形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。本發(fā)明的形狀檢查方法是對(duì)表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象照射光，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀的形狀檢查方法。
【專(zhuān)利說(shuō)明】形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。更詳細(xì)地，涉及針對(duì)具有微小的凹凸形狀的膜、模具、特別是具有蛾眼(Moth - eye:蛾子的眼睛)結(jié)構(gòu)的膜(以下僅稱(chēng)為“蛾眼膜”。)、形成該膜的模具等結(jié)構(gòu)物的形狀檢查方法、該結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]作為具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物，例如可列舉具有微小的凹凸形狀的膜、用于形成該膜的模具、轉(zhuǎn)印版等，在光學(xué)部件、電子設(shè)備部件等中被有效利用。特別是在最近，作為具有微小的凹凸形狀的膜的蛾眼膜作為發(fā)揮特殊的光學(xué)特性的光學(xué)部件受到關(guān)注。因此，作為具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物，蛾眼膜和用于制造該蛾眼膜的模具等的重要性增加。蛾眼膜具有防反射效果，例如，能減少顯示裝置的表面反射。蛾眼膜通過(guò)在膜的表面沒(méi)有間隙地排列比由防眩性(AG:Anti Glare)膜形成的凹凸圖案更微細(xì)的可見(jiàn)光波長(zhǎng)以下的間隔的凹凸圖案，從而使外界(空氣)和物體表面的邊界的折射率的變化模擬地連續(xù)。通過(guò)使用這樣的蛾眼膜，能與折射率界面無(wú)關(guān)地使光的大致全部透射，能大致消除該物體的表面的光反射。
[0003]對(duì)具有這樣的微小的凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物的檢查手法進(jìn)行研究，已知例如基于橢圓偏光儀的非破壞檢查方法(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)I。)。在該非破壞檢查中按以下順序進(jìn)行，首先，預(yù)先利用橢圓偏光儀對(duì)各個(gè)厚度已知的多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行測(cè)定，設(shè)定解析參數(shù)。接著，進(jìn)行檢查對(duì)象的基于橢圓偏光儀的測(cè)定，對(duì)所得到的數(shù)據(jù)應(yīng)用解析參數(shù)，鑒定檢查對(duì)象的凹凸形狀的凹部的深度。然后，通過(guò)檢查對(duì)象的凹部的深度和基于標(biāo)準(zhǔn)樣品的凹部的基準(zhǔn)值的比較進(jìn)行合格與否的判定。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)_5] 專(zhuān)利文獻(xiàn)
[0006]特許第4282500號(hào)說(shuō)明書(shū)

【發(fā)明內(nèi)容】

_7] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0008]在具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物中，要求在I個(gè)結(jié)構(gòu)物中均勻地形成凹凸形狀，或者在多個(gè)結(jié)構(gòu)物的制造中穩(wěn)定地制造凹凸形狀。因此，特別是在具有微小的凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物的制造中，要求簡(jiǎn)便且精度高的檢查手法。例如，以蛾眼膜、用于制造該蛾眼膜的模具作為檢查對(duì)象的例子，對(duì)該檢查對(duì)象事項(xiàng)和檢查手法說(shuō)明如下。蛾眼膜的加工質(zhì)量由蛾眼的表面形狀(相對(duì)于截面單位面積的Al2O3占有率)和深度參數(shù)決定。作為檢查手法，可列舉基于目視的檢查，例如，在圖28中，將檢查對(duì)象101 (蛾眼膜或者模具)設(shè)置在檢查臺(tái)102上，通過(guò)白色板(背光源用片)103，以入射角相對(duì)于檢查對(duì)象大致處于垂直的方式照射從光源104照射的光。并且，檢查者相對(duì)于檢查對(duì)象從大致水平方向目視反射的光，確認(rèn)色樣。檢查者一邊觀看具有上述參數(shù)的多個(gè)比較樣品，一邊評(píng)估檢查對(duì)象是否處于多個(gè)比較樣品的色樣的范圍內(nèi)，進(jìn)行合格與否的判定。關(guān)于判定為合格的檢查對(duì)象，原樣地取出。另一方面，對(duì)判定為不合適的檢查對(duì)象，有時(shí)破壞檢查對(duì)象的一部分，用掃描型電子顯微鏡(SEM:scanningelectron microscope)觀察截面，由此進(jìn)行截面形狀的解析。在難以判定合格與否的情況下，由熟練的檢查者進(jìn)行最終判定。
[0009]但是，在基于目視的色感的判定中，多數(shù)情況難以判定合格與否，且在進(jìn)行了判定的情況下也不能進(jìn)行深度、形狀的確定，在有可能錯(cuò)誤判定的方面有改善的余地。
[0010]另一方面，在上述的現(xiàn)有技術(shù)中的非破壞檢查方法中，不進(jìn)行檢查者的目視判定，因此能排除外部環(huán)境的影響。但是，在該非破壞檢查中，能進(jìn)行檢查對(duì)象的凹部的深度(覆膜厚度)的鑒定，但是在對(duì)凹部的底面形狀、側(cè)面形狀(空缺部體積)鑒定非常困難的方面依然有改善的余地。
[0011]本發(fā)明是鑒于上述現(xiàn)狀完成的，其目的在于提供能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。
_2] 用于解決問(wèn)題的方案
