專利名稱：識(shí)別碼的激光標(biāo)記方法及裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種識(shí)別碼的激光標(biāo)記方法及裝置，更詳細(xì)地，涉及一種在液晶板的制造過(guò)程中用激光束將用于履歷管理或質(zhì)量管理等的識(shí)別碼曝光在光敏抗蝕劑(photoresist)涂敷基板上，或者同樣地將識(shí)別碼刻印在晶片等基板上的激光標(biāo)記方法及裝置。
背景技術(shù)：
一般地，液晶板的制造過(guò)程分別用紫外線用圖像曝光裝置將電路圖形、用識(shí)別曝光裝置將基板識(shí)別碼或面板識(shí)別碼等、以及用周邊曝光裝置將基板周邊部分的不要的抗蝕劑部分曝光在將預(yù)定的光敏抗蝕劑涂敷在了玻璃基板上的光敏抗蝕劑涂敷基板上，用顯像裝置將這些已曝光過(guò)的基板顯像。上述識(shí)別碼為每個(gè)制造過(guò)程的履歷管理或質(zhì)量管理的信息，一般使用二維代碼或文字。
以前，作為識(shí)別碼的激光標(biāo)記裝置，我們已知日本專利特開(kāi)平11-231547號(hào)公報(bào)或特開(kāi)平11-271983號(hào)公報(bào)所公開(kāi)的裝置。該激光標(biāo)記裝置通過(guò)用電流計(jì)掃描設(shè)備等掃描設(shè)備二維擺動(dòng)激光振蕩器輸出的激光束將文字或圖形等標(biāo)記照射到對(duì)象物上。但是，該激光標(biāo)記裝置標(biāo)記時(shí)要花費(fèi)很多時(shí)間，而且由于用電流計(jì)掃描設(shè)備掃描的激光束的位置精度不好，因此存在容易引起識(shí)別碼的讀取誤差的問(wèn)題。
即，以往的激光束掃描裝置由于只使用電流計(jì)掃描設(shè)備，因此電流計(jì)掃描設(shè)備的定位精度粗糙。其結(jié)果如圖6所示，構(gòu)成二維代碼的圓點(diǎn)的位置產(chǎn)生散亂，讀取二維代碼時(shí)容易出現(xiàn)誤差。而且，標(biāo)記所需要的時(shí)間受電流計(jì)掃描設(shè)備的動(dòng)作時(shí)間左右，電流計(jì)掃描設(shè)備從1個(gè)圓點(diǎn)到下一個(gè)圓點(diǎn)的動(dòng)作時(shí)間一般為數(shù)msec，要標(biāo)記完所有的識(shí)別碼要花很長(zhǎng)的時(shí)間。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是要提供一種在讀取識(shí)別碼時(shí)不會(huì)引起讀取錯(cuò)誤并且能夠縮短標(biāo)記所有的識(shí)別碼所需的時(shí)間的激光標(biāo)記方法及裝置。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的識(shí)別碼激光標(biāo)記方法，在用至少1個(gè)聲光光偏向器使從激光振蕩器輸出的激光束在水平面和垂直面的至少1個(gè)平面上掃描，用圓點(diǎn)按時(shí)間序列形成由一維和二維中的至少一方構(gòu)成的標(biāo)記后，用電流計(jì)掃描設(shè)備以使該標(biāo)記在基板上二維掃描的方式進(jìn)行照射。
并且，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，包括激光振蕩器；至少1個(gè)聲光光偏向器，使從激光振蕩器輸出的激光束在水平面和垂直面的至少1個(gè)平面上掃描，用圓點(diǎn)按時(shí)間序列形成由一維和二維中的至少一方構(gòu)成的標(biāo)記；至少1臺(tái)以使上述標(biāo)記在基板上二維掃描的方式照射的電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)。
像上述那樣，通過(guò)用聲光光偏向器使激光束在水平面和垂直面中的至少一個(gè)平面上掃描，能夠提高構(gòu)成識(shí)別碼的圓點(diǎn)的位置精度，而且還使高速標(biāo)記成為可能。
聲光光偏向器能夠與施加到其上的電氣信號(hào)的頻率相對(duì)應(yīng)使激光束偏向，因此其偏向角度的精度比電流計(jì)掃描設(shè)備的精度高。并且，聲光光偏向器的偏向動(dòng)作可以以數(shù)nsec到數(shù)μsec的數(shù)量級(jí)的高速向下一個(gè)偏向角度切換。該聲光光偏向器的設(shè)置數(shù)可以是1個(gè)，但最好2個(gè)組合使用。通過(guò)這樣組合2個(gè)聲光光偏向器，能夠作成任意復(fù)雜的文字或圖案。
