技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種功率金氧半導(dǎo)體場(chǎng)效晶體管及其制作方法。一種功率金氧半導(dǎo)體場(chǎng)效晶體管包括基材、介電層、多個(gè)焊球、第一及第二圖案化金屬層；基材包括有源表面、背面、位于有源表面的源極區(qū)與柵極區(qū)及位于背面的漏極區(qū)；第一圖案化金屬層設(shè)置于有源表面并包括源極電極、柵極電極、漏極電極及連接線路；源極及柵極電極電性連接源極及柵極區(qū)，連接線路位于基材的邊緣并電性連接漏極電極；介電層設(shè)置于有源表面上并暴露第一圖案化金屬層；第二圖案化金屬層包括多個(gè)覆蓋源極、柵極及漏極電極的球底金屬層及覆蓋連接線路并延伸至邊緣以電性連接漏極區(qū)的連接金屬層；焊球設(shè)置于球底金屬層上。本發(fā)明可提升功率金氧半導(dǎo)體場(chǎng)效晶體管的電性效能。

技術(shù)研發(fā)人員：張翊麒
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杰力科技股份有限公司
文檔號(hào)碼：201510238800
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.12
技術(shù)公布日：2016.12.07