[0013]本發(fā)明人對(duì)能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置進(jìn)行各種研究的結(jié)果是，著眼于具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的特定波長(zhǎng)的光的反射率。并且，發(fā)現(xiàn)在特定波長(zhǎng)的光的反射率和檢查對(duì)象的凹凸形狀中有相關(guān)關(guān)系，并且發(fā)現(xiàn)通過(guò)比較標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和檢查對(duì)象的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象。據(jù)此，想到能完美地解決上述問(wèn)題，達(dá)到本發(fā)明。本發(fā)明的構(gòu)成和效果的關(guān)系具有比現(xiàn)有的非破壞檢查方法高的技術(shù)上的意義。即，能以低成本、簡(jiǎn)便且減少測(cè)定誤差地以高精度確認(rèn)凹凸形狀是什么樣的。因此，能在具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物中均勻地形成凹凸形狀，或者能在多個(gè)結(jié)構(gòu)物的制造中穩(wěn)定地制造凹凸形狀。
[0014]S卩，本發(fā)明的一個(gè)方面是形狀檢查方法，對(duì)表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象照射光，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
[0015]作為上述形狀檢查方法，只要是必須實(shí)施這樣的工序(步驟、操作)的手法，并不由其他的工序等特別限定。
[0016]以下對(duì)上述形狀檢查方法的優(yōu)選方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下所示的各種方式能適
當(dāng)組合。
[0017]優(yōu)選上述形狀檢查方法檢查凸部的高度和/或凸部的粗細(xì)度。由此，將結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀作為2個(gè)參數(shù)處理，能簡(jiǎn)便且可靠地把握結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀，其結(jié)果是，能對(duì)結(jié)構(gòu)物的光學(xué)特性等特性、質(zhì)量可靠地進(jìn)行管理等。
[0018]優(yōu)選上述多個(gè)波長(zhǎng)均包含于規(guī)定的波長(zhǎng)范圍，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜和上述檢查對(duì)象的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀(以下也稱(chēng)為第1方式的形狀檢查方法。)。由此，能精度良好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0019]在第1方式的形狀檢查方法中，當(dāng)列舉優(yōu)選實(shí)施方式時(shí)，成為如下的(1)?(4)。如上所述，這些(1)?(4)的優(yōu)選實(shí)施方式可以分別單獨(dú)實(shí)施，也可以將多個(gè)實(shí)施方式適當(dāng)?shù)亟M合實(shí)施。[0020](I)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)和檢查對(duì)象的峰值波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0021](2)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)的反射率和檢查對(duì)象的峰值波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0022](3)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的反射率光譜的底部波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)和檢查對(duì)象的底部波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0023](4)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)的反射率和檢查對(duì)象的底部波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0024]優(yōu)選從傾斜方向照射對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和檢查對(duì)象的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。此外，在目視檢查中，增大入射角、反射角則易于觀察，但是在本發(fā)明中，從抑制成本的觀點(diǎn)出發(fā)，期望入射角、反射角小。當(dāng)增大入射角、反射角時(shí)，光源和檢測(cè)器的調(diào)整困難，有可能導(dǎo)致成本上升。
[0025]優(yōu)選對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光是偏振光，更優(yōu)選是P偏振光和/或s偏振光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和檢查對(duì)象的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。
