專利名稱：芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法和芯片焊接機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法和芯片焊接機(jī)，尤其涉及適用于能夠利用芯片焊接機(jī)，管理根據(jù)要安裝的半導(dǎo)體芯片來(lái)進(jìn)行更換的工裝夾具，通過(guò)防止生產(chǎn)時(shí)的錯(cuò)誤來(lái)提高使用芯片焊接機(jī)的生產(chǎn)線的生產(chǎn)能力的方法。
背景技術(shù)：
作為將半導(dǎo)體集成電路(半導(dǎo)體芯片、管芯(die))安裝在印刷電路板上的裝置， 已知有芯片焊接機(jī)(Die Bonder)。作為通過(guò)芯片焊接機(jī)在印刷電路板上安裝半導(dǎo)體芯片的順序，首先，在要安裝印刷電路板的半導(dǎo)體芯片的位置(管芯墊(die pad))上利用預(yù)成形頭(preform head)預(yù)先涂敷糊劑(粘結(jié)劑)。另一方面，在半導(dǎo)體晶片上，同一圖案形成有多個(gè)，通過(guò)切割被切斷分離成各半導(dǎo)體芯片，利用半導(dǎo)體晶片的基座使之維持排列狀態(tài)。然后，從半導(dǎo)體晶片上部使焊接頭下降，從下部將頂出單元的銷(Peen)頂出，通過(guò)兩者協(xié)作，從基座上剝離半導(dǎo)體芯片，使其吸附到焊接頭的夾頭(collet)中。然后，使焊接頭移動(dòng)到管芯墊上，將半導(dǎo)體芯片帶到管芯墊上進(jìn)行粘結(jié)。這樣的芯片焊接機(jī)能夠應(yīng)對(duì)用于安裝于印刷電路板的多品種的半導(dǎo)體芯片，因此，預(yù)成形頭、焊接頭、頂出單元的工裝夾具能夠更換。例如，日本特開(kāi)2005-3 號(hào)公報(bào)中公開(kāi)了如下技術(shù)使焊接頭的軌跡根據(jù)半導(dǎo)體芯片的芯片尺寸而變化。如上所述，在芯片焊接機(jī)中，需要根據(jù)印刷電路板上要安裝的半導(dǎo)體芯片來(lái)更換并安裝預(yù)成形頭、焊接頭、頂出單元等的工裝夾具。此時(shí)，操作員通過(guò)觀察確認(rèn)工裝夾具所標(biāo)記的序號(hào)、工裝夾具的形狀，來(lái)親自進(jìn)行所安裝的工裝夾具是否與要生產(chǎn)的產(chǎn)品對(duì)應(yīng)的確認(rèn)。如果工裝夾具的安裝有錯(cuò)誤，安裝了與產(chǎn)品不對(duì)應(yīng)的工裝夾具時(shí)，芯片焊接機(jī)的裝置將停止，或者即使在已工作的情況下，當(dāng)品質(zhì)劣化或最差時(shí)，將發(fā)生破壞印刷電路板、 半導(dǎo)體芯片的故障。以往，沒(méi)有提供操作員檢查工裝夾具的安裝錯(cuò)誤的方法。另外，考慮在工裝夾具上貼條形碼，在工裝夾具安裝時(shí)使條形碼讀取器對(duì)其進(jìn)行讀取來(lái)管理的方法。但是，在使用了條形碼時(shí)，操作員必須使其一一讀取條形碼，并將條形碼的ID與工裝夾具的規(guī)格對(duì)應(yīng)地作成表來(lái)保持，與日俱增的工裝夾具信息的管理成為問(wèn)題。另外，條形碼也不能存儲(chǔ)使用了工裝夾具的生產(chǎn)的工作履歷。本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而研究的，其目的在于提供一種芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，在可更換工裝夾具的芯片焊接機(jī)中，能夠自動(dòng)進(jìn)行工裝夾具的管理，減輕操作員的操作，防止工裝夾具的安裝錯(cuò)誤，進(jìn)行高度的生產(chǎn)管理。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法中的芯片焊接機(jī)，將半導(dǎo)體晶片上的半導(dǎo)體集成電路的管芯安裝于印刷電路板，預(yù)成形頭的一部分、焊接頭的一部分、頂出單元的一部分分別作為工裝夾具能夠更換，上述預(yù)成形頭用于在印刷電路板上涂敷用于粘結(jié)管芯的粘結(jié)劑，上述焊接頭用于從半導(dǎo)體晶片上拾取管芯而供給至印刷電路板，上述頂出單元在上述焊接頭拾取上述管芯時(shí)從下方頂出要拾取的上述管芯。在預(yù)成形頭的工裝夾具、焊接頭的工裝夾具、頂出單元的工裝夾具上安裝RFID標(biāo)簽，將關(guān)于安裝有RFID標(biāo)簽的工裝夾具的信息存儲(chǔ)于RFID標(biāo)簽。開(kāi)工前，在芯片焊接機(jī)上安裝符合要生產(chǎn)的印刷電路板的預(yù)成形頭的工裝夾具、 焊接頭的工裝夾具、頂出單元的工裝夾具。另一方面，操作員從鍵盤(pán)、觸摸屏等輸入裝置輸入成為各工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息，在RAM中保持所輸入的作為工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息，RFID讀寫(xiě)器讀出各工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲(chǔ)的信息，運(yùn)算裝置對(duì)存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的作為工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息、與工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲(chǔ)的關(guān)于工裝夾具的信息進(jìn)行比較，當(dāng)存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)的作為工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息、與工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中存儲(chǔ)的關(guān)于工裝夾具的信息進(jìn)行比較的結(jié)果為兩者不一致時(shí)，CPU使顯示裝置顯示關(guān)于工裝夾具的安裝的判斷結(jié)果。