專利名稱：從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及作為在半導(dǎo)體制造裝置等中所使用的、從備有壓力式流量控制裝置的氣體供給設(shè)備自動(dòng)地分流供給半導(dǎo)體制造用的腔室的方法的改良。
背景技術(shù)：
在向半導(dǎo)體制造裝置的腔室供給的氣體的流量控制中，廣泛利用著所謂壓力式流量控制裝置。
圖7示出用壓力式流量控制裝置FCS向用來形成硅氧化膜的腔室C供給處理用氣體G的場合之一例，通過壓力式流量控制裝置FCS向靠真空泵Vp減壓的腔室C內(nèi)供給規(guī)定流量的處理氣體G，通過氣體放出器D向支持裝置I上的芯片H放出留量Q的處理氣體G。
另一方面，前述壓力式流量控制裝置FCS利用「作為臨界膨脹壓力條件的P1＞約2×P2的條件被保持時(shí)，通過節(jié)流口L的氣體流量Q僅取決于節(jié)流口上游側(cè)的氣體壓力P1，可以用關(guān)系式Q＝CP1(C是取決于節(jié)流口L的口徑或溫度的常數(shù))表達(dá)」，通過靠控制閥CV調(diào)整前述壓力P1，把節(jié)流口下游的留量Q保持成想要的設(shè)定值。
再者，在圖7中P0是處理氣體G的供給壓力，PM是壓力計(jì)，F(xiàn)是過濾器，CPU是運(yùn)算單元，Qs是流量設(shè)定的輸入信號，Qe是控制流量的輸出信號。
此外，因?yàn)樯鲜鰤毫κ搅髁靠刂蒲b置因特開平8-338546號或特開平11-63265號公報(bào)而是公知的，故這里省略其詳細(xì)說明。
在上述壓力式流量控制裝置FCS中，如前所述「節(jié)流口上游側(cè)的氣體壓力P1與節(jié)流口下游側(cè)的氣體壓力P2處于前述臨界膨脹壓力條件的范圍內(nèi)」成為必要條件，例如，如果與節(jié)流口上游側(cè)的氣體壓力P1相比節(jié)流口下游側(cè)的氣體壓力P2的上升很大，則臨界膨脹壓力條件破壞，存在著無法進(jìn)行量控制這樣的難點(diǎn)。
此外，如果節(jié)流口下游側(cè)的壓力P2上升，P1/P2接近于前述臨界膨脹壓力條件的極限值，則實(shí)際上流量控制精度下降。因此，如果節(jié)流口下游側(cè)的壓力P2上升，則存在著能夠使用的流量控制范圍受到制約這樣的難點(diǎn)。
雖然像這樣在壓力式流量控制裝置進(jìn)行的氣體流量的控制中，存在著在節(jié)流口L下游側(cè)的壓力P2上升時(shí)產(chǎn)生種種問題這樣的難點(diǎn)，但是因?yàn)橛迷搲毫κ搅髁靠刂蒲b置FCS的對腔室的氣體供給方法除了可以簡單地進(jìn)行高精度氣體流量控制外，沒有必要在氣體供給源中另外設(shè)置高精度的壓力調(diào)整裝置，故氣體供給設(shè)備費(fèi)的大幅度減少成為可能，有優(yōu)秀的實(shí)用的效用。
另一方面，近年來半導(dǎo)體制造中用的硅晶片的外徑正在加大，例如，如果晶片H的外徑成為300mm，則要分別調(diào)整處理氣體向晶片的中心部(中心部分)與外周緣部(邊緣部分)的供給量。
作為與其對應(yīng)的策略，如果分別用個(gè)別的供給線GL1、GL2進(jìn)行處理氣體向前述中心部分的供給與處理氣體向邊緣部分的供給，則即使是用壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給線GL1、GL2，也可以沒有問題地從氣體供給源S以規(guī)定的流量Q1、Q2供給處理氣體G。
但是，對于一個(gè)腔室C，用有分別獨(dú)立的壓力式流量控制裝置FCS1、FCS2的氣體供給線GL1、GL2進(jìn)行氣體的供給不僅招致半導(dǎo)體制造設(shè)備的大型化或設(shè)備費(fèi)的激增，而且維修等上也要花費(fèi)工時(shí)，不是好的策略。
因此，如圖9中所示，從一個(gè)壓力式流量控制裝置FCS分支出兩個(gè)系統(tǒng)的氣體供給線GL1、GL2，通過調(diào)整設(shè)在各氣體供給線GL1、GL2上的流量控制閥V1、V2，控制各氣體供給線GL1、GL2的流量Q1、Q2的方式是所希望的。
另一方面，在目前通用的氣體供給設(shè)備的壓力式流量控制裝置FCS中，一般多使用節(jié)流口下游側(cè)壓力P2在0～100托的范圍內(nèi)能夠最佳狀態(tài)使用的流量控制特性的裝置。因此，在這類壓力式流量控制裝置FCS中，如前所述如果節(jié)流口下游側(cè)壓力P2超過約100托，則成為從流量控制精度來說流量控制范圍被大幅度限制。
例如，剛才在圖9中，通過供給線GL1和GL2供給流量Q＝300SCCM的處理氣體G，向腔室C供給Q1＝130SCCM，Q2＝170SCCM的流量。萬一，氣體供給設(shè)備是不使用壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給設(shè)備，則可以采用首先關(guān)閉兩個(gè)控制閥V1、V2，接著把流量控制裝置的處理氣體流量設(shè)定成Q＝300SCCM，調(diào)整控制閥V1、V2的開度，自動(dòng)地或者一邊參照流量計(jì)(未畫出)一邊把各流量Q1、Q2調(diào)整成設(shè)定值的方法。
但是，在氣體供給設(shè)備的流量控制裝置中，在如圖9中所示用壓力式流量控制裝置FCS的場合，首先在完全關(guān)閉兩個(gè)控制閥V1、V2的狀態(tài)下設(shè)定壓力式流量控制裝置FCS的流量Q(300SCCM)，然后，調(diào)整兩個(gè)控制閥V1、V2的開度以高精度迅速調(diào)整各分支供給線GL1、GL2的流量Q1(130SCCM)和Q2(170SCCM)是困難的。
這是因?yàn)?，在兩個(gè)控制閥V1、V2的開度低時(shí)兩個(gè)控制閥V1、V2的上游側(cè)壓力P2上升，P1/P2的值有可能超出前述壓力式流量控制裝置FCS的極限值，結(jié)果，壓力式流量控制裝置FCS產(chǎn)生的控制流量Q本身成為與設(shè)定流量(Q＝300SCCM)大為不同的流量值的緣故。