[0026]優(yōu)選上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率由分光測(cè)定器和光源設(shè)置于同一單元的分光器測(cè)定。反射率的測(cè)定例如也能使用橢圓偏振計(jì)。但是，橢圓偏振計(jì)昂貴，裝置成本變高。另外，在橢圓偏振計(jì)中，需要嚴(yán)格地進(jìn)行光軸調(diào)整，而測(cè)定器和光源內(nèi)置于不同的單元，因此在測(cè)定大型的檢查對(duì)象的情況下，每當(dāng)使測(cè)定器掃描時(shí)需要進(jìn)行光軸調(diào)整，操作非常復(fù)雜。另一方面，分光器與橢圓偏振計(jì)相比廉價(jià)，另外，分光測(cè)定器和光源內(nèi)置于一個(gè)單元，因此不必每當(dāng)使分光測(cè)定器掃描時(shí)進(jìn)行光軸調(diào)整，操作簡(jiǎn)便。
[0027]優(yōu)選上述檢查對(duì)象是模具。本發(fā)明的形狀檢查方法適于具有凹凸形狀的模具的形狀檢查。
[0028]優(yōu)選上述檢查對(duì)象是具有蛾眼結(jié)構(gòu)的膜(蛾眼膜)。本發(fā)明的形狀檢查方法適于蛾眼膜的形狀檢查。
[0029]從與上述形狀檢查方法同樣的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的另一方面是結(jié)構(gòu)物的制造方法，包含如下工序:比較表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和表面具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。
[0030]作為上述結(jié)構(gòu)物的制造方法，只要必須形成這樣的工序，則并不被其他的工序特別限定。
[0031]以下對(duì)上述結(jié)構(gòu)物的制造方法的優(yōu)選方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下所示的各種方式能適當(dāng)組合。
[0032]優(yōu)選上述形狀檢查方法檢查凸部的高度和/或凸部的粗細(xì)度。由此，與上述同樣，能將結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀作為2個(gè)參數(shù)處理。
[0033]優(yōu)選上述多個(gè)波長(zhǎng)均包含于規(guī)定的波長(zhǎng)范圍，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜和上述結(jié)構(gòu)物的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀(以下也稱(chēng)為第1方式的結(jié)構(gòu)物的制造方法。)。由此，能精度良好地檢查結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀。
[0034]在第1方式的結(jié)構(gòu)物的制造方法中列舉優(yōu)選實(shí)施方式時(shí)成為如下的(1)?(4)。如上所述，這些(1)?(4)的優(yōu)選實(shí)施方式可以分別單獨(dú)實(shí)施，也可以使多個(gè)實(shí)施方式適當(dāng)?shù)亟M合實(shí)施。
[0035](1)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)和上述結(jié)構(gòu)物的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)和結(jié)構(gòu)物的峰值波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀。
[0036](2)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率和上述結(jié)構(gòu)物的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)的反射率和結(jié)構(gòu)物的峰值波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀。
[0037](3)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)和上述結(jié)構(gòu)物的反射率光譜的底部波長(zhǎng)，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)和結(jié)構(gòu)物的底部波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀。
[0038](4)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率和上述結(jié)構(gòu)物的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)的反射率和結(jié)構(gòu)物的底部波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查結(jié)構(gòu)物的凹凸形狀。
[0039]優(yōu)選從傾斜方向照射對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述結(jié)構(gòu)物照射的光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和結(jié)構(gòu)物的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。此外，在目視檢查中，增大入射角、反射角則易于觀察，但是在本發(fā)明中，從抑制成本的觀點(diǎn)出發(fā)，期望入射角、反射角小。當(dāng)增大入射角、反射角時(shí)，光源和檢測(cè)器的調(diào)整困難，有可能導(dǎo)致成本上升。
[0040]優(yōu)選對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述結(jié)構(gòu)物照射的光是偏振光，更優(yōu)選是p偏振光和/或s偏振光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和結(jié)構(gòu)物的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。
