本實(shí)用新型涉及一種分離設(shè)備，特別涉及一種用于劈裂工藝的分離設(shè)備。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有半導(dǎo)體工藝中，晶圓于制造完成后，會進(jìn)行薄化工藝、切單工藝、封裝工藝等，其中，切單工藝的方式繁多，例如、激光切割、機(jī)械切割、劈裂分離等。

如圖1A及圖1B所示，現(xiàn)有劈裂式分離設(shè)備1包括：一機(jī)臺本體(圖略)、一設(shè)于該機(jī)臺本體下側(cè)的基座10、一設(shè)于該機(jī)臺本體上側(cè)的劈裂裝置12、以及一設(shè)于該基座10上的貼膜13。

于進(jìn)行劈裂作業(yè)時，先將一具有多個預(yù)切割道80的晶圓8黏貼于該貼膜13上，再將該劈裂裝置12的劈刀120對位于其中一預(yù)切割道80上，并利用該劈裂裝置12的震動件121撞擊該劈刀120，使該劈刀120碰觸該晶圓8對應(yīng)該預(yù)切割道80的背面位置A，以令該晶圓8沿該預(yù)切割道80裂開(如裂痕S)。之后重復(fù)上述該劈裂裝置12的劈裂步驟，以于該晶圓8背面的直向與橫向上劈裂各該預(yù)切割道80，使該晶圓8分離成多個晶粒8a。

然而，現(xiàn)有分離設(shè)備1中，該劈裂裝置12僅設(shè)有一種寬度尺寸的劈刀120，故該劈裂裝置12僅能劈裂特定尺寸的晶圓8，例如6寸晶圓，若欲劈裂更大尺寸的晶圓(如8寸晶圓)，則需更換該分離設(shè)備1或購買新的分離設(shè)備，因而造成使用者的不便及提高切單工藝的成本。

此外，該劈裂裝置12僅設(shè)有一種寬度尺寸的劈刀120，故當(dāng)該劈裂裝置12由該晶圓8的中間處劈裂至該晶圓8的邊緣處時，由于該貼膜13的邊緣處通常設(shè)有鐵環(huán)(圖略)，致使該劈刀120的刀尖面會因碰撞該鐵環(huán)而損壞。

因此，如何克服現(xiàn)有技術(shù)的種種問題，實(shí)為一重要課題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實(shí)用新型遂公開一種分離設(shè)備，可有效提升使用便利性及降低切單工藝的成本。

本實(shí)用新型的分離設(shè)備包括：基座，其具有尖端部；承載件，其設(shè)于基座的尖端部上且用以承載物件；以及至少一壓板，其位于承載件上方，以與尖端部夾壓物件。

前述的分離設(shè)備中，承載件為黏性片體。

前述的分離設(shè)備中，基座為劈刀，且尖端部呈刀狀。

前述的分離設(shè)備中，壓板具有定位部，以對位物件欲分離的位置。

前述的分離設(shè)備中，還包括具有開口的固定件，其固定承載件，以令承載件遮蓋開口。例如，固定件為環(huán)狀體。

由上可知，本實(shí)用新型的分離設(shè)備中，主要通過尖端部支撐于物件下方，再以壓板壓裂物件，以依據(jù)各種尺寸的物件更換不同尺寸的壓板，而依需求劈裂各種尺寸的晶圓，故相較于現(xiàn)有技術(shù)，使用者只需一臺本實(shí)用新型的分離設(shè)備搭配不同尺寸的壓板，即可符合劈裂尺寸的需求，而無需如現(xiàn)有技術(shù)般的使用多臺劈裂設(shè)備，借以有效提升使用便利性及降低切單工藝的成本。

此外，于進(jìn)行劈裂作業(yè)中，當(dāng)較大尺寸的壓板劈裂至物件的邊緣時，由于壓板以板面接觸碰撞固定件，因而相較于現(xiàn)有刀具的刀尖面，壓板不會因碰撞而損壞。

附圖說明

圖1A為現(xiàn)有分離設(shè)備的剖面示意圖；

圖1B為圖1A的局部放大示意圖；

圖2A為本實(shí)用新型的分離設(shè)備的上視平面示意圖；

圖2B為圖2A的前視示意圖；

圖2C為圖2A的局部左視示意圖；

圖3A為圖2A的另一實(shí)施例的上視平面示意圖；

圖3B為圖3A的前視示意圖；

圖3C為圖3A的局部左視示意圖；

圖4A為圖2A的另一實(shí)施例的上視平面示意圖；

圖4B為圖4A的前視示意圖；

圖4C為圖4A的局部左視示意圖；

圖5A為圖2A的另一實(shí)施例的上視平面示意圖；

圖5B為圖5A的前視示意圖；以及

圖5C為圖5A的局部左視示意圖；

其中，附圖標(biāo)記說明如下：

1、2 分離設(shè)備 10、20 基座

12 劈裂裝置 120 劈刀

121 震動件 13 貼膜

200 尖端部 21 固定件

210 開口 22 承載件

23、33、43、53 壓板 230、330、430、530 定位部

8 晶圓 8a 晶粒

80 預(yù)切割道 9 物件

90 裂痕 A 背面位置

S 裂痕。

具體實(shí)施方式

以下通過特定的具體實(shí)施例說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可由本說明書所公開的內(nèi)容輕易地了解本實(shí)用新型的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。