發(fā)明所要解決的課題本發(fā)明解決從備有從前的壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給設(shè)備向腔室C的氣體的分流供給方法中，把由壓力式流量控制裝置FCS所調(diào)整的一定流量Q的氣體G按規(guī)定的流量Q1、Q2向分支供給線GL1、GL2分流的場合產(chǎn)生的如上所述的問題，也就是，①在將簡單地加裝在各分支供給線GL1、GL2上的流量控制閥V1、V2從完全關(guān)閉(或者深節(jié)流)狀態(tài)依次打開的這種控制方法中，壓力式流量控制裝置FCS產(chǎn)生的控制流量Q本身有可能成為大大偏離設(shè)定值的流量，不僅流量Q、而且流量Q1、Q2的調(diào)整也顯著變得困難，和②即使可以很好地調(diào)整Q1、Q2，流量控制精度也很低，或者流量控制需要過長時(shí)間等問題，提供一種即使是來自備有壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給裝置的氣體的分流供給，也可以高精度、迅速地以任意的流量比Q1/Q2分支供給規(guī)定流量Q的氣體的，來自備有壓力式流量控制裝置的氣體供給設(shè)備的向腔室的氣體分流供給方法。

發(fā)明內(nèi)容
本申請發(fā)明者等為了解決上述問題，根據(jù)來自從前的這種氣體供給設(shè)備的分流供給控制中的常規(guī)手段，也就是根據(jù)從完全關(guān)閉或深深節(jié)流狀態(tài)依次打開加裝在分支線上的各控制閥V1、V2這樣的策略完全轉(zhuǎn)換構(gòu)思，構(gòu)思從使兩方的流量控制閥V1、V2成為全開或接近于全開的狀態(tài)的時(shí)刻開始朝關(guān)閉方向分階段對兩個(gè)流量控制閥V1、V2進(jìn)行開度控制，借此一邊靠壓力式流量控制裝置FCS高精度地對總流量Q進(jìn)行流量控制，一邊迅速且高精度地把各分支供給線GL1、GL2的流量Q1、Q2迅速且高精度地調(diào)整成所希望的流量比Q1/Q2。然后，基于此一構(gòu)思實(shí)施了多項(xiàng)氣體分流試驗(yàn)。
本發(fā)明是基于上述構(gòu)思和分流試驗(yàn)的結(jié)果創(chuàng)作的，權(quán)利要求1的發(fā)明，是從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備1，通過多個(gè)分支供給線GL1、GL2和固定于其末端的噴淋板3、4，向減壓的腔室C內(nèi)以規(guī)定的流量比Q2/Q1分流供給規(guī)定流量Q的氣體G的方法，其中在前述多個(gè)分支供給線GL1、GL2上夾裝壓力式分流量控制器FV1、FV2，并且靠來自使供給流量大的一方的壓力式分流量控制器的控制閥CV的開度全開的分流量控制盤FRC的初期流量設(shè)定控制信號，開始前述兩個(gè)分流量控制器FV1、FV2的開度控制，通過分別調(diào)整前述控制閥CV的下游側(cè)壓力P3′、P3″，通過設(shè)在噴淋板3、4上的節(jié)流孔3a、4a，以由式Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″(式中C1、C2是取決于節(jié)流孔3a、4a的斷面積或節(jié)流孔上游側(cè)的氣體溫度的常數(shù))所表達(dá)的所希望的分流量Q1、Q2向前述腔室C內(nèi)分流供給總量Q＝Q1+Q2的氣體。
權(quán)利要求2的發(fā)明在于在權(quán)利要求1的發(fā)明中，在備有CPU的分流量控制盤FRC上設(shè)有起動(dòng)·停止信號輸入端子T2，初期流量設(shè)定比信號輸入端子T3，噴淋板的組合識別信號輸入端子T4，各壓力式分流控制器FV1、FV2的控制流量信號輸出端子T71·T72，因各壓力式分流控制器FV1、FV2的流量設(shè)定輸入信號與控制流量輸出信號的偏差發(fā)送信號的輸入·輸出異常警報(bào)輸出端子T91、T92。并且針對前述噴淋板3、4的多個(gè)組合，用前述Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″的運(yùn)算式針對多個(gè)總流量Q以流量比Q1/Q2為參數(shù)算出總量Q＝Q1+Q2的氣體G按流量比Q1/Q2流通各噴淋板3、4之際的各壓力式分流控制器FV1、FV2的控制閥CV的下游側(cè)壓力P3′、P3″，以對供給流量大的一方的壓力式分流量控制器FV1的初期流量設(shè)定信號為控制閥全開時(shí)的輸入信號電壓V0，并且以另一方的壓力式分流量控制器FV2的初期流量設(shè)定信號為前述P3″/P3′×V0。接著，把各噴淋板3、4的組合的識別信號向前述輸入端子T4輸入，此外把對前述兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的初期流量設(shè)定信號之比P3′/P3″向初期流量比設(shè)定信號輸入端子T3輸入后，在使兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的各控制閥CV成為全開狀態(tài)的狀態(tài)下把來自氣體供給設(shè)備1的氣體供給流量Q設(shè)定成所希望的流量。然后，向前述起動(dòng)(開始)信號輸入端子T2輸入起動(dòng)信號(步驟5)，如果起動(dòng)信號的輸入被確認(rèn)(步驟6)，則確認(rèn)前述噴淋板的組合識別信號和前述初期流量設(shè)定比信號是否存在(步驟7)，然后分步地以同比率使根據(jù)前述初期流量設(shè)定比信號求出的兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的初期流量設(shè)定信號V0，V0×P3″/P3′增加(步驟8、10)，檢查此時(shí)的流量設(shè)定輸入信號與控制流量輸出信號的偏差(步驟9)，如果前述輸入·輸出偏差在設(shè)定范圍內(nèi)，則使對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號返回到輸入·輸出偏差成為設(shè)定范圍內(nèi)的一步前的分步變化時(shí)的流量設(shè)定信號的值(步驟11)，繼續(xù)使對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號同比率地分步變化(步驟13、14)并且連續(xù)地檢查輸入·輸出信號的偏差(步驟15)，如果傾斜變化時(shí)的輸入·輸出信號的偏差成為設(shè)定范圍內(nèi)，則以當(dāng)時(shí)的流量設(shè)定信號為對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號而固定·保持(步驟16)，在該各流量設(shè)定信號之下進(jìn)行氣體G的分流供給。