[0041]優(yōu)選上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率由分光測(cè)定器和光源設(shè)置于同一單元的分光器測(cè)定。反射率的測(cè)定例如也能使用橢圓偏振計(jì)。但是，橢圓偏振計(jì)昂貴，裝置成本變高。另外，在橢圓偏振計(jì)中，需要嚴(yán)格地進(jìn)行光軸調(diào)整，而測(cè)定器和光源內(nèi)置于不同的單元，因此在測(cè)定大型的檢查對(duì)象的情況下，每當(dāng)使測(cè)定器掃描時(shí)需要進(jìn)行光軸調(diào)整，操作非常復(fù)雜。另一方面，分光器與橢圓偏振計(jì)相比廉價(jià)，另外，分光測(cè)定器和光源內(nèi)置于一個(gè)單元，因此不必每當(dāng)使分光測(cè)定器掃描時(shí)進(jìn)行光軸調(diào)整，操作簡(jiǎn)便。
[0042]優(yōu)選上述結(jié)構(gòu)物是模具。根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)物的制造方法，能精度良好地制造具有凹凸形狀的模具。
[0043]優(yōu)選上述結(jié)構(gòu)物是具有蛾眼結(jié)構(gòu)的膜(蛾眼膜)。根據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)物的制造方法，能精度良好地制造蛾眼膜。
[0044]從與上述形狀檢查方法同樣的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的另一其他方面也是形狀檢查裝置，具有:測(cè)定器，其測(cè)定光照射的對(duì)象物的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率；存儲(chǔ)裝置，其將由上述測(cè)定器測(cè)定的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率存儲(chǔ)為反射率數(shù)據(jù)；以及比較裝置，其比較存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)裝置的表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率數(shù)據(jù)和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率數(shù)據(jù)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
[0045]作為上述形狀檢查裝置，只要必須形成這樣的構(gòu)成，并不被其他的構(gòu)成特別限定。
[0046]以下對(duì)上述形狀檢查裝置的優(yōu)選方式進(jìn)行說(shuō)明。此外，以下所示的各種方式能適當(dāng)組合。
[0047]優(yōu)選上述形狀檢查方法檢查凸部的高度和/或凸部的粗細(xì)度。由此，能將檢查對(duì)象的凹凸形狀作為2個(gè)參數(shù)處理。
[0048]上述多個(gè)波長(zhǎng)均包含于規(guī)定的波長(zhǎng)范圍，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜和上述檢查對(duì)象的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀(以下也稱(chēng)為第I方式的形狀檢查裝置。)。由此，能精度良好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0049]在第I方式的形狀檢查裝置中列舉優(yōu)選實(shí)施方式時(shí)成為如下的(I)?(4)。如上所述，這些(I)?(4)的優(yōu)選實(shí)施方式可以分別單獨(dú)實(shí)施，也可以將多個(gè)實(shí)施方式適當(dāng)?shù)亟M合實(shí)施。
[0050](I)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)和檢查對(duì)象的峰值波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0051](2)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的峰值波長(zhǎng)的反射率和檢查對(duì)象的峰值波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0052](3)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的反射率光譜的底部波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)和檢查對(duì)象的底部波長(zhǎng)的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0053](4)優(yōu)選比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。由此，能根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)樣品的底部波長(zhǎng)的反射率和檢查對(duì)象的底部波長(zhǎng)的反射率的不同，精度更好地檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0054]優(yōu)選從傾斜方向照射對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和檢查對(duì)象的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。此外，在目視檢查中，增大入射角、反射角則易于觀察，但是在本發(fā)明中，從抑制成本的觀點(diǎn)出發(fā)，期望入射角、反射角小。當(dāng)增大入射角、反射角時(shí)，光源和檢測(cè)器的調(diào)整困難，有可能導(dǎo)致成本上升。
[0055]優(yōu)選對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光是偏振光，更優(yōu)選是P偏振光和/或s偏振光。由此，能更加增大由于標(biāo)準(zhǔn)樣品和檢查對(duì)象的形狀的不同而產(chǎn)生的反射率的差。
