(tài)顯示畫面中作為設備數(shù)據(jù)而定義了6個項目，但不限于該方式。另外，詳細信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面也同樣地不限于本實施方式。例如，在詳細信息顯示畫面中，單元(在圖8中表示為結構劃分)和項目(在圖8中表示為模塊)可任意設定。另外，也能夠構成為，在將顧客用力從裝置1的健康診斷中排除那樣的情況下，從詳細信息顯示畫面中除去作為結構劃分的顧客用力。

此外，在圖8的例子中，顯示了異常部位顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、詳細信息顯示畫面共計4個畫面，但也可以構成為顯示這4個畫面中的任一個畫面，或者也可以構成為顯示這4個畫面中的任意多個畫面。

根據(jù)實施例1中的畫面顯示控制部215b的畫面顯示處理，起到以下所示的一個或多個效果。

根據(jù)實施例1，由于構成為，畫面顯示控制部215b在健康狀態(tài)概要顯示畫面上針對各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc、零件、報警)的每一個顯示分數(shù)或負分數(shù)或者異常件數(shù)，因此能夠針對各診斷方法項目的每一個容易地掌握當天的裝置健康狀態(tài)、最近一周的裝置健康狀態(tài)、最近一個月的裝置健康狀態(tài)。

根據(jù)實施例1，由于構成為，畫面顯示控制部215b在詳細信息顯示畫面上對多個診斷對象項目分別顯示基于裝置數(shù)據(jù)進行異常診斷的診斷方法項目(fdc)的診斷結果、與構成裝置1的部件的使用時間或使用次數(shù)有關的診斷方法項目(零件)的診斷結果、和與裝置1的報警(故障信息)的產(chǎn)生次數(shù)有關的診斷方法項目(警報)的診斷結果，因此能夠容易地掌握針對各個診斷對象項目的各診斷方法項目的診斷結果。

而且，由于構成為，畫面顯示控制部215b對各診斷對象項目顯示表示健康度(正常度)的分數(shù)，因此能夠容易地掌握相對于各個診斷對象項目的健康度。

(實施例2)

接下來，基于圖7所示的畫面顯示程序的處理流程分別說明使圖18所示的裝置1的運用狀態(tài)的匯總畫面顯示到操作顯示部227上的處理、以及使用圖18所示的診斷對象項目導出對裝置1的運用狀態(tài)進行評價的信息的處理。在此，在實施例2中，圖9中的診斷方法與實施例1相同。除此以外，對與實施例1重復的部分適當省略，以下說明實施例2。

在本實施例中，構成為，基于裝置管理控制器215所具有的4個功能(數(shù)據(jù)匹配、部件管理、裝置狀態(tài)監(jiān)視、數(shù)據(jù)解析支援)中的、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，來導出表示裝置1的運用狀態(tài)的信息。

首先，執(zhí)行圖7所示的匯總畫面顯示工序(s11)。由此，從存儲部215h讀出包含健康檢查視圖畫面(異常部位顯示畫面)、供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)、健康概括畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)、總分表畫面(詳細信息顯示畫面)、參數(shù)匹配畫面(文件核對比較顯示畫面)在內的圖標文件，且將各畫面例如如圖18所示那樣一并顯示在操作顯示部227的畫面上。

總分表畫面(詳細信息顯示畫面)是與實施例1的詳細信息畫面(詳細信息顯示畫面)相同的診斷對象項目，另外，診斷方法(u.fdc、s.fdc、零件)也相同，只是畫面名稱不同。此外，在圖18中作為結構劃分而僅有反應室，但能夠通過未圖示的滾動部分進行滾動而在畫面上顯示其他診斷對象項目。

另外，供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)作為項目僅追加了類別(圖18中記載為類別(category))和診斷結果(圖18中記載為檢查狀態(tài)(checkstatus))，診斷對象項目相同。此外，該供給檢查畫面(供給狀態(tài)顯示畫面)也能夠通過未圖示的滾動部分進行滾動來在畫面上顯示其他診斷對象項目。