這里，關(guān)于工裝夾具的信息包括工裝夾具的種類、半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品名、管芯的尺寸、工裝夾具的材質(zhì)。芯片焊接機(jī)預(yù)先提取工裝夾具的工作履歷而保持在RAM中，并將從HDD等讀出的關(guān)于工裝夾具的工作的信息也保持在RAM中。在生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，CPU指示RFID讀寫(xiě)器將工裝夾具的履歷寫(xiě)入各工裝夾具中安裝的 RFID標(biāo)簽中，RFID讀寫(xiě)器按照該CPU的指示，將各工裝夾具的工作履歷寫(xiě)入各工裝夾具中安裝的RFID標(biāo)簽中。RFID讀寫(xiě)器在讀出各工裝夾具中安裝的RFID標(biāo)簽中存儲(chǔ)的信息時(shí)讀出工裝夾具的工作履歷，CPU對(duì)RAM中所保持的關(guān)于工裝夾具的工作的信息與工裝夾具中安裝的RFID 標(biāo)簽中存儲(chǔ)的工裝夾具的工作履歷進(jìn)行比較，在該比較結(jié)果為工作履歷的值超過(guò)關(guān)于工裝夾具的工作的信息表示的值時(shí)，CPU使監(jiān)視器顯示關(guān)于工裝夾具的使用的信息。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的俯視圖。圖2是預(yù)成形部31的側(cè)視圖。圖3是焊接頭部32的側(cè)視圖。圖4是頂出單元50的剖視圖。圖5是利用焊接頭部32和頂出單元50從晶片拾取出管芯時(shí)的剖視圖。圖6是本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的功能框圖。圖7是示意地表示各工裝夾具上設(shè)置RFID標(biāo)簽的情況的圖。圖8A是表示在頂出單元50的工裝夾具上嵌入RFID標(biāo)簽200的例子的立體圖。圖8B是表示在頂出單元50的工裝夾具上嵌入RFID標(biāo)簽200的例子的俯視圖、剖視圖。圖9是表示RFID讀寫(xiě)器100的結(jié)構(gòu)的框圖。圖10是表示RFID標(biāo)簽200的結(jié)構(gòu)的框圖。圖IlA是表示RFID標(biāo)簽200具有的信息的例子的圖(其一)。圖IlB是表示RFID標(biāo)簽200具有的信息的例子的圖(其二)。圖12是表示警告等級(jí)表500的一例的圖。圖13是表示工裝夾具制造出廠時(shí)的處理的流程圖。圖14是表示芯片焊接機(jī)制造時(shí)的處理的流程圖。圖15A是表示工裝夾具安裝運(yùn)用時(shí)的處理的流程圖(其一)。圖15B是表示工裝夾具安裝運(yùn)用時(shí)的處理的流程圖(其二)。圖16是表示工裝夾具更換畫(huà)面的一例的流程圖。圖17是表示工作履歷表501的一例的圖。
具體實(shí)施例方式以下，用圖1至圖17說(shuō)明本發(fā)明各實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法?！矊?shí)施方式1〕以下，用圖1至圖16說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法。首先，用圖1至圖8B說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的結(jié)構(gòu)。圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的俯視圖。圖2是預(yù)成形部31的側(cè)視圖。圖3是焊接頭部32的側(cè)視圖。圖4是頂出單元50的剖視圖。圖5是利用焊接頭部32和頂出單元50從晶片拾取出管芯時(shí)的剖視圖。圖6是本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的功能框圖。圖7是示意地表示各工裝夾具上設(shè)置RFID標(biāo)簽的情況的圖。圖8A是表示在頂出單元50的工裝夾具上嵌入RFID標(biāo)簽200的例子的立體圖。圖8B是表示在頂出單元50的工裝夾具上嵌入RFID標(biāo)簽200的例子的俯視圖、剖視圖。芯片焊接機(jī)1大體包括晶片供給部10、工件供給輸送部2、芯片焊接部3。晶片供給部10具有晶片盒升降機(jī)11和晶片環(huán)保持架12。晶片盒升降機(jī)11具有填充有晶片環(huán)的晶片盒(未圖示)，將晶片環(huán)供給至晶片環(huán)保持架12。晶片環(huán)保持架12在焊接處理時(shí)將保持有晶片環(huán)的基座向下拉伸，擴(kuò)大管芯的間隔，使管芯的拾取性提高。另外，晶片環(huán)保持架12被配置在XY軸直動(dòng)臺(tái)上，拾取后直動(dòng)式移動(dòng)到下一管芯位置，準(zhǔn)備下次拾取。工件供給輸送部2具有堆料裝料機(jī)(stack loader) 21、框架輸送機(jī)(frame feeder) 22、卸載機(jī)(nuloader) 23。由堆料裝料機(jī)21向框架輸送機(jī)22供給的工件(引線框)，通過(guò)框架輸送機(jī)上的2個(gè)處理位置被輸送至卸載機(jī)23。芯片焊接部3具有預(yù)成形部31和焊接頭部32。預(yù)成形部31利用預(yù)成形頭40對(duì)由框架輸送機(jī)22輸送來(lái)的工件涂敷管芯粘結(jié)劑。焊接頭部32使焊接頭60與頂出單元從上下貼緊，利用焊接頭60的夾頭吸附并拾取位于晶片環(huán)保持架12上的晶片的管芯而使其上升，平行移動(dòng)管芯，使管芯移動(dòng)到框架輸送機(jī)22上的焊接點(diǎn)。然后，焊接頭部32使焊接頭60下降將管芯焊接到涂敷有管芯粘結(jié)劑的工件上。如圖2所示，預(yù)成形部31包括在引線框45等工件的糊劑涂敷面4 上涂敷糊劑的針46 ；使針46在圖面上沿上下左右方向移動(dòng)的Z軸驅(qū)動(dòng)部44 ；以及固定攝像機(jī)(未圖示)等，并保持使Z軸驅(qū)動(dòng)部44在圖面上沿左右方向移動(dòng)的導(dǎo)軌(未圖示)的固定臺(tái)48。預(yù)成形頭40的工裝夾具能從Z軸驅(qū)動(dòng)部44的基軸49上拆卸下來(lái)，并能根據(jù)要安裝的管芯的種類而更換。引線框45被形成工件供給輸送部2的框架輸送機(jī)22輸送，并被保持在載物臺(tái)47 上。如圖3所示，焊接頭60被安裝到Z軸驅(qū)動(dòng)部62上，能夠沿上下方向移動(dòng)。Z軸驅(qū)動(dòng)部62被安裝到XY載物臺(tái)61上，能夠沿X方向和Y方向移動(dòng)。焊接頭60的前端安裝有夾頭64，在該部分利用吸引管(未圖示)的空間吸附管