[0056]優(yōu)選上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率由分光測(cè)定器和光源設(shè)置于同一單元的分光器測(cè)定。反射率的測(cè)定例如也能使用橢圓偏振計(jì)。但是，橢圓偏振計(jì)昂貴，裝置成本變高。另外，在橢圓偏振計(jì)中，需要嚴(yán)格地進(jìn)行光軸調(diào)整，而測(cè)定器和光源內(nèi)置于不同的單元，因此在測(cè)定大型的檢查對(duì)象的情況下，每當(dāng)使測(cè)定器掃描時(shí)需要進(jìn)行光軸調(diào)整，操作非常復(fù)雜。另一方面，分光器與橢圓偏振計(jì)相比廉價(jià)，另外，分光測(cè)定器和光源內(nèi)置于一個(gè)單元，因此不必每當(dāng)使分光測(cè)定器掃描時(shí)進(jìn)行光軸調(diào)整，操作簡(jiǎn)便。
[0057]優(yōu)選上述檢查對(duì)象是模具。本發(fā)明的形狀檢查裝置適于具有凹凸形狀的模具的形狀檢查。
[0058]優(yōu)選上述檢查對(duì)象是具有蛾眼結(jié)構(gòu)的膜(蛾眼膜)。本發(fā)明的形狀檢查裝置適于蛾眼膜的形狀檢查。
[0059]發(fā)明效果
[0060]根據(jù)本發(fā)明，能提供能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0061]圖1是實(shí)施方式1的形狀檢查裝置的示意圖。
[0062]圖2是實(shí)施方式1的形狀檢查裝置和蛾眼膜的示意圖。
[0063]圖3是表示模具A?G中的A0時(shí)間和Et時(shí)間的關(guān)系的圖。
[0064]圖4是表示模具A?G的凹凸形狀的截面示意圖。
[0065]圖5是蛾眼膜A的截面的顯微鏡照片。
[0066]圖6是蛾眼膜D的截面的顯微鏡照片。
[0067]圖7是蛾眼膜E的截面的顯微鏡照片。
[0068]圖8是蛾眼膜B的截面的顯微鏡照片。
[0069]圖9是蛾眼膜F的截面的顯微鏡照片。
[0070]圖10是蛾眼膜G的截面的顯微鏡照片。
[0071]圖11是蛾眼膜C的截面的顯微鏡照片。
[0072]圖12是表示蛾眼膜A?G的凹凸形狀的截面示意圖。
[0073]圖13是模具D的截面的顯微鏡照片。
[0074]圖14是模具G的截面的顯微鏡照片。
[0075]圖15是蛾眼膜A?G的380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0076]圖16是蛾眼膜A?C的380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0077]圖17是蛾眼膜B、D、E、F以及G的380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0078]圖18是由蝕刻的時(shí)間不同的模具形成的蛾眼膜的截面的顯微鏡照片。
[0079]圖19是由蝕刻的時(shí)間不同的模具形成的蛾眼膜的250nm?550nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0080]圖20是蛾眼膜Η?P和檢查對(duì)象的蛾眼膜的380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反
射率光譜。
[0081]圖21是在蛾眼膜K中照射入射角5°、30°、45°以及60°的非偏振光時(shí)的反射
率光譜。
[0082]圖22是在蛾眼膜N中照射入射角5°、30°、45°以及60°的非偏振光時(shí)的反射
率光譜。[0083]圖23是模具H?M的250nm?850nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0084]圖24是在模具K中照射非偏振光、P偏振光以及s偏振光時(shí)的反射率光譜。
[0085]圖25是在模具L中照射非偏振光、P偏振光以及s偏振光時(shí)的反射率光譜。
[0086]圖26是在模具M(jìn)中照射非偏振光、P偏振光以及s偏振光時(shí)的反射率光譜。
[0087]圖27是作為標(biāo)準(zhǔn)樣品的8種蛾眼膜和作為檢查對(duì)象的蛾眼膜的380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。
[0088]圖28是表示現(xiàn)有的基于目視的形狀檢查的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0089]以下揭示實(shí)施方式，參照附圖對(duì)本發(fā)明更詳細(xì)地說(shuō)明，但是本發(fā)明并不僅限于實(shí)施方式。
[0090]實(shí)施方式I
[0091]在實(shí)施方式I中，作為檢查對(duì)象使用蛾眼膜或者用于制造蛾眼膜的模具，但是本發(fā)明的檢查對(duì)象只要是具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物則不限于此，例如，檢查對(duì)象可以是AG膜
坐寸ο
[0092]使用圖1對(duì)實(shí)施方式I的形狀檢查裝置I進(jìn)行說(shuō)明。如圖1所示，形狀檢查裝置I包括控制用PC (Personal Computer:個(gè)人電腦)10和分光器11?？刂朴肞ClO相當(dāng)于本發(fā)明的存儲(chǔ)裝置和比較裝置?？刂朴肞ClO和分光器11以相互能進(jìn)行數(shù)據(jù)交換的方式連接。此時(shí)，控制用PClO和分光器11可以進(jìn)行有線(xiàn)連接，也可以進(jìn)行無(wú)線(xiàn)連接。分光器11在同一單元內(nèi)包含分光測(cè)定器12和光源13。
[0093]此外，可以取代分光器11而使用測(cè)定器和光源配置于不同的單元的裝置(例如，橢圓偏振計(jì))。但是，橢圓偏振計(jì)昂貴，裝置成本變高。另外，在橢圓偏振計(jì)中，需要嚴(yán)格地進(jìn)行光軸調(diào)整，但是測(cè)定器和光源內(nèi)置于不同的單元，因此在測(cè)定大型的檢查對(duì)象的情況下，每當(dāng)使測(cè)定器掃描時(shí)需要進(jìn)行光軸調(diào)整，操作非常復(fù)雜。
