載體襯底分離系統(tǒng)及方法
【專利摘要】公開了一種載體襯底分離系統(tǒng)和方法。載體襯底分離系統(tǒng)包括：加載設(shè)備，制造襯底被加載到該加載設(shè)備中，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結(jié)襯底被粘結(jié)至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，并且所述第一載體襯底或第二載體襯底在與所述粘結(jié)襯底分離后被加載到所述加載設(shè)備中；間隙形成設(shè)備，該間隙形成設(shè)備被構(gòu)造成在第一面板襯底與第一載體襯底之間形成間隙，或在第二面板襯底與第二載體襯底之間形成間隙；分離設(shè)備，該分離設(shè)備被構(gòu)造成使第一載體襯底或第二載體襯底與從間隙形成設(shè)備轉(zhuǎn)移的制造襯底分離；以及機械手，該機械手被構(gòu)造成在加載設(shè)備、間隙形成設(shè)備和分離設(shè)備之間轉(zhuǎn)移制造襯底。
【專利說明】載體襯底分離系統(tǒng)及方法
[0001]相關(guān)申請的交叉引用
[0002]本申請要求2013年5月24日提交的韓國專利申請N0.10-2013-0058733的權(quán)益，該申請通過引用并入本文，如同完全在此提出。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0003]本發(fā)明涉及一種載體襯底分離系統(tǒng)以及通過將附接至粘結(jié)襯底的載體襯底與粘結(jié)襯底分離來制造薄顯示面板的方法。

【背景技術(shù)】
[0004]諸如液晶顯示(IXD)裝置、有機發(fā)光顯示裝置、等離子顯示面板(rop)、電泳顯示(EPD)裝置之類的顯示裝置通過各種工藝來制造。制造工藝包括形成薄膜晶體管(TFT)陣列的薄膜晶體管工藝、粘結(jié)面板襯底的工藝等。
[0005]在顯示裝置的領(lǐng)域中，為了減小重量、便于布置以及增強設(shè)計，近來對具有薄厚度的薄顯示裝置的需求日益增加。因此，近來積極地發(fā)展薄顯示裝置。
[0006]通過減小構(gòu)造顯示裝置的顯示面板的厚度而制造的薄顯示面板應(yīng)當(dāng)被制造以實現(xiàn)薄顯示裝置。
[0007]如上所述，使用具有薄厚度的面板襯底的方法已經(jīng)作為將顯示面板制造為薄的厚度的方法被提出。然而，面板襯底的耐久性被降低，這是因為面板襯底被成形為薄的厚度，并且出于該原因，面板襯底在包括TFT工藝和粘結(jié)工藝的制造工藝中容易被損壞。
[0008]為了解決這種問題，已經(jīng)提出了一種方法，該方法通過使用厚度比包括在顯示裝置中的面板襯底的厚度厚的面板襯底來制造顯示面板，并且然后通過蝕刻面板襯底的一部分來制造薄顯示面板。韓國專利公開N0.10-2011-0119368(于2011年11月2日公開)中公開了這種相關(guān)技術(shù)。然而，該相關(guān)技術(shù)具有以下問題。
[0009]第一，大量蝕刻溶液被消耗用于蝕刻整個面板襯底,并且此外,蝕刻溶液被在蝕刻面板襯底時出現(xiàn)的異物污染。因此，蝕刻溶液應(yīng)該被定期地更換。出于該原因，在相關(guān)技術(shù)中，消耗品的處理成本由于蝕刻溶液的使用而增加，從而使顯示面板的制造成本增加。
[0010]第二，在相關(guān)技術(shù)中，在其中執(zhí)行蝕刻面板襯底的工藝的腔室的內(nèi)部由于蝕刻溶液以及在蝕刻面板襯底時出現(xiàn)的異物而被污染，并且因此，需要定期清洗腔室的內(nèi)部的工作。出于該原因，在相關(guān)技術(shù)中，工藝成本增加，這是因為定期地執(zhí)行清洗工作，并且此外，當(dāng)清洗工作正在執(zhí)行時，制造顯示面板的工藝停止，引起加工時間的損失以及顯示面板的生產(chǎn)率的降低。
[0011]第三，在相關(guān)技術(shù)中，諸如氟化氫(HF)的環(huán)境污染物被用作蝕刻溶液，引起環(huán)境污染的問題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0012]因此，本發(fā)明旨在提供一種載體襯底分離系統(tǒng)以及基本上解決由于相關(guān)技術(shù)的限制性和缺點而引起的一個或更多個問題的方法。
[0013]本發(fā)明的一方面旨在提供一種載體襯底分離系統(tǒng)以及自動地分離載體襯底與粘結(jié)襯底的方法，其中，載體襯底分別地被粘附至用于制造顯示面板的粘結(jié)襯底的兩個表面。
[0014]本發(fā)明的另外的優(yōu)點及特征將部分地在后面的說明書中提出，并且部分地對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員而言在閱讀下文之后將是顯而易見的，或者能夠從本發(fā)明的實踐中獲知。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點能夠通過在說明書和權(quán)利要求書以及附圖中具體指出的結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)和獲得。
[0015]為了實現(xiàn)這些和其他優(yōu)點，并且根據(jù)本發(fā)明的目的，如本文中所實施和大體描述的，提供一種載體襯底分離系統(tǒng)，該載體襯底分離系統(tǒng)包括:加載設(shè)備，在該加載設(shè)備中加載其中粘結(jié)襯底被粘結(jié)至載體襯底的制造襯底和與粘結(jié)襯底分離的第一載體襯底或第二載體襯底，該粘結(jié)襯底包括第一面板襯底和第二面板襯底，該載體襯底包括第一載體襯底和第二載體襯底；間隙形成設(shè)備,該間隙形成設(shè)備被構(gòu)造成在第一面板襯底與第一載體襯底之間形成間隙，或在第二面板襯底與第二載體襯底之間形成間隙；分離設(shè)備，該分離設(shè)備被構(gòu)造成使第一載體襯底或第二載體襯底與從間隙形成設(shè)備轉(zhuǎn)移的制造襯底分離；以及機械手，該機械手被構(gòu)造成在加載設(shè)備、間隙形成設(shè)備以及分離設(shè)備之間轉(zhuǎn)移制造襯底。
[0016]在本發(fā)明的另一方面中，提供一種載體襯底分離方法，該方法包括:將制造襯底轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備，以在第一面板襯底與被粘附至第一面板襯底的第一載體襯底之間形成第一間隙，在該制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結(jié)襯底被粘結(jié)至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底；將其中形成有第一間隙的制造襯底轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備，以使第一載體襯底與第一面板襯底分離；將與第一載體襯底分離的制造襯底轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備，以在第二面板襯底與被粘附至第二面板襯底的第二載體襯底之間形成第二間隙；以及將其中形成有第二間隙的制造襯底轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備，以使第二載體襯底與第二面板襯底分離。
[0017]應(yīng)當(dāng)理解的是，本發(fā)明的前述一般性描述和下列詳細描述是示例性和說明性的，并且意欲提供所要求保護的本發(fā)明的進一步解釋。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]包括附圖以提供對本發(fā)明的進一步理解，并且附圖被結(jié)合在本申請中并構(gòu)成本申請的一部分，附圖示出本發(fā)明的實施方式，并且與說明書一同用于解釋本發(fā)明的原理。在附圖中:
[0019]圖1是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的制造襯底的示意性橫截面圖；
[0020]圖2是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的制造襯底的示意性橫截面圖；
[0021]圖3是圖示根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的構(gòu)造的圖；
[0022]圖4和圖5是用于描述被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的間隙形成設(shè)備的示意性橫截面圖；
[0023]圖6是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的制造襯底的示意性分解立體圖；
[0024]圖7是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的支撐部件的示意性立體圖；
[0025]圖8是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的示意性橫截面圖；
[0026]圖9是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的O形環(huán)的示意性橫截面圖；
[0027]圖10是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的示意性平面圖，并且是線1-1上的一部分的放大橫截面圖；
[0028]圖11是用于描述被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的示意性橫截面圖；
[0029]圖12至圖15是用于描述操作被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的方法的示例性視圖；
[0030]圖16是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的加熱機構(gòu)的示意性橫截面圖；
[0031]圖17是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的間隙調(diào)節(jié)單元的示意性橫截面圖；
[0032]圖18是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的靜電去除單元的示意性橫截面圖；
[0033]圖19是圖示通過使用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法的流程圖；
[0034]圖20是在通過使用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中，用于將載體襯底聯(lián)接至粘結(jié)襯底的聯(lián)接設(shè)備的示意性橫截面圖；
[0035]圖21是在通過使用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中，用于將第一面板襯底粘結(jié)至第二面板襯底的粘結(jié)設(shè)備的示意性橫截面圖；以及
[0036]圖22是詳細地圖示根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法的流程圖。

【具體實施方式】
[0037]現(xiàn)在將詳細地參照本發(fā)明的示例性實施方式，其示例在附圖中圖示。在可能的情況下，將在全部附圖中使用相同的附圖標(biāo)記來指示相同部件或類似部件。
[0038]在下文中，將參照附圖詳細地描述本發(fā)明的實施方式。
[0039]圖1是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I的制造襯底的示意性橫截面圖。圖2是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I的制造襯底的示意性橫截面圖。圖3是圖示根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I的構(gòu)造的圖。
