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一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置的制造方法

文檔序號(hào):10973826閱讀:920來(lái)源:國(guó)知局
一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,它包括波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、行程調(diào)節(jié)桿(1)和彈簧張力系統(tǒng)(2),左支架(4)的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪A(7)和從動(dòng)齒輪A(8),右連接架(16)內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔II(17),導(dǎo)向孔II(17)內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔II(17)移動(dòng)的右同心軸(18)和固定于右同心軸(18)右側(cè)的彈簧張力系統(tǒng)(2),彈簧張力系統(tǒng)(2)與右同心軸(18)連接,從動(dòng)齒輪A(8)和從動(dòng)齒輪B(15)之間連接有從動(dòng)軸(19)。本實(shí)用新型的有益效果是:結(jié)構(gòu)緊湊、檢測(cè)精度高、能夠模擬切割條件下波紋線的波形變化,同時(shí)通過投影儀設(shè)備可以觀察和檢測(cè)波紋線各個(gè)方向波形。
【專利說明】
一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在硅片廠家采用新型的切割鋼線,利用帶有一定波紋結(jié)構(gòu)的波紋線進(jìn)行切割,從而提高硅片切割速度,降低成本。波紋線直徑只有0.1lOmm左右,在切割過程中有一定的張力,在張力左右下,波紋線的波高及結(jié)構(gòu)會(huì)有一定的拉伸和變形,在切割條件下,波紋線的波形過高或過低,波形不均勻,容易產(chǎn)生線痕、厚薄片、廢片等不良品。因此需要根據(jù)不同切片機(jī)的切割條件,來(lái)控制波紋線的形狀,需要一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,來(lái)研究和檢測(cè)不同工藝波紋線的波形、抗變形力,確定適合不同切片機(jī)型的波紋線標(biāo)準(zhǔn)。
[0003]現(xiàn)有檢測(cè)裝置技術(shù)缺點(diǎn):(I)沒有波紋線整體旋轉(zhuǎn)系統(tǒng),波紋線兩端沒有同步轉(zhuǎn)動(dòng),會(huì)產(chǎn)生扭轉(zhuǎn),無(wú)法準(zhǔn)確的觀察同一水平面的波形。(2)沒有張力系統(tǒng),無(wú)法模擬切割條件下波紋線的波形情況,不能準(zhǔn)確快速的確定波紋線工藝及標(biāo)準(zhǔn)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于克服了現(xiàn)有檢測(cè)工具的缺點(diǎn),能夠模擬切割條件下波紋線的波形變化,同時(shí)通過投影儀設(shè)備可以觀察和檢測(cè)波紋線各個(gè)方向波形,根據(jù)切割結(jié)果,來(lái)驗(yàn)證波紋線工藝標(biāo)準(zhǔn)是否合適,提供一種結(jié)構(gòu)緊湊、檢測(cè)精度高的模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置。
[0005]本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,它包括波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、行程調(diào)節(jié)桿和彈簧張力系統(tǒng),所述的波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)由底板以及設(shè)置于底板頂表面上的左支架和右支架組成,底板頂表面上還設(shè)置有位于左支架和右支架之間的透光孔,左支架的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪A和從動(dòng)齒輪A,主動(dòng)齒輪A與從動(dòng)齒輪A嚙合,主動(dòng)齒輪A的右端面上設(shè)置有模芯,左支架的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪A連接的左連接架,左連接架內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔I,導(dǎo)向孔I內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔I移動(dòng)的左同心軸,左連接架的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔I的通槽I,所述的行程調(diào)節(jié)桿從上往下順次貫穿通槽I和左連接架設(shè)置且與左連接架鉸接,行程調(diào)節(jié)桿與左同心軸之間鉸接有連桿,所述的右支架的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪B和從動(dòng)齒輪B,主動(dòng)齒輪B與從動(dòng)齒輪B嚙合,主動(dòng)齒輪B的左端面上設(shè)置有模芯,右支架的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪B連接的右連接架,右連接架內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔II,右連接架的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔II的通槽II,導(dǎo)向孔II內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔II移動(dòng)的右同心軸和固定于右同心軸右側(cè)的彈簧張力系統(tǒng),彈簧張力系統(tǒng)與右同心軸連接,所述的從動(dòng)齒輪A和從動(dòng)齒輪B之間連接有從動(dòng)軸。
