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基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法及系統(tǒng)與流程

文檔序號:12180202閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法,其特征在于,包括:

從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù);

根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù),創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù),并向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令,以供所述MES系統(tǒng)停止對所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程;

將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶,以供在所述管理賬戶接收對所述半導(dǎo)體的處理指令;以及

執(zhí)行來自所述管理賬戶的所述處理指令。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法,其特征在于,在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前,還包括:

根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令,創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法,其特征在于,所述管理賬戶的數(shù)量為一個或多個,其中,當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個時,在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶之后,還包括:

根據(jù)接收到的設(shè)置命令,為多個所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法,其特征在于,在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后,還包括:

按照所述管理等級,將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個所述管理賬戶,以供多個所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理權(quán)限對所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法,其特征在于,所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合:

所述半導(dǎo)體的編號、所述半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、所述生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù);

所述處理指令包括:分批、報廢、釋放或待觀察。

6.一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng),其特征在于,包括:

生產(chǎn)數(shù)據(jù)獲取單元,從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù);

異常單據(jù)創(chuàng)建單元,根據(jù)接收到的來自作業(yè)監(jiān)測賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù),創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù);

停止單元,在創(chuàng)建所述生產(chǎn)異常單據(jù)時,向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令,以供所述MES系統(tǒng)停止對所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程;

異常單據(jù)上傳單元,將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶,以供在所述管理賬戶接收對所述半導(dǎo)體的處理指令;以及

執(zhí)行單元,執(zhí)行來自所述管理賬戶的所述處理指令。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng),其特征在于,還包括:

賬戶創(chuàng)建單元,在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前,根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令,創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng),其特征在于,所述管理賬戶的數(shù)量為一個或多個,其中,當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個時,還包括:

設(shè)置單元,在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測賬戶和所述管理賬戶之后,根據(jù)接收到的設(shè)置命令,為多個所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng),其特征在于,還包括:

管理賬戶處理單元,在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后,按照所述管理等級,將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個所述管理賬戶,以供多個所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理權(quán)限對所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任一項(xiàng)所述的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制 造控制系統(tǒng),其特征在于,所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合:

所述半導(dǎo)體的編號、所述半導(dǎo)體對應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺編號、所述生產(chǎn)機(jī)臺的工作參數(shù);

所述處理指令包括:分批、報廢、釋放或待觀察。

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