[0040]根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I使載體襯底200與用于制造顯示面板的粘結(jié)襯底100分離。在描述根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I之前，將在下面描述粘結(jié)襯底100和載體襯底200。
[0041]首先，粘結(jié)襯底100被應(yīng)用于諸如液晶顯示(IXD)裝置、有機發(fā)光顯示裝置、等離子顯示面板(PDP)、電泳顯示(EPD)裝置之類的顯示裝置。
[0042]粘結(jié)襯底100通過將第一面板襯底110粘結(jié)至第二面板襯底120的工藝來制造。中間層130形成在第一面板襯底110與第二面板襯底120之間。
[0043]中間層130能夠包括不同的成分，這取決于顯示裝置的種類。例如，當(dāng)顯示裝置是IXD裝置時，中間層130能夠包括液晶。當(dāng)顯示裝置是有機發(fā)光顯示裝置時，中間層130能夠包括熒光有機化合物。當(dāng)顯示裝置是PDP時，中間層130能夠包括惰性氣體。當(dāng)顯示裝置是EH)裝置時，中間層130能夠包括電子墨水。第一襯底110和第二襯底120能夠由玻璃、塑料或金屬形成。
[0044]粘結(jié)襯底100在處于被粘附至載體襯底200的狀態(tài)下被制造，并且如圖1所示，在其中粘結(jié)襯底100被粘結(jié)至載體襯底200的襯底被簡稱為制造襯底900。在這種情況下，制造襯底900包括構(gòu)造載體襯底200的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者。
[0045]其中載體襯底200通過根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I與制造襯底900分離的粘結(jié)襯底100被簡稱為顯示面板。即，當(dāng)構(gòu)造制造襯底900的粘結(jié)襯底100已經(jīng)與載體襯底200分離時，粘結(jié)襯底100是顯示面板。特別地，顯示面板被形成得較薄，并且因此被稱為薄顯示面板。
[0046]其次，載體襯底200被聯(lián)接至粘結(jié)襯底100，由此增強第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性。載體襯底200能夠包括被聯(lián)接至第一面板襯底110的第一載體襯底210以及被聯(lián)接至第二面板襯底120的第二載體襯底220。
[0047]第一載體襯底210幾乎匹配第一面板襯底110，或者被形成為厚度比第一面板襯底110的厚度厚，由此增強第一面板襯底110的耐久性。
[0048]第二載體襯底220幾乎匹配第二面板襯底120，或者被形成為厚度比第二面板襯底120的厚度厚，由此增強第二面板襯底120的耐久性。
[0049]第一襯底210和第二襯底220能夠由玻璃、塑料或金屬形成。
[0050]在制造顯示裝置的工藝完成之前，載體襯底200通過根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I與粘結(jié)襯底100分離，由此實現(xiàn)薄顯示面板以及包括薄顯示面板的薄顯示裝置。
[0051]為此，如圖3中所示，根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I包括:加載設(shè)備7，在該加載設(shè)備7中加載制造襯底900 (在該制造襯底900中，構(gòu)造有第一面板襯底110和第二面板襯底120的粘結(jié)襯底100被粘結(jié)至構(gòu)造有第一載體襯底210和第二載體襯底220的載體襯底200)和與粘結(jié)襯底100分離的第一載體襯底210或第二載體襯底220 ;間隙形成設(shè)備3，該間隙形成設(shè)備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成間隙，或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成間隙；分離設(shè)備2，該分離設(shè)備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220與從間隙形成設(shè)備3轉(zhuǎn)移的制造襯底900分離；以及多個機械手4和6，所述多個機械手4和6在加載設(shè)備7、間隙形成設(shè)備3以及分離設(shè)備2之間轉(zhuǎn)移制造襯底900。載體襯底分離系統(tǒng)I能夠進一步包括平臺5，從加載設(shè)備7轉(zhuǎn)移的制造襯底900、與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的一者分離的制造襯底900以及第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者被安置在該平臺5上。在這種情況下，機械手6和4能夠被分類成第一機械手6和第二機械手4,其中,第一機械手6被設(shè)置在加載設(shè)備7與平臺5之間，第二機械手4被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3與分離設(shè)備2之間。
[0052]首先,通過預(yù)處理制造的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至加載設(shè)備7。制造襯底900通過機械手被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3或分離設(shè)備2。
[0053]此外，通過分離設(shè)備2與制造襯底900分離的第一載體襯底210和第二載體襯底220被轉(zhuǎn)移至加載設(shè)備7。被轉(zhuǎn)移至加載設(shè)備7的第一載體襯底210和第二載體襯底220應(yīng)用清洗工藝以便再次利用。
[0054]其次，當(dāng)制造襯底900被輸入至間隙形成設(shè)備3時，在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙，或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。
[0055]然而，兩個間隙不同時形成。詳細地，首先，通過間隙形成設(shè)備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2,并且第一載體襯底210在分離設(shè)備2中被分離。其次，與第一載體襯底210分離的制造襯底900再次被輸入至間隙形成設(shè)備3，并且在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。在其中形成有第二間隙的制造襯底900被再次轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2，并且第二載體襯底220在分離設(shè)備2中被分離。
[0056]下面將參照附圖詳細描述間隙形成設(shè)備3的構(gòu)造和功能。
[0057]第三，如上所述，分離設(shè)備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220與通過間隙形成設(shè)備3在其中形成間隙的制造襯底900分離。
[0058]下面將參照附圖詳細描述分離設(shè)備2的構(gòu)造和功能。
[0059]第四，從加載設(shè)備7轉(zhuǎn)移的制造襯底900、與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的一者分離的制造襯底900以及第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者被安置在平臺5上。
[0060]即，襯底中的至少一個襯底總是被安置在平臺5上，使得間隙形成設(shè)備3和分離設(shè)備2連續(xù)地執(zhí)行其功能。
[0061]例如，從加載設(shè)備7轉(zhuǎn)移的制造襯底總是被安置在平臺5上。因此，當(dāng)通過間隙形成設(shè)備3在其中形成間隙的第一制造襯底900被提供至分離設(shè)備2時，被安置在平臺5上的第二制造襯底900能夠被提供至間隙形成設(shè)備。
[0062]此外，通過分離設(shè)備2與第一制造襯底900分離的第一載體襯底210被安置在平臺5上、被轉(zhuǎn)移至加載設(shè)備7并且被卸載至外部。
[0063]此外，通過分離設(shè)備2與第一載體襯底210分離的第一制造襯底900能夠被安置在平臺5上，在這種情況下，通過間隙形成設(shè)備3在其中形成間隙的第二制造襯底900能夠被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2。當(dāng)?shù)诙圃煲r底900被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2時，被安置在平臺5上的第一制造襯底900能夠再次被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3。
[0064]另一方面，通過間隙形成設(shè)備3在其中形成間隙的第二制造襯底900能夠被安置在平臺5上，在這種情況下，通過分離設(shè)備2與第一載體襯底210分離的第一制造襯底900能夠被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3。當(dāng)?shù)谝恢圃煲r底900被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3時，被安置在平臺5上的第二制造襯底900能夠再次被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2。
[0065]通過上述操作,平臺5能夠被分成至少三個或更多個空間。
[0066]第五，機械手將元件轉(zhuǎn)移至襯底。例如，機械手包括被設(shè)置在加載設(shè)備7與平臺5之間的第一機械手6以及被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3與分離設(shè)備2之間的第二機械手4。
[0067]圖4和圖5是用于描述被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的間隙形成設(shè)備的示意性橫截面圖。圖6是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的制造襯底的示意性分解立體圖。圖7是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的支撐部件的示意性立體圖。
[0068]被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I的間隙形成設(shè)備3在第一面板襯底110與第一載體襯底210之間形成第一間隙,或者在第二面板襯底120與第二載體襯底220之間形成第二間隙。即，間隙形成設(shè)備3使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100暫時地分離。
[0069]S卩，在分離設(shè)備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結(jié)襯底100分離之前，間隙形成設(shè)備3使第一載體襯底210或第二載體襯底220的一部分與粘結(jié)襯底100分離。
[0070]因此，載體襯底分離系統(tǒng)I減少分離設(shè)備2使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結(jié)襯底100分離所耗費的時間，由此提高薄顯示面板的生產(chǎn)率。
