本申請(qǐng)涉及真空規(guī)，尤其是涉及到一種基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置。

背景技術(shù)：

1、真空規(guī)用于各種半導(dǎo)體設(shè)備的工藝壓力監(jiān)測(cè)。真空規(guī)也在現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)和機(jī)械控制系統(tǒng)壓力觸發(fā)自動(dòng)化執(zhí)行起著關(guān)鍵的作用，其能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)和提供精確的壓力數(shù)據(jù)，確保系統(tǒng)在最佳壓力范圍內(nèi)運(yùn)行。

2、傳統(tǒng)真空規(guī)主要用于測(cè)量壓力，并將壓力信號(hào)傳輸給控制系統(tǒng)或顯示設(shè)備，其功能相對(duì)簡(jiǎn)單。隨著半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)的升級(jí)，工藝流程更加復(fù)雜，對(duì)控制要求更嚴(yán)格，要求真空規(guī)不僅能夠測(cè)量壓力，還需具備一定的控制和處理功能。

3、目前，雖然具備控制功能的真空規(guī)，能夠減少對(duì)外部設(shè)備的依賴。但此類真空規(guī)為集成制造，結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜，初始成本較高，維護(hù)相對(duì)復(fù)雜，壓力測(cè)試部分與控制部分如有其一損壞，均不能正常工作。此外，現(xiàn)有的具有控制功能的真空規(guī)均為一體化設(shè)計(jì)，更適用于新型設(shè)備，對(duì)于舊型號(hào)設(shè)備的通用性較差。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，主要在于不僅能夠增加真空規(guī)的控制功能，還能夠降低制造成本，且與舊型號(hào)設(shè)備相適配。

2、本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，該裝置包括：真空規(guī)和控制模塊，所述控制模塊的兩端分別與所述真空規(guī)和被控設(shè)備連接；所述控制模塊，用于接收所述真空規(guī)測(cè)量的壓力信號(hào)，并根據(jù)所述壓力信號(hào)和預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，控制所述被控設(shè)備的工作狀態(tài)。

3、可選地，所述控制模塊包括信號(hào)處理電路和驅(qū)動(dòng)控制電路，所述信號(hào)處理電路的輸入端與所述真空規(guī)的輸出端連接，所述信號(hào)處理電路的輸出端與所述驅(qū)動(dòng)控制電路的輸入端連接，所述驅(qū)動(dòng)控制電路的輸出端與所述被控設(shè)備連接；所述信號(hào)處理電路，用于對(duì)所述真空規(guī)測(cè)量的壓力信號(hào)進(jìn)行處理，并將處理后的壓力信號(hào)傳遞給所述驅(qū)動(dòng)控制電路；所述驅(qū)動(dòng)控制電路，用于根據(jù)所述處理后的壓力信號(hào)和預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，控制所述被控設(shè)備的工作狀態(tài)。

4、可選地，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)控制電路至少控制一個(gè)被控設(shè)備。

5、可選地，所述驅(qū)動(dòng)控制電路包括繼電器，所述繼電器的輸入端與所述信號(hào)處理電路的輸出端連接；所述繼電器，用于比較所述處理后的壓力信號(hào)對(duì)應(yīng)的壓力值與預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，并根據(jù)比較結(jié)果，控制所述繼電器內(nèi)部的觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)狀態(tài)；基于所述觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)狀態(tài)，控制所述被控設(shè)備的工作狀態(tài)。

6、可選地，所述驅(qū)動(dòng)控制電路還包括滑動(dòng)變阻器，所述滑動(dòng)變阻器與所述繼電器連接，用于調(diào)節(jié)所述繼電器的預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力。

7、可選地，所述驅(qū)動(dòng)控制電路還包括功能選擇芯片，所述功能選擇芯片與所述繼電器連接，用于選定所述繼電器的功能。

8、可選地，所述信號(hào)處理電路包括：三極管、二極管和電容，所述三極管、所述二極管和所述電容分別用于對(duì)所述壓力信號(hào)進(jìn)行放大、整形和濾波處理。