另外，健康概括畫面(健康狀態(tài)概要顯示畫面)僅有與實施例1同樣地顯示對裝置的綜合運用狀態(tài)進行評價的信息的部分，為簡潔的畫面，健康檢查視圖畫面(異常部位顯示畫面)是與實施例1同樣的畫面。

參數(shù)匹配(parametermatching)畫面(文件核對比較顯示畫面)是利用將數(shù)據(jù)匹配控制部215c進行了后述文件匹配的結果(匹配率)保存到裝置1的各控制器(控制部)中的文件來顯示的畫面。此外，該文件匹配的結果與表示裝置1的運用狀態(tài)的信息的量化無關。在此，ou表示操作部201，robo表示搬送控制部211，pmc表示處理控制部212，system表示裝置管理控制器215。

接下來，在圖7所示的監(jiān)視結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中，與參數(shù)匹配畫面(文件核對比較顯示畫面)以外的畫面文件有關的數(shù)據(jù)獲取與實施例1相同，因此省略記載。

在本實施例中，構成為，畫面顯示控制部215b根據(jù)需要從存儲部215h獲取由數(shù)據(jù)匹配控制部215c進行的文件匹配的結果。

(工具匹配功能)

接下來，使用圖10～圖12對由數(shù)據(jù)匹配控制部215c進行的工具匹配(toolmatching)功能進行說明。

在本實施方式中，重復裝置直接與主裝置通信，通過從主裝置獲取所需數(shù)據(jù)的方式，實現(xiàn)了不依賴于管理裝置和作為上級計算機之一的主機計算機，通過重復裝置本身就能夠使重復裝置與主裝置匹配的工具匹配。

如圖10所示，能夠在重復裝置、例如重復裝置1(2)的主控存儲部222中設定作為初始信息的主裝置1(0)的名稱及ip地址(internetprotocoladdress：互聯(lián)網(wǎng)通信協(xié)議地址)。該主裝置1(0)的名稱及ip地址例如由作業(yè)員通過重復裝置1(2)的操作顯示部227來設定，但也可以構成為從主裝置1(0)向重復裝置1(2)分發(fā)。在與主裝置1(0)的連接中使用ip地址和名稱這兩個信息的理由在于，設置成在與主裝置1(0)之間確立了基于ip地址實現(xiàn)的通信連接之后，再核對裝置名稱的結構。由此，能夠防止因ip地址設定錯誤導致的誤連接，能夠使作業(yè)員在不用意識到主裝置的情況下進行匹配(數(shù)據(jù)匹配)作業(yè)。

在圖10所示的數(shù)據(jù)匹配控制中，包含重復裝置1(2)的裝置1的數(shù)據(jù)匹配控制部215c從主裝置1(0)的主控存儲部222讀出配方文件和參數(shù)文件并將其保存到裝置1的主控存儲部222中，來進行文件匹配。

在文件匹配中，復制主裝置1(0)的配方文件來作為裝置1的配方文件，并進行主裝置1(0)的參數(shù)文件與裝置1的參數(shù)文件之間的比較、核對。

此外，也可以構成為不將從主裝置1(0)接收到的配方文件和參數(shù)文件保存到主控存儲部222中，而將其保存到裝置1的存儲部215h中，來進行文件匹配。

不復制參數(shù)文件而是進行比較的理由在于，在交付裝置1的初號機以后，在運用裝置1的過程中用戶獲取最佳的參數(shù)，并將其作為技術訣竅(know-how)來進行管理。在沒有這種情形的情況下，也可以構成為不對參數(shù)文件進行比較，而與配方文件同樣地進行復制。相反，也能夠構成為，不復制配方文件而是對其進行比較。

在進行數(shù)據(jù)匹配控制(工具匹配)時，如圖11所示那樣，在操作顯示部227上顯示與主裝置1(0)之間的文件匹配(配方文件從主裝置1(0)復制，參數(shù)文件與主裝置1(0)進行比較)的進度表。由此，作業(yè)員能夠容易地知曉配方文件的復制和參數(shù)的比較作業(yè)的進度狀況，還能夠容易地再次開始進行配方文件的復制和參數(shù)的比較作業(yè)。