[0071]此外，載體襯底分離系統(tǒng)I允許分離設(shè)備2容易地使第一載體襯底210或第二載體襯底220整體與粘結(jié)襯底100分離，并且因此能夠防止載體襯底200在使第二載體襯底210與粘結(jié)襯底100分離的操作中被損壞。因此，載體襯底分離系統(tǒng)I能夠?qū)⑴c粘結(jié)襯底100分離的載體襯底200再次使用在制造另一顯示面板的過程中，并且因此能夠降低載體襯底200的消耗量，由此降低工藝成本。
[0072]如圖4和圖5中所示，間隙形成設(shè)備3包括:支撐部件34以及分離單元30，該支撐部件34支撐制造襯底900，該分離單元30使第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a與粘結(jié)襯底100分離，突出部210a或突出部220a沿制造襯底900的外部方向比粘結(jié)襯底100突出更遠。
[0073]首先，分離單元30能夠包括:暫時分離機構(gòu)31以及升降機構(gòu)32，該暫時分離機構(gòu)31接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220 ;該升降機構(gòu)32升高/降低暫時分離機構(gòu)31以便移動第一載體襯底210的一部分。
[0074]暫時分離機構(gòu)31被聯(lián)接至升降機構(gòu)32。暫時分離機構(gòu)31接觸載體襯底200中從粘結(jié)襯底100突出的突出部210a和220a。暫時分離機構(gòu)31穿過粘結(jié)襯底100接觸突出部210a和220a。在這種情況下，粘結(jié)襯底100能夠包括通槽10a (參見圖5)，暫時分離機構(gòu)31穿過通槽100a。
[0075]載體襯底200能夠被聯(lián)接至粘結(jié)襯底100，使得突出部210a和220a分別被設(shè)置在與通槽10a對應(yīng)的位置處。因此，暫時分離機構(gòu)31能夠通過通槽10a接觸突出部210a和220a，并且移動突出部210a和220a以便使載體襯底200的一部分與粘結(jié)襯底100分離。
[0076]當(dāng)?shù)谝惠d體襯底210和第二載體襯底220被聯(lián)接至粘結(jié)襯底100時，如圖6中所示，粘結(jié)襯底100能夠被聯(lián)接至載體襯底200。這將在下面進行詳細描述。
[0077]首先，第一面板襯底110能夠包括暫時分離機構(gòu)31穿過的兩個第一通槽110a。并且，第二面板襯底120能夠包括暫時分離機構(gòu)31穿過的兩個第二通槽120a。第一面板襯底110被粘結(jié)至第二面板襯底120以使第一通槽IlOa被連接至第二通槽120a。
[0078]第一載體襯底210能夠包括接觸暫時分離機構(gòu)31的第一突出部210a以及暫時分離機構(gòu)31穿過的第一連接槽210b。第一載體襯底210被聯(lián)接至第一面板襯底110，使得第一突出部210a被設(shè)置在第一通槽IlOa中的一個第一通槽IlOa中，并且第一連接槽210b被設(shè)置在另一個第一通槽IlOa中。
[0079]第二載體襯底220能夠包括接觸暫時分離機構(gòu)31的第二突出部220a以及暫時分離機構(gòu)31穿過的第二連接槽220b。第二載體襯底220被聯(lián)接至第二面板襯底120，使得第二突出部220a被設(shè)置在第二通槽120a中的一個第二通槽120a中，并且第二連接槽220b被設(shè)置在另一個第二通槽120a中。而且，第二載體襯底220被聯(lián)接至第二面板襯底120，使得第二突出部220a被設(shè)置在與第一連接槽對應(yīng)的位置處，并且第二連接槽220b被設(shè)置在與第一突出部210a對應(yīng)的位置處。
[0080]暫時分離機構(gòu)31能夠在如上所述被聯(lián)接至彼此的粘結(jié)襯底100和載體襯底200上執(zhí)行下列操作，以使第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100暫時分離。
[0081]當(dāng)使第一載體襯底210與第一面板襯底110暫時分離時，暫時分離機構(gòu)31通過第二連接槽220b、第二通槽120a和第一通槽IlOa接觸第一突出部210a。因此，暫時分離機構(gòu)31能夠移動第一突出部210a以使第一載體襯底210與第一面板襯底110暫時分離。
[0082]當(dāng)使第二載體襯底220與第二面板襯底120暫時分離時，暫時分離機構(gòu)31通過第一連接槽210b、第一通槽IlOa和第二通槽120a接觸第二突出部220a。因此，暫時分離機構(gòu)31能夠移動第二突出部220a以使第二載體襯底220與第二面板襯底120暫時分離。
[0083]當(dāng)?shù)谝惠d體襯底210被暫時分離、第一載體襯底210整體與粘結(jié)襯底100分離并且第二載體襯底220被暫時分離時，第一載體襯底210能夠不包括第一連接槽210b。這是因為當(dāng)暫時分離第二載體襯底220時，粘結(jié)襯底100處于第一載體襯底210與粘結(jié)襯底100分離并且從粘結(jié)襯底100移除的狀態(tài)。當(dāng)?shù)诙d體襯底220被暫時分離、第二載體襯底220整體與粘結(jié)襯底100分離并且第一載體襯底210被暫時分離時，第二載體襯底220能夠不包括第二連接槽220b。這是因為當(dāng)暫時分離第一載體襯底210時，粘結(jié)襯底100處于第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100分離并且從粘結(jié)襯底100移除的狀態(tài)。
[0084]此外，在圖6中，暫時分離機構(gòu)31穿過的第一連接槽210b、第一通槽110a、第二通槽120a和第二連接槽220b被圖示為均形成為三角形板形狀，但也可以形成為各種形狀(例如，盤狀)，不限于此。
[0085]此外，在圖6中，第一突出部210a形成在第一載體襯底210處接觸暫時分離機構(gòu)31的一部分形成為矩形形狀，但也可以形成為另一種形狀，不限于此。
[0086]此外，在圖6中，第二突出部220a形成在第二載體襯底220處接觸暫時分離機構(gòu)31的一部分形成為矩形形狀，但也可以形成為另一種形狀，不限于此。
[0087]第一突出部210a和第二突出部220a能夠形成為相同的形狀，或者能夠形成為不同的形狀。
[0088]盡管未不出,但第一面板襯底110、第二面板襯底120、第一載體襯底210和第二載體襯底220能夠形成為所有角都被倒角的八邊形形狀。在這種情況下，與第一突出部210a和第二突出部220a對應(yīng)的部分能夠被倒角為比其他角更小的尺寸，并且因此能夠形成為接觸暫時分離機構(gòu)31的形狀。
[0089]升降機構(gòu)32升高或降低暫時分離機構(gòu)31，使得暫時分離機構(gòu)31接觸突出部210a和220a，并且相對于粘結(jié)襯底100升高第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a。因此，如圖5中所示，載體襯底200的在其中形成突出部210a和220a的部分與粘結(jié)襯底100分離。
[0090]因此，間隙形成設(shè)備3能夠使第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a與粘結(jié)襯底100分離，并且因此能夠使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100暫時分離。
[0091]升降機構(gòu)32能夠反復(fù)地升高或降低暫時分離機構(gòu)31，使得暫時分離機構(gòu)31接觸突出部210a和220a。升降機構(gòu)32能夠反復(fù)地升高或降低暫時分離機構(gòu)31預(yù)定的次數(shù)。預(yù)定的次數(shù)能夠由使用者預(yù)先設(shè)定。因此，間隙形成設(shè)備3提高了使第一載體襯底210或第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100暫時分離的工藝的精度。
[0092]升降機構(gòu)32能夠改變暫時分離機構(gòu)31的位置。即，當(dāng)暫時分離機構(gòu)31的位置與突出部210a和220a的位置不匹配時，升降機構(gòu)32能夠根據(jù)從控制器(未示出)傳遞的控制信號來改變暫時分離機構(gòu)31的位置。
[0093]間隙形成設(shè)備3還能夠包括測量機構(gòu)33，該測量機構(gòu)33測量當(dāng)暫時分離機構(gòu)31升高或降低突出部210a和220a時施加至?xí)簳r分離機構(gòu)31的壓力。
[0094]測量機構(gòu)33能夠被設(shè)置在暫時分離機構(gòu)31與升降機構(gòu)32之間。當(dāng)暫時分離機構(gòu)31升高突出部210a和220a時，突出部210a和220a由于載體襯底200與粘結(jié)襯底100之間的聯(lián)接力而擠壓暫時分離機構(gòu)31。施加至?xí)簳r分離機構(gòu)31的壓力隨著載體襯底200與粘結(jié)襯底100逐漸并暫時分離而逐漸減弱，并且因此聯(lián)接力被減弱。
[0095]因此，測量機構(gòu)33能夠測量施加至?xí)簳r分離機構(gòu)31的壓力，并且通過使用測量的壓力值來判定載體襯底200的暫時分離是否完成。測量機構(gòu)33能夠通過使用有線通信和無線通信中的至少一者來將測量的壓力值提供至升降機構(gòu)32。
[0096]升降機構(gòu)32能夠反復(fù)地升高或降低暫時分離機構(gòu)31，直到由測量機構(gòu)33提供的壓力值達到預(yù)定壓力值。預(yù)定壓力值能夠由使用者預(yù)先設(shè)定。因此，間隙形成設(shè)備3提高了使載體襯底200與粘結(jié)襯底100暫時分離的工藝的精度。
[0097]第二，支撐部件34被緊密地粘附至制造襯底900。
[0098]支撐部件34支撐制造襯底900，在該制造襯底900中，載體襯底200被粘結(jié)至粘結(jié)襯底100。制造襯底900由支撐部件34支撐以使突出部210a和220a從支撐部件34突出。支撐部件34能夠被設(shè)置在腔室機構(gòu)(未示出)中。在這種情況下，使載體襯底200與粘結(jié)襯底100暫時分離的工藝能夠在腔室機構(gòu)中執(zhí)行。腔室機構(gòu)能夠形成為中空的矩形平行六面體形狀，但也能夠形成為提供在其中執(zhí)行使載體襯底200與粘結(jié)襯底100暫時分離的工藝的工作空間的形狀，不限于此。
[0099]當(dāng)載體襯底200與粘結(jié)襯底100暫時分離時，支撐部件34能夠固定制造襯底900。在這種情況下，制造襯底900能夠通過抽吸單元(未示出)被吸附并固定至支撐部件34。
[0100]如圖7中所示，支撐部件34能夠包括通孔34b，通孔34b用于傳遞從抽吸單元(未示出)供應(yīng)至粘結(jié)襯底100的抽吸力。抽吸單元能夠被設(shè)置在支撐部件34處以便被連接至通孔34b。抽吸單元能夠被設(shè)置在腔室機構(gòu)處以便被連接至通孔34b。通孔34b形成為穿過支撐部件34，與抽吸單元相連。
[0101]抽吸單元通過通孔34b抽吸流體，并且因此，制造襯底900被吸附并固定至支撐部件34。當(dāng)制造襯底900由支撐部件34支撐處于被聯(lián)接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態(tài)時，抽吸單元吸附接觸支撐部件34的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，從而將制造襯底900固定至支撐部件34。
[0102]當(dāng)制造襯底900由支撐部件34支撐處于被聯(lián)接至第一載體襯底210或第二載體襯底220的狀態(tài)時，抽吸單元吸附接觸支撐部件34的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，從而將制造襯底900固定至支撐部件34。如圖7中所示，支撐部件34能夠包括多個通孔34b。
