專利名稱：化學(xué)制劑處理系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置領(lǐng)域，尤其涉及一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，各類型的化學(xué)制劑供給裝置被廣泛應(yīng)用到半導(dǎo)體裝置的生產(chǎn)當(dāng)中?；瘜W(xué) 制劑供給裝置可將化學(xué)制劑提供給用于制造半導(dǎo)體裝置的工藝單元，如果提供給處理單元 的化學(xué)制劑由于其內(nèi)部成分的變化、細(xì)微分離顆粒的聚集，溫度、流量和壓力的變化等原因 而不穩(wěn)定，則半導(dǎo)體裝置可能就有缺陷。因此，就要求有一種化學(xué)制劑供給裝置來(lái)提供穩(wěn)定 的化學(xué)制劑。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明的目的是在不停止生產(chǎn)工藝的情況下如何使化學(xué)制劑供給裝置提供穩(wěn)定 的化學(xué)制劑。( 二 )技術(shù)方案為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出了一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，，包括第一子系統(tǒng)，包括第一儲(chǔ)罐，第一循環(huán)泵，其輸入端與所述第一儲(chǔ)罐的輸出端連 接，第四方向切換閥，其輸入端與第一循環(huán)過(guò)濾器的輸出端連接，其第二輸出端與所述第一 儲(chǔ)液罐的第三輸入端連接；第二子系統(tǒng)，包括第二儲(chǔ)罐，第二循環(huán)泵，其輸入端與所述第二儲(chǔ)罐的輸出端連 接，第五方向切換閥，其輸入端與所述第二循環(huán)過(guò)濾器的輸出端連接，其第二輸出端與所述 第二儲(chǔ)液罐的第三輸入端連接；第一方向切換閥，其第一輸出端與所述第一儲(chǔ)罐的第一輸入端連接，其第二輸出 端與所述第二儲(chǔ)罐的第一輸入端連接；第二方向切換閥，其第一輸入端與所述第四方向切換閥的第一輸出端連接，其第 二輸入端與所述第五方向切換閥的第一輸出端連接；工藝單元，其輸入端與所述第二方向切換閥的輸出端連接；第三方向切換閥，其輸入端與所述工藝單元的第一輸出端連接，其第一輸出端與 所述第一儲(chǔ)罐的第二輸入端連接，第二輸出端與所述第二儲(chǔ)罐的第二輸入端連接。其中，所述工藝單元上設(shè)置有排放端口。其中，所述第一循環(huán)泵和所述第四方向切換閥之間順序串聯(lián)設(shè)置有第一熱交換 器、第一在線加熱器和第一過(guò)濾器。其中，所述第二循環(huán)泵和所述第五方向切換閥之間順序串聯(lián)設(shè)置有第二熱交換 器、第二在線加熱器和第二過(guò)濾器。其中，所述第一儲(chǔ)液罐上設(shè)置有多個(gè)液位傳感器。其中，所述第二儲(chǔ)液罐上設(shè)置有多個(gè)液位傳感器。
其中，所述第二方向切換閥的輸出端和所述工藝單元的輸入端之間設(shè)置有在線化 學(xué)分析儀。(三)有益效果本發(fā)明的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明的系統(tǒng)可以在不需要時(shí)間以重新注 入化學(xué)制劑的情況下利用兩個(gè)相同子系統(tǒng)的切換持續(xù)地向工藝單元提供化學(xué)制劑；該系統(tǒng) 利用在線化學(xué)分析儀的幫助，可以循環(huán)再利用在工藝單元中已使用過(guò)的化學(xué)制劑，降低生 產(chǎn)成本；該系統(tǒng)可快速而準(zhǔn)確地控制化學(xué)制劑的溫度、流量和壓力。


圖1為本發(fā)明化學(xué)制劑處理系統(tǒng)實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施 例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。如圖1為本發(fā)明化學(xué)制劑處理系統(tǒng)實(shí)施例的示意圖，包括第一子系統(tǒng)、第二子系 統(tǒng)、第一方向切換閥2、第二方向切換閥16、第三方向切換閥14、工藝單元15、在線化學(xué)分析 儀19。在本發(fā)明中所有的方向切換閥用于對(duì)不同功能的管路的切換。