權(quán)利要求3的發(fā)明在于在權(quán)利要求2的發(fā)明中，把流量設(shè)定信號的分步變化取為從初期流量設(shè)定值(100％)每隔0.5秒按50％、30％、20％、10％和5％的順序使兩個(gè)流量設(shè)定信號分步地以同比率增加。
權(quán)利要求4的發(fā)明在于在權(quán)利要求2的發(fā)明中，把流量設(shè)定信號的分步變化取為每隔0.5秒同比率地增加兩個(gè)流量設(shè)定信號的10％。
權(quán)利要求5的發(fā)明在于在權(quán)利要求2的發(fā)明中，如果連續(xù)沒有輸入·輸出的偏差一定時(shí)間以上，則以當(dāng)時(shí)的各流量設(shè)定信號為各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號而固定·保持。
權(quán)利要求6的發(fā)明在于在權(quán)利要求1或權(quán)利要求2的發(fā)明中，把壓力式分流量控制器FV1、FV2的下游側(cè)的氣體壓力取為100托以下，把總流量Q取為100sccm～1600sccm，把分流量比取為1/4、1/2、1/1、2/1、3/1和4/1。
權(quán)利要求7的發(fā)明在于在權(quán)利要求1或權(quán)利要求2的發(fā)明中，以分流流量Q1或Q2的大的一方的壓力式分流量控制器FV1或FV2的初期流量設(shè)定信號為使其控制閥CV全開時(shí)的電壓輸入，并且把該控制閥CV的全開時(shí)的控制電壓輸入取為0V，此外把控制電壓范圍取為0～5v。
此外，權(quán)利要求8的發(fā)明在于在權(quán)利要求2的發(fā)明中，以分流量控制盤FRC的各端子的輸入·輸出信號為串行通信的輸入·輸出信號。


圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的備有流量控制裝置的氣體供給裝置進(jìn)行的向腔室的氣體分流供給方法的總體系統(tǒng)圖。
圖2是壓力式分流量控制器FV1的構(gòu)成圖。
圖3是表示壓力式分流量控制器FV1的流量設(shè)定信號與流量控制壓力和流量輸出信號的關(guān)系的特性曲線圖。
圖4是表示在圖1的分流供給中，以使用的噴淋板3、4的組合為方案1的場合的，兩個(gè)壓力式分流量控制器的流量控制壓力(P3′、P3″)和全流量Q的分流比Q1/Q2的關(guān)系的曲線圖(計(jì)算值)。
圖5是表示以使用的噴淋板3、4的組合為方案2的場合的，與圖4同一的關(guān)系的曲線圖(計(jì)算值)。
圖6是說明向腔室的氣體的分流供給方法的壓力式分流量控制裝置進(jìn)行的氣體的分流控制的程序框圖。
圖7是表示用從前的壓力式流量控制裝置FCS的向腔室C的處理氣體的供給方法的說明圖。
圖8是從單獨(dú)的氣體供給源S，用多個(gè)壓力式流量控制裝置向腔室C分流供給處理氣體的場合的說明圖。
圖9是從備有壓力式流量控制裝置的氣體供給源，用控制閥向腔室分流供給處理氣體的場合的說明圖。
標(biāo)號的說明1是氣體供給設(shè)備，S是處理氣體供給源，V0是氣體總閥，F(xiàn)CS是壓力式流量控制裝置，G是處理用氣體，2是分流量控制裝置，F(xiàn)V1是壓力式分流量控制器(№1分流量控制器)，F(xiàn)V2是壓力式分流量控制器(№2分流量控制器)，F(xiàn)RC是分流量控制盤，C是腔室，D是氣體放出器，Dc是中央部用氣體放出器，3是中央部用噴淋板，3a是節(jié)流孔，De是邊緣部用氣體放出器，4是邊緣部用噴淋板，4a是節(jié)流孔，GL1是中央部用分支供給線，GL2是邊緣部用分支供給線，Q是總氣體流量，Q1是分流流量，Q2是分流流量，EL1·EL2是信號連接線，T1是電源輸入端子(DC15V)，T2是起動(dòng)·停止信號輸入端子，T3是初期的流量設(shè)定比的輸入端子(4比特輸入)，T4是噴淋板的組合識別信號輸入端子(2比特)，T5是自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整用信號的輸入端子，T61·T62是自動(dòng)零點(diǎn)設(shè)定錯(cuò)誤信號輸入端子，T71·T72是控制流量信號輸出端子，T81·T82是流量設(shè)定信號輸入端子，T91·T92是輸入·輸出異常警報(bào)輸出端子，5是開始(起動(dòng))的步驟，6是起動(dòng)信號的確認(rèn)的步驟，7是方案識別信號和初期流量設(shè)定信號的確認(rèn)的步驟，8是流量設(shè)定信號的分步變化的開始的步驟，9是輸入·輸出信號的偏差的判別步驟，10是流量設(shè)定信號的分步減少的步驟，11是向一級前的流量設(shè)定信號的切換的步驟，12是輸入·輸出信號的偏差的判別步驟，13是流量設(shè)定信號的分步變化的開始的步驟，14是流量設(shè)定信號的傾斜變化的步驟，15是輸入·輸出信號的偏差的判別步驟，16是流量設(shè)定信號的保持步驟，17是流量設(shè)定信號的保持確認(rèn)步驟。
具體實(shí)施例方式
下面，基于

本發(fā)明的實(shí)施例。
圖1是說明根據(jù)本發(fā)明的從備有壓力式流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法的總體系統(tǒng)圖。
在圖1中，1是氣體供給設(shè)備，由處理用氣體G的供給源S與氣體總閥V0與壓力式流量控制裝置FCS等形成。
此外，2是分流量控制裝置，由壓力式分流量控制器FV1、FV2和分流量控制盤FRC等形成。