[0094]接著，對(duì)使用上述形狀檢查裝置檢測(cè)檢查對(duì)象的凹凸形狀的形狀檢查方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0095]形狀檢查方法
[0096]( I)標(biāo)準(zhǔn)樣品的測(cè)定
[0097]首先，準(zhǔn)備利用破壞檢查和基于SEM的觀察等預(yù)先知道凹凸的形狀的多個(gè)樣品作為標(biāo)準(zhǔn)樣品。多個(gè)樣品的凹凸形狀分別不同。在檢測(cè)蛾眼膜的形狀時(shí)，將目視的檢查和/或破壞檢查合格的蛾眼膜用作標(biāo)準(zhǔn)樣品。另外，在檢測(cè)用于制造蛾眼膜的模具的形狀時(shí)，將目視檢查和/或基于使用SEM的截面觀察的檢查合格的模具用作標(biāo)準(zhǔn)樣品。圖2是表示基于實(shí)施方式I的形狀檢查裝置的蛾眼膜的凹凸形狀的檢查的示意圖。在蛾眼膜14的具有凹凸形狀的面的相反側(cè)的面貼附有支撐膜15，在檢查時(shí)，蛾眼膜14和支撐膜15以蛾眼膜14的具有凹凸形狀的面與分光器11相對(duì)的方式配置于透明基板16上。透明基板16包含丙烯酸樹(shù)脂等透明樹(shù)脂。在測(cè)定模具時(shí)，以模具的具有凹凸形狀的面與分光器11相對(duì)的方式配置。然后，從光源13對(duì)蛾眼膜14照射光，在分光測(cè)定器12中測(cè)定多個(gè)波長(zhǎng)的反射率。并且，所測(cè)定的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率與標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀對(duì)應(yīng)起來(lái)作為標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率數(shù)據(jù)分別被發(fā)送到控制用PC10。在控制用PClO中，將接收的標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于控制用PC具備的存儲(chǔ)裝置(未圖示)內(nèi)的存儲(chǔ)區(qū)域。
[0098](2)檢查對(duì)象的測(cè)定
[0099]與上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的測(cè)定同樣，測(cè)定檢查對(duì)象的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，所測(cè)定的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率作為檢查對(duì)象的反射率數(shù)據(jù)被發(fā)送到控制用PC10。在控制用PC10中，將接收的檢查對(duì)象的反射率數(shù)據(jù)存儲(chǔ)于控制用PC具備的存儲(chǔ)裝置(未圖示)內(nèi)的存儲(chǔ)區(qū)域。
[0100](3)形狀檢查
[0101]在控制用PC10中，基于在標(biāo)準(zhǔn)樣品的凹凸形狀與標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率數(shù)據(jù)之間所看到的相關(guān)關(guān)系，根據(jù)檢查對(duì)象的反射率數(shù)據(jù)檢查檢查對(duì)象的凹凸形狀。
[0102]關(guān)于凹凸形狀和反射率數(shù)據(jù)的相關(guān)關(guān)系，以蛾眼膜和用于制造蛾眼膜的模具為例將在后面詳細(xì)描述。因此，以下首先對(duì)模具的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0103]模具的制造方法
[0104]首先，準(zhǔn)備玻璃基板，利用濺射法使成為模具的材料的鋁(A1)在玻璃基板上成膜。接著，重復(fù)對(duì)招進(jìn)行陽(yáng)極氧化(AO:anodic oxidation),緊接著進(jìn)行蝕刻的工序，由此形成具有相鄰的孔(凹部)的底點(diǎn)間的距離為可見(jiàn)光波長(zhǎng)以下的長(zhǎng)度的多個(gè)微小孔的陽(yáng)極氧化層。具體地，通過(guò)按順序地進(jìn)行陽(yáng)極氧化、蝕刻、陽(yáng)極氧化、蝕刻、陽(yáng)極氧化、蝕刻、陽(yáng)極氧化、蝕刻以及陽(yáng)極氧化的流程(陽(yáng)極氧化5次，蝕刻4次)，形成多個(gè)朝向模具的內(nèi)部頂端變細(xì)的形狀(錐形形狀)的微小的孔(凹部)，形成具有凹凸形狀的模具。
[0105]此時(shí)，調(diào)整進(jìn)行1次陽(yáng)極氧化的時(shí)間(以下也稱(chēng)為A0時(shí)間。)和進(jìn)行1次蝕刻的時(shí)間(以下也稱(chēng)為Et時(shí)間。)，由此能使模具的凹凸形狀變化。使用使A0時(shí)間和Et時(shí)間分別不同的模具A?G，說(shuō)明A0時(shí)間和Et時(shí)間與模具的凹凸形狀的關(guān)系。
[0106]在模具A中，將A0時(shí)間設(shè)為316秒，將Et時(shí)間設(shè)為825秒。在將后述的模具B的A0時(shí)間設(shè)為1時(shí)，模具A的A0時(shí)間成為0.94。在模具B中，將A0時(shí)間設(shè)為336秒，Et時(shí)間設(shè)為與模具A相同。在模具C中,將A0時(shí)間設(shè)為356秒,Et時(shí)間設(shè)為與模具A相同。在將模具B的A0時(shí)間設(shè)為1時(shí)，模具C的A0時(shí)間成為1.06。在模具D中，將A0時(shí)間設(shè)為與模具B相同，將Et時(shí)間設(shè)為675秒。在模具E中，將A0時(shí)間設(shè)為與模具B相同，將Et時(shí)間設(shè)為750秒。在模具F中，將A0時(shí)間設(shè)為與模具B相同，將Et時(shí)間設(shè)為900秒。并且，在模具G中，將A0時(shí)間設(shè)為與模具B相同，將Et時(shí)間設(shè)為975秒。即，模具A?G的A0時(shí)間(1次A0量)和Et時(shí)間(1次Et量)成為如圖3所示的關(guān)系。
