專(zhuān)利名稱(chēng)：對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法、程序以及測(cè)定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(alignment system)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法、程序以及測(cè)定裝置。
背景技術(shù)：
專(zhuān)利文獻(xiàn)1在其圖10中公開(kāi)了一種對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的斐索 (Fizeau)型干涉儀，記載了在測(cè)定之前為了得到干涉條紋而需要進(jìn)行其圖7 圖9所示的調(diào)整和反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器(prototype)的位置調(diào)整。另外，專(zhuān)利文獻(xiàn)2公開(kāi)了一種斐索干涉儀，在該斐索干涉儀中，在由操作者在三軸方向上手動(dòng)地將被檢查透鏡粗調(diào)到能夠看到干涉條紋的程度之后，計(jì)算機(jī)根據(jù)干涉條紋的分析結(jié)果，在三軸方向上自動(dòng)地對(duì)被檢查透鏡進(jìn)行微調(diào)。被檢查透鏡在微調(diào)動(dòng)作中，以比粗調(diào)動(dòng)作更高的精度進(jìn)行定位，以消除參照面與被檢查透鏡的位置偏差。另外，在對(duì)比文件3中也公開(kāi)了在一旦得到干涉條紋后調(diào)節(jié)其位置(例如最濃的干涉條紋的位置)的兩階段自動(dòng)對(duì)焦方法。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2005-201703號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2005-265586號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 日本特開(kāi)平09-120006號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
但是，專(zhuān)利文獻(xiàn)1的圖7 圖9所示的調(diào)整和反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的位置調(diào)整繁雜，除了這些調(diào)整外，實(shí)際上還需要進(jìn)行與被檢查透鏡的光軸垂直的方向上的位置調(diào)整。這些調(diào)整由熟練人員根據(jù)經(jīng)驗(yàn)手動(dòng)進(jìn)行，在調(diào)整甚至波陣面像差的測(cè)定中花費(fèi)時(shí)間。另外，基于熟練人員經(jīng)驗(yàn)的具體調(diào)整方法(例如，基于什么樣的信息在哪個(gè)方向上將哪個(gè)部件移動(dòng)多少才可以)是未知的。因此，再現(xiàn)性和精度差，此后的干涉條紋的分析花費(fèi)時(shí)間，或者導(dǎo)致測(cè)定誤差?；蛘?，如果是專(zhuān)利文獻(xiàn)2，則干涉條紋的分析花費(fèi)時(shí)間，或在微調(diào)調(diào)節(jié)中花費(fèi)時(shí)間。因此，本發(fā)明的示例性的目的是提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)單且高精度地對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置、用于其的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法和程序。作為本發(fā)明的一個(gè)方面的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，被使用于對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置，該測(cè)定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將所述被檢查透鏡的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位，其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)具有移動(dòng)部，使載置所述被檢查透鏡的載置臺(tái)移動(dòng)；和計(jì)算機(jī)，控制所述移動(dòng)部對(duì)所述載置臺(tái)進(jìn)行的移動(dòng)，其中，所述計(jì)算機(jī)具有明暗區(qū)域識(shí)別模塊，在所述攝像設(shè)備的檢測(cè)所述干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，識(shí)別具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡的面積小的明暗區(qū)域；移動(dòng)控制模塊，設(shè)定所述載置臺(tái)應(yīng)移動(dòng)的移動(dòng)方向和移動(dòng)量，根據(jù)所設(shè)定的所述移動(dòng)方向和所述移動(dòng)量來(lái)控制所述移動(dòng)部；和方向判斷模塊，判斷所設(shè)定的位置是接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心還是離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心，其中，在按照所述移動(dòng)控制模塊進(jìn)行所述設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了所述載置臺(tái)的結(jié)果，在所述方向判斷模塊判斷為所述明暗區(qū)域的中心向從所述檢測(cè)區(qū)域的中心離開(kāi)的方向移動(dòng)的情況下，所述移動(dòng)控制模塊將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并按照重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部。作為本發(fā)明的另一個(gè)方面的程序，使上述計(jì)算機(jī)作為明暗區(qū)域識(shí)別單元、移動(dòng)控制單元、方向判斷單元而發(fā)揮功能，并且，所述程序發(fā)揮如下功能在按照所述移動(dòng)控制單元進(jìn)行所述設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了所述載置臺(tái)的結(jié)果，所述方向判斷單元判斷為實(shí)際上所述明暗區(qū)域的中心向從所述檢測(cè)區(qū)域的中心離開(kāi)的方向移動(dòng)的情況下，所述移動(dòng)控制單元將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并按照重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部。