在圖11的例子中，從主裝置1(0)的相應配方文件復制配方文件1(配方1)～配方文件10(配方10)，并將重復裝置1(2)的參數(shù)文件1(參數(shù)1)～參數(shù)文件11(參數(shù)11)與主裝置1(0)的相應參數(shù)文件進行比較。

例如，針對配方文件1，在文件總數(shù)200中正常復制了的文件數(shù)為160，正常復制了的比率(匹配率)為80％。在配方文件1的“匹配率”的欄中，從左側按順序以柱狀圖顯示正常復制了的比率(在圖中為右斜的陰影線圖案)、復制失敗的比率(在圖中為點狀圖案)、不可復制的比率(在圖中為左斜的陰影線圖案)、復制未完成的比率(在圖中為白底圖案)。

此外，在實際的畫面中，優(yōu)選正常復制了的比率用藍色顯示、復制失敗的比率用黃色顯示、不可復制的比率用紅色顯示、復制未完成的比率用白色顯示等，分色進行顯示。

不可復制是例如在工藝配方的情況下在復制目的地的裝置1中不存在組合文件時產(chǎn)生的。復制未完成是作業(yè)員中斷復制時等產(chǎn)生的。在不可復制和復制未完成的情況下，在消除了不可復制等的原因之后，通過進行規(guī)定的操作、例如在操作顯示部227的畫面上點擊“匹配率”欄的未完成區(qū)域，能夠再次開始復制。

針對其他配方文件2～10，也以與配方文件1同樣的方式，用柱狀圖顯示“匹配率”欄。并且，作為表示配方文件整體(配方文件1～10)的匹配率的綜合匹配率，在“文件”欄中顯示85％。

另外，例如，針對參數(shù)文件1，文件總數(shù)244中的、比較結果為正常(也就是文件內容相同)的文件數(shù)為231，比較結果為正常的比率(匹配率)為大約95％。在參數(shù)文件1的“匹配率”欄中，從左側按順序用柱狀圖顯示比較結果為正常的比率(在圖中為右斜的陰影線圖案)、比較結果為異常的比率(在圖中為左斜的陰影線圖案)。

針對其他參數(shù)文件2～11也以與參數(shù)文件1同樣的方式，用柱狀圖顯示“匹配率”欄。并且，作為表示參數(shù)文件整體(參數(shù)文件1～11)的匹配率的綜合匹配率，在“參數(shù)”欄中顯示92％。

另外，如在參數(shù)文件9的柱狀圖中標示的箭頭所示那樣，在比較結果為異常的情況下，通過在操作顯示部227的畫面上點擊柱狀圖的異常部分區(qū)域，能夠詳細地顯示參數(shù)文件的不同點。

圖12是本實施方式的文件匹配的處理流程圖。該處理流程由數(shù)據(jù)匹配控制部215c執(zhí)行。

首先，進行第一個配方文件的復制(圖12的步驟s21)。在該配方文件為不可復制的情況下(s22中為“是”)，將紅色顯示標志設為on(s23)，并轉移到步驟s27。在為可復制的情況下(s22中為“否”)，檢查復制是否失敗，在復制失敗的情況下(s24中為“是”)，將黃色顯示標志設為on(s25)，并轉移到步驟s27。在復制沒有失敗的情況下(s24中為“否”)，將藍色顯示標志設為on(s26)，并轉移到步驟s27。

在步驟s27中，檢查是否所有配方文件的復制均已結束。在所有配方文件的復制尚未結束的情況下(s27中為“否”)，返回到s21，進行下一個配方文件的復制。

在所有配方文件的復制均已結束的情況下(s27中為“是”)，進行第一個參數(shù)文件的比較(s28)。在該參數(shù)文件中存在不同點的情況下(s29中為“是”)，將紅色顯示標志設為on(s30)，轉移到步驟s32。在不存在不同點的情況下(s29中為“否”)，將藍色顯示標志設為on(s31)，并轉移到步驟s32。

