專利名稱：板式pecvd設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及太陽(yáng)能硅片PECVD加工設(shè)備領(lǐng)域，具體為板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)。
背景技術(shù)：
板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口與出料口分別位于設(shè)備的兩端，以往分別需要在進(jìn)料口側(cè)與出料口側(cè)設(shè)置相應(yīng)的硅片上料機(jī)構(gòu)和硅片下料機(jī)構(gòu)，其設(shè)備占用空間大、設(shè)備成本高， 且硅片的上下料效率低，為此目前的自動(dòng)上下料系統(tǒng)為了能達(dá)到縮小設(shè)備占用空間、降低設(shè)備成本、并提高硅片上下料效率將整個(gè)硅片上料機(jī)構(gòu)與下料機(jī)構(gòu)集成設(shè)置于PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)，這就需要提供一個(gè)輸送承載平臺(tái)，其既能實(shí)現(xiàn)出片碳板的水平輸送，又能提供對(duì)出片碳板的可靠夾緊定位、以及對(duì)碳板上硅片的承載，保證上下料系統(tǒng)的搬運(yùn)機(jī)構(gòu)能夠可靠、快速搬運(yùn)硅片，提高硅片上、下料的效率。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其能起到有效的碳板承載輸送作用，并為硅片的轉(zhuǎn)送搬運(yùn)提供可靠的碳板夾緊定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自動(dòng)上下料的效率。其技術(shù)方案是這樣的，其特征在于其整體安裝于板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)以及碳板升降臺(tái)之間，其包括支架、水平輸送機(jī)構(gòu)、壓緊定位機(jī)構(gòu)、頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進(jìn)料方向垂直，所述水平輸送機(jī)構(gòu)安裝于所述支架，所述壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于所述水平輸送機(jī)構(gòu)的縱向兩端，所述頂升機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于所述支架。其進(jìn)一步特征在于所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的縱向兩端通過(guò)軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的橫向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的縱向兩端均通過(guò)所述軸承座一安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)橫向支架上均分別通過(guò)軸承座二安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側(cè)所述橫向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接；
所述壓緊定位機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)連接板一連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過(guò)導(dǎo)桿一連接壓緊塊，所述導(dǎo)桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)縱向連接板安裝有調(diào)節(jié)板一，所述調(diào)節(jié)板一的橫向前端安裝有定位輪一；
所述頂升機(jī)構(gòu)包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過(guò)連接板二固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌，所述直線軸承導(dǎo)軌上安裝有導(dǎo)桿二，所述導(dǎo)桿二上端頂緊所述連接板二下部；
所述定位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二通過(guò)連接板三與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三連接，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三上端通過(guò)連接塊與調(diào)節(jié)板二，所述調(diào)節(jié)板二的前端固定有定位輪二。使用本發(fā)明的碳板輸送裝卸臺(tái)，其有益效果在于其提供了一個(gè)可靠的承載輸送平臺(tái)，保證碳板以及放置于碳板上的硅片的輸送以及硅片的可靠搬運(yùn)，其中水平輸送機(jī)構(gòu)可以保證碳板的水平運(yùn)輸，壓緊定位機(jī)構(gòu)與定位機(jī)構(gòu)能夠?qū)⑻及鍓壕o定位，而頂升機(jī)構(gòu)將放置于碳板上的硅片向上可靠頂起方便上下料系統(tǒng)的硅片搬運(yùn)機(jī)構(gòu)進(jìn)行硅片的搬運(yùn)。


