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半導(dǎo)體芯片封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法與流程

文檔序號:12180272閱讀:642來源:國知局
半導(dǎo)體芯片封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法與流程

本發(fā)明有關(guān)于一種半導(dǎo)體芯片的封裝結(jié)構(gòu),特別是有關(guān)于一種不需使用模具就能完成封裝制程的半導(dǎo)體芯片封裝結(jié)構(gòu)及其封裝方法。



背景技術(shù):

一般半導(dǎo)體組件在晶圓廠完成功能性的制造后,需要經(jīng)過切割成芯片,再將芯片與電路板電性連接;之后,要將完成電性連接的芯片與電路板放進(jìn)一個模具中,接著,將樹脂注入模具中,用以完全包覆芯片與電路板;再接著,經(jīng)過烘烤將樹脂固化后,即完成半導(dǎo)體組件的封裝。

在這個封裝過程中,模具為一種耗材,且需要根據(jù)不同的芯片尺寸個別制作;由于,開模制造模具的費用很高,故在產(chǎn)品制造的競爭過程中,往往造成成本增加的問題。此外,每一個芯片必須與一個電路板電性連接,故使得電路板也成為制造成本之一。

為了進(jìn)一步降低半導(dǎo)體芯片的封裝成本,故需要一種簡易的封裝結(jié)構(gòu)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

根據(jù)上述問題,本發(fā)明的主要目的在提供一種半導(dǎo)體芯片的封裝結(jié)構(gòu),包括:芯片,其主動面上配置有多個焊接點;多條金屬導(dǎo)線,其一端與焊接點電性連接;蓋體,由多個邊緣及封閉邊緣的頂部所形成,用以包覆芯片及金屬導(dǎo)線;封膠體,形成于蓋體中,包覆芯片及金屬導(dǎo)線,并暴露于蓋體的底部;多個金屬接點,曝露出封膠體表面,而每一個金屬接點與多條金屬導(dǎo)線的另一端電性連接成一體;其中,蓋體的一些邊緣上配置有孔隙。

根據(jù)上述之目的,使得本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu)不需經(jīng)過模具的制程,可以有效地降低制造成本。此外,本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu)也不需使用基板,除了可以進(jìn)一步地降低制造成本外,還可以降低封裝結(jié)構(gòu)的高度。

本發(fā)明另一主要目的在提供一種半導(dǎo)體芯片的封裝方法,包括:提供底材,底材上形成多個區(qū)域且每一個區(qū)域上配置有多個辨識記號;依序提供芯片,每一個芯片的主動面上配置有多個焊墊,并將相對主動面的底部固接于底材的每一個區(qū)域上,并配置在每一區(qū)域的辨識記號之間;執(zhí)行打線,是依序?qū)⒚恳粭l金屬導(dǎo)線的一端與每一個焊墊電性連接,并將每一條金屬導(dǎo)線的另端與每一個辨識記號電性連接,并形成金屬接點;提供蓋體,是于一側(cè)邊形成多個具有開口的容置空間,蓋體的每一個容置空間覆蓋一個芯片及金屬導(dǎo)線并與底材固接,而蓋體的一些邊緣上配置有孔隙;執(zhí)行注模,是將模流材料經(jīng)由蓋體邊緣上的孔隙注入至蓋體中的每一個容置空間中,以形成封膠體,每一個封膠體并包覆芯片及金屬導(dǎo)線;以及執(zhí)行剝離,是將底材與封膠體及蓋體分離,以曝露出金屬接點。

根據(jù)上述之目的,使得本發(fā)明的封裝方法不需經(jīng)過模具的制程,可以有效地降低制造成本。此外,本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu)也不需使用基板,除了可以進(jìn)一步地降低制造成本外,還可以降低封裝結(jié)構(gòu)的高度。

附圖說明

圖1A 是本發(fā)明的底材上視示意圖;

圖1B 是本發(fā)明的底材剖面示意圖;

圖2 是本發(fā)明的底材與芯片結(jié)合上視示意圖;

圖3 是本發(fā)明的芯片完成打線制成的剖面示意圖;