[0103]盡管未示出，但是支撐部件34能夠是靜電卡盤。在這種情況下，制造襯底900能夠通過靜電力被固定至支撐部件34。支撐部件34能夠包括將制造襯底900粘附至支撐部件34的至少一個電極(未示出)。盡管未示出，但是支撐部件34能夠包括至少一個粘合橡膠(未示出)。在這種情況下，制造襯底900能夠通過粘合橡膠的粘性被固定至支撐部件34。
[0104]當(dāng)間隙形成設(shè)備3暫時分離第一載體襯底210時，制造襯底900能夠由支撐部件34支撐以使第一突出部210a從支撐部件34突出。當(dāng)間隙形成設(shè)備3暫時分離第二載體襯底220時，制造襯底900能夠由支撐部件34支撐以使第二突出部220a從支撐部件34突出。
[0105]如圖7中所示，暫時分離機構(gòu)槽34a能夠形成在支撐部件34的與第一突出部210a或第二突出部220a對應(yīng)并且設(shè)置暫時分離機構(gòu)31的位置處。
[0106]能夠在支撐部件34的其中形成有暫時分離機構(gòu)槽34a的一部分處形成粘合部34d，在粘合部34d中形成有比另一部分數(shù)量更多的通孔。即，當(dāng)暫時分離機構(gòu)31沿支撐部件34的上端方向推動突出部210a和220a時，當(dāng)制造襯底900沒有被緊密地粘附至支撐部件34時，制造襯底900能夠與突出部210a和220a —起沿上端方向被推動和升高。在這種情況下，突出部210a和220a可能不與粘結(jié)襯底100分離。
[0107]因此，能夠在粘合部34d處形成比另一部分數(shù)量更多的通孔。
[0108]此外，用于支撐制造襯底900的提升銷34c能夠被設(shè)置在支撐部件34處。在機械手支撐制造襯底900的底部的狀態(tài)下，當(dāng)制造襯底900被設(shè)置在支撐部件34處時，提升銷34c從支撐部件34的平面突出。在制造襯底900被設(shè)置在提升銷34c的上端處的狀態(tài)下，當(dāng)機械手偏離支撐部件34時，提升銷34c能夠插入平面中，并且制造襯底900能夠被設(shè)置在支撐部件34的平面處。
[0109]第三，如圖4中所示，間隙形成設(shè)備3能夠包括對準(zhǔn)單元50，該對準(zhǔn)單元50使突出部210a和220a與分離單元30對準(zhǔn)。
[0110]對準(zhǔn)單元50能夠包括照相機51和控制器52。
[0111]照相機51采集突出部210a和220a的圖像。
[0112]控制器52分析圖像以確定突出部210a或220a的位置?？刂破?2將控制信號傳送至分離單元30，使得暫時分離機構(gòu)31被設(shè)置在該位置處。
[0113]分離單元30根據(jù)控制信號來改變暫時分離機構(gòu)31的位置，由此允許暫時分離機構(gòu)31被準(zhǔn)確地并且緊密地粘附至突出部210a和220a。
[0114]S卩，由于暫時分離機構(gòu)31根據(jù)對準(zhǔn)單元50的控制而被準(zhǔn)確地并且緊密地粘附至突出部，因此使載體襯底200與制造襯底900分離的工藝能夠被自動地執(zhí)行。
[0115]第四，如圖4和圖5中所示，間隙形成設(shè)備3能夠包括插入單元40，插入單元40通過分離設(shè)備2被插入在粘結(jié)襯底100與第一載體襯底210的突出部210a或第二載體襯底220的突出部220a之間形成的間隙中。
[0116]插入單元40包括被插入間隙中的間隙刀以及移動間隙刀的間隙刀移動單元42。
[0117]暫時分離機構(gòu)31在預(yù)定時期期間接觸突出部210a或220a，并且當(dāng)確定突出部與粘結(jié)襯底100分離時，基于通過通過分析由測量結(jié)構(gòu)33獲得的信息來確定載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離，或者通過各種方法來確定突出部與粘結(jié)襯底100分離，從而形成間隙，間隙刀移動單元42朝向該間隙移動。當(dāng)間隙刀移動單元42朝向該間隙移動時，如圖5中所示，間隙刀被插入該間隙中。
[0118]間隙刀41被插入該間隙中，并且然后，當(dāng)一定時間過去時，間隙刀移動單元42往回移動，并且因此，間隙刀41與間隙分離。
[0119]當(dāng)間隙刀41被插入間隙中時，在突出部與粘結(jié)襯底100之間形成細槽。即使暫時分離機構(gòu)31不再運行，該間隙仍能夠通過該細槽而被保持在突出部與粘結(jié)襯底100之間。
[0120]圖8是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的示意性橫截面圖。圖9是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的O形環(huán)的示意性橫截面圖。圖10是被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的示意性平面圖，并且是線1-1上的一部分的放大橫截面圖。圖11是用于描述被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的示意性橫截面圖。圖12至圖15是用于描述操作被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的O形環(huán)的方法的示例性視圖。圖16是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的加熱機構(gòu)的示意性橫截面圖。圖17是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的間隙調(diào)節(jié)單元的示意性橫截面圖。圖18是圖示被應(yīng)用于根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)的分離設(shè)備的靜電去除單元的示意性橫截面圖。
[0121]如圖3所示，根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I包括使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的分離設(shè)備2。如圖8所示，分離設(shè)備2包括:支撐制造襯底900的第一平臺21 ;被設(shè)置成與第一平臺21分離的第二平臺22 ;吸附單元23，該吸附單元23被設(shè)置在第二平臺22處以便被連接至在第二平臺22中形成的吸附孔221，并且通過吸附孔221吸附載體襯底200以便使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離；以及抽吸單元300，該抽吸單元300被設(shè)置在第一平臺21處以便被連接至在第一平臺21處形成的抽吸孔211，并且通過該抽吸孔211抽吸制造襯底900以便將制造襯底900緊密地粘附至第一平臺21。
[0122]首先，第一平臺21支撐載體襯底200以及被粘結(jié)至粘結(jié)襯底100的制造襯底900。
[0123]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，其中，第一襯底210和第二襯底220被聯(lián)接至粘結(jié)襯底100。在這種情況下，第一載體襯底210被聯(lián)接至第一面板襯底110，并且第二載體襯底220被聯(lián)接至第二面板襯底120。
[0124]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，使得第一載體襯底210和第二載體襯底220中的將被分離的一者朝向第二平臺22。
[0125]制造襯底900能夠由第一平臺21支撐，其中，第一襯底210或第二襯底220被聯(lián)接至粘結(jié)襯底100。在這種情況下,制造襯底900能夠由第一平臺21支撐,使得第一襯底210或第二襯底220朝向第二平臺22。制造襯底900能夠通過機械手(例如，第二機械手4)從間隙形成設(shè)備轉(zhuǎn)移，并且被安置在第一平臺21上。
[0126]第一平臺21可以設(shè)置在腔室單元(未示出)中。在這種情況下，使載體襯底200與制造襯底900暫時分離的工藝能夠在腔室機構(gòu)中執(zhí)行。腔室機構(gòu)能夠形成為中空的矩形平行六面體形狀，但也能夠形成為提供在其中執(zhí)行使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的工藝的工作空間的形狀，但不限于此。
[0127]當(dāng)載體襯底200與制造襯底900分離時，第一平臺21能夠固定制造襯底900。為此，第一平臺21能夠包括抽吸孔211，抽吸孔211將從抽吸單元300提供的抽吸力傳遞至粘結(jié)襯底100。
[0128]抽吸單元300能夠設(shè)置在第一平臺21處以便被連接至抽吸孔211。抽吸單元300能夠設(shè)置在腔室單元處以便被連接至抽吸孔211。抽吸孔211形成為穿過第一平臺21與抽吸單元300連接。
[0129]抽吸單元300通過抽吸孔211抽吸流體，并且因此，制造襯底900被吸附并固定至第一平臺21。當(dāng)制造襯底900由第一平臺21支撐處于粘結(jié)襯底100被聯(lián)接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態(tài)時，抽吸單元吸附接觸第一平臺21的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，由此將制造襯底900固定至第一平臺21。
[0130]當(dāng)制造襯底900由第一平臺21支撐處于粘結(jié)襯底100被聯(lián)接至第一載體襯底210和第二載體襯底220的狀態(tài)時，抽吸單元300吸附接觸第一平臺21的第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者，由此將粘結(jié)襯底100固定至第一平臺21。第一平臺21能夠包括多個抽吸孔211。
[0131 ] 盡管未示出，但是第一平臺21能夠是靜電卡盤。在這種情況下，制造襯底900能夠通過靜電力被固定至支撐部件34。第一平臺21能夠包括將制造襯底900粘附至第一平臺21的至少一個電極(未示出)。盡管未示出，但是第一平臺21能夠包括至少一個粘合橡膠(未示出)。在這種情況下，制造襯底900能夠通過粘合橡膠的粘性被固定至第一平臺21。
[0132]第二，第二平臺22設(shè)置成與第一平臺21分離。制造襯底900能夠由第一平臺21支撐使得制造襯底900被設(shè)置在第二平臺22與第一平臺21之間。第二平臺22能夠設(shè)置在第一平臺21上。第二平臺能夠設(shè)置在腔室單元(未示出)中。
[0133]第二平臺22包括使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的吸附孔221。該吸附孔221被連接至吸附單元23。吸附孔221形成為穿過第二平臺22使得從吸附單元23提供的抽吸力被傳遞至載體襯底200。
[0134]吸附孔221的一側(cè)能夠形成為穿過第二平臺22并且面向載體襯底200，并且另一側(cè)能夠形成為穿過第二平臺22并且被連接至吸附單元23。吸附孔221的一側(cè)能夠形成為多個以穿過第二平臺22使得從吸附單元23提供的抽吸力作為表面壓力被傳遞至載體襯底200。
[0135]第二平臺22能夠包括多個吸附孔221使得從吸附單元23提供的抽吸力作為表面壓力被傳遞至載體襯底200。在這種情況下，分離設(shè)備2能夠包括多個吸附單元23。
[0136]在制造襯底900由第一平臺21支撐的情況下，能夠執(zhí)行將載體襯底200 (其將與制造襯底900分離)的位置與第二平臺22的位置對準(zhǔn)的工藝。將載體襯底200與第二平臺22的位置對準(zhǔn)的工藝能夠通過移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者來執(zhí)行。盡管未示出，分離設(shè)備2能夠包括移動單元，該移動單元移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者，以便將載體襯底200與第二平臺22的位置對準(zhǔn)。移動單元能夠通過利用如下方法來移動第一平臺21和第二平臺22中的至少一者:使用液壓缸或氣缸的柱體法；使用滾珠絲杠的滾珠絲杠法；使用馬達和齒條的傳動方法；使用馬達、帶輪和皮帶的皮帶方法；以及使用線圈和永磁體的線性馬達。
