技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種層疊MIM電容檢測結(jié)構(gòu)，所述層疊MIM電容檢測結(jié)構(gòu)包括第一電極及第二電極，所述層疊MIM電容檢測結(jié)構(gòu)包括：第一MIM電容單元、第二MIM電容單元及二極管；所述第一MIM電容單元及所述第二MIM單元二者中任一者與所述二極管串聯(lián)以形成串聯(lián)結(jié)構(gòu)，另一者與所述串聯(lián)結(jié)構(gòu)并聯(lián)以形成并聯(lián)結(jié)構(gòu)；所述并聯(lián)結(jié)構(gòu)連接于所述第一電極與所述第二電極之間。通過在所述第一MIM電容單元或所述第二MIM電容單元上串聯(lián)所述二極管，可以簡便快捷地檢測出失效的MIM電容單元，大大節(jié)省了檢測時間，進而提高了檢測效率。

技術(shù)研發(fā)人員：殷原梓
受保護的技術(shù)使用者：中芯國際集成電路制造（北京）有限公司;中芯國際集成電路制造（上海）有限公司
文檔號碼：201510492691
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.12
技術(shù)公布日：2017.03.01