本發(fā)明涉及終端技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法和一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程中，難免會(huì)出現(xiàn)如環(huán)境污染造成晶圓硅片等半導(dǎo)體表面灰塵污染、機(jī)臺(tái)異常而導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品損壞或其它因素造成半導(dǎo)體產(chǎn)品經(jīng)量測(cè)不合格等異常情況。作業(yè)人員很難第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)并處理，這就要求發(fā)揮作業(yè)人員的主觀靈動(dòng)性，使作業(yè)人員根據(jù)自己的經(jīng)驗(yàn)提出疑問(wèn)并暫停作業(yè)，向上級(jí)反應(yīng)問(wèn)題，并等待專(zhuān)業(yè)人員的結(jié)論來(lái)確定后續(xù)作業(yè)是否進(jìn)行。

然而，這樣的生產(chǎn)制造過(guò)程中，由于人工操作的局限性，作業(yè)人員發(fā)現(xiàn)問(wèn)題時(shí)很可能無(wú)法及時(shí)上報(bào)處理，即使在上報(bào)后，由于人工審批流程的復(fù)雜性也會(huì)造成時(shí)間和成本的浪費(fèi)。

因此，需要一種新的技術(shù)方案，可以在作業(yè)過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體并立即處理。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明正是基于上述問(wèn)題，提出了一種新的技術(shù)方案，可以在作業(yè)過(guò)程中及時(shí)發(fā)現(xiàn)半導(dǎo)體并立即處理，以提升生產(chǎn)效率。

有鑒于此，本發(fā)明的一方面提出了一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；根據(jù)接收到的來(lái)自作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)，并向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供所述MES系統(tǒng)停止對(duì)所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程；將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶， 以供在所述管理賬戶接收對(duì)所述半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行來(lái)自所述管理賬戶的所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過(guò)半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺(tái)異常、量測(cè)數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動(dòng)暫停作業(yè)，向上級(jí)管理人員反映問(wèn)題，以及在上級(jí)管理人員發(fā)出處理指令后，不再對(duì)作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時(shí)間的浪費(fèi)。通過(guò)該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開(kāi)發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁(yè)面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，還包括：根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和所述管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和為上級(jí)管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過(guò)管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡(jiǎn)化審批過(guò)程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述管理賬戶的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)，其中，當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和所述管理賬戶之后，還包括：根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個(gè)所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級(jí)。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，需要為多個(gè)管理賬戶各自設(shè)置對(duì)應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級(jí)，以便在作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實(shí)用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，還包括：按照所述管理等級(jí)，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個(gè)所述管理賬戶，以供多個(gè)所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理 權(quán)限對(duì)所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級(jí)的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個(gè)管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對(duì)于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：所述半導(dǎo)體的編號(hào)、所述半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、所述生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)；所述處理指令包括：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。通過(guò)該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級(jí)管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

本發(fā)明的另一方面提出了一種基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：生產(chǎn)數(shù)據(jù)獲取單元，從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；異常單據(jù)創(chuàng)建單元，根據(jù)接收到的來(lái)自作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶的創(chuàng)建命令和所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)；停止單元，在創(chuàng)建所述生產(chǎn)異常單據(jù)時(shí)，向所述MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供所述MES系統(tǒng)停止對(duì)所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程；異常單據(jù)上傳單元，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在所述管理賬戶接收對(duì)所述半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行單元，執(zhí)行來(lái)自所述管理賬戶的所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過(guò)半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺(tái)異常、量測(cè)數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動(dòng)暫停作業(yè)，向上級(jí)管理人員反映問(wèn)題，以及在上級(jí)管理人員發(fā)出處理指令后，不再對(duì)作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時(shí) 間的浪費(fèi)。通過(guò)該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開(kāi)發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁(yè)面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：賬戶創(chuàng)建單元，在所述從所述MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和所述管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和為上級(jí)管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過(guò)管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡(jiǎn)化審批過(guò)程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述管理賬戶的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)，其中，當(dāng)所述管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，還包括：設(shè)置單元，在所述創(chuàng)建所述作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和所述管理賬戶之后，根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個(gè)所述管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級(jí)。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，需要為多個(gè)管理賬戶各自設(shè)置對(duì)應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級(jí)，以便在作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實(shí)用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：管理賬戶處理單元，在所述將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，按照所述管理等級(jí)，將所述半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個(gè)所述管理賬戶，以供多個(gè)所述管理賬戶依次根據(jù)各自的所述管理權(quán)限對(duì)所述半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出所述處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級(jí)的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個(gè)管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對(duì)于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體的所述生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：所述半導(dǎo)體的編號(hào)、所述半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、所述半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、所述生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)；所述處理指令包括：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。通過(guò)該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級(jí)管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