9、可選地，所述控制模塊還與機(jī)臺(tái)連接；所述機(jī)臺(tái)，用于接收所述控制模塊發(fā)送的壓力信號(hào)，并進(jìn)行顯示。

10、可選地，所述機(jī)臺(tái)，還用于向所述控制模塊提供電源信號(hào)；所述控制模塊，還用于向所述真空規(guī)提供電源信號(hào)。

11、可選地，所述裝置還包括：穩(wěn)壓模塊，所述穩(wěn)壓模塊與所述信號(hào)處理電路連接，所述穩(wěn)壓芯片用于對(duì)所述機(jī)臺(tái)提供的電源信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)壓處理。

12、借由上述技術(shù)方案，本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，通過(guò)在真空規(guī)上嫁接控制模塊，基于壓力信號(hào)和預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，控制被控設(shè)備的工作狀態(tài)，不僅能夠拓展真空規(guī)的控制功能，還能夠降低制造成本，與舊型號(hào)設(shè)備相適配。與此同時(shí)，通過(guò)該控制模塊，還可以為真空規(guī)提供電器隔離保護(hù)，在被控設(shè)備異常工作時(shí)，可避免真空規(guī)的壓力傳感器損壞，由于控制模塊可替換使用，因此維修成本也較低。

13、上述說(shuō)明僅是本申請(qǐng)技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本申請(qǐng)的技術(shù)手段，而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施，并且為了讓本申請(qǐng)的上述和其它目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，以下特舉本申請(qǐng)的具體實(shí)施方式。

技術(shù)特征：

1.一種基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，其特征在于，包括：真空規(guī)和控制模塊，所述控制模塊的兩端分別與所述真空規(guī)和被控設(shè)備連接；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊包括信號(hào)處理電路和驅(qū)動(dòng)控制電路，所述信號(hào)處理電路的輸入端與所述真空規(guī)的輸出端連接，所述信號(hào)處理電路的輸出端與所述驅(qū)動(dòng)控制電路的輸入端連接，所述驅(qū)動(dòng)控制電路的輸出端與所述被控設(shè)備連接；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)控制電路至少控制一個(gè)被控設(shè)備。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)控制電路包括繼電器，所述繼電器的輸入端與所述信號(hào)處理電路的輸出端連接；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)控制電路還包括滑動(dòng)變阻器，所述滑動(dòng)變阻器與所述繼電器連接，用于調(diào)節(jié)所述繼電器的預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)控制電路還包括功能選擇芯片，所述功能選擇芯片與所述繼電器連接，用于選定所述繼電器的功能。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述信號(hào)處理電路包括：三極管、二極管和電容，所述三極管、所述二極管和所述電容分別用于對(duì)所述壓力信號(hào)進(jìn)行放大、整形和濾波處理。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制模塊還與機(jī)臺(tái)連接；所述機(jī)臺(tái)，用于接收所述控制模塊發(fā)送的壓力信號(hào)，并進(jìn)行顯示。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的裝置，其特征在于，所述機(jī)臺(tái)，還用于向所述控制模塊提供電源信號(hào)；所述控制模塊，還用于向所述真空規(guī)提供電源信號(hào)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括：穩(wěn)壓模塊，所述穩(wěn)壓模塊與所述信號(hào)處理電路連接，所述穩(wěn)壓模塊用于對(duì)所述機(jī)臺(tái)提供的電源信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)壓處理。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種基于真空規(guī)的設(shè)備控制裝置，涉及真空規(guī)技術(shù)領(lǐng)域。其中方法包括：真空規(guī)和控制模塊，所述控制模塊的兩端分別與所述真空規(guī)和被控設(shè)備連接；所述控制模塊，用于接收所述真空規(guī)測(cè)量的壓力信號(hào)，并根據(jù)所述壓力信號(hào)和預(yù)設(shè)觸發(fā)壓力，控制所述被控設(shè)備的工作狀態(tài)。本申請(qǐng)能夠增加真空規(guī)的控制功能，還能夠降低制造成本，且與舊型號(hào)設(shè)備相適配。

技術(shù)研發(fā)人員：蘇濤,張心強(qiáng),郜晨希,徐亞輝,劉瑞琪,林琳,孫小孟,張沙,鄭旭,閆明,李超波
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9