在步驟s32中，檢查是否所有參數(shù)文件的比較均已結束。在所有參數(shù)文件的比較尚未結束的情況下(s32中為“否”)，返回到s28，進行下一個參數(shù)文件的比較。

在所有參數(shù)文件的比較均已結束的情況下(s32中為“是”)，使圖11所示的匹配進度畫面顯示到操作顯示部227的畫面上。此時，對于藍色顯示標志、紅色顯示標志、黃色顯示標志為on的文件，分別用藍色、紅色、黃色顯示圖11的匹配率欄。另外，對于未完成的文件，用白色顯示圖11的匹配率欄。之后，結束本處理。

另外，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在上述數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理結束(s32中為“是”)時，將包含表示匹配率的綜合匹配率在內的匹配處理后的全部結果存儲到存儲部215h中。

根據(jù)本實施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c進行裝置1的文件與主裝置的文件之間的復制和比較，因此能夠提高裝置1的文件的可靠度。

根據(jù)本實施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c顯示文件的不可復制、復制失敗、復制未完成、有無不同點，因此能夠容易地掌握不可復制、復制失敗、復制未完成、有無不同點。

根據(jù)本實施方式中的數(shù)據(jù)匹配控制部215c的匹配處理，由于構成為，數(shù)據(jù)匹配控制部215c在表示所顯示的文件的不同點的部分被點擊時顯示詳細信息，因此能夠容易地掌握文件不同點的詳細內容。

此外，本實施方式中的畫面顯示控制部215b構成為，從存儲部215h獲取基于數(shù)據(jù)匹配控制部215c進行的對全部文件進行了匹配的綜合匹配率，并顯示文件核對比較顯示畫面的匹配率(matchingrate)。

接下來，執(zhí)行數(shù)據(jù)判定工序(s13)，進行在s12中獲取的診斷結果數(shù)據(jù)的判定和給分。與實施例1同樣地，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，關于診斷對象項目，判定診斷結果數(shù)據(jù)是正常還是異常、以及異常到何種程度。

(對總分表畫面的診斷對象項目的判定)

在對詳細信息顯示畫面的診斷對象項目的判定中，針對各診斷對象項目進行各診斷結果數(shù)據(jù)(與u.fdc、s.fdc、零件有關的診斷結果數(shù)據(jù))的判定。

具體而言，畫面顯示控制部215b在關于u.fdc、s.fdc的診斷結果數(shù)據(jù)中，在異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù))為5件以上的情況下，判定為異常大(×)，另外，在異常數(shù)據(jù)為1件到4件的情況下，判定為異常小(△)，另外在沒有異常數(shù)據(jù)的情況下，判定為正常(○)。此外，對一件異常數(shù)據(jù)分配的分數(shù)為1分。

另外，畫面顯示控制部215b在原本沒有成為診斷對象的情況、沒有獲取與診斷對象項目有關聯(lián)的診斷結果數(shù)據(jù)等不存在成為判定對象的診斷結果數(shù)據(jù)的情況下，判定為數(shù)據(jù)判定對象外(―)。以后，存在×是錯誤圖標、△是警告圖標、○正常圖標、―是除外圖標的情況。此外，判定結果和給分結果存儲在存儲部215h中。關于給分結果將在后敘述。

另外，畫面顯示控制部215b構成為將判定的結果顯示在詳細信息顯示畫面上，在圖18的例子中，表示通過圖9所示的u.fdc對與項目(模塊)的舟皿有關的裝置數(shù)據(jù)進行診斷的結果為，異常數(shù)據(jù)為1件。也就是說，在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示了99(100-1)，因此將異常數(shù)據(jù)的個數(shù)推測為1個。