須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所公開的內(nèi)容，以供本領(lǐng)域技術(shù)人員的了解與閱讀，并非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實(shí)用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實(shí)用新型所公開的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”及“一”等的用語，僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實(shí)用新型可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)視為本實(shí)用新型可實(shí)施的范疇。

圖2A至圖2C為本實(shí)用新型的分離設(shè)備2的示意圖。如圖2A至圖2C所示，分離設(shè)備2包括：一機(jī)臺本體(圖略)、一設(shè)于該機(jī)臺本體下側(cè)的基座20、一具有開口210的固定件21、固定于該固定件21上以遮蓋該開口210的承載件22、以及至少一設(shè)于該機(jī)臺本體上側(cè)的壓板23。

所述的基座20具有一尖端部200，且該承載件22設(shè)于該尖端部200上，使該尖端部200抵靠該承載件22。于本實(shí)施例中，該尖端部200呈刀狀，例如，該基座20為劈裂晶圓用的刀具，其可如圖1B所示的劈刀120。

所述的固定件21設(shè)于該機(jī)臺本體上并位于該基座20與該壓板23之間。于本實(shí)施例中，該固定件21為導(dǎo)體環(huán)(例如，金屬環(huán)，如鐵環(huán))或絕緣環(huán)。

所述的承載件22設(shè)于該基座20上以承載一物件9(如圖1B所示的具預(yù)切割道80的晶圓8)。于本實(shí)施例中，該承載件22為黏性片體，例如，離形膠片(release tape)、紫外線膠帶(UV tape)或熱分離膠帶(thermal tape)等。

所述的壓板23位于該承載件22上方，以與該尖端部200夾壓該物件9，使該物件9分離成多個物體(如圖1B所示的晶粒8a)。于本實(shí)施例中，形成該壓板23的材質(zhì)為可如圖1B所示的基座10的材質(zhì)或其它適合壓裂晶圓的材質(zhì)。較佳地，該壓板23具有如凹槽的定位部230，以對位該物件9欲分離的位置(如圖1B所示的預(yù)切割道80)。

于進(jìn)行分離作業(yè)時，如圖2B及圖2C所示，先將該尖端部200對齊該物件9欲分離的位置(如圖1B所示的預(yù)切割道80)并頂住該位置處的承載件22表面，再將該壓板23朝該承載件22下壓該物件9，以令該壓板23與該尖端部200夾壓該物件9，使該物件9上、下受壓而分離成多個物體(如圖1B所示的晶粒8a)。具體地，如圖3C、圖4C及圖5C所示，于夾壓過程中，該定位部330，430，530對齊如圖1B所示的預(yù)切割道80并使該定位部330，430，530的周圍板面下壓該物件9，使該尖端部200的應(yīng)力集中于該定位部330，430，530(或該預(yù)切割道80)之處，致使該物件9對應(yīng)該定位部330，430，530的處裂開，如圖3C、圖4C及圖5C所示的裂痕90。

因此，本實(shí)用新型的分離設(shè)備2將現(xiàn)有劈刀與基座反置，以通過該尖端部200支撐于該物件9下方，再以該壓板23壓裂該物件9，故能依據(jù)各種尺寸的物件9更換不同尺寸的壓板23，33，43，53(如圖2A、圖3A、圖4A及圖5A所示)，其作動狀態(tài)如圖2B、圖3B、圖4B及圖5B與圖2C、圖3C、圖4C及圖5C所示，因而本實(shí)用新型的分離設(shè)備2能依需求劈裂各種尺寸的晶圓(例如6寸、8寸或12寸晶圓等)。借此，使用者只需一臺分離設(shè)備2搭配不同尺寸的壓板23，33，43，53即可符合劈裂尺寸的需求，而無需如現(xiàn)有技術(shù)般的使用多臺劈裂設(shè)備，借以有效提升使用便利性及降低切單工藝的成本。

此外，于進(jìn)行劈裂作業(yè)中，當(dāng)較大尺寸的壓板33，43，53由該物件9的中間處劈裂至該物件9的邊緣時，如圖3A、圖4A及圖5A所示的箭頭方向，由于該壓板33，43，53以板面接觸碰撞該固定件21，因而相較于現(xiàn)有刀具的刀尖面，該壓板33，43，53的板面不會因碰撞而損壞。

另外，可將不同尺寸的壓板23，33，43，53整合于同一機(jī)臺本體，以作為壓板組，并以控制機(jī)構(gòu)(圖略)選擇欲作動的其中一壓板23，33，43，53進(jìn)行分離作業(yè)。

上述實(shí)施例僅用以例示性說明本實(shí)用新型的原理及其功效，而非用于限制本實(shí)用新型。任何本領(lǐng)域技術(shù)人員均可在不違背本實(shí)用新型的精神及范疇下，對上述實(shí)施例進(jìn)行修改。因此本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍，應(yīng)如權(quán)利要求書所列。