作為本發(fā)明的另一個(gè)方面的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)被使用于對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置，該測(cè)定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將由所述被檢查透鏡所聚光的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法的特征在于，具有以下步驟在所述攝像設(shè)備的攝像面的檢測(cè)所述干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，設(shè)定移動(dòng)方向并對(duì)使載置所述被檢查透鏡的載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)部進(jìn)行控制，以使具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡小的明暗區(qū)域的中心在所述攝像面中接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心的步驟；判斷作為所述控制步驟的結(jié)果，實(shí)際上所述明暗區(qū)域的中心是向接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)、還是向離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)的步驟；以及在所述判斷步驟判斷為實(shí)際上所述明暗區(qū)域的中心向離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)的情況下，將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并根據(jù)重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部的步驟。作為本發(fā)明的另一個(gè)方面的測(cè)定裝置，測(cè)定被檢查透鏡的透射波陣面，其特征在于，具有干涉儀，利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光；和上述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，將所述被檢查透鏡聚光的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位。根據(jù)本發(fā)明，可以提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)單且高精度地測(cè)定被檢查透鏡的透射波陣面的測(cè)定裝置、用于其的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法和程序。


圖1是本實(shí)施例的測(cè)定裝置的框圖。圖2是說(shuō)明圖1所示的測(cè)定裝置的明暗區(qū)域識(shí)別模塊的基于亮度的明暗區(qū)域的識(shí)別的圖。圖3是用于說(shuō)明圖1所示的測(cè)定裝置的動(dòng)作的流程圖。
圖4是用于說(shuō)明圖3所示的S200的詳情的流程圖。圖5是示出圖3所示的S208為“是”的狀態(tài)的圖。圖6是示出圖3所示的S210的狀態(tài)的圖。圖7是示出圖3所示的S212的狀態(tài)的圖。圖8是示出圖3所示的S208為“否”的狀態(tài)的圖。圖9是示出圖3所示的S214的狀態(tài)的圖。圖10是示出圖3所示的S222為“是”的狀態(tài)的圖。圖11是示出圖3所示的S2M的狀態(tài)的圖。圖12是示出圖3所示的的狀態(tài)的圖。圖13是用于說(shuō)明圖3所示的S230的詳情的流程圖。圖14是示出圖1所示的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心與被檢查透鏡的聚光點(diǎn)的位置關(guān)系的剖面圖。圖15是示出圖13所示的S240為“是”的狀態(tài)的圖。圖16是示出圖13所示的S244的狀態(tài)的圖。圖17是示出圖13所示的S246的狀態(tài)的圖。圖18是示出圖13所示的S248的狀態(tài)的圖。圖19是示出圖13所示的S258為“是”的狀態(tài)的圖。圖20是示出通過(guò)圖4所示的S212而使圖1所示的被檢查透鏡移動(dòng)的移動(dòng)量的剖面圖。圖21是示出通過(guò)圖4所示的S212而使圖1所示的被檢查透鏡移動(dòng)的移動(dòng)量的剖面圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1 測(cè)定裝置；10 被檢查透鏡；12 法蘭(flange) ；20 干涉儀；27 反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器；40 對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)；50 移動(dòng)部；55 遮光板；56 遮光板驅(qū)動(dòng)部；60 計(jì)算機(jī)；CP 聚光點(diǎn)；0 球心。
具體實(shí)施例方式圖1是本實(shí)施例的測(cè)定裝置1的框圖。測(cè)定裝置1測(cè)定被檢查透鏡10的透射波陣面，具有干涉儀20、操作干涉儀20的終端35以及對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40。在圖1中，Z方向被設(shè)定為與被檢查透鏡10的光軸大致平行的方向、干涉儀20的后述的成像透鏡觀的光軸的方向、 與后述的參照面2 垂直的方向、或者后述的參照光所朝向的方向。被檢查透鏡10是被測(cè)定透射波陣面(波陣面像差或光學(xué)性能)的作為對(duì)象的透射型光學(xué)元件。被檢查透鏡10具有光學(xué)部11和設(shè)置在光學(xué)部11周?chē)姆ㄌm(薄板)12， 光學(xué)部11具有成像作用。法蘭12是不具有成像作用的平面構(gòu)件。干涉儀20在本實(shí)施例中構(gòu)成為斐索干涉儀，具有激光光源21、準(zhǔn)直透鏡22、分束器23、透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M、載置臺(tái)25、校正板26、反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27、成像透鏡觀、攝像設(shè)備四。另外，干涉儀20不限于斐索干涉儀，例如也可以是專(zhuān)利文獻(xiàn)1的圖6所示那樣的泰曼-格林(Twyman-Green)型干涉儀。干涉儀20可以通過(guò)移動(dòng)干涉條紋來(lái)測(cè)定干涉條紋的相位，從而進(jìn)行高精度的波陣面測(cè)定。通過(guò)測(cè)定可得到表示波陣面的傾斜的TILT X和TILT Y、表示被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心的不一致量的光焦度(power)、表示代表性的波陣面的澤尼克(krnike)系數(shù)(包括焦點(diǎn)、像散、慧形像差、球面像差)。另外，圖1的被檢查透鏡10圖示成比實(shí)際要大，反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27圖示成比實(shí)際要小。激光光源21不論激光的種類(lèi)如何，在本實(shí)施例中都經(jīng)由光纖來(lái)引導(dǎo)激光，任何引導(dǎo)手段皆可。準(zhǔn)直透鏡22將從激光光源21經(jīng)由光纖而引導(dǎo)的作為發(fā)散光的激光轉(zhuǎn)換成平行光。分束器23使來(lái)自準(zhǔn)直透鏡22的光的一部分向被檢查透鏡10側(cè)(+Z方向)反射， 并且使其余的光透射。透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M具有參照面(參照平面)24a0將在參照面2 上反射而朝向分束器23側(cè)(-Z方向)的光稱(chēng)為參照光。載置臺(tái)25載置被檢查透鏡10的法蘭12。載置臺(tái)25可以通過(guò)后述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40 的移動(dòng)部50而在5個(gè)軸方向上移動(dòng)。校正板沈是玻璃板，為了調(diào)節(jié)光路長(zhǎng)度，根據(jù)需要被插入到被檢查透鏡10與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27之間。反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27生成理想球面波的光。當(dāng)透射透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M而透射被檢查透鏡10、并透射校正板沈且由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27反射的光再次透射校正板26并透射被檢查透鏡10時(shí)，該透射光成為反映了被檢查透鏡10的波陣面的測(cè)定光。