接下來，畫面顯示控制部215b構成為，在關于零件(部件管理)的診斷結果數(shù)據(jù)中判定異常數(shù)據(jù)的程度。畫面顯示控制部215b在異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù))為20件以上的情況下，判定為異常大(×)，另外，在異常數(shù)據(jù)為1件到19件的情況下判定為異常小(△)，另外在沒有異常數(shù)據(jù)的情況下判定為正常(○)。此外，在圖18的例子中，由于為數(shù)據(jù)判定對象外，因此在所有項目中顯示除外圖標(―)。

此外，對于異常數(shù)據(jù)為1件到4件的情況分配的分數(shù)為1分，對于異常數(shù)據(jù)為5件到9件的情況分配的分數(shù)為2分，對異常數(shù)據(jù)為10件到14件的情況分配的分數(shù)為3分，對異常數(shù)據(jù)為15件到19件的情況分配的分數(shù)為4分?？傊瑯嫵蔀?，畫面顯示控制部215b將異常數(shù)據(jù)為20件以前的情況判定為異常小，在詳細信息顯示畫面上顯示警告圖標(△)。

另外，畫面顯示控制部215b構成為，將與部件管理控制部215d、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e分別輸出的被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù)相當?shù)慕Y構部位以能夠辨別的方式顯示在異常部位顯示畫面上。

(對供給檢查畫面的診斷對象項目的判定)

另外，在數(shù)據(jù)判定工序(s13)中，判定數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的診斷結果數(shù)據(jù)(用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù))。即，畫面顯示控制部215b判定各個診斷對象項目的襯底處理開始時的實測值是否相對于基準數(shù)據(jù)超過規(guī)定的閾值(例如±3％)。此外，在圖18的例子中，是對所有項目的診斷結果數(shù)據(jù)落入閾值內的例子。

畫面顯示控制部215b構成為，若為裝置1的處理開始時的值從基準數(shù)據(jù)(初始值表所示的基準值)偏離的項目，則在相應的判定結果(核對狀態(tài))單元中顯示表示產(chǎn)生了異常的圖標(a圖標)。若在畫面上選擇a圖標，則顯示與對象的項目相關的更為詳細的信息。例如，構成為，對于一個項目關聯(lián)有多個設備數(shù)據(jù)，將這些設備數(shù)據(jù)中的異常數(shù)據(jù)(被判定為異常的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù))著色為紅色等而能夠辨別地進行顯示。此外，對一個該被著色的設備數(shù)據(jù)(異常數(shù)據(jù))分配的分數(shù)為1分。

(健康概括畫面的給分處理)

接下來，詳細說明健康狀態(tài)概要顯示畫面的給分處理。作為裝置的綜合運用狀態(tài)的評價指數(shù)的健康指數(shù)，使用例如減法以下式表示。

健康指數(shù)＝滿分(100)-(被判定為異常的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量+被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量(u.fdc)+被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量(s.fdc)+零件減數(shù))。

在此，關于零件減數(shù)，在被判定為異常的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量為1件到4件時，減數(shù)為1分，在為5件到9件時減數(shù)為2分，在為10件到14件時減數(shù)為3分，在為15件到19件時減數(shù)為4分，在為20件到24件時減數(shù)為5分···是依次向上增加的數(shù)，是被判定為異常的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量以大致5倍增加得到的數(shù)。

也就是說，在圖18中，健康指數(shù)為100-(0-1-0-0)＝99。

另外，從被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量和被判定為異常的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)的數(shù)量算出的減數(shù)可以僅數(shù)異常的數(shù)，不需要特別注意，但零件減數(shù)必須在針對每個診斷對象項目計算之后再進行合計，因此需要注意。

接著，在判定結果顯示工序(s14)中，畫面顯示控制部215b從存儲部215h讀出數(shù)據(jù)判定工序(s13)的判定結果和給分結果，更新并顯示圖18所示的詳細信息顯示畫面、異常部位顯示畫面、健康狀態(tài)概要顯示畫面、供給狀態(tài)顯示畫面。

(總分表畫面的更新)