并且，如果在聲光光偏向器與電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)之間設(shè)置修正電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)掃描產(chǎn)生的焦距的偏差的聚焦機(jī)構(gòu)，使該聚焦機(jī)構(gòu)的透鏡與電流計(jì)掃描設(shè)備的掃描動(dòng)作同步，則能夠進(jìn)一步提高構(gòu)成識(shí)別碼的圓點(diǎn)的位置精度。
并且，如果設(shè)置多個(gè)電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)，則可以使電流計(jì)掃描設(shè)備的掃描范圍為多個(gè)。
本發(fā)明除用于在液晶板制造過(guò)程中利用激光束將履歷管理和質(zhì)量管理等的識(shí)別碼曝光在光敏抗蝕劑涂敷基板上外，同樣可以用于將識(shí)別碼刻印在晶片等基板上的激光標(biāo)記。
發(fā)明效果如果采用上述那樣的本發(fā)明，雖然由于電流計(jì)掃描設(shè)備的位置精度的關(guān)系二維代碼本身依然存在在標(biāo)記對(duì)象物上的標(biāo)記位置精度的問(wèn)題，但由于構(gòu)成二維代碼的圓點(diǎn)由XY二軸的聲光光偏向器形成，因此在二維代碼內(nèi)部圓點(diǎn)的位置不會(huì)散亂，能夠標(biāo)記讀取概率好的二維代碼。并且，用以往的電流計(jì)掃描設(shè)備標(biāo)記圓點(diǎn)時(shí)，從標(biāo)記1個(gè)圓點(diǎn)到標(biāo)記下一個(gè)圓點(diǎn)的時(shí)間快也要數(shù)msec，而如果采用本發(fā)明，由于采用用聲光光偏向器按時(shí)間序列標(biāo)記圓點(diǎn)的方法，從標(biāo)記1個(gè)圓點(diǎn)到標(biāo)記下一個(gè)圓點(diǎn)的時(shí)間慢也只需數(shù)μsec，因此可以比以往的方法快千倍。
附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明

圖1表示本發(fā)明的激光標(biāo)記裝置的實(shí)施形態(tài)的透視2表示本發(fā)明的激光標(biāo)記裝置的其他實(shí)施形態(tài)的透視3表示本發(fā)明的激光標(biāo)記裝置的再其他的實(shí)施形態(tài)的透視4表示激光束射入、射出本發(fā)明使用的聲光光偏向器的狀態(tài)的透視5表示用本發(fā)明的激光標(biāo)記裝置使激光束在基板上二維掃描形成的標(biāo)記的例子的示意6表示用以往的激光標(biāo)記裝置使激光束在基板上二維掃描形成的標(biāo)記的例子的示意圖本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)下面參照?qǐng)D示的本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)具體地說(shuō)明。
圖1為由本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)構(gòu)成的激光標(biāo)記裝置示例的圖。
從激光振蕩器1射出的激光束2在調(diào)整了預(yù)定的光束直徑或準(zhǔn)直后射入X聲光光偏向器3。射入到X聲光光偏向器3的激光束2如圖4所示，作為受X向施加的電氣信號(hào)14的頻率的作用偏向的激光束4射出，當(dāng)然，激光束4不一定非要同時(shí)分散成多個(gè)光束，可以與X向施加的電氣信號(hào)14的頻率的時(shí)間序列的變化相對(duì)應(yīng)，改變其偏向角度。
接著，激光束4射入Y聲光光偏向器5，成為受Y向施加的電氣信號(hào)15的頻率的作用偏向的激光束6射出。此時(shí)，如果將先前的X聲光光偏向器3與Y聲光光偏向器5設(shè)置成直交的位置關(guān)系，Y聲光光偏向器5使沿水平方向偏向的激光束4沿垂直方向偏轉(zhuǎn)，由此使激光束6能夠沿二維偏轉(zhuǎn)角度。即，通過(guò)用2個(gè)聲光光偏向器3和5控制X向施加的電氣信號(hào)14和Y向施加的電氣信號(hào)15，能夠用圓點(diǎn)(dot)按時(shí)間序列構(gòu)成任意的文字和圖案。其結(jié)果如圖5所示，能夠獲得圓點(diǎn)的位置精度極好的二維代碼。
通過(guò)用X電流計(jì)掃描設(shè)備7和Y電流計(jì)掃描設(shè)備8使這樣形成的文字或圖案標(biāo)記照射在液晶玻璃基板10的任意位置上，能夠標(biāo)記識(shí)別碼11。此時(shí)，為了調(diào)整焦距，可以使用fθ透鏡9。