成像透鏡28使通過(guò)了分束器23的測(cè)定光和參照光成像。攝像設(shè)備四在本實(shí)施例中由CCD照相機(jī)構(gòu)成，檢測(cè)由測(cè)定光和參照光形成的干涉條紋。如上所述，來(lái)自激光光源21的光通過(guò)被檢查透鏡10而由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27 反射后再次通過(guò)被檢查透鏡10，從而生成測(cè)定光。另外，來(lái)自激光光源21的光通過(guò)被檢查透鏡10而由透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M的參照面2 反射，從而生成參照光。終端35是控制干涉儀20的計(jì)算機(jī)，連接到后述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40的計(jì)算機(jī)60。終端35具有CPU(控制部)、將動(dòng)作所需要的程序、信息進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)部(RAM、ROM、硬盤(pán)裝置等)、用于與外部裝置進(jìn)行通信的通信適配器、輸入部、輸出部(打印機(jī)、顯示部)。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40將被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)(后述的CP)與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27 的球心(后述的0)進(jìn)行對(duì)位。在圖1中示出了兩者一致的狀態(tài)。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40具有移動(dòng)部50、遮光板55、遮光板驅(qū)動(dòng)部56和計(jì)算機(jī)60。在本實(shí)施例的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40中，移動(dòng)部50、遮光板55和遮光板驅(qū)動(dòng)部56搭載于干涉儀20，計(jì)算機(jī)60 經(jīng)由網(wǎng)絡(luò)(通信線路)而連接到干涉儀20以及終端35。但是，本發(fā)明不限于這樣的實(shí)施例，計(jì)算機(jī)60也可以與終端35、干涉儀20成為一體。移動(dòng)部50移動(dòng)載置臺(tái)25。移動(dòng)部50除了 X軸、Y軸、Z軸的3個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)外， 還具有對(duì)載置臺(tái)25的傾斜(TILT)進(jìn)行調(diào)整的兩個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，具有共計(jì)5個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)。 另外，也可以代替步進(jìn)電動(dòng)機(jī)而使用DC電動(dòng)機(jī)。遮光板55是遮蔽光的板。
遮光板驅(qū)動(dòng)部56以可將遮光板55插入到反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27 (或校正板26) 與被檢查透鏡10之間的光路、以及可使遮光板55從反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27 (或校正板26) 與被檢查透鏡10之間的光路脫離的方式，移動(dòng)遮光板55。遮光板驅(qū)動(dòng)部56除了 X軸、Y軸、 Z軸的3個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)外，還具有調(diào)整傾斜(TILT)的兩個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)，具有共計(jì)5個(gè)步進(jìn)電動(dòng)機(jī)。計(jì)算機(jī)60控制移動(dòng)部50對(duì)載置臺(tái)25的移動(dòng)和遮光板驅(qū)動(dòng)部56對(duì)遮光板的移動(dòng)。 計(jì)算機(jī)60也與終端35同樣地具有CPU (控制部)、將動(dòng)作所需要的程序、信息進(jìn)行存儲(chǔ)的存儲(chǔ)部(RAM、R0M、硬盤(pán)裝置等)、用于與外部裝置進(jìn)行通信的通信適配器、輸入部、輸出部(打印機(jī)、后述的顯示部80)。計(jì)算機(jī)60的CPU如圖1所示具有多個(gè)模塊(單元)。這些模塊包括法蘭識(shí)別模塊61、法蘭傾斜角度計(jì)算模塊62、明暗區(qū)域識(shí)別模塊63、方向判斷模塊64、識(shí)別率計(jì)算模塊 66、水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68和移動(dòng)控制模塊70。法蘭識(shí)別模塊61識(shí)別被檢查透鏡10的法蘭12。法蘭識(shí)別模塊61的識(shí)別與后述的明暗區(qū)域識(shí)別模塊63同樣地根據(jù)亮度來(lái)進(jìn)行。另外，也可由明暗區(qū)域識(shí)別模塊63兼?zhèn)浞ㄌm識(shí)別模塊61的功能。法蘭傾斜角度計(jì)算模塊62根據(jù)由干涉儀20對(duì)被檢查透鏡10的法蘭12的干涉條紋13進(jìn)行檢測(cè)得到的結(jié)果，計(jì)算法蘭12的傾斜角度。這種情況下，優(yōu)選經(jīng)由遮光板驅(qū)動(dòng)部 56將遮光板55插入到校正板沈與被檢查透鏡10之間的光路中。另外，在沒(méi)有校正板沈的情況下，優(yōu)選經(jīng)由遮光板驅(qū)動(dòng)部56將遮光板55插入到反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27與被檢查透鏡10之間的光路中。明暗區(qū)域識(shí)別模塊63識(shí)別被檢查透鏡10的光學(xué)部11的明暗區(qū)域16。圖2的(a) 是對(duì)由攝像設(shè)備四拍攝得到的被檢查透鏡10的圖像進(jìn)行顯示的顯示部80的畫(huà)面的示意圖。這里，“明暗區(qū)域”是指，在攝像設(shè)備四檢測(cè)干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域(遮蔽圓)29a內(nèi)具有明區(qū)域和暗區(qū)域的區(qū)域，小于被檢查透鏡10的面積，其中，所述明區(qū)域是具有閾值以上的亮度的部分，所述暗區(qū)域是比該明區(qū)域暗的部分。這種情況下，明暗條紋的間隔與攝像設(shè)備四的橫向分辨率相比足夠窄，因此攝像設(shè)備四無(wú)法識(shí)別干涉條紋。在本實(shí)施例中，明暗區(qū)域16的范圍是檢測(cè)區(qū)域的90%以下的同心圓的范圍， 但該范圍只要是不能識(shí)別干涉條紋的范圍即可。另外，可以任意地設(shè)定90%以下的范圍。圖2的(b)是示出沿圖2的(a)所示的箭頭P的亮度變化的曲線圖。橫軸是沿通過(guò)檢測(cè)區(qū)域中心的箭頭P的位置，縱軸是亮度。亮度Bl是為了檢測(cè)明暗區(qū)域而由明暗區(qū)域識(shí)別模塊63使用的閾值。亮度B2是檢測(cè)飽和狀態(tài)的閾值。檢測(cè)區(qū)域^a的輪廓是飽和的，因此比亮度B2高的亮度變化區(qū)域Dl可以識(shí)別為是檢測(cè)區(qū)域^a。另外，比亮度Bl高且比亮度B2低的亮度變化區(qū)域D2可以識(shí)別為是明暗區(qū)域16。另外，根據(jù)明暗區(qū)域16的大小，實(shí)際上有時(shí)也會(huì)顯示圖5所記載的細(xì)的干涉條紋圖案，但除了圖2外在后述的圖9、圖10、圖15、圖19中也省略干涉條紋圖案。方向判斷模塊64判斷所設(shè)定的位置(例如后述的明暗區(qū)域16的中心17、法蘭12 的中心14)是向接近目標(biāo)位置(例如檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b)的方向移動(dòng)、還是向離開(kāi)目