圖4 是本發(fā)明的蓋體底面視示意圖;

圖5 是本發(fā)明的蓋體覆蓋芯片的剖面示意圖;

圖6A-6C 是本發(fā)明的注模過程剖面示意圖;

圖7 是本發(fā)明完成剝離后的底面示意圖;

圖8A 是本發(fā)明完成切割后的封裝結(jié)構(gòu)底面示意圖;以及

圖8B 是本發(fā)明完成切割后的封裝結(jié)構(gòu)剖面示意圖。

具體實施方式

為使本發(fā)明之目的、技術(shù)特征及優(yōu)點,能更為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域人員所了解并得以實施本發(fā)明,在此配合所附圖式,于后續(xù)之說明書闡明本發(fā)明之技術(shù)特征與實施方式,并列舉較佳實施例進(jìn)一步說明,然以下實施例說明并非用以限定本發(fā)明,且以下文中所對照圖式,表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)之示意。

首先,請參考圖1A及圖1B,其中圖1A是本發(fā)明的底材上視示意圖,圖1B是本發(fā)明的底材剖面示意圖。如圖1A所示,是本發(fā)明的底材10是由高分子材料所形成,例如一種樹脂或AB膠。底材10可以區(qū)分為多個置放半導(dǎo)體組件的晶粒區(qū)14,每一個晶粒區(qū)14由虛線區(qū)分出來。此外,本發(fā)明的底材10,可以使用具有一定的硬度,或是先將底材10經(jīng)過烘烤過程,也使得底材10具有一定的硬度。接著,在晶粒區(qū)14的周邊位置形成多個辨識符號12,每一個辨識符號12為幾何形狀,例如:十字符號,且每一個辨識符號12的材質(zhì)為金屬,例如:金或銅或銅合金等。而每一個辨識符號12可以是由半導(dǎo)體制程以金屬沉積方式形成或是以電鍍方式形成或是以網(wǎng)印方式形成,如圖1B所示,本發(fā)明并不加以限制。此外, 對于每一個辨識符號12寸大小,可以根據(jù)所要封裝的半導(dǎo)體組件20的焊墊22數(shù)量來調(diào)整,本發(fā)明并不加以限制。

接著,請參考圖2,是本發(fā)明的底材與芯片結(jié)合上視示意圖。如圖2所示,將已經(jīng)切割完成的半導(dǎo)體組件20(例如:DRAM或Flash內(nèi)存),將其經(jīng)由取放機構(gòu)(Handler)逐一將每一半導(dǎo)體組件20放置至底材10上的晶粒區(qū)14,并且是將半導(dǎo)體組件20配置在每一個辨識符號12之間。此外,半導(dǎo)體組件20放置至底材10上的晶粒區(qū)14的固定方式,可以選擇使用一種樹脂(resin),特別是一種B-Stage樹脂或是具有導(dǎo)熱效果的樹脂來做為半導(dǎo)體組件20與底材10的黏著層。

再接著,請參考圖3,是本發(fā)明的底材與芯片結(jié)合上視示意圖。如圖3所示,使用打線機(wire bonding machine)將每一個半導(dǎo)體組件20上的焊墊22以一條金屬線30連接至底材10的辨識符號12上,以形成電性連接。而在較佳實施例中,當(dāng)打線機以逆打線方式,先在辨識符號12上形成金屬球體32后,再將金線30連接至半導(dǎo)體組件20上的焊墊22;此外,在發(fā)明的另一個實施例中,打線也可以選擇先將金線30與半導(dǎo)體組件20上的焊墊22連接后,再將金屬線30連接至辨識符號12上,并在辨識符號12形成金屬球體32;其中,在本發(fā)明的金屬球體32是由打線機將金屬材料與每一個底材10上的辨識符號12連接成一體,且每一個金屬球體32的直徑可以介于0.01mm~0.5.mm。此外,在本發(fā)明的較佳實施例中,可以在晶粒區(qū)14上,先形成黏著層50,以便藉由此黏著層50來固接半導(dǎo)體組件20;而此黏著層50可以是一種固化膠,例如:B-Stage固化膠;此外,黏著層50也可以是一種高導(dǎo)熱的樹脂,例如:以環(huán)氧樹脂為主要材料所形成的導(dǎo)熱膠。