圖1為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)安裝位置示意圖； 圖2為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)結(jié)構(gòu)示意圖3為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)中的水平輸送機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖4為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)的壓緊定位裝置結(jié)構(gòu)示意圖； 圖5為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)的頂升機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖6為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)的定位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式見(jiàn)圖1、圖2、圖3、圖4、圖5和圖6，本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)整體安裝于板式PECVD 設(shè)備的進(jìn)料口 40側(cè)以及碳板升降臺(tái)41之間，其包括支架1、水平輸送機(jī)構(gòu)2、壓緊定位機(jī)構(gòu) 3、頂升機(jī)構(gòu)4和定位機(jī)構(gòu)5，支架1的安裝方向與PECVD硅片進(jìn)料方向49垂直，水平輸送機(jī)構(gòu)2安裝于支架1，壓緊定位機(jī)構(gòu)3和定位機(jī)構(gòu)5分別安裝于水平輸送機(jī)構(gòu)2的縱向兩端， 頂升機(jī)構(gòu)4通過(guò)固定板沈安裝于支架1。水平輸送機(jī)構(gòu)2包括電機(jī)6、傳動(dòng)軸9、主動(dòng)輸送輪11和從動(dòng)輸送輪12，電機(jī)6通過(guò)電機(jī)支架7固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，傳動(dòng)軸9的縱向兩端通過(guò)軸承座一 46固定于輸送機(jī)機(jī)架的橫向支架45，電機(jī)6與傳動(dòng)軸9通過(guò)同步帶輪8、 10傳動(dòng)連接，傳動(dòng)軸9的縱向兩端均通過(guò)軸承座一 46安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪11，兩側(cè)橫向支架45上均分別通過(guò)軸承座二 13安裝有兩個(gè)主動(dòng)輸送輪11與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪12，主動(dòng)輸送輪11與從動(dòng)輸送輪12均勻、間隔分布安裝于橫向支架45，單側(cè)橫向支架45上、相鄰兩個(gè)主動(dòng)輸送輪11之間通過(guò)傳送帶14傳動(dòng)連接；壓緊定位機(jī)構(gòu)3設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一 16安裝于輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的縱向支架47兩端；安裝板一 16下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一 15，橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一 15通過(guò)連接板一 17連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 18，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 18的上端固定有壓緊座19，壓緊座19通過(guò)導(dǎo)桿一 23連接壓緊塊25，導(dǎo)桿一 23外部套裝有彈簧對(duì)，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一 18通過(guò)縱向連接板20安裝有調(diào)節(jié)板一 21，調(diào)節(jié)板一 21的橫向前端安裝有定位輪一 22 ；頂升機(jī)構(gòu)4包括頂升板31，頂升板31上部安裝有載片柱32，頂升板 31下部通過(guò)連接板二 30固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二四，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二四固定于固定板26， 固定板26固定于支架1，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二四側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌觀，直線軸承導(dǎo)軌觀上安裝有導(dǎo)桿二 27，導(dǎo)桿二 27上端頂緊連接板二 30下部；定位機(jī)構(gòu)5包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二 34固定于輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的縱向支架47兩端；安裝板二 34下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二 33，橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二 33通過(guò)連接板三35與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三36連接，豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三36上端通過(guò)連接塊觀與調(diào)節(jié)板二 38，調(diào)節(jié)板二 38的前端固定有定位輪二 39。 圖1中，48為本發(fā)明碳板輸送裝卸臺(tái)。 下面具體描述一下本發(fā)明的工作過(guò)程裝滿已處理硅片的出片碳板由PECVD設(shè)備的出料口 42進(jìn)入出料口碳板升降臺(tái)43，再由底部輸送線裝置44送至進(jìn)料口側(cè)的碳板升降臺(tái)41，由碳板升降臺(tái)41的水平輸送機(jī)輸送至碳板輸送裝卸臺(tái)的頂升機(jī)構(gòu)4的正上方，同時(shí)壓緊定位機(jī)構(gòu)3和定位機(jī)構(gòu)5動(dòng)作，將出片碳板夾緊定位，然后頂升機(jī)構(gòu)4的豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二四向上動(dòng)作，載片柱32支承住硅片，PECVD設(shè)備的橫向搬運(yùn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作進(jìn)行硅片的裝卸， 硅片裝卸完后，頂升機(jī)構(gòu)4向下動(dòng)作將硅片落入出片碳板的定位槽中，壓緊定位機(jī)構(gòu)3與定位機(jī)構(gòu)5動(dòng)作松開(kāi)出片碳板，水平輸送機(jī)構(gòu)2動(dòng)作將出片碳板水平輸送至PECVD進(jìn)料端口。