在本發(fā)明中，不妨根據(jù)必要使用圖中的實(shí)施形態(tài)沒(méi)有示出的反射鏡、透鏡、波形板。如果標(biāo)記可以是一維的，那么即使聲光光偏向器是X聲光光偏向器3及Y聲光光偏向器5中的任何一個(gè)也能實(shí)現(xiàn)。并且，根據(jù)情況，也可以使用1個(gè)將X聲光光偏向器3和Y聲光光偏向器5一體化的二維聲光光偏向器。
并且，也可以不使用fθ透鏡9而像圖2所示的實(shí)施形態(tài)那樣，在X電流計(jì)掃描設(shè)備7的前面設(shè)置物鏡13，使修正X電流計(jì)掃描設(shè)備7和Y電流計(jì)掃描設(shè)備8掃描產(chǎn)生的焦距的偏差的聚焦透鏡12與X電流計(jì)掃描設(shè)備7和Y電流計(jì)掃描設(shè)備8的掃描動(dòng)作同步。
并且，也可以像圖3所示的實(shí)施形態(tài)那樣，通過(guò)配置多個(gè)由X電流計(jì)掃描設(shè)備7和Y電流計(jì)掃描設(shè)備8構(gòu)成的電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)作為激光束射出聲光光偏向器后的電流計(jì)掃描設(shè)備，可以使電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)的掃描范圍為多個(gè)。并且，也可以在緊接激光振蕩器1之后分支使掃描范圍為多個(gè)。
權(quán)利要求
1.一種識(shí)別碼激光標(biāo)記方法，在用至少1個(gè)聲光光偏向器使從激光振蕩器輸出的激光束在水平面和垂直面的至少1個(gè)平面上掃描，用圓點(diǎn)按時(shí)間序列形成由一維和二維中的至少一方構(gòu)成的標(biāo)記后，用電流計(jì)掃描設(shè)備以使該標(biāo)記在基板上二維掃描的方式進(jìn)行照射。
2.如權(quán)利要求1所述的識(shí)別碼激光標(biāo)記方法，上述基板為光敏抗蝕劑涂敷基板。
3.一種識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，包括激光振蕩器；至少1個(gè)聲光光偏向器，使從激光振蕩器輸出的激光束在水平面和垂直面的至少1個(gè)平面上掃描，用圓點(diǎn)按時(shí)間序列形成由一維和二維中的至少一方構(gòu)成的標(biāo)記；至少1臺(tái)以使上述標(biāo)記在基板上二維掃描的方式照射的電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)。
4.如權(quán)利要求3所述的識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，在上述聲光光偏向器與上述電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)之間設(shè)置了聚焦機(jī)構(gòu)，修正上述電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)的掃描產(chǎn)生的焦距偏差。
5.如權(quán)利要求3或4所述的識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，設(shè)置了多個(gè)上述電流計(jì)掃描機(jī)構(gòu)。
6.如權(quán)利要求3或4所述的識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，上述基板為光敏抗蝕劑涂敷基板。
7.如權(quán)利要求5所述的識(shí)別碼激光標(biāo)記裝置，上述基板為光敏抗蝕劑涂敷基板。
全文摘要
一種用至少1個(gè)聲光光偏向器使激光振蕩器輸出的激光束在水平面和垂直面的至少1個(gè)平面上掃描，用圓點(diǎn)按時(shí)間序列形成由一維和二維中的至少一方構(gòu)成的標(biāo)記；然后，用電流計(jì)掃描設(shè)備使該標(biāo)記在基板上二維掃描這樣地照射的識(shí)別碼激光標(biāo)記方法和裝置。
文檔編號(hào)H01L21/02GK1508630SQ20031012232
公開(kāi)日2004年6月30日 申請(qǐng)日期2003年12月16日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月16日
發(fā)明者森誠(chéng)樹(shù), 常吉豪 申請(qǐng)人:東麗工程株式會(huì)社