畫面顯示控制部215b在詳細信息顯示畫面的更新中，關于各診斷對象項目的各診斷方法項目(u.fdc、s.fdc)欄的診斷結果數(shù)據(jù)，在正常的情況下顯示“○”，在判定為5件以上異常的情況下顯示“×”，在判定為1件到4件異常的情況下顯示“△”，在不存在成為判定對象的診斷結果數(shù)據(jù)的情況下顯示“―”。

另外，畫面顯示控制部215b針對詳細信息顯示畫面的診斷方法項目(零件)欄的診斷結果數(shù)據(jù)，與診斷方法項目(u.fdc、s.fdc)同樣地顯示“○”、“―”，針對診斷方法項目(零件)欄的診斷結果數(shù)據(jù)，在判定為20件以上異常的情況下顯示“×”，在判定為1件到19件異常的情況下顯示“△”。

此外，也可以構成為與實施例1同樣地追加報警(故障管理)欄來進行顯示，還可以構成為追加分數(shù)欄來顯示關于各診斷對象項目的分數(shù)。但是，在該情況下，構成為，畫面顯示控制部215b執(zhí)行實施例1記載的s201至s205。

另外，構成為，與實施例1同樣地，在詳細信息顯示畫面中，當點擊顯示著“×”或“△”的單元時，畫面顯示控制部215b進而顯示診斷對象項目的詳細信息。

(健康檢查視圖畫面的更新)

畫面顯示控制部215b構成為，與實施例1同樣地，顯示裝置1的整體圖，并且以能夠辨別包含被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù)的單元(在圖18中表示為結構劃分)和項目(在圖18中表示為模塊)、即被判定為異常的裝置1的結構部位是異常的方式進行顯示。

(健康概括畫面的更新)

畫面顯示控制部215b構成為，分別使用裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，來導出表示裝置1的運用狀態(tài)的信息。

具體而言，畫面顯示控制部215b構成為，使用裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e輸出的被判定為異常的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、被判定為異常的部件管理控制部215d輸出的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、被判定為異常的數(shù)據(jù)匹配控制部215c輸出的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，通過減法來顯示裝置1的健康指數(shù)(表示健康狀態(tài)的指數(shù))。

(供給檢查畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的、與作為診斷對象項目的前驅物(圖8的前驅物)、冷卻水(圖8的冷卻水流量)、吹掃溫度(圖8的低溫吹掃)、排氣(圖8的排出)、泵(圖8的泵)相關的設備數(shù)據(jù)的診斷結果數(shù)據(jù)，更新并顯示供給狀態(tài)顯示畫面。

(參數(shù)匹配畫面的更新)

另外，畫面顯示控制部215b基于在診斷結果數(shù)據(jù)獲取工序(s12)中獲取的與作為文件匹配對象的項目的pmc、system、ou、robo有關的文件匹配結果的數(shù)據(jù)中表示綜合匹配率的數(shù)據(jù)，更新并顯示文件比較顯示畫面。

像這樣，根據(jù)實施例2，構成為，畫面顯示控制部215b在襯底處理開始前顯示對裝置1(重復裝置)與主裝置的參數(shù)文件進行比較的結果，因此，在匹配率低的情況下，能夠采取在與主裝置的文件取得匹配以前不開始襯底處理這樣的對策等。而且，如果是與襯底處理用的配方文件有關聯(lián)的參數(shù)文件，則在匹配率低的情況下，通過禁止配方的執(zhí)行，能夠抑制批次作廢。

根據(jù)實施例2，由于畫面顯示控制部215b將表示對從顧客工廠提供的設備數(shù)據(jù)和基準數(shù)據(jù)進行比較的結果的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)用于導出表示裝置1的運用狀態(tài)的信息，因此能夠更高精度地評價裝置的綜合運用狀態(tài)。

