用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的制作方法
【專利摘要】本申請(qǐng)公開了一種用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡，所述測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排；另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排；并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2×2的形態(tài)。本申請(qǐng)所設(shè)計(jì)的測(cè)試針卡可以對(duì)兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試，并且兩部分引腳保持相對(duì)獨(dú)立。
【專利說明】用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本申請(qǐng)涉及一種半導(dǎo)體集成電路的可靠性測(cè)試設(shè)備，特別是涉及其中的測(cè)試針卡。
【背景技術(shù)】
[0002]可靠性測(cè)試設(shè)備用于對(duì)娃片上的電路結(jié)構(gòu)進(jìn)行PCM (process control monitor,工藝監(jiān)控)測(cè)試、WLR (wafer-level reliability,娃片級(jí)可靠性)測(cè)試等。
[0003]請(qǐng)參閱圖1，這是第一測(cè)試結(jié)構(gòu)，通常用于PCM測(cè)試。該第一測(cè)試結(jié)構(gòu)由12個(gè)焊盤(pad)組成橫向一排、或組成縱向一列。每個(gè)焊盤位置用來放置一個(gè)硅片(wafer)。
[0004]請(qǐng)參閱圖2，這是第二測(cè)試結(jié)構(gòu)，通常用于WLR測(cè)試。該第二測(cè)試結(jié)構(gòu)由4個(gè)焊盤組成兩排兩列的2X2分布。每個(gè)焊盤位置用來放置一個(gè)硅片。[0005]現(xiàn)有的可靠性測(cè)試設(shè)備僅具有一種測(cè)試針卡，例如圖3a所示。這種測(cè)試針卡具有12個(gè)測(cè)試引腳(pin)，呈一字排列。請(qǐng)參閱圖3b，該測(cè)試針卡連接到針卡控制臺(tái)，該針卡控制臺(tái)另有四個(gè)控制旋鈕用來控制該測(cè)試針卡的運(yùn)動(dòng)。X、Y、Z旋鈕用來控制該測(cè)試針卡在三維空間的位置，Θ旋鈕用來控制該控制針卡的旋轉(zhuǎn)。
[0006]圖3a所示的測(cè)試針卡可以用來對(duì)圖1所示的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試，但無法用來對(duì)圖2所示的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]本申請(qǐng)所要解決的技術(shù)問題是提供一種測(cè)試針卡，可以對(duì)圖1、圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。
[0008]為解決上述技術(shù)問題，本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排；另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排；并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2X2的形態(tài)。
[0009]進(jìn)一步地，第一排的14個(gè)測(cè)試引腳中的前12個(gè)稱為該測(cè)試針卡的第一部分引腳，第一排的后2個(gè)測(cè)試引腳與第二排的2個(gè)測(cè)試引腳稱為該測(cè)試針卡的第二部分引腳；所述第一部分引腳用于連接由12個(gè)焊盤組成橫向一排、或組成縱向一列的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)；所述第二部分引腳用于連接由4個(gè)焊盤組成兩排兩列的2X2分布的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)。
[0010]進(jìn)一步地，所述第一部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的Χ、y、ζ、Θ旋鈕；所述第二部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的X、Y、Ζ2、Θ旋鈕。
[0011]本申請(qǐng)所設(shè)計(jì)的測(cè)試針卡可以對(duì)圖1、圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試，并且兩部分引腳保持相對(duì)獨(dú)立。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0012]圖1是硅片進(jìn)行可靠性測(cè)試的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；
[0013]圖2是硅片進(jìn)行可靠性測(cè)試的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)的示意圖；[0014]圖3a是現(xiàn)有的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的示意圖；
[0015]圖3b是現(xiàn)有的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的連接關(guān)系示意圖；