第一子系統(tǒng)包括第一儲(chǔ)液罐1、第一循環(huán)泵3、第一熱交換器4、第一在線加熱器5、 第一過(guò)濾器6以及第四方向切換閥7。第一儲(chǔ)罐1用于儲(chǔ)存進(jìn)入系統(tǒng)的化學(xué)試劑。第一循 環(huán)泵3用于對(duì)儲(chǔ)槽中的化學(xué)制劑進(jìn)行穩(wěn)定壓力與流量循環(huán)。第一熱交換器4和第一在線加 熱器5用于對(duì)化學(xué)制劑的溫度進(jìn)行精確控制，當(dāng)溫度低于工藝需求的溫度時(shí)，第一在線加 熱器5會(huì)不斷的加熱流經(jīng)的循環(huán)化學(xué)制劑，直到溫度達(dá)到工藝要求，當(dāng)化學(xué)制劑的溫度超 過(guò)工藝要求時(shí)，第一熱交換器4啟動(dòng)，將流經(jīng)的循環(huán)化學(xué)制劑的溫度降低到工藝的要求。第 一過(guò)濾器6，用于對(duì)不斷循環(huán)流經(jīng)的化學(xué)制劑進(jìn)行不斷的過(guò)濾，過(guò)濾掉化學(xué)制劑中的不符合 工藝要求的顆粒。第一儲(chǔ)罐1的輸出端與第一循環(huán)泵3的輸入端連接，第一循環(huán)泵3的輸 出端與與第一熱交換器4的輸入端連接，第一熱交換器4的輸出端與第一在線加熱器5的 輸入端連接，第一在線加熱器5的輸出端與第一過(guò)濾器6的輸入端連接，第一過(guò)濾器6的輸 出端與第四方向切換閥7的輸入端連接，第四方向切換閥7的第一輸出端與第二方向切換 閥16的第一輸入端連接，其第二輸出端與第一儲(chǔ)罐1的第三輸入端連接，第一儲(chǔ)罐1的第 二輸入端與第三方向切換閥14的第一輸出端連接。第一儲(chǔ)液罐1上設(shè)置有多個(gè)(例如四 個(gè))液位傳感器17，用于控制第一儲(chǔ)罐1中的化學(xué)制劑容量。第一方向切換閥2的輸入端為化學(xué)制劑供應(yīng)端，其第一輸出端與第一儲(chǔ)罐1的第 一輸入端連接，其第二輸出端與第二子系統(tǒng)的第二儲(chǔ)罐8的第二輸入端連接。第一方向切 換閥2用于選擇向第一儲(chǔ)罐1還是向第二儲(chǔ)罐8從系統(tǒng)外供應(yīng)化學(xué)制劑。第二子系統(tǒng)的構(gòu)造與第一子系統(tǒng)相同，包括第二儲(chǔ)罐8，第二循環(huán)泵9、第二熱交 換器10、第二在線加熱器11和第二過(guò)濾器12、第五方向切換閥13。第二儲(chǔ)罐8的輸出端與 第二循環(huán)泵9的輸入端連接，第二循環(huán)泵9的輸出端與第二熱交換器10的輸入端連接，第 二熱交換器10的輸出端與第二在線加熱器11的輸入端連接，第二在線加熱器11的輸出端 與第二過(guò)濾器12的輸入端連接，第二過(guò)濾器12的輸出端與第五方向切換閥13的輸入端連接，第五方向切換閥13的第一輸出端與第二方向切換閥16的第二輸入端連接，其第二輸出 端與第二儲(chǔ)罐8的第三輸入端連接，第二儲(chǔ)罐8的第一輸入端與第三方向切換閥14的第二 輸出端連接。第二儲(chǔ)液罐8上設(shè)置有多個(gè)液位傳感器18，用于控制第二儲(chǔ)罐8中的化學(xué)制 劑容量。第二方向切換閥16的輸出端與工藝單元15的輸入端連接，二者之間設(shè)置有在線 化學(xué)分析儀19。工藝單元15的輸出端與第三方向切換閥14的輸入端連接。工藝單元15 上還設(shè)置有排放端口。當(dāng)一套子系統(tǒng)為工藝單元供給符合工藝要求的化學(xué)制劑時(shí)，另一套子系統(tǒng)運(yùn)行循 環(huán)運(yùn)轉(zhuǎn)，時(shí)刻準(zhǔn)備為工藝單元提供化學(xué)制劑，當(dāng)在線化學(xué)分析儀提示目前去往工藝單元的 化學(xué)制劑已經(jīng)不符合工藝要求時(shí)，第二切換閥立刻將另一套子系統(tǒng)切換到工藝單元的方向 上。工藝過(guò)程結(jié)束后，如果經(jīng)在線化學(xué)分析儀測(cè)定化學(xué)制劑已經(jīng)不符合工藝要求，化學(xué)制劑 會(huì)通過(guò)排放口排除系統(tǒng)，如果化學(xué)制劑仍然符合工藝要求，則通過(guò)第三方向切換閥選擇循 環(huán)回第一儲(chǔ)罐或第二儲(chǔ)罐。