通過(guò)以上技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖；

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的框圖；

圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖；

圖4A至圖4N示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的生成并處理半導(dǎo)體的生產(chǎn)異常單據(jù)的截屏示意圖。

具體實(shí)施方式

為了能夠更清楚地理解本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)描述。需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。

在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是，本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其他方式來(lái)實(shí)施，因此，本發(fā)明 的保護(hù)范圍并不受下面公開(kāi)的具體實(shí)施例的限制。

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖。

如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：

步驟102，從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)。

步驟104，根據(jù)接收到的來(lái)自作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶的創(chuàng)建命令和半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)，并向MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供MES系統(tǒng)停止對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程。

步驟106，將半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在管理賬戶接收對(duì)半導(dǎo)體的處理指令。

步驟108，以及執(zhí)行來(lái)自管理賬戶的處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過(guò)半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺(tái)異常、量測(cè)數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動(dòng)暫停作業(yè)，向上級(jí)管理人員反映問(wèn)題，以及在上級(jí)管理人員發(fā)出處理指令后，不再對(duì)作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時(shí)間的浪費(fèi)。通過(guò)該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開(kāi)發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁(yè)面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在步驟102之前，還包括：根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和為上級(jí)管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過(guò)管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡(jiǎn)化審批過(guò)程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，管理賬戶的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)，其中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，在創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和管理賬戶之后，還包括：根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個(gè)管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等 級(jí)。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，需要為多個(gè)管理賬戶各自設(shè)置對(duì)應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級(jí)，以便在作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實(shí)用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，在步驟106之后，還包括：按照管理等級(jí)，將半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個(gè)管理賬戶，以供多個(gè)管理賬戶依次根據(jù)各自的管理權(quán)限對(duì)半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級(jí)的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個(gè)管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對(duì)于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)；處理指令包括：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。通過(guò)該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級(jí)管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

圖2示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)的框圖。

如圖2所示，根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制系統(tǒng)200，包括：生產(chǎn)數(shù)據(jù)獲取單元202，從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)；異常單據(jù)創(chuàng)建單元204，根據(jù)接收到的來(lái)自作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶的創(chuàng)建命令和半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)，創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)；停止單元206，在 創(chuàng)建生產(chǎn)異常單據(jù)時(shí)，向MES系統(tǒng)發(fā)送停止作業(yè)命令，以供MES系統(tǒng)停止對(duì)半導(dǎo)體的生產(chǎn)過(guò)程；異常單據(jù)上傳單元208，將半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶，以供在管理賬戶接收對(duì)半導(dǎo)體的處理指令；以及執(zhí)行單元210，執(zhí)行來(lái)自管理賬戶的處理指令。

在該技術(shù)方案中，通過(guò)半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)的獲取可以使作業(yè)人員第一時(shí)間發(fā)現(xiàn)MES系統(tǒng)(制造企業(yè)生產(chǎn)過(guò)程執(zhí)行管理系統(tǒng))中的半導(dǎo)體表面異常、機(jī)臺(tái)異常、量測(cè)數(shù)據(jù)不合格等異常情況，并自動(dòng)暫停作業(yè)，向上級(jí)管理人員反映問(wèn)題，以及在上級(jí)管理人員發(fā)出處理指令后，不再對(duì)作業(yè)人員另行通知，而是直接控制MES系統(tǒng)執(zhí)行該處理指令，避免了成本和時(shí)間的浪費(fèi)。通過(guò)該技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開(kāi)發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁(yè)面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：賬戶創(chuàng)建單元212，在從MES系統(tǒng)中獲取半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)之前，根據(jù)接收到的賬戶創(chuàng)建命令，創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和管理賬戶。

在該技術(shù)方案中，可以在系統(tǒng)中預(yù)先為作業(yè)人員創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和為上級(jí)管理人員創(chuàng)建管理賬戶，從而提升了系統(tǒng)管理的靈活性，便于進(jìn)一步通過(guò)管理賬戶直接發(fā)出處理指令，以簡(jiǎn)化審批過(guò)程，提高生產(chǎn)效率。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，管理賬戶的數(shù)量為一個(gè)或多個(gè)，其中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，還包括：設(shè)置單元214，在創(chuàng)建作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶和管理賬戶之后，根據(jù)接收到的設(shè)置命令，為多個(gè)管理賬戶分別設(shè)置管理權(quán)限和管理等級(jí)。

在該技術(shù)方案中，當(dāng)管理賬戶的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，需要為多個(gè)管理賬戶各自設(shè)置對(duì)應(yīng)的管理權(quán)限和管理等級(jí)，以便在作業(yè)監(jiān)測(cè)賬戶上傳生產(chǎn)異常單據(jù)后，按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理，從而提升了系統(tǒng)管理的有效性和實(shí)用性。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，還包括：管理賬戶處理單元216，在將 半導(dǎo)體異常單據(jù)上傳至管理賬戶之后，按照管理等級(jí)，將半導(dǎo)體異常單據(jù)依次發(fā)送至多個(gè)管理賬戶，以供多個(gè)管理賬戶依次根據(jù)各自的管理權(quán)限對(duì)半導(dǎo)體異常單據(jù)發(fā)出處理指令。

