技術(shù)編號(hào)：6165872
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供能非破壞、精度良好地檢查具有凹凸形狀的檢查對(duì)象的形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。本發(fā)明的形狀檢查方法是對(duì)表面具有凹凸形狀的標(biāo)準(zhǔn)樣品和表面具有凹凸形狀的檢查對(duì)象照射光，比較上述標(biāo)準(zhǔn)樣品的多個(gè)波長(zhǎng)的反射率和上述檢查對(duì)象的上述多個(gè)波長(zhǎng)的反射率，由此檢查上述檢查對(duì)象的上述凹凸形狀的形狀檢查方法。專利說明形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置[0001]本發(fā)明涉及形狀檢查方法、結(jié)構(gòu)物的制造方法以及形狀檢查裝置。更詳細(xì)地，涉及針對(duì)具有...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。