-I-H心。焊接頭60的工裝夾具能從安裝在Z軸驅(qū)動(dòng)部62上的基軸63上拆卸下來(lái)。如圖4所示，頂出單元50的前端部具有外部塊52和內(nèi)部塊M，利用活塞55按壓內(nèi)部塊52，能夠使其上下移動(dòng)?；钊?5在套筒59內(nèi)部被活塞驅(qū)動(dòng)部58所驅(qū)動(dòng)?；钊?qū)動(dòng)部58安裝在固定臺(tái)56上。頂出單元50的工裝夾具能夠從固定臺(tái)56的基軸53上拆卸下來(lái)。在拾取安裝在晶片環(huán)保持架12上的晶片的管芯4時(shí)，將晶片環(huán)保持架12帶到預(yù)定的拾取位置，如圖4所示，上部靠近焊接頭60，下部靠近頂出單元50的前端部。然后，使焊接頭60的夾頭64與管芯4接觸，通過(guò)內(nèi)部的吸引管65利用空間吸引管芯。與此同時(shí)， 活塞55向上方按押頂出單元50的內(nèi)部塊M，通過(guò)兩者的共同操作使管芯4從基座16上剝離。然后，使焊接頭60進(jìn)一步向上方移動(dòng)，從而拾取被夾頭64吸引的管芯4。本實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)1的控制模塊如圖6所示。CPU (Central Processing Unit) 70 (運(yùn)算裝置)控制該芯片焊接機(jī)1，對(duì)各部發(fā)出指示，執(zhí)行必要的程序。作為易失性存儲(chǔ)器的RAM (Random Access Memory) 71和作為非易失性存儲(chǔ)器的ROM (Read Only Memory) 72是通過(guò)總線與該CPU70連接的半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置。 R0M72可以存儲(chǔ)控制該芯片焊接機(jī)的各種程序。本實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)1的工裝夾具管理方法中，HDD (硬盤(pán)驅(qū)動(dòng)器)79等輔助存儲(chǔ)裝置中存儲(chǔ)有讀寫(xiě)器控制程序300和工裝夾具管理程序301，這些程序被裝載到 RAM71，由CPU70執(zhí)行。讀寫(xiě)器控制程序300是用于與RFID讀寫(xiě)器100進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的控制程序。工裝夾具管理程序301是用于讀取已寫(xiě)入RFID標(biāo)簽200中的信息，基于此顯示芯片焊接機(jī)1的操作員所需要的信息，或者向芯片焊接機(jī)的成為對(duì)象的工裝夾具中設(shè)置的RFID 標(biāo)簽200中寫(xiě)入工裝夾具的工作信息的程序。另外，控制該芯片焊接機(jī)1的各種程序可以不存儲(chǔ)在R0M72中，而存儲(chǔ)在HDD79中。
然后，CPU70根據(jù)RAM71中存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)，按照存儲(chǔ)在R0M72中的程序或從HDD79裝載的程序，集中控制與芯片焊接機(jī)的部件安裝工作有關(guān)的工作。CPU70根據(jù)這樣所存儲(chǔ)的控制芯片焊接機(jī)的工作的控制程序，通過(guò)驅(qū)動(dòng)電路77控制X軸驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)80、Y軸驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)81、Z軸驅(qū)動(dòng)電動(dòng)機(jī)82等的驅(qū)動(dòng)。識(shí)別處理裝置73通過(guò)接口 74與CPU70連接。由識(shí)別照相機(jī)78拍攝而讀入的圖像的識(shí)別處理在該識(shí)別處理裝置73中進(jìn)行，向CPU70發(fā)送處理結(jié)果。監(jiān)視器75是顯示工裝夾具的管理信息、用于各種數(shù)據(jù)設(shè)定的畫(huà)面等的顯示裝置。輸入裝置76是用于對(duì)芯片焊接機(jī)輸入信息的裝置，是觸摸屏、鍵盤(pán)、鼠標(biāo)等。RFID讀寫(xiě)器100利用所確定的頻帶的無(wú)線電信號(hào)，讀取工裝夾具上設(shè)置的RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的信息，另外在RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)信息，因此是成為與CPU70之間的媒介的裝置。RFID讀寫(xiě)器100在圖1中沒(méi)有特別示出，但設(shè)置于預(yù)成形頭40、焊接頭60、頂出單元50的電波到達(dá)的范圍內(nèi)的適當(dāng)位置。本實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)1的工裝夾具管理方法中，如圖7所示，在預(yù)成形頭40、 焊接頭60、頂出單元50的工裝夾具中嵌入RFID標(biāo)簽200。嵌入RFID標(biāo)簽200能夠通過(guò)機(jī)械加工或粘結(jié)來(lái)進(jìn)行。芯片焊接機(jī)1的裝置本身的大小為1. 5m 2m，是方形，RFID讀寫(xiě)器100與RFID 標(biāo)簽200的通信的頻帶能使用UHF頻帶或HF頻帶。