本技術(shù)涉及差壓傳感器，尤其是涉及一種不充油式差壓傳感器及其封裝方法。

背景技術(shù)：

1、差壓傳感器是一種用來(lái)測(cè)量?jī)蓚€(gè)壓力之間差值的傳感器，通常用于測(cè)量某一設(shè)備或部件前后兩端的壓差，廣泛應(yīng)用于紡織車(chē)間、鍋爐送風(fēng)、井下通風(fēng)等電力、煤炭，紡紗棉箱，除塵設(shè)備，行業(yè)壓力過(guò)程控制領(lǐng)域。

2、在測(cè)量清潔無(wú)腐蝕性的氣體，或者液體時(shí)，現(xiàn)有的差壓傳感器方案使用充油芯體、波紋膜片，通過(guò)充油管道向傳感器內(nèi)部注入硅油，使得傳感器本體內(nèi)的各個(gè)導(dǎo)壓孔內(nèi)充滿用于傳導(dǎo)壓力的硅油，但是在使用過(guò)程中，傳感器體積較大，且存在漏油、污染測(cè)量介質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了改善差壓傳感器在使用過(guò)程中存在漏油、污染測(cè)量介質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)的問(wèn)題，本技術(shù)提供一種不充油式差壓傳感器及其封裝方法。

2、一方面，本技術(shù)提供的一種不充油式差壓傳感器采用如下的技術(shù)方案：

3、一種不充油式差壓傳感器，包括設(shè)置在壓力介質(zhì)管路上的底座以及設(shè)置在所述底座上的壓差感應(yīng)芯片，所述底座的兩端均設(shè)有介質(zhì)槽，所述壓差感應(yīng)芯片通過(guò)安裝結(jié)構(gòu)與所述底座連接，以能夠?qū)蓚€(gè)所述介質(zhì)槽隔斷設(shè)置，所述底座兩側(cè)的壓力介質(zhì)均能夠通過(guò)對(duì)應(yīng)的所述介質(zhì)槽直接作用在所述壓差感應(yīng)芯片的兩側(cè)，所述底座上設(shè)有與壓力介質(zhì)管路密封連接的密封結(jié)構(gòu)；

4、所述底座上設(shè)有覆蓋在所述介質(zhì)槽開(kāi)口的鋼網(wǎng)膜片，所述鋼網(wǎng)膜片與所述底座通過(guò)連接結(jié)構(gòu)連接。

5、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，將傳感器安裝在壓力介質(zhì)管路上的測(cè)壓位置，密封結(jié)構(gòu)與管路之間進(jìn)行密封，然后傳感器兩側(cè)的壓力介質(zhì)進(jìn)入兩個(gè)介質(zhì)槽內(nèi)，壓力介質(zhì)直接作用在壓差感應(yīng)芯片上，通過(guò)壓差感應(yīng)芯片監(jiān)測(cè)傳感器兩側(cè)的壓力介質(zhì)的壓差值，本方案無(wú)需向傳感器中加入硅油，因此不存在漏油、污染測(cè)量介質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)；通過(guò)鋼網(wǎng)膜片的設(shè)置，能夠隔絕外部污染物進(jìn)入傳感器，以保證傳感器內(nèi)部的清潔。

6、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，兩個(gè)所述介質(zhì)槽之間通過(guò)連通孔連通，所述壓差感應(yīng)芯片設(shè)置在其中一個(gè)所述介質(zhì)槽內(nèi)，并能夠封堵所述連通孔；

7、所述安裝結(jié)構(gòu)包括陶瓷片與芯片膠層，所述陶瓷片固定設(shè)置在所述壓差感應(yīng)芯片上，所述陶瓷片與所述底座之間通過(guò)所述芯片膠層粘接。

8、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，壓差感應(yīng)芯片通過(guò)陶瓷片與芯片膠層連接，能夠保持壓差感應(yīng)芯片的清潔，通過(guò)芯片膠層粘接的方式，便于壓差感應(yīng)芯片的安裝，同時(shí)提高兩個(gè)介質(zhì)槽隔絕的密封性。