進(jìn)而，在圖1中，C是腔室，D是氣體放出器，Dc是中央部用氣體放出器，De是邊緣部用氣體放出器，GL1是中央部用分支供給線，GL2是邊緣部用分支供給線，Q是總氣體流量，Q1·Q2是分流量，P2是壓力式流量控制裝置FCS的節(jié)流口下游側(cè)的壓力，P3′·P3″是壓力式分流量控制器FV1、FV2的出口側(cè)的壓力，P3是腔室C內(nèi)的壓力，3是中央部用氣體放出器Dc的噴淋板，3a是設(shè)在噴淋板上的節(jié)流孔，4是邊緣部用氣體放出器De的噴淋板，4a是設(shè)在噴淋板上的節(jié)流孔。
另外，在圖1中EL1、EL2是分流量控制盤FRC與壓力式分流量控制器FV1、FV2的信號連接線，T1是電源輸入端子，T2是起動(dòng)·停止信號輸入端子，T3是初期的流量比設(shè)定信號的輸入端子，T4是節(jié)流孔板的組合識別信號的輸入端子，T5是自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整用信號輸入端子，T61、T62是自動(dòng)零點(diǎn)設(shè)定誤差信號的輸出端子，T71、T72是控制流量信號的輸出端子(P3′·P3″相當(dāng)?shù)妮敵鲭妷?，T81、T82是流量設(shè)定信號的輸入端子，T91、T92是輸入·輸出異常警報(bào)輸出端子。
前述氣體供給設(shè)備1，由處理氣體供給源(供給壓力250KPaG以上)S和前述圖7中所示的多個(gè)壓力式流量控制裝置FCS等形成，通過向壓力式流量控制裝置FCS的控制裝置(CPU)輸入規(guī)定的流量設(shè)定信號Qs，靠控制閥CV調(diào)整節(jié)流口L的上游側(cè)壓力P1，節(jié)流口下游側(cè)的流量Q自動(dòng)地調(diào)整為設(shè)定流量Qs。
此外，從控制裝置(CPU)輸出對應(yīng)于所調(diào)整的流量的控制流量輸出信號Qe，萬一，如果流量設(shè)定輸入信號Qs與前述控制流量輸出信號Qc之間的偏差超過設(shè)定值超過規(guī)定時(shí)間，則雖然圖7中未畫出，但是如后所述從CPU發(fā)送輸入·輸出偏差異常信號。
前述分流量控制裝置2由多個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2，控制這些的分流量控制盤FRC，連接于各分流量控制器FV1、FV2的節(jié)流孔板3、4等形成。
再者，雖然在圖1的實(shí)施例中壓力式分流量控制器取為兩臺(tái)，但是當(dāng)然這些也可以取為兩臺(tái)以上，在此一場合節(jié)流孔板當(dāng)然也成為兩個(gè)以上或兩個(gè)以上的供給口。
此外，前述壓力式分流量控制器FV1、FV2也取下前述圖7中所示的壓力式流量控制裝置FCS的基本構(gòu)成中的節(jié)流孔板L，作為其代替利用中央部用節(jié)流孔板3(或邊緣部用節(jié)流孔板4)的節(jié)流孔3a(或4a)。
也就是說，該壓力式分流量控制器FV1、FV2成為圖2中所示的構(gòu)成，在本實(shí)施例中作為控制閥CV使用電磁閥驅(qū)動(dòng)型的金屬膜片閥，即使是流量Q1、Q2為大流量的場合，也容易適應(yīng)。
再者，上述壓力式分流量控制器FV1、FV2的動(dòng)作與流量控制裝置FCS的場合是完全相同的，如果在圖2中腔室C內(nèi)的壓力P3與中央部用節(jié)流孔板3的節(jié)流孔3a上游側(cè)的壓力P3′之間保持P3′＞2P3的關(guān)系，則通過靠控制閥CV調(diào)整壓力P3′，成為由Q1＝CP3′控制分流流量Q1。再者，C是取決于節(jié)流孔3a的斷面積或其形態(tài)、氣體溫度等的常數(shù)。
參照圖2，前述分流量控制盤FRC設(shè)有電源輸入端子T1、起動(dòng)·停止(兩個(gè)FV1、FV2的控制閥CV的任何一方全開，此外另一方成為設(shè)定的開度)信號的輸入端子T2、初期的流量設(shè)定比信號輸入端子T3、后述的噴淋板的組合識別編號的輸入端子T4、自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整信號的輸入端子T5、自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整錯(cuò)誤信號的輸出端子T61·T62、控制流量信號的輸出端子T71、T72設(shè)定流量信號Q1、Q2的輸入端子T81、T82、以及輸入·輸出異常警報(bào)的輸出端子T91·T92等，經(jīng)由信號連接線EL1、EL2與各壓力式分流量控制器FV1、FV2連接。
也就是說，如果向前述輸入端子T2輸入起動(dòng)信號，則各壓力式分流量控制器FV1、FV2按預(yù)先設(shè)定的初期的設(shè)定流量比動(dòng)作(也就是，如后所述分流量Q1、Q2的大的一方的分流量控制器的控制閥CV調(diào)整成全開，另一方的分流量控制器的控制閥CV的開度調(diào)整成全開×預(yù)先計(jì)算的1以下的系數(shù)。)此外，如果輸入了輸入端子T2的停止信號，則兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的控制閥CV成為全閉狀態(tài)。
進(jìn)而，在向前述輸入端子T2輸入起動(dòng)信號之前，一般來說向自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整信號輸入端子T5輸入零點(diǎn)調(diào)整信號，進(jìn)行兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整。在不按規(guī)定實(shí)施該自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整的場合，向自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整錯(cuò)誤信號輸出端子T61·T62輸出警報(bào)。
向前述初期流量比設(shè)定信號輸入端子T3輸入基于對各分支供給線GL1、GL2的供給流量比Q1/Q2、用后述的表1中記載的各數(shù)值運(yùn)算的初期流量比設(shè)定信號。
再者，在本實(shí)施例中，前述流量比Q1/Q2能夠設(shè)定成1/1、1/2、1/3、1/4、2/1、3/1和4/1的任何一個(gè)，基于這些運(yùn)算的初期流量比設(shè)定信號以4比特的數(shù)字信號的形式向輸入端子T3輸入。再者，流量比Q1/Q2與初期流量比設(shè)定信號當(dāng)然不是同一值。