例如，頂出單元50的工裝夾具如圖8A、圖8B所示，如位置A、位置B那樣，設(shè)置用于設(shè)置RFID標(biāo)簽200的槽，通過(guò)在此處粘結(jié)等來(lái)設(shè)置即可。這里，位置A用于工裝夾具的前端部分的部件管理，位置B用于該工裝夾具整體的管理，在位置A和位置B設(shè)置RFID標(biāo)簽。接著，用圖9和圖10說(shuō)明RFID讀寫(xiě)器100和RFID標(biāo)簽200的結(jié)構(gòu)和工作。圖9是表示RFID讀寫(xiě)器100的結(jié)構(gòu)的框圖。圖10是表示RFID標(biāo)簽200的結(jié)構(gòu)的框圖。RFID讀寫(xiě)器100如圖9所示，包括控制部101、上位I/F部102、存儲(chǔ)器103、發(fā)送部104，接收部105?？刂撇?01按照從上位I/F部102輸入的CPU70的指示，控制RFID讀寫(xiě)器100的各部。存儲(chǔ)器103中存儲(chǔ)有從RFID標(biāo)簽200讀取到的數(shù)據(jù)、RFID讀寫(xiě)器100的控制信息， 從控制部101讀出上述信息。發(fā)送部104進(jìn)行D/A轉(zhuǎn)換，從天線110發(fā)送電波。接收部105 從天線110接收電波，進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，并將數(shù)據(jù)發(fā)送到控制部101。RFID標(biāo)簽200如圖10所示，包括控制部201、存儲(chǔ)器203、發(fā)送部204、接收部205、 功率生成部206?？刂撇?01按照從天線210輸入的RFID讀寫(xiě)器100的指令，控制RFID標(biāo)簽200 的各部。存儲(chǔ)器203中存儲(chǔ)有該RFID標(biāo)簽200的存儲(chǔ)信息。功率生成部206接收電波，生成RFID標(biāo)簽200的工作所需要的功率。控制部201按照從天線210輸入的RFID讀寫(xiě)器100的指令，從存儲(chǔ)器203讀出數(shù)據(jù)，在發(fā)送部204進(jìn)行D/A轉(zhuǎn)換，從天線210發(fā)送電波，或從天線110接收電波，在接收部 105進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換，并將數(shù)據(jù)存儲(chǔ)存儲(chǔ)器203中。RFID讀寫(xiě)器100與RFID標(biāo)簽200的通信大概按以下順序進(jìn)行。
從RFID讀寫(xiě)器100側(cè)的天線110發(fā)送包含控制信號(hào)的電波DRFID標(biāo)簽200側(cè)的天線210接收來(lái)自RFID讀寫(xiě)器100的電波2)功率生成部206利用從RFID標(biāo)簽200側(cè)的天線210接收到的電波通過(guò)諧振作
用產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)(電磁感應(yīng)等)3)利用所產(chǎn)生的功率啟動(dòng)各電路，進(jìn)行必要的處理4)發(fā)送部204載上對(duì)處理結(jié)果進(jìn)行調(diào)制后的載波，從RFID標(biāo)簽200側(cè)的天線210 發(fā)送5)利用RFID讀寫(xiě)器100側(cè)的天線110接收電波6)利用RFID讀寫(xiě)器100的控制部101進(jìn)行解碼處理，發(fā)送至上位I/F1027) CPU70通過(guò)芯片焊接機(jī)的接口 74進(jìn)行數(shù)據(jù)處理接著，用圖IlA至圖12說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法中使用的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)。圖11A、圖IlB是表示RFID標(biāo)簽200具有的的信息的例子的圖。圖12是表示警告等級(jí)表500的一例的圖。RFID標(biāo)簽200具有的信息存儲(chǔ)在圖9的存儲(chǔ)器203中。這里，設(shè)計(jì)為按每一個(gè) RFID標(biāo)簽200存儲(chǔ)圖IlA和圖IlB的每一行的信息?！皹?biāo)簽編號(hào)”是對(duì)每個(gè)RFID標(biāo)簽200采用的固有的標(biāo)識(shí)符?！肮ぱb夾具種類”是用于芯片焊接機(jī)的可更換的工裝夾具的種類，本實(shí)施方式中存儲(chǔ)“焊接頭”、“頂出單元”、“預(yù)成形頭”?！皩?duì)象產(chǎn)品”是對(duì)每個(gè)成為其工裝夾具加工對(duì)象的晶片所標(biāo)注的產(chǎn)品名稱?！肮苄境叽纭贝鎯?chǔ)成為工裝夾具加工對(duì)象的管芯的尺寸。例如，“5mmX7mm”、 “7mmX 8mm”的方形等?！安馁|(zhì)”是用于工裝夾具的材質(zhì)。例如，“SUS (不銹鋼)”、“BRS (黃銅)”等?！笆窘虜?shù)據(jù)”是用于在芯片焊接機(jī)上運(yùn)用工裝夾具時(shí)的示教數(shù)據(jù)。例如是用“焊接頭”的工裝夾具從預(yù)定位置下降“ζ方向5mm”而拾取管芯等的信息?！鞍惭b時(shí)信息”是在將工裝夾具安裝在芯片焊接機(jī)上時(shí)，在圖6的監(jiān)視器75上對(duì)操作員顯示安裝方法、注意事項(xiàng)的信息。例如，“請(qǐng)將螺旋夾裝牢固”，“注意前端破壞”等。圖IlA中雖沒(méi)示出，但也可以預(yù)先將夾具的形狀圖案作為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在RFID中，用圖6的識(shí)別照相機(jī)78拍攝所安裝的工裝夾具，與識(shí)別處理裝置73識(shí)別出的數(shù)據(jù)進(jìn)行比較， 檢查夾具的識(shí)別有無(wú)錯(cuò)誤。以上的數(shù)據(jù)是在工裝夾具出廠時(shí)設(shè)定的數(shù)據(jù)。以下的“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”作為在芯片焊接機(jī)中運(yùn)用了工裝夾具時(shí)的工作履歷而存儲(chǔ)。“開(kāi)工數(shù)”是指利用該工裝夾具、禾Ij用“焊接頭”或“頂出單元”的工裝夾具從晶片上拾取管芯而安裝，或者利用“預(yù)成形頭”的工裝夾具在管芯的安裝位置涂敷了粘結(jié)劑時(shí)的工序的次數(shù)?！板e(cuò)誤發(fā)生數(shù)”記錄在使用了該工裝夾具時(shí)由該工裝夾具產(chǎn)生的錯(cuò)誤的次數(shù)?！肮ぷ鲿r(shí)間”存儲(chǔ)在使用該工裝夾具使芯片焊接機(jī)工作時(shí)的實(shí)際工作時(shí)間?！笆叭∈д`”記錄使用“焊接頭”或“頂出單元”的工裝夾具時(shí)的拾取失誤。