接著,請參考圖4A及圖4B,是本發(fā)明的蓋體底面及剖面示意圖。如圖4A所示,蓋體40可以使用射出成型的方式,形成多個具有容置空間的蓋體區(qū)域42, 其中,每一個蓋體區(qū)域42由多個邊緣及封閉多個邊緣的頂部所形成。蓋體40可以經(jīng)過精確的設(shè)計,使得每一個蓋體區(qū)域42的容置空間可以封閉一個個間隔排列并且已經(jīng)電性連接在底材10上的半導(dǎo)體組件20;其中,蓋體40的材料可以選擇使用塑料或樹脂。此外,在射出成型的蓋體40設(shè)計上,其在四個周邊的寬度可以設(shè)計在0.5~1mm,而在本發(fā)明的實施例中,蓋體40四個周邊的寬度選擇在0.5mm;而在切割線寬約需1.2mm的狀況下,故四個周邊以外的其他中邊框的寬度選擇在2.2mm;其中,在圖4A中的虛線是代表切割線44的位置。此外,本發(fā)明的蓋體40進(jìn)一步在每一個邊框中間區(qū)域或邊框底部上形成孔隙46,其寬度可以選擇在1~5mm,可以作為后續(xù)注入模流模的進(jìn)出口。而在本實施例中,其孔隙46的寬度是選擇在2.5mm,如圖4B所示。

接著,請參考圖5,是本發(fā)明的蓋體覆蓋芯片的剖面示意圖。如圖5所示,可以選擇在蓋體40的底部邊框上先形成黏著層(未顯示于圖中)后,藉由此黏著層50與底材10固接。故當(dāng)射出成型的多個具有容置空間的蓋體區(qū)域42經(jīng)過對準(zhǔn)后,可以封閉多個間隔排列的半導(dǎo)體組件20,如圖5所示。

接著,請參考圖6A及圖6B及圖6C,是本發(fā)明的注模過程剖面示意圖。如圖6A所示,當(dāng)每一個具有容置空間的蓋體區(qū)域42封閉每一個底材10上的半導(dǎo)體組件20并藉由此黏著層50與底材10固接后,隨即可以進(jìn)行一個注模(molding)的封膠程序,其中,注入蓋體區(qū)域42中的封膠材料可以選擇環(huán)氧樹脂(Epoxy)或是低溫膠等。當(dāng)注入的封膠材料由射出成型的蓋體40上的至少一個孔隙46注入至蓋體區(qū)域42的容置空間中,如由圖6A箭頭所示處注入口注入封膠材料;隨著適當(dāng)?shù)氖┘訅毫?,可以使得注入的封膠材料完全充填至蓋體區(qū)域42的容置空間中;當(dāng)注入的封膠材料在蓋體40的另一側(cè)邊的孔隙46溢出時,即代表封膠材料已完 全充填至每一個蓋體區(qū)域42;最后,再經(jīng)過適當(dāng)?shù)募訙睾婵竞?,即可將封膠材料固化,如圖6B所示。根據(jù)本發(fā)明蓋體的設(shè)計,使得在半導(dǎo)體組件20的封裝過程中,不需要使用任何模具,而是以蓋體來取代,故可以節(jié)省制造模具的費用。

接著,請參考圖6C,是本發(fā)明將底材剝離封裝體的剖面示意圖。如圖6C所示,當(dāng)封膠材料已完全充填至每一個蓋體區(qū)域42后,并經(jīng)過適當(dāng)?shù)募訙睾婵竞?,即可將封膠材料固化,以在每一個蓋體區(qū)域42形成一個包覆半導(dǎo)體組件20的封膠體。接著,將底材10與封膠體及蓋體邊緣剝離,使得封膠體的底部及多個金屬球體32暴露出來,如圖6C所示。而在較佳實施例中,在完成封膠體的制程后,可以將封膠體先經(jīng)過一個低溫的熱制程,使得底材10可以軟化,方便將底材10與封膠體剝離。而在本實施例,此低溫的熱制程可以選擇30~60度。很明顯的,本發(fā)明的封裝結(jié)構(gòu)也不需使用底材10,除了可以進(jìn)一步地降低制造成本外,還可以降低封裝結(jié)構(gòu)的高度。