10標(biāo)位置的方向移動(dòng)。另外，在圖2的(a)中，示出了明暗區(qū)域16的中心17與檢測(cè)區(qū)域29a 的中心29b —致的狀態(tài)。識(shí)別率計(jì)算模塊66計(jì)算用檢測(cè)區(qū)域29a的面積與明暗區(qū)域16的面積之比來(lái)表示的識(shí)別率。水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷在與干涉儀20的光軸方向(Z方向)垂直的平面 (XY平面)中所設(shè)定的位置與目標(biāo)位置(例如檢測(cè)區(qū)域29a的中心^b)的距離是否在允許范圍內(nèi)。如上所述，所設(shè)定的位置例如是明暗區(qū)域16的中心17或法蘭12的中心14。水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68根據(jù)攝像設(shè)備四的圖像數(shù)據(jù)進(jìn)行判斷，具體而言，判斷將與畫(huà)面中的中心距離對(duì)應(yīng)的像素?cái)?shù)變換成距離而得到的值的絕對(duì)值是否在允許范圍內(nèi)。移動(dòng)控制模塊70設(shè)定移動(dòng)部50的移動(dòng)方向和移動(dòng)量(必要的話除了這些以外還設(shè)定移動(dòng)速度、移動(dòng)加速度)，并根據(jù)這些設(shè)定的信息來(lái)控制移動(dòng)部50。在方向判斷模塊64判斷為實(shí)際上明暗區(qū)域16的中心17從檢測(cè)區(qū)域^a的中心 29b離開(kāi)了的情況下，移動(dòng)控制模塊70將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，根據(jù)重新設(shè)定的移動(dòng)方向來(lái)控制移動(dòng)部50。由此，能夠防止明暗區(qū)域16脫離攝像設(shè)備四的視野， 即使脫離也能夠迅速返回原樣。另外，移動(dòng)控制模塊70在重新設(shè)定移動(dòng)方向時(shí)，可以將移動(dòng)量設(shè)定為前次的移動(dòng)量的兩倍。由此，可以使明暗區(qū)域16的中心17迅速地接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b。移動(dòng)控制模塊70也可以根據(jù)識(shí)別率計(jì)算模塊66計(jì)算出的識(shí)別率來(lái)設(shè)定移動(dòng)量。 例如，在計(jì)算機(jī)60的未圖示的硬盤(pán)中預(yù)先存儲(chǔ)移動(dòng)量表(識(shí)別率的百分比與移動(dòng)量的關(guān)系)，在該移動(dòng)量表中，在識(shí)別率小的情況下使移動(dòng)量變大，隨著識(shí)別率變大，使移動(dòng)量變小。并且，通過(guò)將移動(dòng)量表載入到RAM，由移動(dòng)控制模塊70讀出與移動(dòng)量表的識(shí)別率對(duì)應(yīng)的移動(dòng)量，控制移動(dòng)部50的移動(dòng)量。另外，移動(dòng)控制模塊70包括水平移動(dòng)控制模塊71、垂直移動(dòng)控制模塊72、旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73、初始距離設(shè)定模塊74、第1移動(dòng)量設(shè)定模塊75、第2移動(dòng)量設(shè)定模塊76。水平移動(dòng)控制模塊71控制移動(dòng)部50，以使載置臺(tái)25向與干涉儀20的光軸方向 (Z方向)正交的方向(即，在與攝像面對(duì)應(yīng)的XY平面內(nèi))移動(dòng)。垂直移動(dòng)控制模塊72控制移動(dòng)部50，以使載置臺(tái)25向干涉儀20的成像透鏡28 的光軸方向(Z方向，S卩，與XY平面垂直的方向)移動(dòng)。旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73控制移動(dòng)部50，以使載置臺(tái)25以干涉儀20的成像透鏡觀的光軸方向(Z方向，垂直于與攝像面對(duì)應(yīng)的XY平面的方向)為旋轉(zhuǎn)軸而旋轉(zhuǎn)。初始距離設(shè)定模塊74設(shè)定聚光點(diǎn)CP在初始狀態(tài)下沿著干涉儀20的成像透鏡觀的光軸方向(在本實(shí)施例中為-Z方向)或光路而從反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27離開(kāi)的初始距離。初始距離(散焦量)在本實(shí)施例中為IOOym 300 μ m0由此，可以確保攝像設(shè)備四的寬視野。第1移動(dòng)量設(shè)定模塊75設(shè)定第1移動(dòng)量(在本實(shí)施例中為中心距離的一半)，該第1移動(dòng)量是在攝像設(shè)備四的攝像面上設(shè)定的位置(例如明暗區(qū)域16的中心17或法蘭 12的中心14)與檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的距離以下的移動(dòng)量。在本實(shí)施例中，用像素?cái)?shù)來(lái)表示第1移動(dòng)量。另外，第1移動(dòng)量設(shè)定模塊75在所設(shè)定的位置為明暗區(qū)域16的中心17的情況下，由識(shí)別率計(jì)算模塊66計(jì)算出的識(shí)別率越高 (即，明暗區(qū)域16的面積越大)，將第1移動(dòng)量設(shè)定得越小。第2移動(dòng)量設(shè)定模塊76根據(jù)第1移動(dòng)量，設(shè)定使明暗區(qū)域16的中心17移動(dòng)由第 1移動(dòng)量設(shè)定模塊75設(shè)定的第1移動(dòng)量這樣的、由移動(dòng)部50要移動(dòng)的載置臺(tái)25的第2移動(dòng)量。在本實(shí)施例中，第2移動(dòng)量設(shè)定模塊76計(jì)算作為第1移動(dòng)量的像素?cái)?shù)相當(dāng)于多少 μ m，通過(guò)進(jìn)一步將它轉(zhuǎn)換成移動(dòng)部50的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的旋轉(zhuǎn)角度，從而設(shè)定第2移動(dòng)量。另外，用于使計(jì)算機(jī)60作為這些模塊(單元)而發(fā)揮功能的程序也構(gòu)成本發(fā)明的一個(gè)方面。這樣的程序存儲(chǔ)在上述計(jì)算機(jī)60的未圖示的存儲(chǔ)部中。以下參照?qǐng)D3 圖19，說(shuō)明測(cè)定裝置1的動(dòng)作。在圖中，“S”是步驟的縮寫(xiě)。圖3 是用于說(shuō)明測(cè)定裝置1的動(dòng)作的流程圖。首先，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40校正法蘭12的傾斜角度(S200)。這是因?yàn)?，通常在法蘭12的傾斜角度為0的狀態(tài)下將被檢查透鏡10載置于產(chǎn)品，因此以與實(shí)際使用的姿勢(shì)相同的姿勢(shì)來(lái)測(cè)定被檢查透鏡10的透射波陣面。這里，法蘭12的傾斜角度是由與干涉儀20的成像透鏡觀的光軸方向(Z方向) 垂直的平面(XY平面)、和法蘭12所構(gòu)成的角度。圖4是用于說(shuō)明S200的詳情的流程圖。首先，移動(dòng)控制模塊70的垂直移動(dòng)控制模塊72使載置了被檢查透鏡10的載置臺(tái) 25向干涉儀20的光軸方向(-Z方向)移動(dòng)由初始距離設(shè)定模塊74設(shè)定的初始距離，從而配置到光路。然后，在該狀態(tài)下，利用攝像設(shè)備四進(jìn)行攝像(S202)。接著，明暗區(qū)域識(shí)別模塊63判斷是否存在光學(xué)部11的明暗區(qū)域16(S204)。這樣， 明暗區(qū)域識(shí)別模塊63在移動(dòng)控制模塊70使移動(dòng)部50移動(dòng)了由初始距離設(shè)定模塊74設(shè)定的初始距離的狀態(tài)下開(kāi)始進(jìn)行識(shí)別。