用于光學檢測鏡面基準的裝夾板的制作方法
【專利摘要】一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，包括一圓形本體，在該本體上設(shè)有安裝槽，供待測零件擺放，在所述的本體中央還設(shè)有多個安裝孔，該安裝孔的位置與大小與三維調(diào)整平臺臺面的安裝連接孔的位置與大小相適配。
【專利說明】用于光學檢測鏡面基準的裝夾板

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及光學精密器材【技術(shù)領(lǐng)域】，具體是一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板。

【背景技術(shù)】
[0002]在超精密的拋物面反射鏡加工生產(chǎn)中，由于對零件的面形要求很高，往往都要加工到0.5個波長以內(nèi)。即使是使用最先進的機床也很難一次性完成加工，因此需要根據(jù)光學檢測結(jié)果進行多次的修正加工，才能獲得質(zhì)量合格的光學面。光學檢測的數(shù)據(jù)起到指導的作用，顯得尤為重要。
[0003]在對拋物面反射鏡進行光學檢測時，需使用到干涉儀。并且需要調(diào)整拋物面反射鏡的空間位置，使拋物面反射鏡在加工中的旋轉(zhuǎn)軸平行于干涉儀的光軸，如此才能進行正確的測量。傳統(tǒng)的做法是在車削拋物面反射鏡的同時在零件光學口徑外的非重要的地方上車削出光學基準面，或者是在夾具上做出光學基準面。這兩種做法，前一種對零件的外形有特殊要求，通用性不好。而后一種方法，對夾具的設(shè)計有一定要求，而且檢測時必須連同夾具一起拆下安裝在檢測平臺上，費時費力。然而這一過程需要花去大量的時間。
實用新型內(nèi)容
[0004]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，可以有效的減少檢測時間，具有通用性廣，適合不同尺寸的拋物面反射鏡的特點。
[0005]本實用新型的技術(shù)解決方案如下:
[0006]一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，其特點在于，包括一圓形本體，在該本體上設(shè)有安裝槽，供待測零件擺放，在所述的本體中央還設(shè)有多個安裝孔，該安裝孔的位置與大小與三維調(diào)整平臺臺面的安裝連接孔的位置與大小相適配。
[0007]在所述的本體的周緣均勻設(shè)有多個動平衡螺紋孔。
[0008]所述的安裝槽由多個同心圓弧和徑向輻射形直槽組成。
[0009]所述的本體的上平面和下平面均為光學平面，面型在0.5 μ以內(nèi)，粗糙度在10納米以內(nèi)。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是有效減少檢測時間，通用性廣，適合不同尺寸的拋物面反射鏡。
[0011]當在用普通裝夾板進行操作時，無法直接將裝夾板調(diào)整精確到位。安裝后只能先粗略的保證不會差太遠。然后調(diào)整小球位置，當干涉儀上的得到干涉圖后，根據(jù)條紋特點，操作人員將再次微調(diào)裝夾板和小球在空間內(nèi)的互相位置。這一過程要對兩個變量操作，且互相有影響，操作時間長，對操作人員的經(jīng)驗要求極高。本實用新型實現(xiàn)裝上三維臺后直接微調(diào)，快速的安裝到位，不再調(diào)整。當測量拋物面反射鏡時，只需要調(diào)整小球位置一個變量，即可完成整個測量過程，從而節(jié)約大量時間，降低操作人員對主觀經(jīng)驗的依賴。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型用于光學檢測鏡面基準的裝夾板的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2為圖1中A-A剖視圖。
[0014]圖3為本實用新型的使用狀態(tài)圖。

【具體實施方式】
[0015]下面結(jié)合實施例和附圖對本實用新型做詳細的說明，本實施例在以本實用新型技術(shù)方案為前提下進行實施，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本實用新型的保護范圍不限于下述的實施例。
[0016]請先參閱圖1，圖1為本實用新型用于光學檢測鏡面基準的裝夾板的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖所示，一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，包括一圓形本體1，材料為6061-T6鋁。在該本體上設(shè)有安裝槽2，供待測零件擺放，在所述的本體中央還設(shè)有多個安裝孔3，該安裝孔的位置與大小與三維調(diào)整平臺臺面的安裝連接孔的位置與大小相適配。安裝孔所述的安裝槽2由多個同心圓弧和徑向輻射形直槽組成。所述的本體I的上平面和下平面均為光學平面，面型在0.5μ以內(nèi)，粗糙度在10納米以內(nèi)。在所述的本體I的周緣均勻設(shè)有多個動平衡螺紋孔4，用于車削出更好的光學面。
[0017]圖3為本實用新型的使用狀態(tài)，如圖所示，本實用新型的具體操作過程如下:
[0018]將本實用新型通過安裝孔3用螺絲固定在三維調(diào)整臺5上；
[0019]把被測的零件(離軸拋物面鏡6)通過安裝槽用螺絲固定于本體I。因為檢測離軸拋物面鏡必須讓拋物面鏡的中心軸與干涉儀7的光軸平行，可以用干涉儀對準零件的同時，觀測本實用新型用于光學檢測鏡面基準的裝夾板所產(chǎn)生的干涉條紋。調(diào)節(jié)三維臺，當干涉儀顯示出較粗且明顯的干涉條紋時，便能確定本實用新型用于光學檢測鏡面基準的裝夾板垂直于干涉儀光軸，從而也可以確定，被檢測的離軸拋物面鏡的中心軸也平行于干涉儀光軸。然后不再變動三維臺、被測零件和干涉儀的位置，通過調(diào)節(jié)反射小球的位置來檢測離軸拋物面鏡。
【權(quán)利要求】
1.一種用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，其特征在于，包括一圓形本體(I)，在該本體上設(shè)有安裝槽(2)，供待測零件擺放，在所述的本體中央還設(shè)有多個安裝孔(3)，該安裝孔的位置與大小與三維調(diào)整平臺臺面的安裝連接孔的位置與大小相適配。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，其特征在于，在所述的本體(I)的周緣均勻設(shè)有多個動平衡螺紋孔(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，其特征在于，所述的安裝槽(2)由多個同心圓弧和徑向輻射形直槽組成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于光學檢測鏡面基準的裝夾板，其特征在于，所述的本體(I)的上平面和下平面均為光學平面，面型在0.5 μ以內(nèi)，粗糙度在10納米以內(nèi)。
【文檔編號】G01B11/24GK204177355SQ201420591473
【公開日】2015年2月25日 申請日期:2014年10月14日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月14日
【發(fā)明者】趙劍敏, 周豪, 姚庠, 吉玲玲, 施麗敏 申請人:上?，F(xiàn)代先進超精密制造中心有限公司