用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板及其光學(xué)檢測(cè)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及光學(xué)檢測(cè)儀器，具體涉及加工超精密反射鏡面時(shí)，對(duì)面型和焦點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在加工超精密的反射鏡面時(shí)(以離軸拋物面為例)，需要對(duì)面型和焦點(diǎn)進(jìn)行檢測(cè)。要檢測(cè)光學(xué)面反射焦點(diǎn)的相對(duì)與零件的位置時(shí)，需要先在干涉儀上找到焦點(diǎn)，然后固定住反射小球與零件的位置，再整體轉(zhuǎn)移到三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x上檢測(cè)位置尺寸。現(xiàn)在通常是制作專(zhuān)用夾具或者修改加工用的夾具，夾具的需要切出光學(xué)基準(zhǔn)面，用以調(diào)整和干涉儀間的光軸角度，以滿(mǎn)足測(cè)量要求。這兩種方法存在一定的缺點(diǎn)。每次對(duì)應(yīng)不同的零件制作專(zhuān)用的帶光學(xué)面的檢測(cè)夾具的會(huì)提高生產(chǎn)成本和檢測(cè)周期。修改加工夾具或者其他夾具，會(huì)影夾具本身的結(jié)構(gòu)，且不是所有原有的夾具都適合改造。對(duì)于夾具進(jìn)行光學(xué)面的加工會(huì)因?yàn)楣鈱W(xué)面積越大而成本越貴，因此需要有一種簡(jiǎn)單且通用性廣的結(jié)構(gòu)來(lái)確保檢測(cè)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種能夠適用不同被測(cè)零件，減少測(cè)量成本周期的裝夾裝置和測(cè)試裝置。
[0004]為達(dá)到上述目的，提供一種用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板，裝夾板上具有三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔，所述的裝夾板包括底板和光軸校準(zhǔn)連接板；所述光軸校準(zhǔn)連接板的正面為光學(xué)平面，光軸校準(zhǔn)連接板的底面與底板連接；所述的三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔設(shè)置在所述的底板上；所述的光軸校準(zhǔn)連接板上有被測(cè)零件連接孔。
[0005]優(yōu)選的，所述的光軸校準(zhǔn)連接板和底板上有位置相對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)孔和位置相對(duì)應(yīng)的螺紋孔。
[0006]優(yōu)選的，所述底板上有連接板固定區(qū)域用于固定光軸校準(zhǔn)連接板，所述的螺紋孔位于連接板固定區(qū)域的四角，所述的銷(xiāo)孔位于相鄰螺紋孔的中點(diǎn)位置；所述的光軸校準(zhǔn)連接板上有四個(gè)螺紋孔，間距與底板上螺紋孔間距相同，銷(xiāo)孔位于相鄰螺紋孔的中點(diǎn)位置。
[0007]優(yōu)選的，所述的光軸校準(zhǔn)連接板上的被測(cè)零件連接孔分為被測(cè)零件連接螺紋孔和被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔，所述被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔位于中心位置，所述被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔兩側(cè)分布被測(cè)零件連接螺紋孔。
[0008]一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括三維調(diào)整臺(tái)、反射小球和干涉儀，還包括上述任一的裝夾板，所述的三維調(diào)整臺(tái)和底板一面連接，底板另一面安裝反射小球；所述的光軸校準(zhǔn)連接板的光學(xué)平面對(duì)準(zhǔn)干涉儀。
[0009]本實(shí)用新型的裝夾板改變?cè)瓉?lái)夾具的一體化設(shè)計(jì)，通過(guò)底板和光軸校準(zhǔn)連接板兩塊板的結(jié)合共同組成裝夾裝置，底板用于固定三維調(diào)整臺(tái)和反射小球，而光軸校準(zhǔn)連接板用于固定被測(cè)零件，通過(guò)加工光軸校準(zhǔn)連接板的光學(xué)平面達(dá)到測(cè)試的要求，因此對(duì)于不同的背側(cè)零件，僅需要加工光軸校準(zhǔn)連接板即可，不需要加工整個(gè)裝夾裝置，減少了工藝，同時(shí)也降低成本。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是以比較低的制造成本和制造周期來(lái)制造出檢測(cè)光學(xué)面的裝夾板，來(lái)對(duì)有焦點(diǎn)的光學(xué)面進(jìn)行焦點(diǎn)位置和面型的測(cè)量。每次加工用于光學(xué)校準(zhǔn)的面的面積大大小于以往，因此節(jié)約了時(shí)間和成本。且通用性廣，調(diào)整的范圍大。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型光學(xué)檢測(cè)裝置的俯視圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型光學(xué)檢測(cè)裝置的主視圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型中底板的示意圖；
[0014]圖4為本實(shí)用新型中光軸校準(zhǔn)連接板的示意圖；
[0015]其中:
[0016]1-三維調(diào)整臺(tái)2-底板21-三維調(diào)整臺(tái)連接孔
[0017]22-反射小球連接孔 23-底板螺紋孔24-底板銷(xiāo)孔
[0018]3-光軸校準(zhǔn)連接板 31-連接板銷(xiāo)孔32-連接板螺紋孔
[0019]33-被測(cè)零件銷(xiāo)孔34-被測(cè)零件螺紋孔 4-被測(cè)零件
[0020]5-反射小球6-干涉儀
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明。