明暗區(qū)域識(shí)別模塊63判斷為不存在明暗區(qū)域16時(shí)(S204為“否”)，移動(dòng)控制模塊70移動(dòng)載置臺(tái)25直至明暗區(qū)域識(shí)別模塊63識(shí)別出明暗區(qū)域16(S206)。替代地，S206 也可以向操作者進(jìn)行錯(cuò)誤顯示。接著，在法蘭識(shí)別模塊61能夠識(shí)別法蘭12的干涉條紋13的情況下(S208為 “是”)，進(jìn)入S210。圖5的(a)是在該狀態(tài)下在與攝像設(shè)備四連接的顯示部80進(jìn)行顯示的圖。圖5的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。如圖5的(a)所示，在顯示部80中顯示有反映了光學(xué)部11的透射波陣面的明暗區(qū)域16以及法蘭12的干涉條紋13。接著，遮光板驅(qū)動(dòng)部56將遮光板55插入到校正板沈與被檢查透鏡10之間的光路(S210)。圖6的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖6的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。通過(guò)插入遮光板55，可以遮住測(cè)定光和來(lái)自校正板 26的發(fā)射光，觀察來(lái)自被檢查透鏡10的法蘭12的反射光所致的干涉條紋13。接著，作為利用干涉儀20對(duì)法蘭12的干涉條紋13進(jìn)行相位測(cè)定得到的結(jié)果，得到TILT X和TILT Y的值。根據(jù)預(yù)先由操作者設(shè)定的系數(shù)和作為干涉儀20的測(cè)定結(jié)果的 TILT X和TILT Y，計(jì)算用于減小法蘭12的傾斜角度(使其為0)的載置臺(tái)25的旋轉(zhuǎn)角度。 在移動(dòng)控制模塊70中，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73按照該旋轉(zhuǎn)角度使載置臺(tái)25進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)(S212)。圖20是說(shuō)明作為S212的結(jié)果而使被檢查透鏡10移動(dòng)的移動(dòng)量的TL剖面圖。設(shè)在S212中使載置臺(tái)25旋轉(zhuǎn)了的結(jié)果，被檢查透鏡10從實(shí)線位置移動(dòng)到虛線位置。這里， 設(shè)移動(dòng)部50具有XYZ載置臺(tái)51和旋轉(zhuǎn)載置臺(tái)52。另外，設(shè)Cl是使載置臺(tái)25在YL平面上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)載置臺(tái)52的曲率中心，θ 1是載置臺(tái)25在)(Ζ平面上的旋轉(zhuǎn)角度，L1 是從曲率中心Cl到被檢查透鏡10的特定位置為止的直線距離。此時(shí)，被檢查透鏡10在X方向上移動(dòng)了的移動(dòng)量AXSL1(I-Cosei),被檢查透鏡10在Z方向上移動(dòng)了的移動(dòng)量AZS-L1Sineitj同樣地，圖21是說(shuō)明作為S212的結(jié)果而使被檢查透鏡10移動(dòng)的移動(dòng)量的TL剖面圖。設(shè)在S212中使載置臺(tái)25進(jìn)行了旋轉(zhuǎn)的結(jié)果，被檢查透鏡10從實(shí)線位置移動(dòng)到虛線位置。這里，設(shè)C2是使載置臺(tái)25在TL平面上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)的旋轉(zhuǎn)載置臺(tái)52的曲率中心，θ 2是載置臺(tái)25在TL平面上的旋轉(zhuǎn)角度，L2是從曲率中心C2到被檢查透鏡10的特定位置為止的直線距離。此時(shí)，被檢查透鏡10在Y方向上移動(dòng)了的移動(dòng)量AYSL2Sine2，被檢查透鏡10 在Z方向上移動(dòng)了的移動(dòng)量ΔΖ SL2COS θ 2。在S212之后，以通過(guò)CTZ載置臺(tái)51使Δ X、Δ Y以及Δ Z抵消的方式使載置臺(tái)25 在XYZ方向上移動(dòng)，從而在S212之后也能夠維持XYZ的坐標(biāo)。這種情況下，移動(dòng)控制模塊70控制移動(dòng)部50來(lái)校正通過(guò)S212產(chǎn)生的被檢查透鏡 10在與攝像面對(duì)應(yīng)的XY平面上的方向以及與其垂直的Z方向上的移動(dòng)量中的至少一個(gè)即可。這種情況下，使用移動(dòng)控制模塊70的水平移動(dòng)控制模塊71和/或垂直移動(dòng)控制模塊 72。此外，不限定上述被檢查透鏡10的移動(dòng)量的計(jì)算方法，還可以應(yīng)用其它已知的技術(shù)。圖7的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖7的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。接著使處理進(jìn)入步驟S213。在S213中，判定是否法蘭進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)而使傾斜角度減小到規(guī)定值以下。傾斜角度的規(guī)定值通常為0.0001°左右。在判定為傾斜角度沒(méi)有減小到規(guī)定值的情況下，使處理返回S212。而在判定為傾斜角度減小到規(guī)定值的情況下，結(jié)束法蘭12的傾斜角度的校正。另一方面，在法蘭識(shí)別模塊61無(wú)法識(shí)別法蘭12的干涉條紋13的情況下(S208為 “否”)，進(jìn)入S214。圖8的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖8的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。如圖8的(a)和圖8的(b)所示，在被檢查透鏡10較大地傾斜而導(dǎo)致法蘭12的反射光沒(méi)有返回干涉儀20的情況下，無(wú)法測(cè)定干涉條紋13。這種情況下，明暗區(qū)域識(shí)別模塊63識(shí)別傾斜的狀態(tài)的被檢查透鏡10的明暗區(qū)域 16(S214)。圖9的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖9的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。接著，移動(dòng)控制模塊70的水平移動(dòng)控制模塊71以使明暗區(qū)域16的中心17接近檢測(cè)區(qū)域的中心^b的方式設(shè)定移動(dòng)方向，并使載置臺(tái)25向所設(shè)定的移動(dòng)方向進(jìn)行移動(dòng)(S216)。接著，方向判斷模塊64判斷作為S216的結(jié)果，實(shí)際上明暗區(qū)域16的中心17是向接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方向移動(dòng)還是向從檢測(cè)區(qū)域^a的中心29b離開(kāi)的方向移動(dòng)(S218)。然后，方向判斷模塊64有時(shí)會(huì)判斷為實(shí)際上明暗區(qū)域16的中心17向從檢測(cè)區(qū)域 ^a的中心29b離開(kāi)的方向移動(dòng)(S218為“否”)。這種情況下，移動(dòng)控制模塊70將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，控制移動(dòng)部50以使載置臺(tái)25向重新設(shè)定的移動(dòng)方向進(jìn)行移動(dòng)(S220)。接著，在S218為“是”的情況下，水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷明暗區(qū)域16的中心17與檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的中心距離是否在允許范圍內(nèi)(S222)。