[0137]吸附單元23被設(shè)置成被連接至吸附孔221。吸附單元23能夠被設(shè)置在第二平臺22處以便被連接至吸附孔221。吸附單元23能夠被設(shè)置在腔室單元處以便被連接至吸附孔 221。
[0138]吸附單元23能夠通過吸附孔221吸附流體以吸附載體襯底200。因此，吸附單元23能夠使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離。與粘結(jié)襯底100分離的載體襯底200能夠通過從吸附單元23提供的抽吸力被粘附至第二平臺22。
[0139]當(dāng)制造襯底900由第一平臺I支撐使得第一載體襯底210朝向第二平臺22時，吸附單元23能夠吸附第一載體襯底210以使第一載體襯底210與第一面板襯底110分離。
[0140]當(dāng)制造襯底900由第一平臺I支撐使得第二載體襯底220朝向第二平臺22時，吸附單元23能夠吸附第二載體襯底220以使第二載體襯底220與第二面板襯底120分離。
[0141]因此，根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離系統(tǒng)I在第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性通過載體襯底200增強的狀態(tài)下執(zhí)行制造顯示面板的工藝，并且因此，盡管第一面板襯底110和第二面板襯底120被形成為較薄的厚度，但是在制造顯示面板的工藝中能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120被容易地損壞。
[0142]此外，與相關(guān)技術(shù)不同，即使在不使用蝕刻溶液的情況下，載體襯底分離系統(tǒng)I仍能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120，從而制造薄顯示面板。因此，與相關(guān)技術(shù)相比，載體襯底分離系統(tǒng)I能夠降低生產(chǎn)成本，提供生產(chǎn)率，并且防止環(huán)境污染。
[0143]吸附單元23能夠以快的抽吸速度吸附載體襯底200，使得載體襯底200立即被吸附。例如，吸附單元23能夠以比制造襯底900被粘結(jié)至第一平臺21的粘結(jié)速度更快的抽吸速度吸附載體襯底200。
[0144]吸附單元23能夠在第二平臺22與載體襯底200分離一定距離的狀態(tài)下通過吸附孔221吸附流體。在這種情況下，通過吸附單元23產(chǎn)生的抽吸力泄漏在第二平臺22與載體襯底200之間，并且為此，使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離所花費的時間增加。
[0145]為了解決這種問題，在載體襯底分離系統(tǒng)I中，如圖9所示，分離設(shè)備2能夠包括O形環(huán)24。
[0146]第三，O形環(huán)24被聯(lián)接至第二平臺22以沿第一平臺21的外部方向從第二平臺22突出，并且沿著第二平臺22的外部部分形成閉環(huán)。
[0147]即，O形環(huán)24被聯(lián)接至第二平臺22。O形環(huán)24能夠被聯(lián)接至第二平臺22以沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。O形環(huán)24接觸載體襯底200以在載體襯底200與第二平臺22之間形成封閉空間B。
[0148]O形環(huán)24被聯(lián)接至第二平臺22使得吸附孔221被設(shè)置在封閉空間B中。因此，吸附單元23通過吸附孔221從封閉空間B抽吸流體以吸附載體襯底200，由此使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離。在這種操作中，O形環(huán)24防止由吸附單元23產(chǎn)生的抽吸力從封閉空間B泄漏，并且因此增加了被傳遞至載體襯底200的抽吸力(由吸附單元23產(chǎn)生)的量。因此，分離設(shè)備2減少了使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離所花費的時間，從而提高了薄顯示面板的生產(chǎn)率。
[0149]如圖9至圖11所示，O形環(huán)24能夠包括被聯(lián)接至第二平臺22的聯(lián)接構(gòu)件241、被形成為穿過O形環(huán)24的封閉孔242以及接觸載體襯底200的接觸構(gòu)件243。
[0150]聯(lián)接構(gòu)件241被插入第二平臺22中。因此，O形環(huán)24能夠被聯(lián)接至第二平臺22以使接觸構(gòu)件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。聯(lián)接構(gòu)件241能夠被形成為所有角均被圓整的四邊形環(huán)的形狀，但也能夠被形成為其他形狀，不限于此。
[0151]封閉孔242被設(shè)置在聯(lián)接構(gòu)件241和接觸構(gòu)件243中。O形環(huán)24被聯(lián)接至第二平臺22使得吸附孔221被設(shè)置在封閉孔242中。因此，由吸附單元23產(chǎn)生的抽吸力能夠通過吸附孔221和封閉孔242被傳遞至載體襯底200。封閉孔242能夠被形成為具有與載體襯底200的尺寸近似匹配或比載體襯底200的尺寸更小的尺寸。
[0152]接觸構(gòu)件243接觸載體襯底200以在第二平臺200與載體襯底200之間形成封閉空間B。接觸構(gòu)件243能夠被形成為例如翼狀。
[0153]接觸構(gòu)件243接觸載體襯底200，并且因此，封閉孔242由接觸構(gòu)件243、載體襯底200和第二平臺200封閉，由此形成封閉空間B。因此，接觸構(gòu)件243接觸載體襯底200，并且防止由吸附單元23產(chǎn)生的抽吸力從封閉空間B泄漏。因此，接觸構(gòu)件243增大被傳遞至載體襯底200的抽吸力(由吸附單元23產(chǎn)生)的量，由此減少使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離所花費的時間。
[0154]接觸構(gòu)件243能夠被形成為在封閉孔242的外部方向上是傾斜的并且沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出。即，接觸構(gòu)件243能夠被形成為在封閉孔242的外部方向上是傾斜的以使封閉孔22的尺寸沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)增大。
[0155]為了提供另外的描述，接觸構(gòu)件243能夠被聯(lián)接至第二平臺22以從第二平臺22沿第一平臺21的外部方向突出。
[0156]因此，當(dāng)載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離并且接觸構(gòu)件被擠壓時，接觸構(gòu)件243被擠壓至與粘結(jié)襯底100分離的載體襯底200，并且因此，如圖11所示，接觸構(gòu)件243能夠沿封閉孔242的外部方向被折疊。在這種情況下，第二平臺22包括容納接觸構(gòu)件243的容納槽222。容納槽222能夠被形成為與接觸構(gòu)件243對應(yīng)的形狀。容納槽222能夠被形成為具有與接觸構(gòu)件243的尺寸近似匹配或比接觸構(gòu)件243的尺寸更大的尺寸，以便容納接觸構(gòu)件243。
[0157]接觸構(gòu)件243被擠壓至載體襯底200并且被折疊，并且因此被插入容納槽222中，由此接觸構(gòu)件243不從第二平臺22突出。因此，載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離并且被第二平臺22吸附，并且因此，分離設(shè)備2能夠防止載體襯底200被接觸構(gòu)件損壞?，F(xiàn)在將對此詳細描述。
[0158]首先，即使接觸構(gòu)件243被擠壓至載體襯底200并且因此沒有被折疊，或者接觸構(gòu)件243被擠壓至載體襯底200并且因此被折疊，在第二平臺22不包括容納槽222的情況下，即使在載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離并且被第二平臺22吸附時，接觸構(gòu)件243仍保持從第二平臺22突出的狀態(tài)。因此，載體襯底200的接觸接觸構(gòu)件243的一部分比被第二平臺22吸附的一部分突出得更遠，并且為此，載體襯底200被彎曲或損壞。
[0159]當(dāng)接觸構(gòu)件243被擠壓至載體襯底200，被折疊，并且被插入容納槽222中時，接觸構(gòu)件243不從第二平臺22突出。因此，當(dāng)載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離并且被第二平臺22吸附時，能夠防止載體襯底200被彎曲或損壞。因此，分離設(shè)備2防止載體襯底200在使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的工藝中被損壞，并且因此，與粘結(jié)襯底100分離的載體襯底200能夠被重新利用以制造另一顯示面板。因此，分離設(shè)備2減少了在制造顯示面板的工藝中載體襯底200的消耗量，由此降低了工藝成本。
[0160]接觸構(gòu)件243能夠被形成為當(dāng)接觸構(gòu)件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出時減小尺寸。接觸構(gòu)件243能夠被形成為當(dāng)接觸構(gòu)件243沿從第二平臺22至第一平臺21的方向(箭頭方向A)突出時尺寸減小并且具有尖端。即，接觸構(gòu)件243的端部能夠被形成為尖的。因此，接觸構(gòu)件243能夠被擠壓至與粘結(jié)襯底100分離的載體襯底200并且容易被折疊，并且因此能夠被插入容納槽222中以便不從第二平臺22突出。另外，接觸構(gòu)件243減小接觸載體襯底200的一部分的面積，由此降低載體襯底200被損壞的可能性。
[0161]O形環(huán)24能夠被安裝在第一平臺21上。在這種情況下，被安裝在第一平臺21上的O形環(huán)能夠與被安裝在第二平臺22上的O形環(huán)對稱地形成。這將在下面參照圖12至圖15來描述。
[0162]將參照圖12至圖15簡要地描述操作O形環(huán)24的方法。
[0163]參照圖12，首先，制造襯底900被設(shè)置在第一平臺21處。O形環(huán)24被安裝在第一平臺21上，并且制造襯底900被安裝在呈翼狀的O形環(huán)24的頂部上。
[0164]再參照圖13，制造襯底900通過驅(qū)動抽吸單元300而被第一平臺21真空吸附。制造襯底900被第一平臺21真空吸附并且被緊密地粘附至第一平臺21，并且因此，在隨后的工藝中，即使當(dāng)?shù)诙脚_22吸附第一載體襯底210或第二載體襯底220時，除去第一載體襯底210或第二載體襯底220的制造襯底900實際上仍能夠被設(shè)置在第一平臺處。在描述中，真空吸附工藝能夠通過與對安裝在第二平臺22上的O形環(huán)24的描述相同的方法執(zhí)行。
[0165]參照圖14，第二平臺22被降低，并且因此，形成為翼狀并且被安裝在第二平臺22上的O形環(huán)24接觸制造襯底900的頂部，即，第一載體襯底210或第二載體襯底220。在這種情況下，第二平臺22不會通過壓縮第一載體襯底210或第二載體襯底220而接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220。S卩，第二平臺22在其間存在微小間隔的情況下接觸第一載體襯底210或第二載體襯底220，使得第一載體襯底210或第二載體襯底220與制造襯底900分離并且被移動至第二平臺22。