以上所述僅是本發(fā)明的實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái) 說(shuō)，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和變型，這些改進(jìn)和變型也應(yīng) 視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，包括第一子系統(tǒng)，包括第一儲(chǔ)罐(1)，第一循環(huán)泵(3)，其輸入端與所述第一儲(chǔ)罐(1)的輸 出端連接，第四方向切換閥(7)，其輸入端與第一循環(huán)過(guò)濾器(6)的輸出端連接，其第二輸 出端與所述第一儲(chǔ)液罐(1)的第三輸入端連接；第二子系統(tǒng)，包括第二儲(chǔ)罐(8)，第二循環(huán)泵(9)，其輸入端與所述第二儲(chǔ)罐(8)的輸 出端連接，第五方向切換閥(13)，其輸入端與第二循環(huán)過(guò)濾器(1 的輸出端連接，其第二 輸出端與所述第二儲(chǔ)液罐(8)的第三輸入端連接；第一方向切換閥O)，其第一輸出端與所述第一儲(chǔ)罐(1)的第一輸入端連接，其第二輸 出端與所述第二儲(chǔ)罐(8)的第一輸入端連接；第二方向切換閥(16)，其第一輸入端與所述第四方向切換閥(7)的第一輸出端連接， 其第二輸入端與所述第五方向切換閥(1 的第一輸出端連接；工藝單元(15)，其輸入端與所述第二方向切換閥(16)的輸出端連接；第三方向切換閥(14)，其輸入端與所述工藝單元(1 的第一輸出端連接，其第一輸出 端與所述第一儲(chǔ)罐(1)的第二輸入端連接，第二輸出端與所述第二儲(chǔ)罐(8)的第二輸入端 連接。
2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述工藝單元(15)上設(shè)置有 排放端口。
3.如權(quán)利要求2所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一循環(huán)泵(3)和所述第 四方向切換閥(7)之間順序串聯(lián)設(shè)置有第一熱交換器(4)、第一在線加熱器( 和第一過(guò)濾 器(6)。
4.如權(quán)利要求3所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第二循環(huán)泵(9)和所述第 五方向切換閥(1 之間順序串聯(lián)設(shè)置有第二熱交換器(10)、第二在線加熱器(11)和第二 過(guò)濾器(12)。
5.如權(quán)利要求4所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第一儲(chǔ)液罐(1)上設(shè)置有 多個(gè)液位傳感器(17)。
6.如權(quán)利要求5所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第二儲(chǔ)液罐(8)上設(shè)置有 多個(gè)液位傳感器(18)。
7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，其特征在于，所述第二方向切換閥(16)的 輸出端和所述工藝單元(1 的輸入端之間設(shè)置有在線化學(xué)分析儀(19)。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)制劑處理系統(tǒng)，包括構(gòu)造相同的第一子系統(tǒng)和第二子系統(tǒng)、用于在兩個(gè)子系統(tǒng)之間進(jìn)行切換的第一方向切換閥、第二方向切換閥和第三方向切換閥以及工藝單元和在線化學(xué)分析儀。本發(fā)明的系統(tǒng)可以在不需要時(shí)間以重新注入化學(xué)制劑的情況下利用兩個(gè)相同子系統(tǒng)的切換持續(xù)地向工藝單元提供化學(xué)制劑；該系統(tǒng)利用在線化學(xué)分析儀的幫助，可以循環(huán)再利用在工藝單元中已使用過(guò)的化學(xué)制劑，降低生產(chǎn)成本；該系統(tǒng)可快速而準(zhǔn)確地控制化學(xué)制劑的溫度、流量和壓力。
文檔編號(hào)H01L21/00GK102122608SQ201010624099
公開(kāi)日2011年7月13日 申請(qǐng)日期2010年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月31日
發(fā)明者何金群, 昝威, 王銳廷, 裴立坤 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司