此外，前述表1中所記載的各數(shù)值如后所述，表示根據(jù)連接于各分支供給線的末端的噴淋板3、4的節(jié)流孔3a、4a的口徑或其個(gè)數(shù)，運(yùn)算為要放出前述規(guī)定的流量Q1、Q2的氣體G所需的節(jié)流孔3a、4a的上游側(cè)的控制壓力P3′、P3″，其運(yùn)算的必要的各上游側(cè)控制壓力P3′與P3″之比P3″/P3′。
向前述端子T4輸入識別各氣體放出器Dc、De的噴淋板(節(jié)流孔板)3、4的組合的信號。也就是說，在本實(shí)施例中，作為前述中央部用噴淋板3準(zhǔn)備了有420個(gè)節(jié)流孔3a的噴淋板，與有480個(gè)節(jié)流孔3a的噴淋板兩種。同樣作為邊緣部用噴淋板4準(zhǔn)備了節(jié)流孔4a有360個(gè)與476個(gè)的噴淋板兩種。
作為前述噴淋板3、4的組合，預(yù)先確定有420個(gè)節(jié)流孔3a的噴淋板3與有360個(gè)節(jié)流孔4a的噴淋板4的組合(以下稱為方案1)和有480個(gè)節(jié)流孔3a的噴淋板3與有476個(gè)節(jié)流孔4a的噴淋板4的組合(以下稱為方案2)兩種，表示前述方案1和方案2的2比特的數(shù)字信號輸入前述端子T4。
前述控制流量輸出信號端子T71、T72是用來表示工作中的兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的控制流量(實(shí)際流量)Q1、Q2的輸出端子，控制流量(實(shí)際流量)Q1、Q2以電壓輸出(0～5v)的形式輸出。
前述流量設(shè)定信號輸入端子T81、T82是對應(yīng)于向各分支供給線GL1、GL2供給的流量Q1、Q2的0～5v的電壓信號的輸入端子。
再者，因?yàn)榭可嫌蝹?cè)的壓力式流量控制裝置FCS設(shè)定總流量Q，而且向端子T5輸入基于流量比Q1/Q2運(yùn)算的初期流量比設(shè)定信號，故各分流量Q1、Q2的流量設(shè)定信號的大小可以靠內(nèi)部的CPU自動(dòng)地運(yùn)算。結(jié)果，雖然實(shí)際上成為不需要預(yù)先輸入向前述輸入端子T81、T82的流量Q1、Q2的流量設(shè)定信號，但是有備于萬一靠上游側(cè)的壓力式流量控制裝置FCS無法高精度地設(shè)定總流量Q的場合或從處理用氣體供給源S直接向各壓力式分流量控制器FV1、FV2進(jìn)行供給的場合，在各壓力式分流量控制器FV1、FV2中，可以單獨(dú)地分別設(shè)定流量Q1、Q2比較好。因此，最好是設(shè)置前述輸入端子T81、T82。
前述輸入·輸出異常警報(bào)輸出端子T91、T92在將流量Q1、Q2的設(shè)定流量信號與控制流量信號(實(shí)際流量Q1、Q2)進(jìn)行對比，如果設(shè)定流量信號與控制流量信號之間的偏差即使在經(jīng)過規(guī)定時(shí)間后仍為規(guī)定值以上的值時(shí)，則發(fā)出異常信號。
再者，雖然在上述實(shí)施例中，在分流量控制盤FRC的各端子直接輸入·輸出規(guī)定的大小的輸入·輸出信號，但是當(dāng)然也可以把各端子的輸入·輸出信號作為串行通信的輸入·輸出信號。
再者，前述兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2中的分流量的控制如前所述是靠控制閥CV，通過調(diào)整其下游側(cè)壓力P3′、P3″來進(jìn)行，在本實(shí)施例中，使用在流量Q1、Q2的設(shè)定信號(0～5v)與控制壓力P3(托)與實(shí)際流量(控制流量)的輸出信號(0～5v)之間，備有圖3那樣的特性的壓力式分流量控制器FV1、FV2。
此外，圖4曲線表示在組合使用作為中央部用氣體放出器Dc的噴淋板3的有420個(gè)內(nèi)徑0.2mm的節(jié)流孔的噴淋板和作為邊緣部用氣體放出器De的噴淋板4有360個(gè)內(nèi)徑0.2mm的節(jié)流孔的噴淋板的場合(方案1)中以流量比(C/E＝Q1/Q2)為參數(shù)計(jì)算總流量(全流量)Q與中央部用的壓力式分流量控制器FV1的控制壓力(P3′)與邊緣部用壓力式分流量控制器FV2的控制壓力(P3″)的關(guān)系，例如在Q1/Q2＝1而Q＝1600、1200、800、400和100SCCM的場合，中央部一側(cè)的控制壓力P3′與邊緣部一側(cè)的控制壓力P3″之比P3″/P3′的平均值為0.961。
同樣，圖5曲線表示組合使用作為中央部用氣體放出器Dc的噴淋板3的有480個(gè)內(nèi)徑0.2mm的節(jié)流孔的噴淋板和作為邊緣部用氣體放出器De的噴淋板4的有476個(gè)內(nèi)徑0.2mm的節(jié)流孔4a的噴淋板的場合(方案2)下的與圖4同樣的計(jì)算值，例如在Q1/Q2＝1而Q＝1600、1200、800、400和100SCCM的場合，中央部一側(cè)的控制壓力P3′與邊緣部一側(cè)的控制壓力P3″之比P3″/P3′的平均值為0.999。
再者，表1匯總了表示圖4和圖5中所示的方案1和方案2中的各流量比Q1/Q2，中央部一側(cè)控制壓力P3′與邊緣部一側(cè)控制壓力P3″之比(P3″/P3′)的關(guān)系的計(jì)算值。例如示出在圖1中，把使用的噴淋板3、4的組合取為方案1且令流量比Q1/Q2為1的場合，中央部用壓力式分流量控制器FV1的控制壓力P3′與邊緣部用壓力式分流量控制器FV2的控制壓力P3″之比P3″/P3′在計(jì)算上為0.961。
此外，這里，用下述導(dǎo)納的計(jì)算式運(yùn)算上述Q、Q1/Q2和P3″/P3′的關(guān)系。
也就是說，流過管路的氣體的流量Q可以表達(dá)成Q＝C×(P1-P2)...①，C＝182×D4×(P1+P2)/2×1/L...②。式中，C是導(dǎo)納(L/sec)，D是配管直徑(cm)，L是配管長度(cm)，P1是配管上游壓力(托)，P2是配管下游壓力(托)，Q是流量(托·L/sec)。