[0166]參照圖15，通過驅(qū)動吸附單元23，第一載體襯底210或第二載體襯底220被第二平臺22吸附。第一載體襯底210或第二載體襯底220被粘附至第二平臺22，并且因此，第一載體襯底210或第二載體襯底220與制造襯底900分離。通過間隙形成設(shè)備3在第一載體襯底210或第二載體襯底220與第一面板襯底110或第二面板襯底120之間形成間隙，并且因此，第一載體襯底210或第二載體襯底220能夠從間隙G附近分離。即，分離操作由于通過間隙形成設(shè)備3形成的間隙G而能夠通過分離設(shè)備2平穩(wěn)地執(zhí)行。
[0167]在這種情況下，第一平臺21能夠通過將在下面描述的加熱機構(gòu)來加熱。
[0168]第四，分離設(shè)備2能夠包括豎直地移動第二平臺22的移動單元25。
[0169]移動單元25被聯(lián)接至第二平臺22。移動單元25能夠被設(shè)置在腔室單元處。移動單元25能夠沿第二平臺22更靠近第一平臺21的方向以及沿第二平臺22更遠離第一平臺21的方向移動第二平臺22。當(dāng)?shù)诙脚_22被設(shè)置在第一平臺21上方時，移動單元25能夠提升或降低第二平臺22。移動單元25能夠通過利用如下方法來移動第二平臺22:使用液壓缸或氣缸的柱體法；使用滾珠絲杠的滾珠絲杠法；使用馬達和齒條的傳動方法；使用馬達、帶輪和皮帶的皮帶方法；以及使用線圈和永磁體的線性馬達。
[0170]在制造襯底900被安裝在第一平臺21上之前，如圖12所示，移動單元25沿偏離第一平臺21的方向移動第二平臺22。因此，移動單元25擴大了第一平臺21與第二平臺22之間的間隔，并且因此，在制造襯底900被安裝在第一平臺21上的工藝中，制造襯底900容易地被安裝在第一平臺21上，而不與第二平臺22和O形環(huán)24碰撞。
[0171]當(dāng)制造襯底900被安裝在第一平臺21上時，如圖14所示，移動單元25沿更靠近第一平臺21的方向移動第二平臺22。移動單元25能夠朝向由第一平臺21支撐的粘結(jié)襯底100移動第二平臺22，使得O形環(huán)24接觸載體襯底200以形成封閉空間B。在這種情況下，當(dāng)接觸構(gòu)件243接觸載體襯底200以便形成封閉空間B時，移動單元25能夠停止第二平臺22的運動。在這種情況下，吸附單元23通過吸附孔221從封閉空間B抽吸流體，并且因此，如圖15所示，吸附單元23能夠吸附載體襯底200以使載體襯底200與制造襯底900分離。
[0172]盡管未示出，當(dāng)載體襯底200與制造襯底900分離時，移動單元25能夠沿偏離第一平臺21的方向移動第二平臺22，使得制造襯底900和載體襯底200容易被卸載。
[0173]第五，如圖16所示，分離設(shè)備2還能夠包括加熱第一平臺21的第一加熱機構(gòu)26。
[0174]第一加熱機構(gòu)26加熱第一平臺21，由此加熱由第一平臺21支撐的粘結(jié)襯底100和載體襯底200。因此，第一加熱機構(gòu)26使粘結(jié)襯底100與載體襯底200之間的聯(lián)接力減弱，并且因此能夠使載體襯底200與粘結(jié)襯底100容易地分離。因此，分離設(shè)備2減少使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離所花費的時間，由此提高了薄顯示面板的生產(chǎn)率。另外，分離設(shè)備200能夠使載體襯底200與粘結(jié)襯底100容易地分離，由此在使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的工藝中防止載體襯底200被損壞。
[0175]第一加熱機構(gòu)26能夠被聯(lián)接至第一平臺21。第一加熱機構(gòu)26能夠被設(shè)置在腔室單元處。第一加熱機構(gòu)26能夠包括被設(shè)置在第一平臺21中的第一加熱絲(未示出)。第一加熱機構(gòu)26能夠允許第一加熱絲發(fā)熱，從而加熱第一平臺21。云母加熱器能夠被用作第一加熱機構(gòu)26。
[0176]第一加熱機構(gòu)26能夠在110攝氏度至180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21。當(dāng)?shù)谝患訜釞C構(gòu)26在低于110攝氏度的溫度下加熱第一平臺21時，粘結(jié)襯底100與載體襯底200之間的聯(lián)接力沒有被減弱到載體襯底200與粘結(jié)襯底100容易分離的程度。當(dāng)?shù)谝患訜釞C構(gòu)26在高于180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21時，粘結(jié)襯底100和載體襯底200可能被損壞。第一加熱機構(gòu)26在110攝氏度至180攝氏度的溫度下加熱第一平臺21，并且因此能夠防止粘結(jié)襯底100和載體襯底200被損壞，并且提高了使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的工藝的可用性。
[0177]第一加熱機構(gòu)26能夠?qū)⒌谝黄脚_21分成N個區(qū)域(其中，N為大于一的整數(shù))，并且針對所述區(qū)域中的每個區(qū)域來調(diào)節(jié)加熱溫度。因此，即使當(dāng)?shù)谝黄脚_21由于工藝環(huán)境而不處于完全一致的溫度下時，第一加熱機構(gòu)26能夠以不同的溫度加熱第一平臺21的區(qū)域，并且因此能夠完全并且一致地調(diào)節(jié)第一平臺21的溫度。因此，第一加熱機構(gòu)26能夠在完全一致的溫度下加熱粘結(jié)襯底100和載體襯底200，并且因此完全且一致地減弱粘結(jié)襯底100與載體襯底200之間的聯(lián)接力。因此，由于粘結(jié)襯底100和載體襯底200以部分不同的溫度被加熱，因此部分地產(chǎn)生聯(lián)接力差,并且因此,載體襯底200部分地沒有與粘結(jié)襯底100分離，從而防止粘結(jié)襯底100和載體襯底200被部分地損壞。
[0178]例如，第一加熱機構(gòu)26能夠?qū)⒌谝黄脚_21分成五個區(qū)域，并且針對五個區(qū)域中的每個區(qū)域調(diào)節(jié)加熱溫度。在這種情況下，第一加熱機構(gòu)26能夠單獨地調(diào)節(jié)第一平臺21的中央?yún)^(qū)域的加熱溫度以及被設(shè)置成圍繞中央?yún)^(qū)域的四個角區(qū)域的加熱溫度。盡管未示出，但是第一加熱機構(gòu)26能夠?qū)⒌谝黄脚_21分成兩個、三個、四個或六個區(qū)域，并且針對所述區(qū)域中的每個區(qū)域調(diào)節(jié)加熱溫度。第一加熱機構(gòu)26能夠從分別被設(shè)置在第一平臺21的多個區(qū)域處的多個溫度傳感器(未示出)接收若干條溫度信息，并且通過利用所接收的若干條溫度信息來調(diào)節(jié)區(qū)域的加熱溫度。
[0179]分離設(shè)備2能夠包括加熱第二平臺22的第二加熱機構(gòu)27。
[0180]第二加熱機構(gòu)27能夠在與第一加熱機構(gòu)26加熱第一平臺21的溫度近似匹配的溫度下加熱第二平臺22。因此，當(dāng)通過第一加熱機構(gòu)26加熱的載體襯底200被第二平臺22吸附時，第二加熱機構(gòu)27能夠防止第二平臺22由于溫度差而被損壞。
[0181]第二加熱機構(gòu)27能夠被聯(lián)接至第二平臺22。第二加熱機構(gòu)27能夠被設(shè)置在腔室單元處。第二加熱機構(gòu)27能夠包括被設(shè)置在第二平臺22中的第二加熱絲(未示出)。第二加熱機構(gòu)27能夠允許第二加熱絲發(fā)熱，從而加熱第二平臺22。云母加熱器能夠被用作第二加熱機構(gòu)27。
[0182]由于第二加熱機構(gòu)27加熱第二平臺22，因此粘結(jié)襯底100與載體襯底200之間的聯(lián)接力能夠被減弱。這是因為當(dāng)使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離時第二平臺22與載體襯底200之間的間隔狹窄，并且因此，當(dāng)?shù)诙訜釞C構(gòu)27加熱第二平臺22時產(chǎn)生的熱量通過對流和輻射被傳遞至由第一平臺21支撐的粘結(jié)襯底100和載體襯底200。
[0183]盡管未示出，但是第二加熱機構(gòu)27能夠?qū)⒌诙脚_22分成N個區(qū)域，并且針對所述區(qū)域中的每個區(qū)域調(diào)節(jié)加熱溫度。因此，即使當(dāng)?shù)诙脚_22由于工藝環(huán)境而不處于完全一致的溫度下時，第二加熱機構(gòu)27能夠以不同的溫度加熱第二平臺22的區(qū)域，并且因此能夠完全地且一致地調(diào)節(jié)第二平臺22的溫度。第二加熱機構(gòu)27能夠?qū)⒌诙脚_22分成數(shù)量與第一加熱機構(gòu)26將第一平臺21分成的區(qū)域的數(shù)量相等的多個區(qū)域，并且針對所述區(qū)域中的每個區(qū)域調(diào)節(jié)加熱溫度。第二加熱機構(gòu)27能夠單獨地加熱第二平臺22的區(qū)域，第二平臺22的區(qū)域處于與通過第一加熱機構(gòu)26加熱的第一平臺21的區(qū)域的布置相同的布置。第二加熱機構(gòu)27能夠從分別被設(shè)置在第二平臺22的多個區(qū)域處的多個溫度傳感器(未示出)接收若干條溫度信息，并且通過利用所接收的若干條溫度信息來調(diào)節(jié)區(qū)域的加熱溫度。
[0184]第六，如圖17所示，分離設(shè)備2能夠包括間隙調(diào)節(jié)單元28，該間隙調(diào)節(jié)單元28被插入第一平臺21與第二平臺22之間，并且保持第一平臺21與第二平臺22之間的恒定間隔。
[0185]如上所述，當(dāng)接觸構(gòu)件243接觸載體襯底200以便形成封閉空間B時，移動單元25能夠停止第二平臺22的運動。
[0186]由于制造襯底的厚度和封閉空間B的高度也較小，因此移動單元25難以將第二平臺22停止在精確位置處。
[0187]因此，分離設(shè)備2能夠包括間隙調(diào)節(jié)單元28。
[0188]間隙調(diào)節(jié)單元28能夠包括間隙調(diào)節(jié)器28b和移動件28a，其中，間隙調(diào)節(jié)器28b具有與第一平臺21與第二平臺22之間的間隔距離對應(yīng)的高度以用于形成封閉空間B，移動件28a移動間隙調(diào)節(jié)器28b。
[0189]當(dāng)制造襯底900被設(shè)置在第一平臺21處時，如圖17所示，移動件28a將間隙調(diào)節(jié)器28b移動至第一平臺21與第二平臺22之間的空間。
[0190]當(dāng)間隙調(diào)節(jié)器28b被設(shè)置在第一平臺21與第二平臺22之間時，第二平臺22朝向第一平臺21下降。朝向第一平臺21下降的第二平臺22通過間隙調(diào)節(jié)器28b而不再被降低。因此，第一平臺21與第二平臺22之間的高度與預(yù)定高度精確地匹配，并且能夠形成封閉空間B。
[0191]具有不同高度的兩個或更多個間隙調(diào)節(jié)器28b能夠被安裝在移動件28a上。即，制造襯底900的高度能夠根據(jù)顯示裝置的模型和種類而不同地改變，并且因此，第一平臺與第二平臺之間的高度也能夠被不同地設(shè)定。因此，具有不同高度的多個間隙調(diào)節(jié)器28b能夠被安裝在移動件28a上。在這種情況下，移動件28a能夠?qū)⒍鄠€間隙調(diào)節(jié)器28a中高度與制造襯底900的高度對應(yīng)的間隙調(diào)節(jié)器移動至第一平臺21與第二平臺22之間的空間。
[0192]第七，如圖18所示，分離設(shè)備2能夠包括靜電去除器29，該靜電去除器29被插入第一平臺21與第二平臺22之間，接觸與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結(jié)襯底100，并且從粘結(jié)襯底100去除靜電。