請參考圖7,是本發(fā)明完成剝離后的底面示意圖。如圖7所示,當(dāng)?shù)撞?0與封膠體剝離后,即會使得封膠體底部及多個金屬球體32暴露出來,此時,封膠體底部及多個金屬球體32是在同一個平面上。而在本發(fā)明的較佳實施例中,可以在晶粒區(qū)14上,先形成金屬層60,其形成方式可以與形成辨識符號12同時完成。之后,將黏著層50形成在金屬層60之上,以便藉由此黏著層50與半導(dǎo)體組件20固接,其中,黏著層50可以是一種高導(dǎo)熱的樹脂,例如:以環(huán)氧樹脂為主要材料所形成的導(dǎo)熱膠。而當(dāng)?shù)撞?0與封膠體剝離后,金屬層60即會暴露出來,如圖7所示。藉由此金屬層60的設(shè)計,可以作為半導(dǎo)體組件20的散熱路徑;此時,封膠體底部、多個金屬球體32即金屬層60是在同一個平面上。

請參考圖8A及圖8B,是本發(fā)明完成切割后的封裝結(jié)構(gòu)底面示意圖及剖面示意圖。如圖8A所示,當(dāng)?shù)撞?0與封膠體剝離后,封膠體底部、多個金屬球體32以及金屬層60即會暴露出來;接著,將一整片封裝結(jié)構(gòu)中暴露出來的每一個金屬球體32上形成錫膏(Solder Paste)后,再經(jīng)過熱制程后,即會在每一個金屬球體32上形成錫球(Solder Ball)16,使得錫球16突出于封膠體底部。

最后,經(jīng)由激光沿著切割線進(jìn)行切割后,即可以完成半導(dǎo)體組件20的封裝,如圖8B所示。很明顯的,本發(fā)明藉由此射出成型的蓋體作為模具,固可以節(jié)省傳統(tǒng)注模所需的模具,故可以進(jìn)一步降低制造的成本。

本發(fā)明接著提供一種半導(dǎo)體芯片的封裝方法,包括:

步驟一:提供底材10,并且在底材10上形成多個區(qū)域且每一個區(qū)域上配置有多個辨識記號12,其中,是底材10由高分子材料所形成,例如一種AB膠;此外,底材10可以區(qū)分為多個置放半導(dǎo)體組件的晶粒區(qū)14。在晶粒區(qū)14的周邊位置形成多個辨識符號12,每一個辨識符號12為幾何形狀,例如:十字符號,且每一個辨識符號12的材質(zhì)為金屬,例如:金或銅或銅合金等。而每一個辨識符號12可以是由半導(dǎo)體制程以金屬沉積方式形成或是以電鍍方式形成或是以網(wǎng)印方式形成,如圖1B所示,本發(fā)明并不加以限制。

步驟二:依序提供芯片20,每一個芯片20的主動面上配置有多個焊墊22,并將相對主動面的底部固接于底材的每一個晶粒區(qū)14上,并配置在每一個區(qū)域的辨識記號12之間。此外,半導(dǎo)體組件20放置至底材10上的晶粒區(qū)14的固定方式,可以選擇使用一種樹脂(resin),特別是一種B-Stage樹脂來做為半導(dǎo)體組件20與底材10的黏著層。而在較佳實施例中,可以在晶粒區(qū)14上,先形成金屬 層60,其形成方式可以與形成辨識符號12同時完成。之后,將黏著層50形成在金屬層60之上,以便藉由此黏著層50與半導(dǎo)體組件20固接。

步驟三:執(zhí)行打線,是依序?qū)⒚恳粭l金屬導(dǎo)線30的一端與每一個焊墊22電性連接,并將每一條金屬導(dǎo)線30的另一端與每一個辨識記號12電性連接,并形成金屬球體32;在本發(fā)明的金屬球體32是由打線機將金屬材料與每一個底材10上的辨識符號12連接成一體,且每一個金屬球體32的直徑可以介于1mm~10mm。