另一方面，圖12所示的警告等級(jí)表500是將用于與RFID標(biāo)簽200中所記錄的工作履歷相比較而在監(jiān)視器75顯示警告的信息按工裝夾具種類來(lái)存儲(chǔ)的表。該警告等級(jí)表 500存儲(chǔ)在HDD79等輔助存儲(chǔ)裝置中，圖6的CPU70在參照時(shí)將其裝載到RAM71中?！伴_(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”的內(nèi)容與各RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的信息對(duì)應(yīng)?！板e(cuò)誤發(fā)生數(shù)”例如(總錯(cuò)誤次數(shù))/(工作日)，“拾取失誤”例如(總拾取失誤數(shù))/ (工作日)，分別計(jì)算預(yù)定期間的次數(shù)，判斷是否發(fā)出警告?！熬娴燃?jí)”存儲(chǔ)表示警告的嚴(yán)重程度的等級(jí)，例如取為“A”(輕度)、“B”(中間)、 “C”(嚴(yán)重)，作為操作員的判斷基準(zhǔn)。接著，用圖13至圖16說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法的運(yùn)用模型。圖13是表示工裝夾具制造出廠時(shí)的處理的流程圖。圖14是表示芯片焊接機(jī)制造時(shí)的處理的流程圖。圖15A、圖15B是表示工裝夾具安裝運(yùn)用時(shí)的處理的流程圖。圖16是表示工裝夾具更換畫(huà)面的一例的流程圖。假定本實(shí)施方式的芯片焊接機(jī)的工裝夾具能夠更換，與芯片焊接機(jī)的裝置分開(kāi)而僅將僅有工裝夾具的單體發(fā)貨給顧客。首先，在工裝夾具制造出廠時(shí)，各焊接頭60、頂出單元50、預(yù)成形頭40的工裝夾具中嵌入RFID標(biāo)簽200 (圖13的S100)。這是通過(guò)對(duì)工裝夾具實(shí)施機(jī)械加工并粘結(jié)RFID標(biāo)簽200等手段來(lái)進(jìn)行的。接著，利用與個(gè)人計(jì)算機(jī)等信息處理設(shè)備連接的RFID讀寫(xiě)器100將出廠時(shí)信息寫(xiě)入RFID標(biāo)簽200的存儲(chǔ)器203 (SlOl)。圖11A、圖IlB所示的信息為“工裝夾具種類”、“對(duì)象產(chǎn)品”、“管芯尺寸”、“材質(zhì)”、“示教數(shù)據(jù)”、“安裝時(shí)信息”。接著，讀出數(shù)據(jù)并測(cè)試是否正常在RFID標(biāo)簽200中寫(xiě)入信息(S102)。然后，將嵌入有RFID標(biāo)簽200的工裝夾具出廠(S103)。另一方面，在芯片焊接機(jī)1的裝置的制造時(shí)，對(duì)普通的沒(méi)有RFID讀寫(xiě)器100的芯片焊接機(jī)安裝圖6的RFID讀寫(xiě)器100，與接口 74連接(圖14的S200)。本實(shí)施方式中，焊接頭60、頂出單元50、預(yù)成形頭40這三種工裝夾具中嵌入RFID 標(biāo)簽200，因此需要使用安裝有防止沖突(通信數(shù)據(jù)的沖突防止)功能的RFID讀寫(xiě)器100 和RFID標(biāo)簽200。在印刷電路板上安裝管芯的工裝夾具安裝運(yùn)用時(shí)，首先，接通芯片焊接機(jī)的裝置的電源(圖15A的S300)。以下的芯片焊接機(jī)的各處理為，在HDD79等輔助存儲(chǔ)裝置中預(yù)先存儲(chǔ)讀寫(xiě)器控制程序300和工裝夾具管理程序301，將這些程序裝載到RAM71，由CPU70執(zhí)行。接著，在圖6的監(jiān)視器75顯示圖16所示的工裝夾具更換畫(huà)面400(S301)。然后，操作員用觸摸屏等輸入裝置76通過(guò)工裝夾具更換畫(huà)面400的工裝夾具種類菜單401、對(duì)象產(chǎn)品菜單402、管芯尺寸菜單403指定制造條件630 。在工裝夾具種類菜單401中可選擇焊接頭60、頂出單元50、預(yù)成形頭40的工裝夾具的種類。對(duì)象產(chǎn)品菜單 402中可指定成為工裝夾具加工對(duì)象的產(chǎn)品名稱。管芯尺寸菜單403中可選擇1個(gè)能安裝在印刷電路板上的管芯的尺寸。
RFID讀寫(xiě)器100從工裝夾具RFID標(biāo)簽200讀取所存儲(chǔ)的信息(S303)。然后，判斷所輸入的制造條件與從RFID標(biāo)簽200讀取的信息是否一致(S304)，在不一致時(shí)，在工裝夾具更換畫(huà)面400的信息欄404顯示錯(cuò)誤信息，對(duì)操作員指示工裝夾具的安裝、更換(S305)。S304的否也包括沒(méi)有安裝工裝夾具的情況，即沒(méi)能從RFID標(biāo)簽200讀取信息的情況。當(dāng)沒(méi)能從RFID標(biāo)簽200讀取信息時(shí)，作為錯(cuò)誤信息，發(fā)出“工裝夾具(焊接頭)沒(méi)有被安裝”這樣的信息，當(dāng)從RFID標(biāo)簽200讀取信息，與所輸入的制造條件不一致時(shí)，發(fā)出“工裝夾具(焊接頭)安裝有錯(cuò)誤”這樣的信息即可。接著，進(jìn)行必要的工裝夾具的安裝更換(S306)，返回S303。