此外，在上述那樣的本實施方式中，進而也可以構成為，裝置管理控制器215將表示裝置1的運用狀態(tài)的信息向上級控制器通知。

另外，在上述那樣的本實施方式中，例如，在量化地算出表示裝置1的運用狀態(tài)的信息的情況下，使用了減法(從滿分減分的方法)，但不限于該計算方法，例如，也可以與異常數(shù)量相應地來加分。

根據(jù)本實施方式中的裝置管理控制器215，起到以下所示的一個或多個效果。

(1)根據(jù)本實施方式，由于構成為，基于從由部件管理控制部215d所獲取的保養(yǎng)時期監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、裝置狀態(tài)監(jiān)視控制部215e所獲取的裝置狀態(tài)監(jiān)視結果數(shù)據(jù)、和數(shù)據(jù)匹配控制部215c所判定的用力監(jiān)視結果數(shù)據(jù)構成的組中選擇的多個監(jiān)視結果數(shù)據(jù)，來導出對裝置的運用狀態(tài)進行評價的信息，因此，裝置管理控制器215能夠一元地管理裝置的綜合狀態(tài)，能夠更高精度地評價裝置的綜合運用狀態(tài)。

(2)由于構成為，畫面顯示控制部215b在健康狀態(tài)概要顯示畫面上顯示健康指數(shù)，因此能夠量化且一目了然地掌握裝置的運用狀態(tài)。

(3)由于構成為，畫面顯示控制部215b以能夠辨別包含被判定為異常的診斷結果數(shù)據(jù)的裝置1的結構部位是異常的方式在異常部位顯示畫面上進行顯示，因此能夠容易地掌握哪個部位為異常。

(4)由于構成為，畫面顯示控制部215b在供給狀態(tài)顯示畫面上顯示裝置1的處理開始時的設備數(shù)據(jù)的實測值相對于基準數(shù)據(jù)超過了規(guī)定的閾值這一情況，因此能夠容易地掌握裝置1的處理開始時的設備數(shù)據(jù)是異常的這一情況。

(5)而且，由于構成為，畫面顯示控制部215b在該供給狀態(tài)顯示畫面上相對于診斷對象項目另行地顯示設備數(shù)據(jù)的實測值為異常這一情況，因此能夠容易地掌握異常的診斷對象項目。

(6)而且，由于構成為，畫面顯示控制部215b針對基于裝置數(shù)據(jù)的經(jīng)時變化量與標準數(shù)據(jù)進行比較來進行異常診斷的診斷方法項目，在由裝置1的用戶創(chuàng)建并使用的診斷方法即u.fdc的基礎上還顯示由裝置1的制造商創(chuàng)建并使用的診斷方法即s.fdc，因此能夠容易地掌握對各診斷對象項目的s.fdc的診斷結果。

(7)而且，由于構成為，畫面顯示控制部215b分為u.fdc和s.fdc來進行顯示，因此，能夠容易地掌握對各診斷對象項目的u.fdc和s.fdc各自的診斷結果。

(8)由于構成為，畫面顯示控制部215b在詳細信息顯示畫面上針對多個診斷對象項目分別顯示基于裝置數(shù)據(jù)進行異常診斷的診斷方法項目(fdc)的診斷結果、和與構成裝置1的部件的使用時間或使用次數(shù)有關的診斷方法項目(零件)的診斷結果，因此能夠容易地掌握對各個診斷對象項目的各診斷方法項目的診斷結果。

此外，本發(fā)明的實施方式中的襯底處理裝置1不僅能夠適用于制造半導體的半導體制造裝置，還能夠適用于對lcd(liquidcrystaldisplay：液晶顯示器)裝置那樣的玻璃基板進行處理的裝置。另外，當然也能夠適用于曝光裝置、光刻裝置、涂布裝置、利用了等離子體的處理裝置等各種襯底處理裝置中。

而且，在成膜處理中也能夠實施cvd(chemicalvapordeposition：化學氣相沉積)、pvd(physicalvapordeposition：物理氣相沉積)等的形成薄膜的處理、形成氧化膜、氮化膜的處理、形成含金屬的膜的處理。