如果水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷為中心距離不在允許范圍內(nèi)(S222為“否”)， 則返回到S216。即，水平移動(dòng)控制模塊71繼續(xù)進(jìn)行移動(dòng)部50的移動(dòng)，直到水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷為中心距離在允許范圍內(nèi)。如果水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷為中心距離在允許范圍內(nèi)(S222為“是”)，則轉(zhuǎn)移到S2M。圖10的(a)是S222為“是”的情況下顯示在顯示部80中的圖。圖10的(b) 是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。接著，垂直移動(dòng)控制模塊72向干涉儀20的光軸方向(Z方向)移動(dòng)載置臺(tái)25，以使明暗區(qū)域16直至檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍為止擴(kuò)大到被識(shí)別為干涉條紋18的程度(S224)。 在本實(shí)施例中，檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍是檢測(cè)區(qū)域^a的90%左右的同心圓的范圍，可以任意地設(shè)定該90%左右的比率。圖11的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖 11的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。另外，S216 與后述的S234 S242同樣，將在后述的S234 S242中更詳細(xì)地說(shuō)明。接著，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73根據(jù)由攝像設(shè)備四對(duì)光學(xué)部11的干涉條紋18進(jìn)行攝像得到的結(jié)果，將載置臺(tái)25進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)以使被檢查透鏡10的傾斜角度減小(優(yōu)選使其成為0) (S226)。其結(jié)果，法蘭12的傾斜角度減小，從圖8的(b)的狀態(tài)變成圖5的(b)的狀態(tài)的可能性高，因此流程返回到S208。圖12的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。可理解能夠識(shí)別法蘭12的干涉條紋13。圖12的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。這樣，在法蘭識(shí)別模塊61無(wú)法識(shí)別法蘭12的情況下，進(jìn)行傾斜的狀態(tài)的被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0的對(duì)位。然后，旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73 根據(jù)在該狀態(tài)下從干涉儀20得到的被檢查透鏡10的透射波陣面的波陣面像差的信息(例如慧形像差)，控制移動(dòng)部50以使被檢查透鏡10的傾斜角度減小。由此，成為如下?tīng)顟B(tài) 能夠利用法蘭12的干涉條紋13來(lái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73對(duì)移動(dòng)部50的控制。接著，返回圖3，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40將被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器 27的球心0進(jìn)行對(duì)位(S230)。這樣，以使法蘭傾斜角度計(jì)算模塊62計(jì)算出的法蘭的傾斜角度減小的方式由旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73對(duì)移動(dòng)部50進(jìn)行了控制之后，計(jì)算機(jī)60進(jìn)行聚光點(diǎn)P與球心0的對(duì)位。
14其結(jié)果，可以在實(shí)際設(shè)置的狀態(tài)下測(cè)定被檢查透鏡10的透射波陣面。前述的對(duì)法蘭的傾斜角進(jìn)行調(diào)整的S200與該S230的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40的粗略對(duì)準(zhǔn) (精度不太高的粗略的對(duì)位)的工序完成，可以執(zhí)行對(duì)被檢查透鏡的干涉條紋進(jìn)行測(cè)定的 S270。圖13是用于說(shuō)明S230的詳情的流程圖。首先，明暗區(qū)域識(shí)別模塊63判斷是否能夠識(shí)別光學(xué)部11的明暗區(qū)域16(S232)。 在能夠識(shí)別的情況下(S232為“是”)，移動(dòng)控制模塊70的水平移動(dòng)控制模塊71以使明暗區(qū)域16的中心17接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方式設(shè)定移動(dòng)方向，并使載置臺(tái)25向所設(shè)定的移動(dòng)方向進(jìn)行移動(dòng)(S234)。圖14的(a)是示出反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0與被檢查透鏡10的聚光點(diǎn) CP 一致的狀態(tài)的剖面圖。圖14的(b)和圖14的(c)是反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0 與被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP偏離的情況下的剖面圖，箭頭PI、P2表示應(yīng)移動(dòng)被檢查透鏡 10的方向。在S234中，移動(dòng)控制模塊70的水平移動(dòng)控制模塊71如圖14的(b)所示的箭頭Pl那樣設(shè)定移動(dòng)方向。接著，方向判斷模塊64判斷作為S234的結(jié)果，實(shí)際上明暗區(qū)域16的中心17是向接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方向移動(dòng)還是向離開(kāi)檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方向移動(dòng) (S236)。假定在移動(dòng)控制模塊70設(shè)定移動(dòng)方向的情況下，被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP如圖 14的(b)所示，位于通過(guò)反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0的XY平面M的下側(cè)(負(fù)側(cè))。這是因?yàn)椋跏季嚯x設(shè)定模塊74就那樣配置了被檢查透鏡10。但是，由于靜電的影響、異物等混入的原因，在載置透鏡時(shí)或?qū)?zhǔn)系統(tǒng)40進(jìn)行對(duì)位的動(dòng)作過(guò)程中，有時(shí)被檢查透鏡10相對(duì)于載置臺(tái)25的位置會(huì)從理想位置略微偏離。由此，被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP如圖14的(c)所示，向平面M的上側(cè)(正側(cè))移動(dòng)。這種情況下，即使移動(dòng)控制模塊70以使明暗區(qū)域16的中心17接近檢測(cè)區(qū)域29a 的中心^b的方式進(jìn)行移動(dòng)，實(shí)際上也會(huì)發(fā)生中心17離開(kāi)中W^b的問(wèn)題。這是在使對(duì)位自動(dòng)化時(shí)發(fā)生的特有的問(wèn)題。因此，本實(shí)施例設(shè)置了 S236、S218。