[0193]在分離設(shè)備2中，靜電可以存在于與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者分離的粘結(jié)襯底100上，并且損壞在隨后的工藝中使用的粘結(jié)襯底100和裝置。
[0194]因此，在分離設(shè)備2中，靜電去除器29接觸與第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者分離的粘結(jié)襯底100，并且將粘結(jié)襯底100的靜電發(fā)射至外部。
[0195]為此，靜電去除器29能夠包括接觸粘結(jié)襯底100的觸頭29a以及驅(qū)動觸頭29a的驅(qū)動器29b。
[0196]在下文中，將參照附圖對根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法的示例進行詳細描述。
[0197]圖19是圖示通過利用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法的流程圖。圖20是在通過利用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中用于將載體襯底聯(lián)接至粘結(jié)襯底的聯(lián)接設(shè)備的示意性橫截面圖。圖21是在通過利用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法中用于將第一面板襯底粘結(jié)至第二面板襯底的粘結(jié)設(shè)備的示意性橫截面圖。圖22是詳細地圖示根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法的流程圖。
[0198]通過利用根據(jù)本發(fā)明的實施方式的載體襯底分離方法來制造顯示面板的方法能夠包括下列操作。
[0199]首先，在一工藝(SlO)中，載體襯底200被聯(lián)接至第一面板襯底110和第二面板襯底120。該工藝(SlO)能夠?qū)⒌谝惠d體襯底210聯(lián)接至第一面板襯底110，并且將第二載體襯底220聯(lián)接至第二面板襯底120。如圖20所示，聯(lián)接載體襯底200的工藝(SlO)能夠通過將載體襯底200聯(lián)接至第二面板襯底120的聯(lián)接設(shè)備400來執(zhí)行。
[0200]例如，如圖20所示，聯(lián)接設(shè)備400能夠包括腔室模塊410、第一表面板420、第二表面板430和壓力調(diào)節(jié)器440。第一面板襯底110通過第一表面板420支撐，并且第一載體襯底210通過利用吸附力、靜電力和粘附力中的至少一者被粘附至第二表面板430。在這種狀態(tài)下，當(dāng)?shù)谝惠d體襯底210與第二表面板430分離并且接觸第一面板襯底110時，壓力調(diào)節(jié)器440將腔室模塊410的內(nèi)壓降低至真空壓力。因此，第一載體襯底210通過分子的鍵合而被聯(lián)接至第一面板襯底110。
[0201]此外，盡管未示出，第一載體襯底210能夠通過利用密封劑而被聯(lián)接至第一面板襯底110。
[0202]此外，盡管未示出，聯(lián)接設(shè)備400能夠通過利用朝向第一面板襯底110推動第一載體襯底210的結(jié)構(gòu)來將第一載體襯底210聯(lián)接至第一面板襯底110。該結(jié)構(gòu)能夠是加壓銷或膜片。
[0203]此外，聯(lián)接設(shè)備400能夠?qū)怏w噴射至第一載體襯底210以將第一載體襯底210聯(lián)接至第一面板襯底110。
[0204]聯(lián)接設(shè)備400能夠通過利用上述各種方法來將第二在體襯底220聯(lián)接至第二面板襯底120。
[0205]隨后，在一工藝(S20)中，制造粘結(jié)襯底100。工藝(S20)包括將第一面板襯底110粘結(jié)至第二面板襯底120的粘結(jié)工藝。該粘結(jié)工藝能夠在第一載體襯底210被聯(lián)接至第一面板襯底110并且第二載體襯底220被聯(lián)接至第二面板襯底120的狀態(tài)下執(zhí)行。
[0206]因此，由于粘結(jié)工藝在第一面板襯底110和第二面板襯底120的耐久性通過載體襯底200增強的狀態(tài)下執(zhí)行，盡管第一面板襯底110和第二面板襯底120被形成為較薄的厚度，但是在執(zhí)行粘結(jié)工藝的過程中能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120被容易地損壞。粘結(jié)工藝能夠通過如圖21所示的粘結(jié)設(shè)備500來執(zhí)行。
[0207]例如，如圖21所示，粘結(jié)設(shè)備500能夠包括腔室設(shè)備510、第一工作臺520和第二工作臺530。第一面板襯底110通過第一工作臺520支撐以使第一載體襯底210接觸第一工作臺520。用于將第一面板襯底110粘結(jié)至第二面板襯底120的密封劑(未示出)被涂覆在第一面板襯底110上。
[0208]第二面板襯底120通過利用吸附力、靜電力和粘附力中的至少一者被第二工作臺530支撐，以使第二載體襯底220接觸第二工作臺530。
[0209]在這種狀態(tài)下，第二面板襯底120接觸第一面板襯底110，第一面板襯底110和第二面板襯底120通過密封劑的吸附力粘結(jié)，從而制造粘結(jié)襯底100。在這種情況下，粘結(jié)設(shè)備500能夠通過利用朝向第一面板襯底110推動第二面板襯底120的結(jié)構(gòu)來將第一面板襯底110聯(lián)接至第二面板襯底120。該結(jié)構(gòu)能夠是第二工作臺530、加壓銷或膜片。粘結(jié)設(shè)備500能夠?qū)怏w噴射至第二面板襯底120以將第二面板襯底120聯(lián)接至第一面板襯底110。在粘結(jié)設(shè)備500中，當(dāng)?shù)诙姘逡r底120接觸第一面板襯底110時，壓力調(diào)節(jié)機構(gòu)將腔室模塊410的內(nèi)壓降低至真空壓力，從而將第一面板襯底110粘結(jié)至第二面板襯底120。
[0210]制造粘結(jié)襯底100的工藝(S20)能夠包括在第一面板襯底110和第二面板襯底120中的每個中形成電極的工藝，需要該電極用于驅(qū)動顯示面板。例如，制造粘結(jié)襯底100的工藝(S20)能夠包括在第一面板襯底110上形成TFT陣列的TFT工藝、在第二面板襯底120上形成濾色器陣列的濾色器(CF)工藝以及形成中間層130的工藝。
[0211 ] 這些工藝能夠在第一載體襯底210被聯(lián)接至第一面板襯底110并且第二載體襯底220被聯(lián)接至第二面板襯底120的狀態(tài)下執(zhí)行。因此，能夠防止第一面板襯底110和第二面板襯底120在執(zhí)行上述工藝的過程中被容易地損壞，并且因此，能夠提高制造薄顯示面板的工藝的收益率,并且能夠增強薄顯示面板的質(zhì)量。
[0212]如上所述，在其中載體襯底200被粘附至粘結(jié)襯底100的襯底被稱為制造襯底900。即，制造襯底900包括粘結(jié)襯底100和被粘附至粘結(jié)襯底100的載體襯底200，在這種情況下，載體襯底200能夠包括第一載體襯底210和第二載體襯底220中的至少一者。
[0213]隨后，在一工藝(S30)中，載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離。該工藝(S30)能夠通過將載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的載體襯底分離系統(tǒng)I來執(zhí)行。載體襯底200在該工藝(S30)中與粘結(jié)襯底100分離，并且因此，粘結(jié)襯底100能夠被實施為薄顯示面板。下面將參照圖1至圖22對使載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離的方法進行詳細描述。在下列描述中，簡要地說明或不提供重復(fù)的描述。
[0214]首先,制造襯底900被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備2,在該制造襯底900中,被構(gòu)造有第一面板襯底110和第二面板襯底120的粘結(jié)襯底100被粘結(jié)至被構(gòu)造有第一載體襯底210和第二載體襯底220的載體襯底200，并且在工藝(S31)中在第一面板襯底110與被粘附至第一面板襯底110的第一載體襯底210之間形成第一間隙G?，F(xiàn)在將詳細描述這一操作。
[0215]在制造載體襯底200被聯(lián)接至其的粘結(jié)襯底100的工藝(S20)中制造的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至加載設(shè)備7并且被安置在加載設(shè)備7上。
[0216]被安置在加載設(shè)備7上的制造襯底900通過第一機械手6被轉(zhuǎn)移至平臺5并且被安置在平臺5上。
[0217]被安置在平臺5上的制造襯底900通過第二機械手4被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3。在這種情況下，第二機械手4轉(zhuǎn)移處于支撐第二載體襯底220的底部的狀態(tài)的制造襯底900。提升銷34c被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3的支撐部件34處，并且制造襯底900被設(shè)置在提升銷34c處。然后，提升銷34c下降，并且因此，制造襯底900被設(shè)置在支撐部件34處。
[0218]制造襯底900通過抽吸單元(未示出)和通孔34b被緊密地粘附至支撐部件34。
[0219]對準(zhǔn)單元50核查在第一載體襯底210處形成的第一突出部210a的位置，并且然后將分尚單兀30移動至與第一突出部210a對應(yīng)的位置。
[0220]分離單元30被驅(qū)動，并且沿第一突出部210a與第一面板襯底110分離的方向擠壓第一突出部210。
[0221]當(dāng)在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成第一間隙G時，間隙刀41被插入第一間隙G中。
[0222]當(dāng)由于間隙刀41而在第一間隙G中出現(xiàn)脫離時，間隙刀41與第一間隙G分離。
[0223]在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成的第一間隙G能夠通過工藝來保持。
[0224]已經(jīng)對下述情況進行了描述:從平臺5將制造襯底900提供至間隙形成設(shè)備3，使得第二載體襯底220被設(shè)置在支撐部件34處。即，當(dāng)制造襯底900從平臺5被提供至間隙形成設(shè)備3使得第二載體襯底220被設(shè)置在支撐部件34處時，能夠在第一載體襯底210與第一面板襯底110之間形成第一間隙G。
[0225]第二，在其中形成有第一間隙G的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2，并且在工藝(S32)中第一載體襯底210與第一面板襯底110分離?，F(xiàn)在將詳細描述該工藝。
[0226]第二機械手4抽吸制造襯底900的頂部，即，第一載體襯底210，并且然后將制造襯底900轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2。
[0227]第二機械手4將制造襯底900設(shè)置在分離設(shè)備2的第一平臺21處。在這種情況下，第二載體襯底220被設(shè)置在第一平臺21處。
[0228]抽吸單元300強有力地抽吸制造襯底900，并且因此，第二載體襯底220被緊密地粘附至第一平臺21。
[0229]間隙調(diào)節(jié)器28b被插入第一平臺21與第二平臺22之間。
[0230]第二平臺22朝向第一平臺21下降，并且然后通過間隙調(diào)節(jié)器28b停止在特定位置處。