9、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述底座在所述介質(zhì)槽內(nèi)設(shè)有芯片保護(hù)罩，所述芯片保護(hù)罩能夠包裹所述壓差感應(yīng)芯片，所述芯片保護(hù)罩位于所述鋼網(wǎng)膜片與所述介質(zhì)槽底壁之間，以使得所述鋼網(wǎng)膜片能夠?qū)⑺鲂酒Ｗo(hù)罩壓緊固定在所述介質(zhì)槽底壁上；

10、所述介質(zhì)槽內(nèi)嵌設(shè)有陶瓷墊，所述芯片保護(hù)罩穿設(shè)在所述陶瓷墊上，所述芯片保護(hù)罩上設(shè)有外沿，所述外沿能夠搭接在所述陶瓷墊上。

11、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，利用芯片保護(hù)罩，能夠防塵以及保護(hù)壓差感應(yīng)芯片；設(shè)置陶瓷墊能夠提高芯片保護(hù)罩安裝的牢固性。

12、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述密封結(jié)構(gòu)包括密封環(huán)槽與密封圈，所述密封環(huán)槽開(kāi)設(shè)在所述底座的周側(cè)壁上，所述密封圈位于嵌設(shè)在所述密封環(huán)槽內(nèi)，并能夠與壓力介質(zhì)管路抵接，以形成密封。

13、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，將密封圈設(shè)置在密封環(huán)槽內(nèi)，能夠提高密封圈與底座安裝的穩(wěn)定性，并通過(guò)密封圈與壓力介質(zhì)管路的抵接密封，提高傳感器安裝的密封效果。

14、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述連接結(jié)構(gòu)包括壓環(huán)，所述壓環(huán)與所述底座固定連接，以能夠?qū)⑺鲣摼W(wǎng)膜片壓緊固定在所述底座上。

15、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，利用壓環(huán)將鋼網(wǎng)膜片壓緊固定在底座上，提高鋼網(wǎng)膜片安裝的穩(wěn)定性。

16、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述壓環(huán)與所述底座焊接。

17、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述底座上固定設(shè)有內(nèi)螺紋套筒，所述壓環(huán)螺紋連接在所述內(nèi)螺紋套筒內(nèi)，以能夠?qū)⑺鲣摼W(wǎng)膜片壓緊固定。

18、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，通過(guò)設(shè)置內(nèi)螺紋套筒，便于對(duì)鋼網(wǎng)膜片的拆裝，方便后期維護(hù)更換，延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命。

19、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述底座內(nèi)開(kāi)設(shè)有排氣腔，所述底座上設(shè)有引導(dǎo)組件，所述引導(dǎo)組件能夠?qū)⑺鰤翰罡袘?yīng)芯片處的壓縮氣體引導(dǎo)至所述排氣腔內(nèi)，所述排氣腔通過(guò)回流通道與對(duì)應(yīng)的所述介質(zhì)槽連通設(shè)置，以使得所述排氣腔內(nèi)的壓力介質(zhì)能夠回流至所述介質(zhì)槽內(nèi)，所述底座上設(shè)有用于控制所述回流通道連通或關(guān)閉的控制件。

20、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，當(dāng)壓力介質(zhì)由一側(cè)的介質(zhì)槽進(jìn)入連通孔內(nèi)，會(huì)擠壓連通孔內(nèi)的空氣至壓差感應(yīng)芯片處，壓差感應(yīng)芯片處的壓縮氣體在引導(dǎo)組件的引導(dǎo)下進(jìn)入排氣腔內(nèi)，使得壓力介質(zhì)與壓差感應(yīng)芯片接觸，以此來(lái)提高壓力介質(zhì)與壓差感應(yīng)芯片之間的壓力傳遞效率，減小壓力測(cè)量誤差；隨著壓縮空氣進(jìn)入排氣腔內(nèi)，部分壓力介質(zhì)也隨著進(jìn)入排氣腔內(nèi)，在對(duì)差壓傳感器拆卸時(shí)，通過(guò)控制件打開(kāi)回流通道，使得排氣腔內(nèi)的壓力介質(zhì)回流至介質(zhì)槽內(nèi)，并排出傳感器，保證傳感器內(nèi)部的清潔，提高傳感器再次使用的便利性。