并且，方向判斷模塊64判斷為實(shí)際上中心17向離開(kāi)中心^b的方向移動(dòng)的情況下(S236為“否”)，移動(dòng)控制模塊70將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向。然后，控制移動(dòng)部50以使載置臺(tái)25向重新設(shè)定的移動(dòng)方向進(jìn)行移動(dòng)(S238)。這樣，按照由移動(dòng)控制模塊70設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了載置臺(tái)25的結(jié)果，方向判斷模塊64有時(shí)會(huì)判斷為實(shí)際上明暗區(qū)域16的中心17向離開(kāi)檢測(cè)區(qū)域29a的中心29b的方向移動(dòng)。這種情況下，聚光點(diǎn)CP位于平面M下側(cè)這樣的假定是錯(cuò)誤的。因此，移動(dòng)控制模塊 70將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并按照重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制移動(dòng)部50。 其結(jié)果，可以縮短調(diào)整時(shí)間。在S236為“是”的情況下，水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷明暗區(qū)域16的中心17 與檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的中心距離是否在允許范圍內(nèi)(SMO)。水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68如果判斷為中心距離不在允許范圍內(nèi)時(shí)(S240為“否”)，則返回到S232。即，水平移動(dòng)控制模塊71繼續(xù)進(jìn)行移動(dòng)部50的移動(dòng)，直到水平對(duì)位判斷模塊68判斷為中心距離在允許范圍內(nèi)。
水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68如果判斷為中心距離在允許范圍內(nèi)(S240為“是”)，則轉(zhuǎn)移到S242。圖15的(a)是S240為“是”的情況下顯示在顯示部80中的圖。圖15的(b) 是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。接著，垂直移動(dòng)控制模塊72使載置臺(tái)25向干涉儀20的光軸方向(Z方向)移動(dòng)，以使明暗區(qū)域16直至檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍為止擴(kuò)大到被識(shí)別為干涉條紋18的程度 (S242)。在本實(shí)施例中，檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍是檢測(cè)區(qū)域^a的90%程度的同心圓的范圍，可以任意地設(shè)定該90%程度的比率。圖16的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖16的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。另一方面，明暗區(qū)域識(shí)別模塊63無(wú)法識(shí)別明暗區(qū)域16的情況下(S232為“否”)， 遮光板驅(qū)動(dòng)部56將遮光板55插入到校正板沈與被檢查透鏡10之間的光路中，取得法蘭 12的中心(S246)。圖17的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖17的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。法蘭識(shí)別模塊61識(shí)別法蘭12的外周部的最少3 個(gè)點(diǎn)。根據(jù)該識(shí)別結(jié)果，計(jì)算法蘭12的中心14。此外，法蘭12的中心14是通過(guò)法蘭12的外周部的3個(gè)點(diǎn)的圓的中心。接著，移動(dòng)控制模塊70的水平移動(dòng)控制模塊71經(jīng)由移動(dòng)部50使載置臺(tái)25移動(dòng)， 以使法蘭12的中心14接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心29b (S248)。圖18的(a)是在該狀態(tài)下顯示在顯示部80中的圖。圖18的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。接著，方向判斷模塊64判斷作為S250的結(jié)果，實(shí)際上法蘭12的中心14是向接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方向移動(dòng)還是向離開(kāi)檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的方向移動(dòng) (S250)。并且，方向判斷模塊64有時(shí)會(huì)判斷為實(shí)際上法蘭12的中心14向離開(kāi)檢測(cè)區(qū)域 ^a的中心^b的方向移動(dòng)(S250為“否”)。這種情況下，移動(dòng)控制模塊70將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并控制移動(dòng)部50以使載置臺(tái)25向重新設(shè)定的移動(dòng)方向進(jìn)行移動(dòng)(S252)。接著，在S250為“是”的情況下，水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷法蘭12的中心14 與檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b的中心距離是否在允許范圍內(nèi)(S254)。如果水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷為中心距離不在允許范圍內(nèi)(S2M為“否”)， 則返回到S248。如果水平方向?qū)ξ慌袛嗄K68判斷為中心距離在允許范圍內(nèi)(S2M為 “是”)，則遮光板驅(qū)動(dòng)部56使遮光板55從校正板沈與被檢查透鏡10之間的光路中退出 (S256)。接著，明暗區(qū)域識(shí)別模塊63判斷是否能夠在檢測(cè)區(qū)域內(nèi)識(shí)別明暗區(qū)域16 (S258)。 在無(wú)法識(shí)別的情況下進(jìn)行錯(cuò)誤顯示(S260)，如果能夠識(shí)別則轉(zhuǎn)移到S234。圖19的(a)是在S258為“是”的情況下顯示在顯示部80中的圖。圖19的(b)是此時(shí)的反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27附近的放大剖面圖。如上所述，存在如下情況在旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊73以使法蘭傾斜角度計(jì)算模塊62 計(jì)算出的法蘭12的傾斜角度減小的方式對(duì)移動(dòng)部50進(jìn)行了控制之后，明暗區(qū)域識(shí)別模塊 63無(wú)法識(shí)別光學(xué)部11的明暗區(qū)域16。這種情況下，根據(jù)本實(shí)施例，移動(dòng)控制模塊70移動(dòng)載置臺(tái)25，以使經(jīng)由法蘭識(shí)別模塊61取得的法蘭12的中心14接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心29b0其結(jié)果，能夠在檢測(cè)區(qū)域^a內(nèi)識(shí)別明暗區(qū)域16的可能性變高。再次返回到圖3，接著通過(guò)干涉儀20測(cè)定被檢查透鏡10的干涉條紋18(S270)。然后，對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)40根據(jù)干涉儀20的測(cè)定結(jié)果，進(jìn)行被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0之間的高精度的對(duì)位(精密對(duì)準(zhǔn))(S272)。