另一方面，在S304，當(dāng)所輸入的制造條件與從RFID標(biāo)簽200讀取的信息一致時(shí)，在從RFID標(biāo)簽200讀取的信息內(nèi)，將關(guān)于工作履歷的信息(圖11A、圖IlB的“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”)的值與圖12的警告等級(jí)表的值進(jìn)行比較判斷(S307)， 在有超過(guò)警告等級(jí)表的值時(shí)，在工裝夾具更換畫(huà)面400的信息欄404顯示錯(cuò)誤信息，例如 “工裝夾具(焊接頭)的工作時(shí)間超過(guò)規(guī)定次數(shù)(警告等級(jí)A)，，(S308)。操作員在判斷為需要更換工裝夾具時(shí)(S309)，進(jìn)入S306。對(duì)警告等級(jí)表的值進(jìn)行比較判斷(S307)，當(dāng)沒(méi)有超過(guò)警告等級(jí)表的值的信息時(shí)， 或者操作員不判斷為需要更換工裝夾具時(shí)(S309)，接著，在有“安裝信息”時(shí)，在工裝夾具更換畫(huà)面400的信息欄404顯示從RFID標(biāo)簽200讀取到的“安裝信息”的內(nèi)容(S310)。然后，操作員通過(guò)點(diǎn)擊工裝夾具更換畫(huà)面400的OK按鈕405來(lái)結(jié)束工裝夾具的安裝更換操作(S311)。接著，操作員指示產(chǎn)品的生產(chǎn)開(kāi)始(圖15B的S312)。例如，從雖未圖示但在監(jiān)視器75上顯示的主操作畫(huà)面點(diǎn)擊“產(chǎn)品開(kāi)工開(kāi)始”按鈕。然后，生產(chǎn)結(jié)束時(shí)(S313)，CPU70指示對(duì)RFID讀寫(xiě)器100寫(xiě)入工作履歷(“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”)(S314)。芯片焊接機(jī)側(cè)的工作履歷通過(guò)工作控制程序自動(dòng)地存儲(chǔ)在RAM71中。RFID讀寫(xiě)器100根據(jù)所輸入的工作履歷的值，更新存儲(chǔ)在對(duì)應(yīng)的工裝夾具的RFID 標(biāo)簽200中的信息(S315)。然后，在制造下一個(gè)產(chǎn)品時(shí)(S316)，返回圖15A的S301，否則，斷開(kāi)芯片焊接機(jī)1 的裝置的電源(S317)。以上，如本實(shí)施方式所述，通過(guò)分別管理工裝夾具的信息，并將其預(yù)先存儲(chǔ)在RFID 標(biāo)簽200中，從而不需要事先將夾具的規(guī)格、特性等預(yù)先登錄到芯片焊接機(jī)的裝置，準(zhǔn)備變得容易。今后，半導(dǎo)體芯片的層疊化發(fā)展，需要拾取薄型的芯片。因此，工裝夾具的管理越來(lái)越復(fù)雜，將其用人工從鍵盤(pán)等輸入時(shí)會(huì)有輸入錯(cuò)誤且費(fèi)時(shí)。本實(shí)施方式中，RFID讀寫(xiě)器 100讀出工裝夾具上安裝的RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的信息，從而能夠解決這樣的問(wèn)題，使工裝夾具的管理容易進(jìn)行。并且，生產(chǎn)結(jié)束前，能夠由RFID讀寫(xiě)器100讀出RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的信息，比較并確認(rèn)所輸入的制造條件與工裝夾具是否一致。因此，能夠防止工裝夾具的錯(cuò)誤安裝導(dǎo)致的故障發(fā)生。另外，將RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的示教數(shù)據(jù)等裝置的運(yùn)用條件自動(dòng)裝載到芯片焊接機(jī)的裝置側(cè)，并進(jìn)行自動(dòng)設(shè)定，從而能夠?qū)崿F(xiàn)顧客的生產(chǎn)率提高和品質(zhì)提高。即，通過(guò)應(yīng)用示教數(shù)據(jù)，能夠縮短準(zhǔn)備工序時(shí)間。另外，RFID標(biāo)簽200內(nèi)預(yù)先存儲(chǔ)工作履歷，將其與規(guī)定的開(kāi)工次數(shù)等進(jìn)行比較，從而能夠進(jìn)行考慮了工裝夾具的磨損、劣化的利用。即，通過(guò)參照工作履歷對(duì)操作員輸出警告信息，能夠?qū)⒅圃旃收系陌l(fā)生防患于未然，從而避免使用已使用過(guò)度的工裝夾具。另外，在不需要的工裝夾具被置于芯片焊接機(jī)的裝置內(nèi)時(shí)，能夠在開(kāi)工前用電波確認(rèn)其有無(wú)，因此能夠?qū)⒙闊┓阑加谖慈弧FID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的工作履歷作為統(tǒng)計(jì)信息能夠用作用于工裝夾具的設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。另外，作為RFID標(biāo)簽200中存儲(chǔ)的信息，預(yù)先存儲(chǔ)安裝時(shí)信息，從而能夠向操作員廣播工裝夾具的安裝方法和注意事項(xiàng)?！矊?shí)施方式2〕第一實(shí)施方式中，工作履歷僅具有RFID標(biāo)簽200。本實(shí)施方式中，裝置側(cè)準(zhǔn)備非易失性存儲(chǔ)器(可以是閃速存儲(chǔ)器等半導(dǎo)體存儲(chǔ)裝置，還可以是圖6的HDD79)，能夠存儲(chǔ)其工作履歷。圖17是表示工作履歷表501的一例的圖。工作履歷表501是將“標(biāo)簽編號(hào)”、“工裝夾具種類”、工作履歷(“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”)作為記錄的表。該工作履歷表500例如保持在圖6的 HDD79等非易失性存儲(chǔ)器中。“標(biāo)簽編號(hào)”是RFID標(biāo)簽的編號(hào)，與圖IlA的“標(biāo)簽編號(hào)”相同?！肮ぱb夾具種類”是該工裝夾具的種類，與圖IlA的“工裝夾具種類”相同。