壓阻式陶瓷壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種壓力傳感器，特別是涉及一種壓阻式陶瓷壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)_40~135°C，而且具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV，輸出信號(hào)強(qiáng)，長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。高特性，低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向，在歐美國(guó)家有全面替代其它類(lèi)型傳感器的趨勢(shì)，在中國(guó)也越來(lái)越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。現(xiàn)有傳感器的強(qiáng)度低，不方便連接電源和輸出信號(hào)，檢測(cè)的準(zhǔn)確性低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種壓阻式陶瓷壓力傳感器，其增加強(qiáng)度，方便連接電源和輸出信號(hào)，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
[0004]本實(shí)用新型是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:一種壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述壓阻式陶瓷壓力傳感器包括陶瓷座、彈性膜片、凹槽、電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)，彈性膜片固定在陶瓷座的表面上，四個(gè)凹槽分別位于陶瓷座的四個(gè)側(cè)面上，電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)都位于彈性膜片上，第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻依次連接。
[0005]優(yōu)選地，所述壓阻式陶瓷壓力傳感器還包括傳感器芯片和墊圈，傳感器芯片位于陶瓷座內(nèi)，墊圈位于傳感器芯片的下方。
[0006]優(yōu)選地，所述陶瓷座的形狀和彈性膜片的形狀都為方形或圓形。
[0007]優(yōu)選地，所述陶瓷座的直徑為18mm，高度為3.5mm至6.35mm。
[0008]優(yōu)選地，所述彈性膜片上設(shè)有四個(gè)定位孔，定位孔位于凹槽的側(cè)面。
[0009]本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于:本實(shí)用新型改進(jìn)了彈性膜片和陶瓷座的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，增加強(qiáng)度，方便連接電源和輸出信號(hào)，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器的俯視圖。
[0011]圖2為本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0013]如圖1所示，本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器包括陶瓷座1、彈性膜片2、凹槽3、電源正極4、輸出負(fù)極5、電源負(fù)極6、輸出正極7、第一電阻8、第二電阻9、第三電阻10、第四電阻11、焊盤(pán)12，彈性膜片2固定在陶瓷座I的表面上，四個(gè)凹槽3分別位于陶瓷座2的四個(gè)側(cè)面上，電源正極4、輸出負(fù)極5、電源負(fù)極6、輸出正極7、第一電阻8、第二電阻9、第三電阻10、第四電阻11、焊盤(pán)12都位于彈性膜片2上，第一電阻8、第二電阻9、第三電阻10、第四電阻11依次連接。彈性膜片與陶瓷座之間固定，這樣可以能夠保證傳感器機(jī)械結(jié)構(gòu)的強(qiáng)度，保證其可靠性，可以測(cè)量頻率范圍很寬的脈動(dòng)壓力。電源正極、電源負(fù)極方便連接電源，輸出負(fù)極、輸出正極方便輸出信號(hào)。第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻構(gòu)成一個(gè)平衡電橋，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。在被測(cè)壓力作用下，彈性膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變。凹槽方便與其它元件進(jìn)行卡合。
[0014]陶瓷座的直徑為18mm，高度為3.5mm至6.35mm，優(yōu)選地為4.8mm，這樣節(jié)約材料。彈性膜片2上設(shè)有四個(gè)定位孔13，定位孔13位于凹槽的側(cè)面，這樣方便進(jìn)行定位。
[0015]如圖2所示，本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器還包括傳感器芯片14和墊圈15，傳感器芯片14位于陶瓷座I內(nèi)，墊圈15位于傳感器芯片14的下方，這樣設(shè)本實(shí)用新型計(jì)合理，體積小巧，易封裝。
[0016]本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器的陶瓷座的形狀和彈性膜片的形狀均可設(shè)計(jì)成方形或圓形結(jié)構(gòu)，這樣可以滿足不同場(chǎng)合的需要，降低了制造成本，便于規(guī)?；a(chǎn)。
[0017]本實(shí)用新型壓阻式陶瓷壓力傳感器的陶瓷座的材質(zhì)是陶瓷，具有抗腐蝕、抗磨損性能，且抗沖擊、抗震動(dòng)，還有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性、寬的工作溫度范圍的優(yōu)點(diǎn)。
[0018]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述壓阻式陶瓷壓力傳感器包括陶瓷座、彈性膜片、凹槽、電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)，彈性膜片固定在陶瓷座的表面上，四個(gè)凹槽分別位于陶瓷座的四個(gè)側(cè)面上，電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)都位于彈性膜片上，第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻依次連接。2.如權(quán)利要求1所述的壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述壓阻式陶瓷壓力傳感器還包括傳感器芯片和墊圈，傳感器芯片位于陶瓷座內(nèi)，墊圈位于傳感器芯片的下方。3.如權(quán)利要求1所述的壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述陶瓷座的形狀和彈性膜片的形狀都為方形或圓形。4.如權(quán)利要求1所述的壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述陶瓷座的直徑為18mm高度為3.5謹(jǐn)至6.35謹(jǐn)。5.如權(quán)利要求1所述的壓阻式陶瓷壓力傳感器，其特征在于，所述彈性膜片上設(shè)有四個(gè)定位孔，定位孔位于凹槽的側(cè)面。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種壓阻式陶瓷壓力傳感器，其包括陶瓷座、彈性膜片、凹槽、電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)，彈性膜片固定在陶瓷座的表面上，四個(gè)凹槽分別位于陶瓷座的四個(gè)側(cè)面上，電源正極、輸出負(fù)極、電源負(fù)極、輸出正極、第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻、焊盤(pán)都位于彈性膜片上，第一電阻、第二電阻、第三電阻、第四電阻依次連接。本實(shí)用新型增加強(qiáng)度，方便連接電源和輸出信號(hào)，提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性。
【IPC分類(lèi)】G01L9/06, G01L1/18
【公開(kāi)號(hào)】CN204944714
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520640516
【發(fā)明人】趙德林
【申請(qǐng)人】上海宇瓷電子科技有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年8月24日