用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法及設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及平板玻璃領(lǐng)域，具體地，涉及一種用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法及設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，液晶玻璃基板表面顆粒的檢測(cè)，通常采用的是光的散射法，且當(dāng)前液晶玻璃基板生產(chǎn)廠家所使用的檢測(cè)設(shè)備均采用光的散射法測(cè)量。采用光的散射法測(cè)量時(shí)，最靈敏的是可以檢測(cè)出Ium的顆粒物。實(shí)際應(yīng)用中發(fā)現(xiàn)，Ium顆粒物散射的光線極少，需要非常高靈敏度的攝像機(jī)才能滿足要求。同時(shí)，上述方法雖然可以識(shí)別Ium的顆粒物，但對(duì)尺寸的檢測(cè)精度極差。
[0003]同時(shí)，隨著技術(shù)的進(jìn)步，液晶玻璃基板向著更薄的方向發(fā)展，由于分辨率的提高，用戶對(duì)于玻璃基板表面顆粒的容忍度在降低，當(dāng)顆粒物的尺寸低于Ium時(shí)，采用光的散射法并不能準(zhǔn)確測(cè)量。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是提供一種用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法及設(shè)備，其具有更高的靈敏度進(jìn)而能夠檢測(cè)更小的顆粒物。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法，該方法包括:在待測(cè)玻璃表面形成相互平行的第一照亮帶和第二照亮帶，該第一照亮帶和第二照亮帶滿足干涉條件;使用攝像機(jī)拍攝所述第一照亮帶和所述第二照亮帶所形成的干涉條紋的圖像;以及根據(jù)所述干涉條紋的圖像來(lái)判斷所述待測(cè)玻璃表面上是否存在顆粒。
[0006]優(yōu)選地，所述根據(jù)所述干涉條紋的圖像來(lái)判斷所述待測(cè)玻璃表面上是否存在顆粒包括:將采用潔凈玻璃所形成的干涉條紋的圖像作為標(biāo)準(zhǔn)圖像;在采用所述待測(cè)玻璃所形成的干涉條紋的圖像與所述標(biāo)準(zhǔn)圖像相比具有不一致像素的情況下，判斷所述待測(cè)玻璃表面上存在顆粒。
[0007]優(yōu)選地，所述方法進(jìn)一步包括:根據(jù)所述不一致像素的位置坐標(biāo)計(jì)算所述顆粒在所述待測(cè)玻璃上的位置。
[0008]優(yōu)選地，所述第一照亮帶和所述第二照亮帶的間距為0.1 mm至2 mm，優(yōu)選為I mm至2mm ο
[0009]優(yōu)選地，所述攝像機(jī)為面陣攝像機(jī)，所述方法進(jìn)一步包括:調(diào)整所述攝像機(jī)以使所述第一照亮帶或所述第二照亮帶在長(zhǎng)度上為所述面陣攝像機(jī)的面陣的一個(gè)維度的85%至95%，優(yōu)選為90 %。
[0010]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的設(shè)備，該設(shè)備包括:光路結(jié)構(gòu)，用于在待測(cè)玻璃表面形成相互平行的第一照亮帶和第二照亮帶，該第一照亮帶和第二照亮帶滿足干涉條件;攝像機(jī)，用于拍攝所述第一照亮帶和所述第二照亮帶所形成的干涉條紋的圖像；以及處理器，根據(jù)所述干涉條紋的圖像來(lái)判斷所述待測(cè)玻璃表面上是否存在顆粒。
[0011]優(yōu)選地，所述處理器用于:將采用潔凈玻璃所形成的干涉條紋的圖像作為標(biāo)準(zhǔn)圖像;在采用所述待測(cè)玻璃所形成的干涉條紋的圖像與所述標(biāo)準(zhǔn)圖像相比具有不一致像素的情況下，判斷所述待測(cè)玻璃表面上存在顆粒。
[0012]優(yōu)選地，所述處理器還用于:根據(jù)所述不一致像素的位置坐標(biāo)計(jì)算所述顆粒在所述待測(cè)玻璃上的位置。
[0013]優(yōu)選地，所述光路結(jié)構(gòu)包括:光源;第一反光鏡;第二反光鏡；以及半反射半透射鏡片，用于將所述光源發(fā)出的光反射至所述第一反光鏡，并經(jīng)該第一反光鏡反射后照射至所述待測(cè)玻璃以形成所述第一照亮帶，以及用于將所述光源發(fā)出的光透射至所述第二反光鏡，并經(jīng)該第二反光鏡反射后照射至所述待測(cè)玻璃以形成所述第二照亮帶。
[0014]優(yōu)選地，所述光路結(jié)構(gòu)還包括:微調(diào)機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述第一反光鏡與所述第二反光鏡之間的相對(duì)位置以使得所述第一照亮帶與所述第二照亮帶滿足干涉條件。
[0015]優(yōu)選地，所述光路結(jié)構(gòu)包括:光源;分光器，用于將所述光源發(fā)出的光分為兩束;第一照射裝置，用于通過(guò)第一光纖將所述分光器所分出的第一束光照射至所述待測(cè)玻璃的上表面以形成所述第一照亮帶；以及第二照射裝置，用于通過(guò)第二光纖將所述分光器所分出的第二束光照射至所述上表面以形成所述第二照亮帶。