工作履歷(“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”)分別與圖IlB所示的相同。本實(shí)施方式中，在第一實(shí)施方式的圖15B的S315的處理之后，在有工作履歷表500 的記錄所對(duì)應(yīng)的“標(biāo)簽編號(hào)”、“工裝夾具種類”時(shí)，根據(jù)從工作履歷輸入畫(huà)面輸入的工作履歷，更新該記錄的工作履歷(“開(kāi)工數(shù)”、“錯(cuò)誤發(fā)生數(shù)”、“工作時(shí)間”、“拾取失誤”)。芯片焊接機(jī)用的工裝夾具作為消耗品在售后服務(wù)中銷售。但是，有時(shí)用戶并不購(gòu)買正品，而自己或委托第三者制作工裝夾具。工裝夾具的品質(zhì)和精度將影響管芯的粘結(jié)精度等，成為制作殘次品的原因。在發(fā)生了管芯的故障時(shí)，即使在考慮到使用正品以外的工裝夾具是原因的情況下，以往也沒(méi)有確切的證據(jù)。本實(shí)施方式中，使用了正規(guī)的(安裝有RFID標(biāo)簽200)工裝夾具時(shí)，工作履歷表 501中存儲(chǔ)按每個(gè)RFID標(biāo)簽200的工作履歷，因此能夠識(shí)別是否使用了沒(méi)帶RFID標(biāo)簽的非正品的工裝夾具。另外，顧客能夠?qū)⒐ぷ髀臍v表501的內(nèi)容用作工裝夾具的維護(hù)信息。〔由實(shí)施方式可理解的發(fā)明的效果〕本發(fā)明能夠提供一種芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其能夠在能更換工裝夾具的芯片焊接機(jī)中自動(dòng)進(jìn)行工裝夾具的管理，減輕操作員的操作，從而能夠防止工裝夾具的安裝錯(cuò)誤，進(jìn)行高度的生產(chǎn)管理。
權(quán)利要求
1.一種芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，能夠?qū)㈩A(yù)成形頭的一部分、焊接頭的一部分、 頂出單元的一部分分別作為工裝夾具來(lái)進(jìn)行更換，其中，上述預(yù)成形頭用于在印刷電路板上涂敷用于粘結(jié)管芯的粘結(jié)劑，上述焊接頭用于從半導(dǎo)體晶片上拾取上述管芯來(lái)供給至印刷電路板，上述頂出單元用于在上述焊接頭拾取上述管芯時(shí)從下方頂出要拾取的上述管-(-H心，上述芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法的特征在于，包括以下步驟(1)在上述預(yù)成形頭的工裝夾具、上述焊接頭的工裝夾具、上述頂出單元的工裝夾具中的任意一者上安裝RFID標(biāo)簽；(2)將關(guān)于安裝有上述RFID標(biāo)簽的工裝夾具的信息存儲(chǔ)在上述RFID標(biāo)簽中；(3)安裝上述預(yù)成形頭的工裝夾具、上述焊接頭的工裝夾具、上述頂出單元的工裝夾具的任意一者；(4)在第一存儲(chǔ)器中保持從上述輸入裝置輸入的作為各工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息；(5)通過(guò)無(wú)線電與上述RFID標(biāo)簽之間進(jìn)行數(shù)據(jù)讀寫(xiě)的RFID讀寫(xiě)器讀出存儲(chǔ)在各工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中的信息；(6)運(yùn)算裝置將保持在上述第一存儲(chǔ)器中的作為上述工裝夾具加工對(duì)象的管芯的信息、與存儲(chǔ)在上述工裝夾具上所安裝的上述RFID標(biāo)簽中的關(guān)于工裝夾具的信息進(jìn)行比較； 以及(7)在上述步驟(6)的比較結(jié)果為兩者不一致時(shí)，上述運(yùn)算裝置使顯示裝置顯示關(guān)于上述工裝夾具的安裝的判斷結(jié)果。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括工裝夾具的種類、半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品名稱、管芯的尺寸、 工裝夾具的材質(zhì)、以及工裝夾具的形狀中的任意一者。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括上述工裝夾具的示教數(shù)據(jù)，上述運(yùn)算裝置將上述示教數(shù)據(jù)作為上述工裝夾具的學(xué)習(xí)數(shù)據(jù)來(lái)參照。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括上述工裝夾具的安裝時(shí)信息，上述運(yùn)算裝置使上述顯示裝置顯示讀取出的上述工裝夾具的安裝時(shí)信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其特征在于，還包括以下步驟(10)在生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，上述運(yùn)算裝置指示上述RFID讀寫(xiě)器將上述工裝夾具的工作履歷寫(xiě)入各工裝夾具中安裝的上述RFID標(biāo)簽中；(11)上述RFID讀寫(xiě)器按照上述步驟(10)的上述運(yùn)算裝置的指示，將各工裝夾具的工作履歷寫(xiě)入各工裝夾具上安裝的上述RFID標(biāo)簽中；(12)執(zhí)行上述步驟(5)，讀出上述工裝夾具的工作履歷；(13)上述運(yùn)算裝置將上述第一存儲(chǔ)器中保持的關(guān)于工裝夾具的工作的信息、與上述工裝夾具上安裝的RFID標(biāo)簽中存儲(chǔ)的工裝夾具的工作履歷進(jìn)行比較；(14)在上述步驟(13)的比較結(jié)果為上述工作履歷的值超過(guò)上述信息表示的值時(shí)，上述運(yùn)算裝置使上述顯示裝置顯示關(guān)于上述工裝夾具的使用的信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法，其特征在于， 上述芯片焊接機(jī)提取上述工裝夾具的工作履歷，并將其保持在上述第一存儲(chǔ)器中， 上述芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法還包括步驟00)，當(dāng)生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，上述運(yùn)算裝置使上述第一存儲(chǔ)器中保持的上述工裝夾具的工作履歷與上述RFID標(biāo)簽的標(biāo)識(shí)符相對(duì)應(yīng)來(lái)存儲(chǔ)在可非易失地進(jìn)行讀寫(xiě)的第二存儲(chǔ)器中。