[0022]根據(jù)圖1至圖4所示的一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括三維調(diào)整臺(tái)1、反射小球5、干涉儀6和裝夾板，其中三維調(diào)整臺(tái)1和反射小球5是標(biāo)準(zhǔn)件。裝夾板包括底板2和光軸連接板3，均為6061鋁制，底板2上有正方形的連接板固定區(qū)域，與之相對(duì)的另一區(qū)域主要用于和三維調(diào)整臺(tái)1和反射小球5連接，底板2上有兩行三維調(diào)整臺(tái)連接孔21用于將底板2連接在三維調(diào)整臺(tái)1上，在調(diào)整臺(tái)連接孔21的中部有反射小球連接孔22，用于固定連接反射小球5，底板上有連接板固定區(qū)域用于固定光軸校準(zhǔn)連接板，所述的底板螺紋孔23位于連接板固定區(qū)域的四角，所述的底板銷(xiāo)孔24位于相鄰底板螺紋孔23的中點(diǎn)位置；所述的光軸校準(zhǔn)連接板3上有四個(gè)連接板螺紋孔32，間距與底板螺紋孔23間距相同，連接板銷(xiāo)孔24位于相鄰連接板螺紋孔23的中點(diǎn)位置。所述的光軸校準(zhǔn)連接板3上的被測(cè)零件連接孔分為被測(cè)零件螺紋孔34和被測(cè)零件銷(xiāo)孔33，所述被測(cè)零件銷(xiāo)孔33位于中心位置，所述被測(cè)零件銷(xiāo)孔33兩側(cè)分布被測(cè)零件螺紋孔34。所述螺紋孔用于固定連接，銷(xiāo)孔用于定位。在安裝時(shí)，將光軸校準(zhǔn)連接板3通過(guò)銷(xiāo)孔定位后通過(guò)螺紋孔連接在底板2上，光軸校準(zhǔn)連接板3的光學(xué)平面朝外安裝。底板2的背面安裝在三維調(diào)整臺(tái)1上，正面安裝反射小球5。光軸校準(zhǔn)連接板3上連接被測(cè)零件4，所述的干涉儀6對(duì)準(zhǔn)光軸校準(zhǔn)連接板3。
[0023]以上已對(duì)本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說(shuō)明，但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于所述的實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本實(shí)用新型創(chuàng)造精神的前提下還可以作出種種的等同的變型或替換，這些等同變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板，其特征在于，裝夾板上具有三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔，所述的裝夾板包括底板和光軸校準(zhǔn)連接板；所述光軸校準(zhǔn)連接板的正面為光學(xué)平面，光軸校準(zhǔn)連接板的底面與底板連接；所述的三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔設(shè)置在所述的底板上；所述的光軸校準(zhǔn)連接板上有被測(cè)零件連接孔。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板，其特征在于，所述的光軸校準(zhǔn)連接板和底板上有位置相對(duì)應(yīng)的銷(xiāo)孔和位置相對(duì)應(yīng)的螺紋孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板，其特征在于，所述底板上有連接板固定區(qū)域用于固定光軸校準(zhǔn)連接板，所述的螺紋孔位于連接板固定區(qū)域的四角，所述的銷(xiāo)孔位于相鄰螺紋孔的中點(diǎn)位置；所述的光軸校準(zhǔn)連接板上有四個(gè)螺紋孔，間距與底板上螺紋孔間距相同，銷(xiāo)孔位于相鄰螺紋孔的中點(diǎn)位置。4.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一所述的用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板，其特征在于，所述的光軸校準(zhǔn)連接板上的被測(cè)零件連接孔分為被測(cè)零件連接螺紋孔和被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔，所述被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔位于中心位置，所述被測(cè)零件定位銷(xiāo)孔兩側(cè)分布被測(cè)零件連接螺紋孔。5.一種光學(xué)檢測(cè)裝置，包括三維調(diào)整臺(tái)、反射小球和干涉儀，其特征在于，還包括如權(quán)利要求1至4任一所述的裝夾板，所述的三維調(diào)整臺(tái)和底板一面連接，底板另一面安裝反射小球；所述的光軸校準(zhǔn)連接板的光學(xué)平面對(duì)準(zhǔn)干涉儀。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及用于光學(xué)檢測(cè)裝置的裝夾板及其光學(xué)檢測(cè)裝置，裝夾板上具有三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔，其特征在于，所述的裝夾板包括底板和光軸校準(zhǔn)連接板；所述光軸校準(zhǔn)連接板的正面為光學(xué)平面，光軸校準(zhǔn)連接板的底面與底板連接；所述的三維調(diào)整臺(tái)連接孔和反射小球連接孔設(shè)置在所述的底板上；所述的光軸校準(zhǔn)連接板上有被測(cè)零件連接孔。本實(shí)用新型的有益效果是以比較低的制造成本和制造周期來(lái)制造出檢測(cè)光學(xué)面的裝夾板，來(lái)對(duì)有焦點(diǎn)的光學(xué)面進(jìn)行焦點(diǎn)位置和面型的測(cè)量。每次加工用于光學(xué)校準(zhǔn)的面的面積大大小于以往，因此節(jié)約了時(shí)間和成本。且通用性廣，調(diào)整的范圍大。
【IPC分類(lèi)】G01B11/24, G01B11/00
【公開(kāi)號(hào)】CN205079745
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520727033
【發(fā)明人】趙劍敏
【申請(qǐng)人】上?，F(xiàn)代先進(jìn)超精密制造中心有限公司
【公開(kāi)日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年9月18日