步驟四:提供蓋體,蓋體40可以使用射出成型的方式,形成多個具有容置空間的蓋體區(qū)域42,其中,每一個蓋體區(qū)域42由多個邊緣及封閉邊緣的頂部所形成。蓋體40可以經(jīng)過精確的設(shè)計,使得每一蓋體區(qū)域42的容置空間可以封閉一個個間隔排列并且已經(jīng)電性連接在底材10上的半導(dǎo)體組件20;其中,蓋體40的材料可以選擇使用塑料或樹脂。此外,本發(fā)明的蓋體40進(jìn)一步于一些邊緣上配置有孔隙46,以作為模流的注入口及出口。

步驟五:執(zhí)行注模,是將一模流材料經(jīng)由蓋體40邊緣上的至少一個孔隙46注入至蓋體40中的每一個容置空間42中,注入蓋體區(qū)域42中的封膠材料可以選擇環(huán)氧樹脂(Epoxy)或是低溫膠等。當(dāng)注入的封膠材料由射出成型的蓋體40上的至少一個孔隙46注入至蓋體區(qū)域42的容置空間中,如圖6A的箭頭所示處注入口;隨著適當(dāng)?shù)氖┘訅毫Γ梢允沟米⑷氲姆饽z材料完全充填至蓋體區(qū)域42的容置空間中;當(dāng)注入的封膠材料在蓋體40的另一側(cè)邊的孔隙46溢出時,即代表封膠材料已完全充填至每一個蓋體區(qū)域42。此時,形成封膠體可以包覆芯片及金屬導(dǎo)線。

步驟六:執(zhí)行加熱,可以將封膠體先經(jīng)過一個低溫的熱制程,使得底材10可以軟化,方便將底材10與封膠體剝離。而在實施例,此低溫的熱制程可以選 擇30~60度。在此要說明,此加熱步驟為選擇步驟,可以根據(jù)所使用的底材10的材質(zhì)來決定是否要執(zhí)行此步驟。

步驟六:執(zhí)行剝離,是將底材與封膠體及蓋體分離。當(dāng)?shù)撞?0與封膠體剝離后,即會使得封膠體底部及多個金屬球體32暴露出來。而在晶粒區(qū)14上配置有金屬層60時,而當(dāng)?shù)撞?0與封膠體剝離后,金屬層60即會暴露出來。

步驟七:形成錫球,是將一整片封裝結(jié)構(gòu)中暴露出來的每一個金屬球體32上形成錫膏(Solder Paste)后,再經(jīng)過一熱制程后,即會在每一個金屬球體32上形成錫球(Solder Ball),使得錫球16突出于封膠體底部。在此要說明,此形成錫球步驟為選擇步驟,可以根據(jù)所使用的封裝結(jié)構(gòu)是平面網(wǎng)格數(shù)組封裝(Land Grid Array;LGA)或是球格數(shù)組封裝(Ball Grid Array;BGA)來決定是否要執(zhí)行此步驟;其中,當(dāng)封裝結(jié)構(gòu)要形成BGA封裝結(jié)構(gòu)時,及要執(zhí)行此步驟。

步驟八:執(zhí)行切割,是經(jīng)由激光沿著切割線44進(jìn)行切割后,即可以完成半導(dǎo)體組件20的封裝,如圖8A或圖8B所示。

雖然本發(fā)明以前述之較佳實施例揭露如上,然其并非用以限定本發(fā)明,任何熟習(xí)本領(lǐng)域技藝者,例如,半導(dǎo)體組件20即不限定為內(nèi)存,只要是經(jīng)由半導(dǎo)體制程所形成的晶粒,均為本發(fā)明封裝之目標(biāo);因此,在不脫離本發(fā)明之精神和范圍內(nèi),當(dāng)可作些許之更動與潤飾,因此本發(fā)明之專利保護(hù)范圍須視本說明書所附之申請專利范圍所界定者為準(zhǔn)。

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