[0006]所述的主動(dòng)齒輪A和主動(dòng)齒輪B對(duì)稱設(shè)置。
[0007]所述的從動(dòng)齒輪A和從動(dòng)齒輪B對(duì)稱設(shè)置。
[0008]所述的彈簧張力系統(tǒng)為拉伸彈簧。
[0009]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型通過波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)保持波紋線整體同步的轉(zhuǎn)動(dòng),觀察波紋線各方向的波形,準(zhǔn)確的觀察和測(cè)量長(zhǎng)波短波波形。(2)本實(shí)用新型利用張力調(diào)節(jié)系統(tǒng),模擬不同切割機(jī),不同切割工藝的切割條件,在張力作用下波紋線鋼絲的波形變化情況,對(duì)比無(wú)張力和模擬切割條件張力狀態(tài)下的波形變化,研究不同工藝的波紋線抗變形能力及波形配比,通過切割結(jié)果,來(lái)反推波紋線工藝標(biāo)準(zhǔn),確定適合不同機(jī)型切片機(jī)切片工藝的波紋線標(biāo)準(zhǔn)。
【附圖說明】
[00?0]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖;
[0011]圖2為圖1的俯視圖;
[0012]圖中,1-行程調(diào)節(jié)桿,2-彈簧張力系統(tǒng),3-底板,4-左支架,5-右支架,6_透光孔,7_主動(dòng)齒輪A,8-從動(dòng)齒輪A,9-模芯,10-左連接架,11-導(dǎo)向孔I,12-左同心軸,13-連桿,14-主動(dòng)齒輪B,15-從動(dòng)齒輪B,16-右連接架,17-導(dǎo)向孔II,18-右同心軸,19-從動(dòng)軸,20-螺釘,21-波紋線鋼絲。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0014]如圖1和圖2所示,一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,它包括波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、行程調(diào)節(jié)桿I和彈簧張力系統(tǒng)2,所述的波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)由底板3以及設(shè)置于底板3頂表面上的左支架4和右支架5組成,底板3頂表面上還設(shè)置有位于左支架4和右支架5之間的透光孔6,左支架4的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪A7和從動(dòng)齒輪A8,主動(dòng)齒輪A7與從動(dòng)齒輪AS嚙合,主動(dòng)齒輪A7的右端面上設(shè)置有模芯9,左支架4的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪A7連接的左連接架10,左連接架1內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔111,導(dǎo)向孔111內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔Ill移動(dòng)的左同心軸12,左連接架10的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔Ill的通槽I,所述的行程調(diào)節(jié)桿I從上往下順次貫穿通槽I和左連接架10設(shè)置且與左連接架10鉸接,行程調(diào)節(jié)桿I與左同心軸12之間鉸接有連桿13,所述的行程調(diào)節(jié)桿I可繞與左連接架1之間的鉸接點(diǎn)做順時(shí)針或逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0015]如圖1和圖2所示,所述的右支架5的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪B14和從動(dòng)齒輪B15,主動(dòng)齒輪B14與從動(dòng)齒輪B15嚙合,主動(dòng)齒輪B14的左端面上設(shè)置有模芯9,右支架5的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪B14連接的右連接架16,右連接架16內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔II17,右連接架16的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔1117的通槽II,導(dǎo)向孔1117內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔1117移動(dòng)的右同心軸18和固定于右同心軸18右側(cè)的彈簧張力系統(tǒng)2,彈簧張力系統(tǒng)2為拉伸彈簧,彈簧張力系統(tǒng)2與右同心軸18連接,所述的從動(dòng)齒輪A8和從動(dòng)齒輪B15之間連接有從動(dòng)軸19。
[0016]所述的主動(dòng)齒輪A7和主動(dòng)齒輪B14對(duì)稱設(shè)置;從動(dòng)齒輪A8和從動(dòng)齒輪B15對(duì)稱設(shè)置。
[0017]本實(shí)用新型的工作步驟如下:
[0018]S1、將該裝置平放在投影儀設(shè)備檢測(cè)臺(tái)上;
[0019]S2、波紋線鋼絲的安裝,先將波紋線鋼絲21的左端部順次穿過位于主動(dòng)齒輪A7上的模芯9、主動(dòng)齒輪A7、左支架且伸入左同心軸12內(nèi),再利用一顆螺釘20貫穿通槽1、左同心軸12以將波紋線鋼絲21的左端部鎖死于左同心軸12內(nèi);隨后將波紋線鋼絲的右端部順次穿過位于主動(dòng)齒輪B14上的模芯9、主動(dòng)齒輪B14、右支架且伸入右同心軸18內(nèi),再利用另一顆螺釘20順次貫穿通槽I1、右同心軸18以將波紋線鋼絲的右端部鎖死于右同心軸18內(nèi),從而實(shí)現(xiàn)了波紋線鋼絲21的安裝;