[0107]關(guān)于所得到的模具A?G，用SEM進(jìn)行了觀察，可判明如下:如圖4所示，A0時(shí)間越長(zhǎng)，凹部的深度越深。另一方面，可判明如下:如圖4所示，當(dāng)Et時(shí)間變長(zhǎng)時(shí)，凹部的寬度變大。另外，可判明如下:當(dāng)Et時(shí)間成為一定的長(zhǎng)度以上時(shí)，在凹部與凹部之間進(jìn)一步形成有相對(duì)小的凹部，并且凹部變淺。
[0108]此外，用于模具制造的基板不限于玻璃，可以是SUS (不銹鋼)、Ni等金屬材料、聚丙烯、聚甲基戊烯、環(huán)狀烯烴系聚合物(典型地，作為降冰片烯系樹(shù)脂等的產(chǎn)品名稱(chēng)“力' 才)7”(日本七才 > 株式會(huì)社制造)、產(chǎn)品名稱(chēng)“7—卜(JSR株式會(huì)社制造)等)的聚烯烴樹(shù)脂、聚碳酸酯樹(shù)脂、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯、聚萘二甲酸、三醋酸纖維素等樹(shù)脂材料。另外，可以取代使鋁成膜的基板而使用鋁的塊狀基板。此外，模具的形狀可以是平板狀，也可以是棍(圓筒)狀。
[0109]以上對(duì)模具的制造方法以及A0時(shí)間和Et時(shí)間與模具的凹凸形狀的關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。接著，對(duì)使用模具的蛾眼膜的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。
[0110]蛾眼膜的制造方法
[0111]使用輥納米壓印技術(shù)在支撐膜上涂敷光固化性樹(shù)脂。然后，在涂敷到支撐膜上的光固化性樹(shù)脂上按壓利用上述模具的制造方法制作的模具，照射UV進(jìn)行曝光。另外，可以利用例如熱壓法(壓花法)、注射成型法、溶膠凝膠法等復(fù)制法或者微細(xì)凹凸賦型片的層壓法、微細(xì)凹凸層的轉(zhuǎn)印法等各種方法形成蛾眼膜。
[0112]這樣，模具的凹凸形狀被轉(zhuǎn)印到蛾眼膜。即，根據(jù)模具的凹部的形狀形成蛾眼膜的凸部，根據(jù)模具的凸部的形狀形成蛾眼膜的凹部。使用模具A?G實(shí)際制作蛾眼膜A?G。
[0113]分別用SEM觀察蛾眼膜A?G，測(cè)定凸部的高度，并且評(píng)價(jià)凸部的粗細(xì)度。圖5?11是用SEM觀察蛾眼膜A?G時(shí)的截面圖。蛾眼膜A的凸部的高度是180nm，蛾眼膜B的凸部的高度是216nm，蛾眼膜C的凸部的高度是260nm，蛾眼膜D的凸部的高度是216nm，蛾眼膜E的凸部的高度是216nm，蛾眼膜F的凸部的高度是200nm，蛾眼膜G的凸部的高度是186nm。
[0114]另外，蛾眼膜A?C的粗細(xì)度大致相同。判明如下:在以蛾眼膜A?C的凸部的粗細(xì)度為基準(zhǔn)時(shí)，蛾眼膜D的凸部的粗細(xì)度細(xì)，蛾眼膜E的凸部的粗細(xì)度稍細(xì)，蛾眼膜F的凸部的粗細(xì)度稍粗，蛾眼膜G的凸部的粗細(xì)度粗。圖12中示出蛾眼膜A?G中的凹凸形狀的關(guān)系。
[0115]此外，所謂蛾眼膜的凸部的高度(h)，如圖12所示，是指從凸部的頂點(diǎn)到底面的直線(xiàn)距離，所謂凸部的粗細(xì)度(W)是指底面的寬度。
[0116]另外，分別用SEM觀察模具D和G，測(cè)定凸部的高度。圖13和圖14是用模具D和G觀察時(shí)的截面圖。上述的模具D的凹部的深度是360nm，模具G的凹部的深度是340nm。另一方面，蛾眼膜D的凸部的高度是216nm，膜的凸部的高度相對(duì)于模具的凹部的深度的比率(轉(zhuǎn)印率)是0.60。另外，蛾眼膜G的凸部的高度是186nm，轉(zhuǎn)印率是0.55。
[0117]接著，以蛾眼膜為例對(duì)凹凸形狀和反射率數(shù)據(jù)的相關(guān)關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。
[0118]與上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的測(cè)定同樣，對(duì)蛾眼膜A?G分別照射入射角5°的非偏振光，測(cè)定380nm?780nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。判明如下:如圖15所示，根據(jù)凹凸形狀的不同，反射率光譜不同。圖16是表示使用僅AO時(shí)間相互不同的模具A?C所制作的蛾眼膜A?C的反射率光譜的圖。當(dāng)觀看圖16時(shí)，模具的AO時(shí)間越長(zhǎng)，即，模具的凹部越深、蛾眼膜的凸部的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，則長(zhǎng)波長(zhǎng)的光中的反射率越低。具體地，730nm以上的波長(zhǎng)的光的反射率變低。另外，模具的凹部越淺、蛾眼膜的凸部的長(zhǎng)度越短，則反射率光譜的峰值和底部越移位到低波長(zhǎng)側(cè)。從以上判明如下:由長(zhǎng)波長(zhǎng)的固定波長(zhǎng)、光譜的峰值和底部的位置能推測(cè)蛾眼膜的凸部的長(zhǎng)度。
[0119]另外，圖17是表示使用僅Et時(shí)間不同的模具B和D?G所制作的蛾眼膜B和D?G的反射率光譜的圖。Et時(shí)間越長(zhǎng)，S卩，伴隨著模具的凹部的形狀變粗，膜的凸部的形狀變粗，并且在凸部與凸部之間形成有相對(duì)小的突出部(以下也稱(chēng)為鞍部。)，則光譜的峰值和底部的反射率越低。具體地，在蛾眼膜D中，峰值的反射率約為0.4%，底部的反射率約為0.05%，而在蛾眼膜G中，高能見(jiàn)度區(qū)域(邊緣)的峰值的反射率降低到0.2%以下，底部的反射率降低到約0.01%。從以上判明如下:由反射率光譜的峰值和底部的反射率能推測(cè)蛾眼膜的凸部的形狀(粗細(xì)度)。[0120]另外，Et時(shí)間越長(zhǎng)，則模具的凹部的深度越淺，膜的凸部的長(zhǎng)度越短，但是在圖17中，與圖16同樣，蛾眼膜的凸部的長(zhǎng)度越長(zhǎng)，則長(zhǎng)波長(zhǎng)的光的反射率越低，或者蛾眼膜的凸部的長(zhǎng)度越短，則反射率光譜的峰值和底部越移位到低波長(zhǎng)側(cè)。
