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一種IGBT器件的制作方法

文檔序號:12537814閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種IGBT器件,其特征在于,包括P+襯底、肖特基二極管和溝槽MOSFET;

其中,所述P+襯底與所述溝槽MOSFET的下底面固定連接;

所述溝槽MOSFET由下到上依次包括耐壓漂移區(qū)、P型體區(qū)外延層和N+源區(qū)外延層,且每相鄰兩層之間均緊密接觸;所述溝槽MOSFET的上端中間位置開設(shè)有柵區(qū)溝槽;所述溝槽MOSFET的上端邊緣位置開設(shè)有肖特基溝槽;所述柵區(qū)溝槽和所述肖特基溝槽的底面均位于所述耐壓漂移區(qū)的內(nèi)部;所述肖特基溝槽的深度大于所述柵區(qū)溝槽的深度;

所述溝槽MOSFET還包括柵電極;所述柵電極固定設(shè)置在所述柵區(qū)溝槽中;所述柵區(qū)溝槽與所述柵電極之間存在柵氧化層;所述柵電極高出所述柵區(qū)溝槽的部分的外圍設(shè)置有柵電極絕緣保護層;

所述肖特基二極管的下端通過所述肖特基溝槽與所述溝槽MOSFET的上端配合;

所述肖特基二極管與所述溝槽MOSFET的源極共用金屬電極。

2.如權(quán)利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,

所述肖特基二極管包括中央溝槽和外凸起部;所述肖特基溝槽與所述外凸起部配合,所述中央溝槽與所述柵電極絕緣保護層配合。

3.如權(quán)利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,

所述P型體區(qū)外延層的厚度在0.1μm-1μm之間。

4.如權(quán)利要求1所述的IGBT器件,其特征在于,

所述耐壓漂移區(qū)的頂面上還設(shè)置有N1濃摻雜外延層;所述N1濃摻雜外延層位于所述耐壓漂移區(qū)與所述P型體區(qū)外延層之間。

5.如權(quán)利要求4所述的IGBT器件,其特征在于,

所述柵區(qū)溝槽的底面位于所述N1濃摻雜外延層中。

6.如權(quán)利要求1-5任一項所述的IGBT器件,其特征在于,

所述柵氧化層的底面厚度大于所述柵氧化層的側(cè)面厚度。

7.如權(quán)利要求1-5任一項所述的IGBT器件,其特征在于,

所述肖特基溝槽為環(huán)形結(jié)構(gòu)件。

8.如權(quán)利要求1-5任一項所述的IGBT器件,其特征在于,

所述P+襯底的厚度在5μm-500μm之間。

9.如權(quán)利要求1-5任一項所述的IGBT器件,其特征在于,

所述N+源區(qū)外延層的厚度小于1μm。

10.如權(quán)利要求9所述的IGBT器件,其特征在于,

所述N+源區(qū)外延層的厚度為0.5μm。

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