專(zhuān)利名稱(chēng):半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體封裝技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng)。
背景技術(shù):
半導(dǎo)體封裝工藝中塑封(Molding)制程產(chǎn)品在模壓完成后,進(jìn)行去除流道廢膠工藝時(shí),如有樹(shù)脂屑未清干凈殘留在除膠機(jī)上,會(huì)造成封裝膠體崩缺異常,如膠體崩角、缺角、 露底材,影響產(chǎn)品外觀同時(shí)還會(huì)造成產(chǎn)品可靠性失效,從而造成半導(dǎo)體產(chǎn)品不良率升高。現(xiàn)有技術(shù)中采用多個(gè)單獨(dú)的小吹嘴組成吹氣系統(tǒng),在模壓完成后吹走剩余的樹(shù)脂屑,如圖1所示,在流道2的兩側(cè)設(shè)置多個(gè)吹嘴1。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于避免現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處而提供一種半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其具有更好的除膠效果。本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)措施實(shí)現(xiàn)。半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),包括設(shè)置于流道旁的吹氣管,所述吹氣管開(kāi)設(shè)有朝向所述流道的吹氣孔。所述吹氣管為一根,且位于所述流道的一側(cè)。所述吹氣孔均勻布置于所述吹氣管。所述吹氣孔對(duì)應(yīng)每個(gè)流道設(shè)置一個(gè)或者兩個(gè)。所述吹氣管的長(zhǎng)度貫穿整個(gè)除膠機(jī)。 所述吹氣管連通于供氣裝置。本實(shí)用新型的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),將除膠機(jī)吹氣設(shè)計(jì)由原來(lái)單個(gè)小吹嘴組成的吹氣系統(tǒng)改成單根吹氣管,并把原來(lái)由兩邊對(duì)吹氣設(shè)計(jì)成單邊吹氣,減小由于氣體對(duì)流而帶回樹(shù)脂殘屑,可完全改善產(chǎn)品在作業(yè)過(guò)程中因除膠機(jī)造成的割欠,從而降低了生
產(chǎn)不良率。
利用附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明,但附圖中的內(nèi)容不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的任何限制。圖1是現(xiàn)有技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記吹嘴1,流道2,吹氣管3,吹氣孔4,支架5。
具體實(shí)施方式
結(jié)合以下實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。[0019]實(shí)施例1本實(shí)施例的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng)如圖2所示,包括設(shè)置于流道2旁的吹氣管3,吹氣管3由支架5支撐。所述吹氣管3開(kāi)設(shè)有朝向所述流道2的吹氣孔4。所述吹氣管3為一根,且位于所述流道2的一側(cè)。本實(shí)用新型將除膠機(jī)吹氣設(shè)計(jì)由原來(lái)單個(gè)小吹嘴組成的吹氣系統(tǒng)改成單根吹氣管,并把原來(lái)由兩邊對(duì)吹氣設(shè)計(jì)成單邊吹氣,減小由于氣體對(duì)流而帶回樹(shù)脂殘屑。所述吹氣孔4均勻布置于所述吹氣管3。所述吹氣孔4對(duì)應(yīng)每個(gè)流道2設(shè)置一個(gè)或者兩個(gè)。實(shí)施例2本實(shí)施例參照?qǐng)D2,在實(shí)施例1的基礎(chǔ)上,所述吹氣管3的長(zhǎng)度貫穿整個(gè)除膠機(jī),所述吹氣管3連通于供氣裝置。因此采用一根吹氣管3,一個(gè)供氣裝置即可以對(duì)整個(gè)除膠機(jī)進(jìn)行除膠,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,而且使用方便。最后應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是,以上實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案而非對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制,盡管參照較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作了詳細(xì)說(shuō)明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解,可以對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行修改或者等同替換,而不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的實(shí)質(zhì)和范圍。
權(quán)利要求1.半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于包括設(shè)置于流道旁的吹氣管,所述吹氣管開(kāi)設(shè)有朝向所述流道的吹氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于所述吹氣管為一根,且位于所述流道的一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于所述吹氣孔均勻布置于所述吹氣管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于所述吹氣孔對(duì)應(yīng)每個(gè)流道設(shè)置一個(gè)或者兩個(gè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于所述吹氣管的長(zhǎng)度貫穿整個(gè)除膠機(jī)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),其特征在于所述吹氣管連通于供氣裝置。
專(zhuān)利摘要半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),包括設(shè)置于流道旁的吹氣管,所述吹氣管開(kāi)設(shè)有朝向所述流道的吹氣孔。所述吹氣管為一根,且位于所述流道的一側(cè)。所述吹氣孔均勻布置于所述吹氣管。所述吹氣孔對(duì)應(yīng)每個(gè)流道設(shè)置一個(gè)或者兩個(gè)。所述吹氣管的長(zhǎng)度貫穿整個(gè)除膠機(jī)。所述吹氣管連通于供氣裝置。本實(shí)用新型的半導(dǎo)體塑封除膠機(jī)吹氣系統(tǒng),將除膠機(jī)吹氣設(shè)計(jì)由原來(lái)單個(gè)小吹嘴組成的吹氣系統(tǒng)改成單根吹氣管,并把原來(lái)由兩邊對(duì)吹氣設(shè)計(jì)成單邊吹氣,減小由于氣體對(duì)流而帶回樹(shù)脂殘屑,可完全改善產(chǎn)品在作業(yè)過(guò)程中因除膠機(jī)造成的割欠,從而降低了生產(chǎn)不良率。
文檔編號(hào)H01L21/00GK202183360SQ20112027106
公開(kāi)日2012年4月4日 申請(qǐng)日期2011年7月29日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月29日
發(fā)明者付捷頻, 劉曉鋒, 李盛穩(wěn), 楊理 申請(qǐng)人:杰群電子科技(東莞)有限公司