[0121]而且，分別制作將蝕刻的總時(shí)間設(shè)為0分鐘、3分鐘、5分鐘、10分鐘以及15分鐘的模具。如圖18中的虛線(xiàn)所示，隨著蝕刻的總時(shí)間增加，凹部的底面被平坦化。另外，凹部的底面的形狀和凸部的上升角可看到相關(guān)關(guān)系，凹部的平面變得越平坦，則凸部的上升角越大。對(duì)使用這些模具所制作的蛾眼膜分別照射入射角5°的非偏振光，測(cè)定250nm~550nm的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜。此時(shí)，如圖19所示，用蝕刻時(shí)間為10分鐘以上的模具制作的蛾眼膜的400nm附近的反射率變高。另外，隨著模具的蝕刻時(shí)間變長(zhǎng)，蛾眼膜的反射率光譜的峰值稍微移位到高波長(zhǎng)側(cè)。
[0122]而且，使用Et時(shí)間不同的模具Η~P和模具Η~Ρ制作蛾眼膜Η~Ρ，分別測(cè)定蛾眼膜Η~Ρ的反射率光譜。在模具Η~Ρ中，均將Α0時(shí)間設(shè)定為336秒，在模具Η中，將Et時(shí)間設(shè)為438秒。在模具I中，將Et時(shí)間設(shè)為518秒。在模具J中，將Et時(shí)間設(shè)為598秒。在模具K中，將Et時(shí)間設(shè)為677秒。在模具L中，將Et時(shí)間設(shè)為757秒。在模具Μ中，將Et時(shí)間設(shè)為837秒。在模具N中，將Et時(shí)間設(shè)為877秒。在模具0中，將Et時(shí)間設(shè)為916秒。在模具P中，將Et時(shí)間設(shè)為996秒。
[0123]關(guān)于模具A~P和蛾眼膜A~G，歸納到下述表1。
[0124][表1]
【權(quán)利要求】
1.一種形狀檢查方法，對(duì)表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象照射光，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的形狀檢查方法，上述形狀檢查方法檢查凸部的高度和/或凸部的粗細(xì)度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的形狀檢查方法， 上述多個(gè)波長(zhǎng)均包含于規(guī)定的波長(zhǎng)范圍， 比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜和上述檢查對(duì)象的上述規(guī)定的波長(zhǎng)范圍內(nèi)的反射率光譜，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的形狀檢查方法，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的形狀檢查方法，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的峰值波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求3~5中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)和上述檢查對(duì)象的反射率光譜的底部波長(zhǎng)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求3~6中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述反射率光譜的底部波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，從傾斜方向照射對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光是偏振光。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的形狀檢查方法，對(duì)上述標(biāo)準(zhǔn)樣品和上述檢查對(duì)象照射的光是P偏振光和/或s偏振光。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率由分光測(cè)定器和光源設(shè)置于同一單元的分光器測(cè)定。
12.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，上述檢查對(duì)象是模具。
13.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項(xiàng)所述的形狀檢查方法，上述檢查對(duì)象是具有蛾眼結(jié)構(gòu)的膜。
14.一種結(jié)構(gòu)物的制造方法，包含如下工序:比較表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和表面具有凹凸形狀的結(jié)構(gòu)物的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述結(jié)構(gòu)物的上述凹凸形狀。
15.一種形狀檢查裝置，具有: 測(cè)定器，其測(cè)定光照射的對(duì)象物的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率； 存儲(chǔ)裝置，其將由上述測(cè)定器測(cè)定的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率存儲(chǔ)為反射率數(shù)據(jù)；以及 比較裝置，其比較存儲(chǔ)于上述存儲(chǔ)裝置的表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品的反射率數(shù)據(jù)和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率數(shù)據(jù)，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀 。
【文檔編號(hào)】G01B11/22GK103635776SQ201280033095
【公開(kāi)日】2014年3月12日 申請(qǐng)日期:2012年6月29日 優(yōu)先權(quán)日:2011年7月8日
【發(fā)明者】林秀和, 田口登喜生, 三成千明 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社