7.—種芯片焊接機(jī)，其特征在于，包括設(shè)置在預(yù)成形頭上的能夠更換的第一工裝夾具、設(shè)置在焊接頭上的第二工裝夾具、以及設(shè)置在頂出單元上的第三工裝夾具中的任意一者或全部工裝夾具，其中，上述預(yù)成形頭用于在印刷電路板上涂敷用于粘結(jié)管芯的粘結(jié)劑，上述焊接頭用于從半導(dǎo)體晶片上拾取上述管芯來(lái)供給至由上述預(yù)成形頭涂敷了上述粘結(jié)劑的上述印刷電路板，上述頂出單元用于在上述焊接頭拾取上述管芯時(shí)從下方頂出要拾取的管芯；被安裝在上述工裝夾具上，用于存儲(chǔ)所安裝的上述工裝夾具中的關(guān)于工裝夾具的信息的能收發(fā)信息的子設(shè)備；能夠與上述子設(shè)備進(jìn)行信息收發(fā)，用于讀寫(xiě)存儲(chǔ)在上述子設(shè)備中的上述工裝夾具信息的母設(shè)備；存儲(chǔ)關(guān)于作為上述工裝夾具加工對(duì)象的上述管芯的信息的第一存儲(chǔ)器； 將存儲(chǔ)在上述第一存儲(chǔ)器中的關(guān)于上述管芯的信息、與通過(guò)上述母設(shè)備讀出的存儲(chǔ)在上述子設(shè)備中的關(guān)于上述工裝夾具的信息進(jìn)行比較的運(yùn)算裝置；以及顯示上述運(yùn)算裝置的比較結(jié)果的顯示裝置。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括工裝夾具的種類、半導(dǎo)體晶片的產(chǎn)品名稱、管芯的尺寸、 工裝夾具的材質(zhì)、以及工裝夾具的形狀中的任意一者。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括上述工裝夾具的示教數(shù)據(jù)，上述運(yùn)算裝置將上述示教數(shù)據(jù)作為上述工裝夾具的學(xué)習(xí)數(shù)據(jù)來(lái)參照。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于，上述關(guān)于工裝夾具的信息包括上述工裝夾具的安裝時(shí)信息，上述運(yùn)算裝置使上述顯示裝置顯示讀取出的上述工裝夾具的安裝時(shí)信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于， 上述第一存儲(chǔ)器保持關(guān)于工裝夾具的工作的信息，上述子設(shè)備在生產(chǎn)結(jié)束時(shí)存儲(chǔ)上述工裝夾具的工作履歷，上述母設(shè)備讀寫(xiě)存儲(chǔ)在上述子設(shè)備中的關(guān)于上述工裝夾具的信息和上述工作履歷， 上述運(yùn)算裝置將關(guān)于上述工裝夾具的信息與上述工作履歷進(jìn)行比較，當(dāng)上述工作履歷的值超過(guò)關(guān)于上述工裝夾具的工作的信息表示的值時(shí)，使顯示裝置顯示關(guān)于上述工裝夾具的使用的信息。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于，提取上述工裝夾具的工作履歷，并將其保持在上述第一存儲(chǔ)器中， 上述芯片焊接機(jī)還包括上述運(yùn)算裝置可非易失地進(jìn)行讀寫(xiě)的第二存儲(chǔ)器，當(dāng)生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，上述運(yùn)算裝置使上述第一存儲(chǔ)器中保持的上述工裝夾具的工作履歷與上述子設(shè)備的標(biāo)識(shí)符相對(duì)應(yīng)來(lái)存儲(chǔ)在上述第二存儲(chǔ)器中。
13.根據(jù)權(quán)利要求7所述的芯片焊接機(jī)，其特征在于， 上述子設(shè)備是RFID標(biāo)簽，上述母設(shè)備是RFID讀寫(xiě)器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種芯片焊接機(jī)的工裝夾具管理方法和芯片焊接機(jī)。在預(yù)成形頭、焊接頭、頂出單元的工裝夾具上安裝RFID標(biāo)簽，存儲(chǔ)加工對(duì)象的管芯的尺寸等關(guān)于工裝夾具的信息。在安裝工裝夾具，操作員輸入關(guān)于工裝夾具的制造條件。另一方面，在RFID讀寫(xiě)器從RFID標(biāo)簽讀取的關(guān)于工裝夾具的信息與關(guān)于工裝夾具的制造條件不一致時(shí)在監(jiān)視器上顯示工裝夾具安裝錯(cuò)誤的信息。在生產(chǎn)結(jié)束時(shí)，RFID讀寫(xiě)器將工裝夾具的工作履歷寫(xiě)入RFID標(biāo)簽，在下次生產(chǎn)開(kāi)始時(shí)讀取該工作履歷，當(dāng)其超過(guò)規(guī)定的次數(shù)時(shí)在監(jiān)視器上顯示信息。據(jù)此，在可更換工具的芯片焊接機(jī)中能夠自動(dòng)進(jìn)行工裝夾具的管理，減輕操作員的操作，防止工裝夾具的安裝錯(cuò)誤。
文檔編號(hào)H01L21/60GK102419822SQ201110062340
公開(kāi)日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年3月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月24日
發(fā)明者牧浩, 高木進(jìn) 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立高新技術(shù)儀器