技術(shù)編號：12180202
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及終端技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法和一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)。背景技術(shù)在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過程中，難免會(huì)出現(xiàn)如環(huán)境污染造成晶圓硅片等半導(dǎo)體表面灰塵污染、機(jī)臺異常而導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品損壞或其它因素造成半導(dǎo)體產(chǎn)品經(jīng)量測不合格等異常情況。作業(yè)人員很難第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)并處理，這就要求發(fā)揮作業(yè)人員的主觀靈動(dòng)性，使作業(yè)人員根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)提出疑問并暫停作業(yè)，向上級反應(yīng)問題，并等待專業(yè)人員的結(jié)論來確定后續(xù)作業(yè)是否進(jìn)行。然而，這樣的生產(chǎn)制造過程中，由于人工操作的局限性，作...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。