[0016]優(yōu)選地，所述光路結(jié)構(gòu)包括:光源;分光器，用于將所述光源發(fā)出的光分為兩束;第一照射裝置，用于通過(guò)第一光纖將所述分光器所分出的第一束光照射至所述待測(cè)玻璃的上表面以形成所述第一照亮帶；以及第二照射裝置，用于通過(guò)第二光纖將所述分光器所分出的第二束光照射至所述待測(cè)玻璃的下表面以使該第二束光經(jīng)所述待測(cè)玻璃折射后在所述上表面形成所述第二照亮帶。
[0017]優(yōu)選地，所述光路結(jié)構(gòu)還包括:微調(diào)機(jī)構(gòu)，用于調(diào)整所述第一照射裝置與所述第二照射裝置之間的相對(duì)位置以使得所述第一照亮帶與所述第二照亮帶滿足干涉條件。
[0018]優(yōu)選地，所述設(shè)備還包括:輸送裝置，用于在水平方向上移動(dòng)所述待測(cè)玻璃、或在水平方向上移動(dòng)所述光路結(jié)構(gòu)和所述攝像機(jī)。
[0019]通過(guò)上述技術(shù)方案，基于光的干涉原理對(duì)平板玻璃表面顆粒度進(jìn)行檢測(cè)，其靈敏度更高，有利于檢測(cè)更細(xì)小的顆粒物。
[0020]本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的【具體實(shí)施方式】部分予以詳細(xì)說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0021]附圖是用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0022]圖1示出了本發(fā)明所提供的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法的流程圖；
[0023]圖2(a)至圖2(c)示出了形成兩條相互平行的照亮帶的不同實(shí)施方式的光路示意圖；
[0024]圖3示出了標(biāo)準(zhǔn)干涉條紋的圖像的示意圖；
[0025]圖4示出了根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的設(shè)備的示意圖；
[0026]圖5示出了根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的設(shè)備的示意圖；
[0027]圖6示出了圖5所示的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的設(shè)備的局部立體示意圖；以及
[0028]圖7示出了根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的設(shè)備的示意圖。
[0029]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0030]10 光源40 待測(cè)玻璃
[0031]41 顆粒物50 攝像機(jī)
[0032]120半反射半透射鏡片131 第一反光鏡
[0033]132第二反光鏡220 分光器
[0034]231第一光纖232 第二光纖
[0035]261第一照射裝置 262 第二照射裝置
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說(shuō)明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0037]圖1示出了本發(fā)明所提供的用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法的流程圖。如圖1所示，用于測(cè)量平板玻璃表面顆粒度的方法包括步驟S10-S30。
[0038]步驟S10:在待測(cè)玻璃表面形成相互平行的第一照亮帶和第二照亮帶，該第一照亮帶和第二照亮帶滿足干涉條件?？梢酝ㄟ^(guò)多種方式在待測(cè)玻璃表面滿足上述條件的第一照亮帶和第二照亮帶，例如，可以將同一光源所發(fā)出的光帶分為兩束光照射至待測(cè)玻璃來(lái)形成相互平行的第一照亮帶和第二照亮帶，也可以使用兩個(gè)光源照射至待測(cè)玻璃來(lái)形成相互平行的第一照亮帶和第二照亮帶，而兩個(gè)照亮帶要滿足干涉條件則要求兩個(gè)光源具有相同的頻率和相位，采用兩個(gè)光源雖然有利于設(shè)備的安裝和布置，但是對(duì)于光源的要求較高，因此，優(yōu)選使用同一光源。
[0039]圖2(a)至圖2(c)示出了形成兩條相互平行的照亮帶的不同實(shí)施方式的光路示意圖，如圖2(a)至圖2(c)所示，射向待測(cè)玻璃40的兩條光帶可以射向待測(cè)玻璃40的同一表面也可以射向待測(cè)玻璃40的前后兩個(gè)表面，兩條光帶可以相互平行或相互不平行，或者可以相互對(duì)稱，這里并不特定限制。
[0040]第一照亮帶和第二照亮帶的間距可以被調(diào)整為0.1mm至2mm，優(yōu)選為Imm至2mm，以使第一照亮帶和第二照亮帶經(jīng)待測(cè)玻璃40反射