技術(shù)特征：
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種超高真空環(huán)境的樣品傳遞裝置，為了完成樣品在多個超高真空腔體中的傳遞，本發(fā)明設(shè)計了多個構(gòu)件，實現(xiàn)了樣品與樣品臺在空間中6個自由度的三維的移動與旋轉(zhuǎn)。全部過程只需要對控制桿進(jìn)行操作，避免直接接觸樣品臺，操作方便精準(zhǔn)。
技術(shù)研發(fā)人員：陳劍豪;蔡超逸;曹世民;曹傳午;郭方準(zhǔn)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.19
技術(shù)公布日：2017.10.10