在該技術(shù)方案中，需要按照由低至高的管理等級(jí)依次獲取管理賬戶的審批結(jié)果，直至執(zhí)行命令所需的最高等級(jí)的管理賬戶審批后，才對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行處理。另外，不同等級(jí)的管理賬戶的管理權(quán)限也有所不同，可由用戶根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行靈活設(shè)置，每個(gè)管理賬戶只能在自己的管理權(quán)限范圍內(nèi)發(fā)出指令，而對(duì)于超出管理權(quán)限的指令，系統(tǒng)采取不執(zhí)行或不上傳的方式處理。

在上述技術(shù)方案中，優(yōu)選地，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)；處理指令包括：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。

在該技術(shù)方案中，半導(dǎo)體的生產(chǎn)數(shù)據(jù)包括但不限于以下至少之一或其組合：半導(dǎo)體的編號(hào)、半導(dǎo)體對(duì)應(yīng)的批次晶裝盒、半導(dǎo)體的生產(chǎn)機(jī)臺(tái)編號(hào)、生產(chǎn)機(jī)臺(tái)的工作參數(shù)，以及處理指令包括但不限于：分批、報(bào)廢、釋放或待觀察。通過(guò)該技術(shù)方案，多樣化的生產(chǎn)數(shù)據(jù)可以使上級(jí)管理人員更加準(zhǔn)確地判斷半導(dǎo)體的異常情況，從而便于發(fā)出正確有效的處理指令。

圖3示出了根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法的流程圖。

如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的基于MES系統(tǒng)的半導(dǎo)體制造控制方法，包括：

步驟302，進(jìn)入半導(dǎo)體生產(chǎn)作業(yè)的任何階段。

步驟304，監(jiān)測(cè)到半導(dǎo)體出現(xiàn)表面、機(jī)臺(tái)、量測(cè)數(shù)據(jù)不合格等異常。

步驟306，作業(yè)人員開(kāi)立異常單，系統(tǒng)自動(dòng)暫停批次作業(yè)。

步驟308，異常單進(jìn)入走簽核流程。

步驟310，將異常單發(fā)送至至產(chǎn)品負(fù)責(zé)工程師。

步驟312，接收產(chǎn)品負(fù)責(zé)工程師的處理。

步驟314，將處理后的異常單發(fā)送至產(chǎn)品開(kāi)發(fā)部科長(zhǎng)，并接收產(chǎn)品開(kāi)發(fā)部科長(zhǎng)的處理。

步驟316，將再次處理后的異常單發(fā)送至產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)理，并接收產(chǎn)品開(kāi)發(fā)經(jīng)理的處理。

步驟318，對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行釋放、報(bào)廢、分批等特殊處理。

通過(guò)上述技術(shù)方案，采用Weblogic(一種用于開(kāi)發(fā)、集成、部署和管理的大型分布式頁(yè)面應(yīng)用)融合嵌套于MES系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

具體地，本發(fā)明的實(shí)施例基于以下應(yīng)用軟件：

程序語(yǔ)言解釋軟件Java，Java編程語(yǔ)言是一種高級(jí)語(yǔ)言，作為一種開(kāi)放的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行提供。

數(shù)據(jù)庫(kù)軟件Oracle，Oracle是以高級(jí)結(jié)構(gòu)化查詢語(yǔ)言為基礎(chǔ)的大型關(guān)系數(shù)據(jù)庫(kù)，通俗地講，它是用方便邏輯管理的語(yǔ)言操縱大量有規(guī)律數(shù)據(jù)的集合，是目前最流行的客戶/服務(wù)器體系結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)庫(kù)之一。

本發(fā)明的實(shí)施例中的服務(wù)端使用操作系統(tǒng)平臺(tái)Linux/Unix/Windows等。

上述軟件均可跨平臺(tái)安裝可使用，使得服務(wù)端可以配合各種操作系統(tǒng)平臺(tái)架設(shè)。其中Linux和部分Unix系統(tǒng)均為自由軟件，故本實(shí)施例的外在軟件成本相當(dāng)?shù)土?/p>

本實(shí)例采用的Web服務(wù)器軟件版本如下：

JAVA:JDK1.6，源碼版本，下載后自行編譯完成。

Oracle:10i，源碼版本，下載后自行編譯完成。

Linux，發(fā)行版本：Ubuntu-7.10-server-i386.iso，下載后刻錄為CD光盤(pán)后安裝。

圖4A至圖4N示出了根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的生成并處理半導(dǎo)體的生產(chǎn)異常單據(jù)的截屏示意圖。

