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一種高溫氧化物薄膜熱電模塊的制作方法

文檔序號:11662767閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種高溫氧化物薄膜熱電模塊,屬于功能薄膜材料及器件領(lǐng)域。其特征在于,包括:至少一組熱電對,所述熱電對由P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜組成,P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜分別生長于雙面拋光單晶基底的上表面和下表面,P型氧化物薄膜11和N型氧化物薄膜呈X形交叉分布,P型氧化物薄膜和N型氧化物薄膜由電極依次連接,形成兩個串聯(lián)通路。本實用新型相比現(xiàn)有π型薄膜熱電模塊在單位面積上的輸出功率密度顯著提高,且電極用金量顯著減少,成本降低。

技術(shù)研發(fā)人員:虞瀾;宋世金;邱興煌;談文鵬;劉丹丹;劉安安;胡建力
受保護的技術(shù)使用者:昆明理工大學(xué)
文檔號碼:201621372523
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.14
技術(shù)公布日:2017.07.28

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