在上述①和②中，通過作為D用噴淋板的節(jié)流孔的外徑，作為L用噴淋板的節(jié)流孔的長度，作為下游側(cè)壓力P2用腔室內(nèi)壓力(P3＝0.015托)，作為流量Q用每個(gè)節(jié)流孔的流量，運(yùn)算噴淋板的上游側(cè)管路的內(nèi)壓力(P3′和P3″)。
表1

下面，就根據(jù)本發(fā)明的向腔室的氣體的分流供給方法進(jìn)行說明。
參照圖1和圖2，在未向分流量控制盤ERC的輸入端子T2輸入起動(dòng)信號的場合，兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的控制閥CV為全開狀態(tài)。結(jié)果，從氣體供給源S，靠壓力式流量控制裝置FCS調(diào)整成流量Q而供給來的處理用氣體G通過兩個(gè)分流量控制器FV1、FV2，以幾乎對應(yīng)于各噴淋板3、4的噴嘴孔3a、3b的全面積比的比率流通。
接著，為了以規(guī)定的比率Q1/Q2(例如Q1/Q2＝2/1)分流供給前述總流量Q的氣體，首先向輸入端子T4輸入連接于各分支供給線GL1、GL2的末端上的氣體放出器Dc、De的噴淋板3、4的組合方案的識別信號(方案1)，并且根據(jù)所需要的流量比Q1/Q2，基于前述表1求出初期的流量比設(shè)定信號，把它向輸入端子T3輸入。
也就是說，在噴淋板3、4的組合方案為方案1且分流比Q1/Q2＝2/1的場合，向中央側(cè)的壓力式分流量控制器FV1的流量設(shè)定信號根據(jù)表1成為5-1.000×5＝0V，此外邊緣側(cè)的壓力式分流量控制器FV2的初期流量設(shè)定信號根據(jù)表1成為5-0.736×5＝1.32V。因而，在此一場合，作為初期流量比設(shè)定信號，向輸入端子T3輸入0/1.32。
再者，雖然在本實(shí)施例中，預(yù)先用表1運(yùn)算向兩個(gè)壓力式分流量控制器輸入的初期流量設(shè)定比，把它向輸入端子T3輸入，但是也可以設(shè)置流量設(shè)定信號輸入端子T81、T82，分別把分流流量Q1、Q2輸入到其上，同時(shí)在內(nèi)部的CPU中預(yù)先存儲(chǔ)表1的數(shù)據(jù)，并且在CPU內(nèi)運(yùn)算前述初期流量設(shè)定比0/1.32。
此外，當(dāng)然在分流供給的開始前向輸入端子T5加入自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整信號，進(jìn)行各壓力式分流量控制器FV1、FV2的自動(dòng)零點(diǎn)調(diào)整。
參照圖6，如果通過起動(dòng)(步驟5)操作向端子T2加入起動(dòng)(開始)信號，則確認(rèn)起動(dòng)信號是否存在(步驟6)。如果確認(rèn)起動(dòng)信號的輸入，則確認(rèn)向端子T4所輸入的噴淋板的組合識別信號(方案信號)是否存在、以及向端子T3所輸入的初期流量比設(shè)定信號是否存在(步驟7)。
如果確認(rèn)初期流量設(shè)定比信號的輸入，則開始該初期流量設(shè)定比信號的分步變化(步驟8)。
也就是說，如果初期流量設(shè)定比信號向端子T3輸入(本實(shí)施例的場合，初期流量設(shè)定比信號的值為0.736，F(xiàn)V1的初期流量設(shè)定值＝0v，F(xiàn)V2的初期流量設(shè)定值＝1.325v)，則初期流量設(shè)定值向各壓力式分流量控制器FV1、FV2輸入，兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2使對應(yīng)于初期流量設(shè)定值的流量的氣體流通，向端子T71·T72輸出對應(yīng)于當(dāng)時(shí)的流量的控制流量輸出信號。
該各壓力式分流量控制器的控制流量輸出信號在步驟9里與其流量設(shè)定輸入信號進(jìn)行對比，檢查輸入·輸出信號之間是否存在偏差。
如果輸入·輸出信號之間的偏差超過設(shè)定值規(guī)定時(shí)間期間，則按同一比率使對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號分步地增加(步驟10)。
具體地說，使對高流量Q1一側(cè)的分流量控制器FV1一側(cè)的流量設(shè)定信號的輸入值按100％→50％→30％→20％→10％→5％/0.5秒的比例分步地增加，并且使對低流量Q2一側(cè)的分流量控制器FV2的流量設(shè)定信號輸入成為同一流量比地調(diào)整。
也就是說，在本實(shí)施例中，初期流量比設(shè)定值0.736(3.68/5)(前述FV1的初期流量設(shè)定值＝0(5-5＝0)v，F(xiàn)V2的初期流量設(shè)定值＝1.32(5-3.68＝1.32)v)，前述各初期流量設(shè)定值0(5-5＝0)v、1.32(5-3.68＝1.32)v以同一比率按50％→30％→20％→10％→5％/0.5秒的比例分步地增加，通過第1級的50％變化，初期流量比設(shè)定增加到2.5(5-5×0.5＝2.5)/3.16(5-2.5×0.736＝3.16)，然后每過0.5秒按3.5(5-5×0.3)/3.896(5-1.5×0.736)(第2級)、4.0(5-5×0.2)/4.264(5-1×0.736)(第3級)、4.5(5-5×0.1)/4.632(5-0.5×0.736)(第4級)、4.75(5-5×0.05)/4.816(5-0.25×0.736)(第5級)的順序重復(fù)分步變化。
通過前述流量設(shè)定信號輸入的分步變化，如果步驟9的輸入·輸出信號的偏差成為設(shè)定范圍內(nèi)的值，則在步驟11里對各分流量控制器FV1、FV2的設(shè)定流量信號的輸入值恢復(fù)一級前的分步變化的信號輸入值，再次檢查輸入·輸出信號的偏差是否存在(步驟12)。
再者，在前述步驟9的輸入·輸出信號的偏差連續(xù)0.5秒左右超過相當(dāng)于滿幅(即5V)的3％的值的場合，判斷成有偏差的異常，進(jìn)行下一級的分步變化。
如果在前述步驟12里確認(rèn)輸入·輸出信號間的偏差的存在，則接著開始根據(jù)當(dāng)時(shí)的流量設(shè)定信號，按同一比率使對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號輸入傾斜變化(步驟13)的傾斜控制。