如圖4A所示，新建異常單，并在異常單中為半導(dǎo)體器件選擇問(wèn)題類(lèi)型，其中，問(wèn)題類(lèi)型包括EQ TROUBLE、SPC異常和表面異常，EQ TROUBLE即機(jī)臺(tái)異常，SPC(質(zhì)量管理與控制)異常即量測(cè)數(shù)據(jù)不符合公司質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，表面異常即產(chǎn)品表面被污染或者劃傷等。

圖4B示出了異常單的開(kāi)立界面，如圖4B所示，標(biāo)示出了從MES系統(tǒng)里選取并獲得的產(chǎn)品批次信息，一旦確認(rèn)提交后，異常單同時(shí)暫停MES系統(tǒng)里對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品批次。其中，All、part、none分別表示整批、部分、無(wú)(如機(jī)臺(tái)異常的情況)。

如圖4C和圖4D所示，管理賬戶在接收到異常單后可以選擇自己的編號(hào)，填寫(xiě)處理意見(jiàn)，并將處理結(jié)果發(fā)送至上一級(jí)管理賬戶。其中，Comment即簽核意見(jiàn)，對(duì)話框是根據(jù)異常單審批流程不同處理節(jié)點(diǎn)上的下一審批人員選擇對(duì)話框，同時(shí)具有加簽、轉(zhuǎn)簽的功能。

如圖4E所示，還可以分別都調(diào)用公司郵件系統(tǒng)對(duì)各級(jí)管理賬戶進(jìn)行郵件通知。

如圖4F和圖4G所示，異常單流程各級(jí)處理及簽核意見(jiàn)，此部分體現(xiàn)了與MES系統(tǒng)強(qiáng)大的融合功能，如執(zhí)行Release(釋放)、Rework(返工)、Scrap(報(bào)廢)等。

其中的Release與MES系統(tǒng)融合時(shí)釋放選擇處理項(xiàng)，Scrap與MES系統(tǒng)融合時(shí)報(bào)廢選擇處理項(xiàng)、選擇項(xiàng)，Rework與MES系統(tǒng)融合時(shí)，返工選擇處理項(xiàng)。

在選擇Release時(shí)，MES系統(tǒng)自動(dòng)將Comment顯示在Release內(nèi)容中。

如圖4H所示，點(diǎn)選Release時(shí)，程序檢查該異常單是否到科長(zhǎng)級(jí)別簽核，如果不是則顯示提示信息。

當(dāng)為科長(zhǎng)級(jí)時(shí)，如圖4I和圖4J所示，系統(tǒng)自動(dòng)出現(xiàn)連接進(jìn)Release對(duì)話頁(yè)面,并自動(dòng)帶出異常單的Comment。

如圖4K所示，在選擇Scrap時(shí)MES系統(tǒng)先自動(dòng)Release，并將Comment顯示在Release內(nèi)容中，同時(shí)，MES系統(tǒng)自動(dòng)增加Scrap專(zhuān)用系統(tǒng)，同樣響應(yīng)不可以報(bào)廢的規(guī)則。

如圖4L所示，選擇Rework時(shí)，MES系統(tǒng)先自動(dòng)Release，并將Comment顯示在Release內(nèi)容中，同時(shí)MES系統(tǒng)自動(dòng)增加Rewrok專(zhuān)用系統(tǒng)暫停。另外，在選擇Rework時(shí)，程序會(huì)在提交按鍵發(fā)生后響應(yīng)。

如圖4M所示，若是某個(gè)產(chǎn)品批次中的部分晶圓硅片有異常，可自動(dòng) 將晶圓硅片進(jìn)行分批，并自動(dòng)將異常的晶圓硅片編號(hào)組成一個(gè)新的批次，并暫停，讓母批繼續(xù)作業(yè)。

如圖4N所示，當(dāng)此異常單流程跑到最后一級(jí)會(huì)商完成后，系統(tǒng)自動(dòng)終結(jié)此異常單，同時(shí)，系統(tǒng)通過(guò)郵件知會(huì)生產(chǎn)線管理人員，并提供各個(gè)處理階段可查詢的平臺(tái)供品質(zhì)管理或者領(lǐng)導(dǎo)追蹤。

以上結(jié)合附圖詳細(xì)說(shuō)明了本發(fā)明的技術(shù)方案，通過(guò)本發(fā)明的技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)了簽核過(guò)程即為處理過(guò)程，簡(jiǎn)化了審批過(guò)程，提高了生產(chǎn)效率，同時(shí)，還具有實(shí)時(shí)性高、操作簡(jiǎn)便、功能性和實(shí)用性強(qiáng)等特點(diǎn)。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。