21、在一個(gè)具體的可實(shí)施方案中，所述引導(dǎo)組件包括引導(dǎo)筒、引導(dǎo)管，所述引導(dǎo)管同軸固定設(shè)置在所述引導(dǎo)筒內(nèi)，并于所述引導(dǎo)筒之間形成引導(dǎo)通道，所述引導(dǎo)筒插接在所述連通孔內(nèi)，所述引導(dǎo)筒上開(kāi)設(shè)有與所述排氣腔和所述引導(dǎo)通道連通的引導(dǎo)孔，所述引導(dǎo)管的端部延伸至所述壓差感應(yīng)芯片處，以使得壓差感應(yīng)芯片處的壓縮空氣能夠沿著所述引導(dǎo)通道流入所述引導(dǎo)孔內(nèi)。

22、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，壓力介質(zhì)進(jìn)入連通孔內(nèi)時(shí)，壓力介質(zhì)先由引導(dǎo)管流至壓差感應(yīng)芯片處，將壓差感應(yīng)芯片處的壓縮氣體壓入引導(dǎo)通道，并沿著引導(dǎo)通道進(jìn)入引導(dǎo)孔內(nèi)，并排至排氣腔內(nèi)，以此實(shí)現(xiàn)對(duì)壓縮氣體的引導(dǎo)。

23、另一方面，本技術(shù)提供的一種不充油式差壓傳感器的封裝方法采用如下的技術(shù)方案：

24、一種不充油式差壓傳感器的封裝方法，使用上述的一種不充油式差壓傳感器，還包括如下步驟：

25、s1，底座制造，采用燒結(jié)工藝對(duì)底座進(jìn)行處理，然后在底座上開(kāi)設(shè)有對(duì)應(yīng)的槽與孔；

26、s2、將壓差感應(yīng)芯片通過(guò)安裝結(jié)構(gòu)安裝在介質(zhì)槽內(nèi)，以使得兩個(gè)介質(zhì)槽相互隔絕；

27、s3、將鋼網(wǎng)膜片通過(guò)連接結(jié)構(gòu)安裝在介質(zhì)槽的開(kāi)口處，并將介質(zhì)槽的開(kāi)口覆蓋。

28、綜上所述，本技術(shù)包括以下至少一種有益技術(shù)效果：

29、1.將傳感器安裝在壓力介質(zhì)管路上的測(cè)壓位置，密封結(jié)構(gòu)與管路之間進(jìn)行密封，然后傳感器兩側(cè)的壓力介質(zhì)進(jìn)入兩個(gè)介質(zhì)槽內(nèi)，壓力介質(zhì)直接作用在壓差感應(yīng)芯片上，通過(guò)壓差感應(yīng)芯片監(jiān)測(cè)傳感器兩側(cè)的壓力介質(zhì)的壓差值，本方案無(wú)需向傳感器中加入硅油，因此不存在漏油、污染測(cè)量介質(zhì)的風(fēng)險(xiǎn)；通過(guò)鋼網(wǎng)膜片的設(shè)置，能夠隔絕外部污染物進(jìn)入傳感器，以保證傳感器內(nèi)部的清潔；

30、2.利用芯片保護(hù)罩，能夠防塵以及保護(hù)壓差感應(yīng)芯片；設(shè)置陶瓷墊能夠提高芯片保護(hù)罩安裝的牢固性；

31、3.通過(guò)設(shè)置內(nèi)螺紋套筒，便于對(duì)鋼網(wǎng)膜片的拆裝，方便后期維護(hù)更換，延長(zhǎng)產(chǎn)品使用壽命。