[0016]圖4a是本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的示意圖；
[0017]圖4b是本申請(qǐng)用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡的連接關(guān)系示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018]請(qǐng)參閱圖4a，這是本申請(qǐng)的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡。該測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排。另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排。并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2X2的形態(tài)。第一排的14個(gè)測(cè)試引腳中的前12個(gè)稱為該測(cè)試針卡的第一部分引腳，第一排的后2個(gè)測(cè)試引腳與第二排的2個(gè)測(cè)試引腳稱為該測(cè)試針卡的第二部分引腳。
[0019]請(qǐng)參閱圖4b，本申請(qǐng)的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡也連接到針卡控制臺(tái)，該針卡控制臺(tái)另有五個(gè)控制旋鈕用來控制該測(cè)試針卡的運(yùn)動(dòng)。x、Y、z旋鈕用來控制該測(cè)試針卡的第一部分引腳在三維空間的位置，Χ、Υ、Ζ2旋鈕用來控制該測(cè)試針卡的第二部分引腳在三維空間的位置，Θ旋鈕用來控制該控制針卡的第一部分引腳或第二部分引腳的旋轉(zhuǎn)。換而言之，五個(gè)控制旋鈕中的X、Y、Θ旋鈕是該針卡的第一部分引腳和第二部分引腳所共用的，Ζ、Ζ2旋鈕則是該針卡的第一部分引腳和第二部分引腳所分別使用的在ζ軸方向上進(jìn)行位移控制。對(duì)第一部分引腳和第二部分引腳的ζ軸位移采用不同的旋鈕，使得這兩部分引腳相對(duì)獨(dú)立，從而可單獨(dú)控制、單獨(dú)斷開。
[0020]圖4a、圖4b所示的測(cè)試針卡可以用來對(duì)圖1和圖2所示的兩種測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行可靠性測(cè)試。當(dāng)需要對(duì)圖1所示的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行PCM測(cè)試時(shí)，該測(cè)試針卡的第一部分引腳由Χ、Υ、Ζ、Θ旋鈕調(diào)整到恰當(dāng)位置，第一部分引腳(共12個(gè))再分別對(duì)準(zhǔn)第一測(cè)試結(jié)構(gòu)中的各個(gè)焊盤。當(dāng)需要對(duì)圖2所示的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)進(jìn)行WLR測(cè)試時(shí)，該測(cè)試針卡的第二部分引腳由Χ、Υ、Ζ2、Θ旋鈕調(diào)整到恰當(dāng)位置，第二部分引腳(共4個(gè))再分別對(duì)準(zhǔn)第二測(cè)試結(jié)構(gòu)中的各個(gè)焊盤。
[0021]以上僅為本申請(qǐng)的優(yōu)選實(shí)施例，并不用于限定本申請(qǐng)。對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本申請(qǐng)可以有各種更改和變化。凡在本申請(qǐng)的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本申請(qǐng)的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡，其特征是，所述測(cè)試針卡具有16個(gè)測(cè)試引腳，其中14個(gè)測(cè)試引腳呈一字排列，稱為第一排；另2個(gè)測(cè)試引腳也呈一字排列，稱為第二排；并且第二排的2個(gè)測(cè)試引腳與第一排的最后2個(gè)測(cè)試引腳排列為2X2的形態(tài)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡，其特征是，將第一排的14個(gè)測(cè)試引腳中的前12個(gè)稱為該測(cè)試針卡的第一部分引腳，第一排的后2個(gè)測(cè)試引腳與第二排的2個(gè)測(cè)試引腳稱為該測(cè)試針卡的第二部分引腳； 所述第一部分引腳用于連接由12個(gè)焊盤組成橫向一排、或組成縱向一列的第一測(cè)試結(jié)構(gòu)； 所述第二部分引腳用于連接由4個(gè)焊盤組成兩排兩列的2X2分布的第二測(cè)試結(jié)構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于可靠性測(cè)試設(shè)備的測(cè)試針卡，其特征是，所述第一部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的X、Y、ζ、Θ旋鈕； 所述第二部分引腳連接針卡控制臺(tái)上的X、Y、Z2、Θ旋鈕。
【文檔編號(hào)】G01R1/073GK203479850SQ201320472575
【公開日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2013年8月2日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月2日
【發(fā)明者】金晶, 曹剛, 葛艷輝 申請(qǐng)人:上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司