該流量設(shè)定信號的傾斜變化，具體地說使對高流量Q1一側(cè)的分流量控制器FV1的流量設(shè)定信號輸入按10％/0.5秒的傾斜變化變動(dòng)，并且使對低流量Q2一側(cè)的分流量控制器FV2的流量設(shè)定信號輸入按同一比率連續(xù)地增加(步驟14)，在步驟15里檢查使傾斜變化后的流量設(shè)定信號輸入與當(dāng)時(shí)的控制流量信號輸出之間的偏差。
例如，在前述實(shí)施例中，在步驟10的第4級(即，流量設(shè)定比4.5/4.632)中如果沒有入·輸出間的偏差時(shí)，對各分流量控制器FV1、FV2的流量設(shè)定信號暫且恢復(fù)到步驟10的第3級(流量設(shè)定比4.0/4.264)的狀態(tài)，使對壓力式分流量控制器FV1的流量設(shè)定輸入為4.0V和使對壓力式分流量控制器FV2的流量設(shè)定輸入為4.264V(步驟11)后，再次在步驟12里確認(rèn)輸入·輸出信號間是否存在偏差時(shí)，在步驟13開始流量設(shè)定信號的傾斜變化，使前述對壓力式分流量控制器FV1的流量設(shè)定信號輸入4.0V按0.5V/0.5sec的比例傾斜變化，并且使對壓力式分流量控制器FV2的流量設(shè)定信號輸入4.264V也按0.5v×0.736＝0.368V/0.5sec的比例增加。
在步驟15里檢查前述傾斜變化了的流量設(shè)定信號輸入與當(dāng)時(shí)的控制流量信號輸出的偏差，如果連續(xù)一定時(shí)間期間，例如0.1秒間沒有(即，如果在規(guī)定值以下)兩者間的偏差，則在步驟16里對各分流量控制器FV1、FV2的設(shè)定流量信號輸入分別固定·保持于步驟14時(shí)的流量設(shè)定輸入信號值。
然后，最后在步驟17里，確認(rèn)前述固定·保持的設(shè)定流量信號的輸入是否存在，借此用來分流供給來自氣體供給源S的原料氣體(流量Q)的各分流量控制器FV1、FV2的自動(dòng)分流量控制結(jié)束。
也就是說，來自氣體供給源S的規(guī)定流量Q的原料氣體G按規(guī)定的流量比Q1/Q2分流，通過氣體放出器Dc、De向腔室C內(nèi)晶片H供給。
發(fā)明的效果在本發(fā)明中，取為通過壓力式分流量控制器FV1、FV2向壓力腔室C內(nèi)分流供給來自備有壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給設(shè)備的流量Q的處理用氣體G，并且靠使分流量大的一方的壓力式分流量控制器的控制閥CV的開度為全開的來自分流量控制盤FRC的初期流量設(shè)定信號開始壓力式分流量控制器FV1、FV2的流量控制，并且通過調(diào)整前述各控制閥CV的下游側(cè)壓力P3′、P3″，利用設(shè)在腔室C內(nèi)的噴淋板3、4的節(jié)流孔3a、4a，把兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的流量Q1、Q2按用Q1＝C1P3′、Q2＝C2P3″(式中，C1、C2是常數(shù))所表達(dá)的分流量，分流供給流量Q的處理用氣體G的構(gòu)成。
結(jié)果，在本發(fā)明中，即使是來自備有壓力式流量控制裝置FCS的氣體供給設(shè)備1的處理用氣體，分流時(shí)壓力式流量控制裝置FCS的節(jié)流口下游側(cè)的壓力P2也完全沒有大幅度地上升，結(jié)果可與壓力式分流量控制器FV1、FV2進(jìn)行的分流控制無關(guān)地把總流量Q控制成所需要的流量值。
此外，因?yàn)樵诒景l(fā)明中把設(shè)在腔室C內(nèi)的噴淋板3、4的節(jié)流孔3a、4a作為壓力式分流量控制器FV1、FV2的構(gòu)成材料有效地利用，使兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2與壓力式分流量控裝置FCS實(shí)質(zhì)上相同，故本方法發(fā)明的實(shí)施極其容易而且能夠以低廉的設(shè)備費(fèi)來進(jìn)行。
進(jìn)而，在本申請方法發(fā)明中，取為靠初期流量設(shè)定信號，使流量大的一方的壓力式分流量控制的控制閥全開，此外使另一方的壓力式分流量控制器的控制閥的開度為全開×α(α是根據(jù)最終流量比Q1/Q2預(yù)先算定的計(jì)算上的開度比率P3″/P3′)開始分流量控制，首先使前述流量設(shè)定信號分步變化進(jìn)行分流比Q1/Q2的粗調(diào)整，并且如果輸入·輸出信號間的偏差納入規(guī)定內(nèi)，則接著從恢復(fù)到一級前的分步調(diào)整的流量設(shè)定信號時(shí)起使流量設(shè)定信號傾斜狀變化，把流量設(shè)定信號與控制流量輸出信號進(jìn)行對比，在兩個(gè)輸入·輸出信號間的偏差在規(guī)定時(shí)間內(nèi)成為設(shè)定值以下的場合，以個(gè)流量設(shè)定信號作為對兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2的最終流量設(shè)定信號固定保持的構(gòu)成。
結(jié)果，在本方法發(fā)明中，能夠極其迅速且正確地，而且針對多個(gè)流量比Q1/Q2進(jìn)行兩個(gè)壓力式分流量控制器FV1、FV2進(jìn)行的分流控制。
本發(fā)明可以收到如上所述的實(shí)用的效用。
權(quán)利要求
1.一種從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備(1)，通過多個(gè)分支供給線(GL1、GL2)和固定于其末端的噴淋板(3、4)，向腔室(C)內(nèi)以規(guī)定的流量比Q2/Q1分流供給規(guī)定流量Q的氣體(G)，其特征在于，在前述多個(gè)分支供給線(GL1、GL2)上加裝壓力式分流量控制器(FV1、FV2)，并且靠來自使供給流量大的一方的壓力式分流量控制器的控制閥(CV)的開度全開的分流量控制盤(FRC)的初期流量設(shè)定信號，開始前述兩個(gè)分流量控制器(FV1、FV2)的開度控制，通過分別調(diào)整前述控制閥(CV)的下游側(cè)壓力P3′、P3″，通過設(shè)在噴淋板(3、4)上的節(jié)流孔(3a、4a)，以由式Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″(式中C1、C2是取決于節(jié)流孔的斷面積或節(jié)流孔上游側(cè)的氣體溫度的常數(shù))所表達(dá)的所希望的分流量Q1、Q2向前述腔室(C)內(nèi)分流供給總量Q＝Q1+Q2的氣體。