權(quán)利要求
1.板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其特征在于其整體安裝于板式 PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)以及碳板升降臺(tái)之間，其包括支架、水平輸送機(jī)構(gòu)、壓緊定位機(jī)構(gòu)、 頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，所述支架的安裝方向與PECVD硅片進(jìn)料方向垂直，所述水平輸送機(jī)構(gòu)安裝于所述支架，所述壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于所述水平輸送機(jī)構(gòu)的縱向兩端，所述頂升機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于所述支架。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其特征在于 所述水平輸送機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)軸、主動(dòng)輸送輪和從動(dòng)輸送輪，所述電機(jī)通過(guò)電機(jī)支架固定于輸送機(jī)機(jī)架下部，所述傳動(dòng)軸的縱向兩端通過(guò)軸承座一固定于所述輸送機(jī)機(jī)架的橫向支架，所述電機(jī)與所述傳動(dòng)軸通過(guò)同步帶輪傳動(dòng)連接，所述傳動(dòng)軸的縱向兩端均分別通過(guò)所述軸承座一安裝有一個(gè)所述主動(dòng)輸送輪，所述兩側(cè)橫向支架上通過(guò)軸承座二安裝有兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪與兩個(gè)從動(dòng)輸送輪，所述主動(dòng)輸送輪與從動(dòng)輸送輪均勻、間隔分布安裝于所述橫向支架，單側(cè)所述橫向支架上、相鄰兩個(gè)所述主動(dòng)輸送輪之間通過(guò)傳送帶傳動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其特征在于 所述壓緊定位機(jī)構(gòu)設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板一安裝于所述輸送機(jī)機(jī)架進(jìn)料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板一下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述橫向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)連接板一連接豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一的上端固定有壓緊座，所述壓緊座通過(guò)導(dǎo)桿一連接壓緊塊，所述導(dǎo)桿一外部套裝有彈簧，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)一通過(guò)縱向連接板安裝有調(diào)節(jié)板一，所述調(diào)節(jié)板一的橫向前端安裝有定位輪一。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其特征在于 所述頂升機(jī)構(gòu)包括頂升板，所述頂升板上部安裝有載片柱，所述頂升板下部通過(guò)連接板二固定于豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二固定于所述固定板，所述固定板固定于所述支架，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)二側(cè)面安裝有直線軸承導(dǎo)軌，所述直線軸承導(dǎo)軌上安裝有導(dǎo)桿二， 所述導(dǎo)桿二上端頂緊所述連接板二下部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其特征在于 所述定位機(jī)構(gòu)包括設(shè)置有兩個(gè)，分別通過(guò)安裝板二固定于所述輸送機(jī)機(jī)架出料側(cè)的縱向支架兩端；所述安裝板二下部固定有橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二，所述橫向氣動(dòng)滑臺(tái)二通過(guò)連接板三與豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三連接，所述豎向氣動(dòng)滑臺(tái)三上端通過(guò)連接塊與調(diào)節(jié)板二，所述調(diào)節(jié)板二的前端固定有定位輪二。
全文摘要
本發(fā)明提供了板式PECVD設(shè)備上下料系統(tǒng)的碳板輸送裝卸臺(tái)，其能起到有效的碳板承載輸送作用，并為硅片的轉(zhuǎn)送搬運(yùn)提供可靠的碳板夾緊定位、硅片的可靠支承作用，提高硅片自動(dòng)上下料的效率。其特征在于其整體安裝于板式PECVD設(shè)備的進(jìn)料口側(cè)以及碳板升降臺(tái)之間，其包括支架、水平輸送機(jī)構(gòu)、壓緊定位機(jī)構(gòu)、頂升機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)，支架的安裝方向與PECVD硅片進(jìn)料方向垂直，水平輸送機(jī)構(gòu)安裝于支架，壓緊定位機(jī)構(gòu)和定位機(jī)構(gòu)分別安裝于水平輸送機(jī)構(gòu)的縱向兩端，頂升機(jī)構(gòu)通過(guò)固定板安裝于所述支架。
文檔編號(hào)H01L31/18GK102569509SQ20111045875
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者劉曉平, 陳平 申請(qǐng)人:無(wú)錫市奧曼特科技有限公司