[0231]當(dāng)?shù)诙脚_22停止在特定位置處時，第一載體襯底210通過吸附單元23朝向第二平臺22移動，并且被緊密地粘附至第二平臺22。因此，第一載體襯底210與第一面板襯底110分離。
[0232]當(dāng)分離工藝正在被執(zhí)行時，能夠在間隙形成設(shè)備3中執(zhí)行用于另一制造襯底的間隙形成工藝(S31)。
[0233]第三，與第一載體襯底210分離的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3，并且在工藝(S33)中在第二面板襯底120與被粘附至第二面板襯底120的第二載體襯底220之間形成第二間隙?，F(xiàn)在將詳細描述該工藝。
[0234]第二機械手4能夠?qū)⒅圃煲r底900暫時設(shè)置在平臺5處，將另一制造襯底900 (被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3處)移動至分離設(shè)備2，并且將被暫時設(shè)置在平臺5處的制造襯底900轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3。另外，第二機械手4能夠?qū)⑵渌圃煲r底900(被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3處)暫時設(shè)置在平臺5處，將制造襯底900 (與第一載體襯底210分離)從分離設(shè)備2移動至間隙形成設(shè)備3，并且將被暫時設(shè)置在平臺5處的其他制造襯底900轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2。在這種情況下，第二機械手4能夠使制造襯底900旋轉(zhuǎn)，使得與第一載體襯底210分離的制造襯底900的第一面板襯底110被設(shè)置在間隙形成設(shè)備3的支撐部件34處。
[0235]第一面板襯底110被設(shè)置在支撐部件34處，并且因此，在被粘附至第二面板襯底120的第二載體襯底220處形成的第二突出部220a被設(shè)置在與分離單元30對應(yīng)的位置處。
[0236]分離單元30在第二突出部220a與第二面板襯底120之間形成第二間隙的工藝能夠通過與分離單元30在第一突出部210a與第一面板襯底110之間形成第一間隙的工藝(S31)相同的工藝執(zhí)行。
[0237]第四，在其中形成有第二間隙的制造襯底900被轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2，并且在工藝(S34)中第二載體襯底220與第二面板襯底120分離。現(xiàn)在將詳細描述該工藝。
[0238]第二機械手4將其中形成有第二間隙的制造襯底900轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備2的方法能夠通過以上已經(jīng)在將與第一載體襯底210分離的制造襯底900轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備3的方法中描述的工藝執(zhí)行。
[0239]其中形成有第二間隙的制造襯底900被設(shè)置在分離設(shè)備2處以使第一面板襯底110面向第一平臺21。
[0240]分離設(shè)備2將第二載體襯底220與第二面板襯底120分離的工藝能夠通過與分離設(shè)備2將第一載體襯底210與第一面板襯底110分離的工藝(S32)相同的工藝執(zhí)行。
[0241]最后，當(dāng)載體襯底200與粘結(jié)襯底100分離時，執(zhí)行刻劃與載體襯底200分離的粘結(jié)襯底100的工藝(S40)。
[0242]即，當(dāng)?shù)谝惠d體襯底210和第二載體襯底220與粘結(jié)襯底100分離時，刻劃粘結(jié)襯底100的工藝(S40)能夠通過刻劃與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結(jié)襯底100來執(zhí)行。
[0243]在上述顯示面板制造方法中，刻劃工藝可以不針對第一載體襯底210和第二載體襯底220執(zhí)行，并且因此，與粘結(jié)襯底100分離的第一載體襯底210和第二載體襯底220能夠被再次用于制造另一顯示面板。因此，根據(jù)本發(fā)明的實施方式，能夠減少制造薄顯示面板的工藝中載體襯底200的消耗量，從而降低工藝成本。
[0244]刻劃粘結(jié)襯底100的工藝(S40)能夠通過刻劃設(shè)備(未示出)來執(zhí)行，該刻劃設(shè)備傳遞與第一載體襯底210和第二載體襯底220分離的粘結(jié)襯底100?？虅澰O(shè)備能夠通過利用切割輪或激光來切割粘結(jié)襯底100。
[0245]當(dāng)粘結(jié)襯底100是其中形成有多個顯示面板的母襯底時，刻劃粘結(jié)襯底100的工藝(S40)能夠通過切割粘結(jié)襯底100來執(zhí)行以使粘結(jié)襯底100被分成多個顯示面板。
[0246]當(dāng)粘結(jié)襯底100是其中形成有一個顯示面板的襯底時，刻劃粘結(jié)襯底100的工藝(S40)能夠通過切割粘結(jié)襯底100的諸如虛擬區(qū)域的非顯示區(qū)域來執(zhí)行。
[0247]如上所述，通過使載體襯底與粘結(jié)襯底自動分離，本發(fā)明能夠簡化并快速執(zhí)行薄顯示面板的制造工藝，從而降低薄顯示面板的制造成本。
[0248]此外，本發(fā)明制造較薄厚度的第一面板襯底和第二面板襯底，并且防止第一面板襯底和第二面板襯底在載體襯底分離工藝中被容易地損壞，從而提高了薄顯示面板制造工藝中的收益率并且增強了薄顯示面板的質(zhì)量。
[0249]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言顯而易見的是，在不背離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，能夠在本發(fā)明中做出各種改型和變型。因此，本發(fā)明旨在覆蓋落入所附權(quán)利要求及其等同物的范圍內(nèi)的本發(fā)明的改型和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種載體襯底分離系統(tǒng)，其包括: 加載設(shè)備，制造襯底被加載到所述加載設(shè)備中，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結(jié)襯底被粘結(jié)至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，并且所述第一載體襯底或第二載體襯底在與所述粘結(jié)襯底分離后被加載到所述加載設(shè)備中； 間隙形成設(shè)備，所述間隙形成設(shè)備被構(gòu)造成在所述第一面板襯底與所述第一載體襯底之間形成間隙，或者在所述第二面板襯底與所述第二載體襯底之間形成間隙； 分離設(shè)備，所述分離設(shè)備被構(gòu)造成使所述第一載體襯底或所述第二載體襯底與從所述間隙形成設(shè)備轉(zhuǎn)移的所述制造襯底分離；以及 機械手，所述機械手被構(gòu)造成在所述加載設(shè)備、所述間隙形成設(shè)備和所述分離設(shè)備之間轉(zhuǎn)移所述制造襯底。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其還包括平臺，從所述加載設(shè)備轉(zhuǎn)移的所述制造襯底、與所述第一載體襯底和所述第二載體襯底中的一者分離后的所述制造襯底以及與所述粘結(jié)襯底分離后的所述第一載體襯底和所述第二載體襯底中的至少一者被安置在所述平臺上， 其中，所述機械手包括第一機械手和第二機械手，所述第一機械手被設(shè)置在所述加載設(shè)備與所述平臺之間，所述第二機械手被設(shè)置在所述間隙形成設(shè)備與所述分離設(shè)備之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述間隙形成設(shè)備包括: 支撐部件，所述支撐部件被構(gòu)造成支撐所述制造襯底；以及 分離單元，所述分離單元被構(gòu)造成使所述第一載體襯底或所述第二載體襯底的突出部與所述粘結(jié)襯底分離，所述突出部沿所述制造襯底的外部方向比所述粘結(jié)襯底突出得更遠。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述間隙形成設(shè)備還包括對準(zhǔn)單元，所述對準(zhǔn)單元被構(gòu)造成使所述突出部與所述分離單元對準(zhǔn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述間隙形成設(shè)備還包括插入單元，所述插入單元通過所述分離設(shè)備被插入在所述粘結(jié)襯底與所述第一載體襯底或所述第二載體襯底的所述突出部之間形成的間隙中。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述分離設(shè)備包括: 第一平臺，所述第一平臺被構(gòu)造成支撐所述制造襯底； 第二平臺，所述第二平臺被設(shè)置成與所述第一平臺分離； 吸附單元，所述吸附單元被設(shè)置在所述第二平臺處以被連接至在所述第二平臺中形成的吸附孔，并且被構(gòu)造成通過所述吸附孔吸附所述載體襯底以使所述載體襯底與所述粘結(jié)襯底分離；以及 抽吸單元，所述抽吸單元被設(shè)置在所述第一平臺處以被連接至在所述第一平臺處形成的抽吸孔，并且被構(gòu)造成通過所述抽吸孔抽吸所述制造襯底以將所述制造襯底緊密地粘附至所述第一平臺。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述分離設(shè)備還包括O形環(huán)，所述O形環(huán)被聯(lián)接至所述第二平臺以沿所述第一平臺的外部方向從所述第二平臺突出，并且被構(gòu)造成沿所述第二平臺的外部部分形成閉環(huán)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述分離設(shè)備還包括間隙調(diào)節(jié)單元，所述間隙調(diào)節(jié)單元被插入所述第一平臺與所述第二平臺之間，并且被構(gòu)造成保持所述第一平臺與所述第二平臺之間的恒定間隔。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的載體襯底分離系統(tǒng)，其中，所述分離設(shè)備還包括靜電去除器，所述靜電去除器被插入所述第一平臺與所述第二平臺之間，并且被構(gòu)造成接觸與所述第一載體襯底和所述第二載體襯底分離的所述粘結(jié)襯底并從所述粘結(jié)襯底去除靜電。
10.一種載體襯底分離方法，其包括: 將制造襯底轉(zhuǎn)移至間隙形成設(shè)備，在所述制造襯底中，包括第一面板襯底和第二面板襯底的粘結(jié)襯底被粘結(jié)至包括第一載體襯底和第二載體襯底的載體襯底，以在所述第一面板襯底與被粘附至所述第一面板襯底的所述第一載體襯底之間形成第一間隙； 將其中形成有所述第一間隙的所述制造襯底轉(zhuǎn)移至分離設(shè)備，以使所述第一載體襯底與所述第一面板襯底分離； 將與所述第一載體襯底分離的所述制造襯底轉(zhuǎn)移至所述間隙形成設(shè)備，以在所述第二面板襯底與被粘附至所述第二面板襯底的所述第二載體襯底之間形成第二間隙；以及將其中形成有所述第二間隙的所述制造襯底轉(zhuǎn)移至所述分離設(shè)備，以使所述第二載體襯底與所述第二面板襯底分離。
【文檔編號】H01L21/00GK104183468SQ201410225354
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年5月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月24日
【發(fā)明者】姜起福, 金興善, 李承厚 申請人:樂金顯示有限公司