[0020]S3、波紋線鋼絲的旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)動(dòng)左同心軸12,左同心軸12帶動(dòng)左連接架10轉(zhuǎn)動(dòng),左連接架10帶動(dòng)主動(dòng)齒輪A7轉(zhuǎn)動(dòng),主動(dòng)齒輪A7帶動(dòng)從動(dòng)齒輪A8轉(zhuǎn)動(dòng),從動(dòng)齒輪A8經(jīng)從動(dòng)軸19帶動(dòng)從動(dòng)齒輪B15轉(zhuǎn)動(dòng),從動(dòng)齒輪B15帶動(dòng)主動(dòng)齒輪B14主動(dòng),主動(dòng)齒輪B14帶動(dòng)右連接架16轉(zhuǎn)動(dòng),右連接架16帶動(dòng)右同心軸18轉(zhuǎn)動(dòng),從而實(shí)現(xiàn)了波紋線鋼絲的兩端同步轉(zhuǎn)動(dòng),不會(huì)產(chǎn)生扭轉(zhuǎn),能夠準(zhǔn)確的觀察同一水平面的波形;
[0021]S4、利用投影儀設(shè)備檢測(cè)臺(tái)觀察波紋線鋼絲各個(gè)方向的波形,并分別找出長(zhǎng)齒波形和短齒波形,進(jìn)行觀察和檢測(cè);
[0022]S5、張力的模擬,逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)行程調(diào)節(jié)桿I,連桿13帶動(dòng)左同心軸12向左移動(dòng),通過波紋線鋼絲21帶動(dòng)右同心軸18向左移動(dòng),彈簧張力系統(tǒng)2被拉伸,當(dāng)彈簧張力系統(tǒng)2達(dá)到張力要求值,停止轉(zhuǎn)動(dòng)行程調(diào)節(jié)桿,在模擬切割條件下的狀態(tài)下,進(jìn)行觀察波形,同時(shí)繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)左同心軸12,觀察各個(gè)方向的波形,分別找出長(zhǎng)齒波形和短齒波形,進(jìn)行觀察和檢測(cè);
[0023]S6、根據(jù)步驟S5中檢測(cè)的結(jié)果對(duì)比無(wú)張力狀態(tài)和模擬切割條件有張力狀態(tài)下的波紋線鋼絲上波形的變化,研究不同工藝的波紋線抗變形能力及波形配比,通過切割結(jié)果,來(lái)反推波紋線工藝標(biāo)準(zhǔn),確定適合不同切片機(jī)型的波紋線標(biāo)準(zhǔn),因此該裝置能夠準(zhǔn)確快速的確定波紋線的工藝及標(biāo)準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,其特征在于:它包括波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、行程調(diào)節(jié)桿(I)和彈簧張力系統(tǒng)(2),所述的波紋線旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)由底板(3)以及設(shè)置于底板(3)頂表面上的左支架(4)和右支架(5)組成,底板(3)頂表面上還設(shè)置有位于左支架(4)和右支架(5)之間的透光孔(6),左支架(4)的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪A(7)和從動(dòng)齒輪A(8),主動(dòng)齒輪A(7)與從動(dòng)齒輪A(8)嚙合,主動(dòng)齒輪A(7)的右端面上設(shè)置有模芯(9),左支架(4)的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪A(7)連接的左連接架(10),左連接架(10)內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔1(11),導(dǎo)向孔I(Il)內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔I(Il)移動(dòng)的左同心軸(12),左連接架(10)的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔I(Il)的通槽I,所述的行程調(diào)節(jié)桿(I)從上往下順次貫穿通槽I和左連接架(10)設(shè)置且與左連接架(1 )鉸接,行程調(diào)節(jié)桿(I)與左同心軸(12 )之間鉸接有連桿(13),所述的右支架(5)的左端面上旋轉(zhuǎn)安裝有主動(dòng)齒輪B(14)和從動(dòng)齒輪B( 15),主動(dòng)齒輪B(14)與從動(dòng)齒輪B(15)嚙合,主動(dòng)齒輪B(14)的左端面上設(shè)置有模芯(9),右支架(5)的右端面上旋轉(zhuǎn)安裝有與主動(dòng)齒輪B( 14)連接的右連接架(16),右連接架(16)內(nèi)設(shè)置有導(dǎo)向孔II(17),右連接架(16)的頂部設(shè)置有連通導(dǎo)向孔11(17)的通槽II,導(dǎo)向孔11(17)內(nèi)設(shè)置有可沿導(dǎo)向孔11(17)移動(dòng)的右同心軸(18)和固定于右同心軸(18)右側(cè)的彈簧張力系統(tǒng)(2),彈簧張力系統(tǒng)(2)與右同心軸(18)連接,所述的從動(dòng)齒輪A(8)和從動(dòng)齒輪B( 15)之間連接有從動(dòng)軸(19)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,其特征在于:所述的主動(dòng)齒輪A(7)和主動(dòng)齒輪B(14)對(duì)稱設(shè)置。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,其特征在于:所述的從動(dòng)齒輪A( 8 )和從動(dòng)齒輪B (15 )對(duì)稱設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種模擬切割張力條件下檢測(cè)波紋線的裝置,其特征在于:所述的彈簧張力系統(tǒng)(2)為拉伸彈簧。
【文檔編號(hào)】G01B11/24GK205664785SQ201620551069
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年6月8日
【發(fā)明人】吳取家, 代江波
【申請(qǐng)人】四川瑞昱新材料技術(shù)有限公司
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