2.權(quán)利要求1中所述的從備有流量控制裝置向腔室的氣體分流供給方法，其中在備有CPU的分流量控制盤(FRC)上設(shè)有起動(dòng)·停止信號輸入端子(T2)，初期流量設(shè)定比信號輸入端子(T3)，噴淋板的組合識別信號輸入端子(T4)，各壓力式分流控制器(FV1、FV2)的控制流量信號輸出端子(T71·T72)，因各壓力式分流控制器(FV1、FV2)的流量設(shè)定輸入信號與控制流量輸出信號的偏差發(fā)送信號的輸入·輸出異常警報(bào)輸出端子(T91、T92)，并且針對前述噴淋板(3、4)的多個(gè)組合，用前述Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″的運(yùn)算式針對多個(gè)總流量Q以流量比Q1/Q2為參數(shù)算出總量Q＝Q1+Q2的氣體(G)按流量比Q1/Q2流通各噴淋板(3、4)之際的各壓力式分流控制器(FV1、FV2)的控制閥(CV)的下游側(cè)壓力P3′、P3″，以對供給流量大的一方的壓力式分流量控制器(FV1)的初期流量設(shè)定信號為控制閥全開時(shí)的輸入信號電壓V0，并且以另一方的壓力式分流量控制器(FV2)的初期流量設(shè)定信號為前述P3″/P3′×V0，接著，把各噴淋板(3、4)的組合的識別信號向前述輸入端子(T4)輸入，此外把對前述兩個(gè)壓力式分流量控制器(FV1、FV2)的初期流量設(shè)定信號之比P3′/P3″向初期流量比設(shè)定信號輸入端子(T3)輸入后，在使兩個(gè)壓力式分流量控制器(FV1、FV2)的各控制閥(CV)成為全開狀態(tài)的狀態(tài)下把來自氣體供給設(shè)備(1)的氣體供給流量Q設(shè)定成所希望的流量，接著，向前述起動(dòng)(開始)信號輸入端子(T2)輸入起動(dòng)信號(步驟5)，如果起動(dòng)信號的輸入被確認(rèn)(步驟6)，則確認(rèn)前述噴淋板的組合識別信號和前述初期流量設(shè)定比信號是否存在(步驟7)，然后分步地以同比率使根據(jù)前述初期流量設(shè)定比信號求出的兩個(gè)壓力式分流量控制器(FV1、FV2)的初期流量設(shè)定信號V0，V0×P3″/P3′增加(步驟8、10)，檢查此時(shí)的流量設(shè)定輸入信號與控制流量輸出信號的偏差(步驟9)，如果前述輸入·輸出偏差在設(shè)定范圍內(nèi)，則使對各分流量控制器(FV1、FV2)的流量設(shè)定信號返回到輸入.輸出偏差成為設(shè)定范圍內(nèi)的一步前的分步變化時(shí)的流量設(shè)定信號的值(步驟11)，繼續(xù)使對各分流量控制器(FV1、FV2)的流量設(shè)定信號同比率地分步變化(步驟13、14)并且連續(xù)地檢查輸入.輸出信號的偏差(步驟15)，如果傾斜變化時(shí)的輸入·輸出信號的偏差成為設(shè)定范圍內(nèi)，則以當(dāng)時(shí)的流量設(shè)定信號為對各分流量控制器(FV1、FV2)的流量設(shè)定信號而固定·保持(步驟16)，在該各流量設(shè)定信號之下進(jìn)行氣體(G)的分流供給。
3.權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中把流量設(shè)定信號的分步變化取為從初期流量設(shè)定值(100％)每隔0.5秒按50％、30％、20％、10％和5％的順序使兩個(gè)流量設(shè)定信號分步地以同比率增加。
4.權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中把流量設(shè)定信號的分步變化取為每隔0.5秒同比率地增加兩個(gè)流量設(shè)定信號的10％。
5.權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中如果連續(xù)沒有輸入·輸出的偏差一定時(shí)間以上，則以當(dāng)時(shí)的各流量設(shè)定信號為各分流量控制器(FV1、FV2)的流量設(shè)定信號而固定·保持。
6.權(quán)利要求1或權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中把腔室(C)的內(nèi)壓力取為5～30托，把壓力式分流量控制器(FV1、FV2)的下游側(cè)的氣體壓力取為100托以下，把總流量Q取為100sccm～1600sccm，把分流量比取為1/4、1/2、1/1、2/1、3/1和4/1。
7.權(quán)利要求1或權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中以分流流量Q1或Q2的大的一方的壓力式分流量控制器(FV1)或(FV2)的初期流量設(shè)定信號為使其控制閥(CV)全開時(shí)的電壓輸入，并且把該控制閥(CV)的全開時(shí)的控制電壓輸入取為0V，此外把控制電壓范圍取為0～5V。
8.權(quán)利要求2中所述的從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備向腔室的氣體分流供給方法，其中以分流量控制盤(FRC)的各端子的輸入·輸出信號為串行通信的輸入·輸出信號。
全文摘要
將可以從備有流量控制裝置的氣體供給設(shè)備正確且迅速地按所需要的流量比Q
文檔編號G05D7/06GK1543596SQ0380077
公開日2004年11月3日 申請日期2003年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2002年6月3日
發(fā)明者杉山一彥, 池田信一, 西野功二, 土肥亮介, 上野山豐己, 一, 豐己, 二, 介 申請人:株式會(huì)社富士金, 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社