此時(shí)，作為干涉儀20的相位測(cè)定結(jié)果，得到TILT X、TILT Y、光焦度或焦點(diǎn)的值。 在被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0在XY平面中不一致的情況下，TILT的值的絕對(duì)值變大。在被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0在Z方向上不一致的情況下，光焦度或焦點(diǎn)的值的絕對(duì)值變大。移動(dòng)控制模塊70通過(guò)通信從干涉儀20接收這些測(cè)定結(jié)果。然后，移動(dòng)控制模塊 70根據(jù)由被檢查透鏡10的種類(lèi)決定的系數(shù)和從干涉儀20的測(cè)定結(jié)果計(jì)算出的移動(dòng)量和移動(dòng)方向，在CTZ方向上控制移動(dòng)部50，以使被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0 —致。重復(fù)進(jìn)行根據(jù)干涉儀20的測(cè)定結(jié)果計(jì)算出的移動(dòng)控制，直至達(dá)到在移動(dòng)控制模塊中預(yù)先設(shè)定的TILT X、TILT Y、光焦度或焦點(diǎn)的閾值。該閾值是應(yīng)由操作者所設(shè)定的值， 可以任意變更。通過(guò)干涉儀20測(cè)定對(duì)位至閾值的被檢查透鏡10的干涉條紋18 (S274)。根據(jù)該干涉儀20的測(cè)定結(jié)果得到的透射波陣面是被檢查透鏡10的最終結(jié)果。干涉儀20通過(guò)分束器23分割來(lái)自激光光源21的激光，將其反射光束由透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M的參照面2 進(jìn)行反射而得到的光作為參照光。通過(guò)了透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M的測(cè)定光在通過(guò)了被檢查透鏡10后，由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27反射而再次通過(guò)被檢查透鏡10和透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器24。然后，通過(guò)攝像設(shè)備四觀察參照光和測(cè)定光中的透射了分束器23的各個(gè)光束的干涉條紋。在被檢查透鏡10是藍(lán)光等高密度光盤(pán)用的驅(qū)動(dòng)裝置的物鏡的情況下，如果被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0在XY平面上不一致，則會(huì)發(fā)生慧形像差。另外，如果被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0在Z 方向上不一致，則會(huì)發(fā)生球面像差。這種情況下，不能說(shuō)是高精度的測(cè)定。在本實(shí)施例中，被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0高精度地對(duì)位，因此可以高精度地測(cè)定被檢查透鏡10的透射波陣面。另外，在本實(shí)施例中，被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0自動(dòng)地進(jìn)行對(duì)位，因此減輕了作業(yè)者的負(fù)擔(dān)并且縮短了調(diào)整時(shí)間甚至測(cè)定時(shí)間。另外， 方向判斷模塊64判斷實(shí)際設(shè)定的位置是接近目標(biāo)位置還是離開(kāi)目標(biāo)位置，并根據(jù)其結(jié)果使移動(dòng)方向反轉(zhuǎn)來(lái)進(jìn)行重新設(shè)定，因此任何時(shí)候都可以防止在調(diào)整中花費(fèi)時(shí)間。在本實(shí)施例中，通過(guò)被檢查透鏡10的法蘭12的干涉條紋13的識(shí)別控制，可以在 XY平面內(nèi)使被檢查透鏡10距理想測(cè)定位置的距離在100 μ m 2mm的范圍內(nèi)進(jìn)行對(duì)位。另外，通過(guò)被檢查透鏡10的光學(xué)部11的干涉條紋18的識(shí)別控制，可以使被檢查透鏡10距理想測(cè)定位置(XYZ距離)的距離在10 μ m 300 μ m的范圍內(nèi)進(jìn)行對(duì)位。在精密對(duì)準(zhǔn)中，能夠在XY平面內(nèi)使被檢查透鏡10距理想測(cè)定位置的距離在 50nm 20μπι的范圍內(nèi)、在Z方向上在25nm 20 μ m的范圍內(nèi)進(jìn)行對(duì)位。例如，在被檢查透鏡10是藍(lán)光等高密度光盤(pán)用的驅(qū)動(dòng)裝置的物鏡的情況下，反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0與被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP的位置偏差必須調(diào)整到50nm以下，而本實(shí)施例滿足該要求。在干涉儀20中，得到波陣面形狀而作為被檢查透鏡10的透射波陣面的測(cè)定結(jié)果。 這對(duì)應(yīng)于光入射到被檢查透鏡10并透射而射出為止的光的速度的變動(dòng)。波陣面在XY平面內(nèi)用Z方向的大小來(lái)表示。假定波陣面整體有傾斜的情況下，根據(jù)XY平面內(nèi)的波陣面的直徑D、和Z方向上的波陣面的傾斜高度的最大值Z，通過(guò)θ = Tan-I (Z/D)求出波陣面的傾斜。通過(guò)在X方向、Y方向上分別進(jìn)行該處理，來(lái)求出TILT X和TILT Y。該計(jì)算方法是已知的。本實(shí)施例在干涉條紋的精密對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)作為干涉儀20的測(cè)定結(jié)果的TILT X、TILT Y、光焦度這3個(gè)項(xiàng)目乘以預(yù)先準(zhǔn)備的系數(shù)而變換成移動(dòng)距離。然后，驅(qū)動(dòng)載置臺(tái)25，以使被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0 —致。此外，這個(gè)技術(shù)是已知的。在本實(shí)施例中，通過(guò)按照?qǐng)D3那樣的過(guò)程來(lái)進(jìn)行測(cè)定，可以使測(cè)定時(shí)間最小。艮口， 在被檢查透鏡10的傾斜角度校正(S200)后進(jìn)行被檢查透鏡10的透射干涉條紋的測(cè)定 (S270)，根據(jù)干涉儀20的測(cè)定結(jié)果進(jìn)行高精度的對(duì)位(S27》。由此，最終可以把將XYZ位置對(duì)準(zhǔn)到閾值時(shí)的測(cè)定波陣面本身作為最終測(cè)定結(jié)果(S274)而使用。另一方面，如果在通過(guò)被檢查透鏡10的透射干涉條紋的測(cè)定(S270)進(jìn)行的XYZ 對(duì)位(S272)之后進(jìn)行被檢查透鏡10的傾斜角度校正(S200)，則最終必須再次進(jìn)行被檢查透鏡10的透射干涉條紋的測(cè)定(S274)。在本實(shí)施例中，針對(duì)被檢查透鏡10有法蘭12的測(cè)定的情況進(jìn)行了說(shuō)明，但在是被檢查透鏡沒(méi)有法蘭的透鏡的情況下，在載置被檢查透鏡之前，可以代替法蘭12而將基準(zhǔn)平面板載置于載置臺(tái)25。然后，在通過(guò)圖3的S200校正了載置臺(tái)25的傾斜之后，取出基準(zhǔn)平面板，載置被檢查透鏡而從S230開(kāi)始實(shí)施測(cè)定即可。另外，在沒(méi)有法蘭面的透鏡的情況下，從圖4的S214開(kāi)始，并在中使利用從干涉計(jì)20得到的慧形像差的值和預(yù)先由操作者設(shè)定的系數(shù)而計(jì)算的載置臺(tái)25的傾斜為0 即可。也可以應(yīng)用沒(méi)有法蘭面的透鏡的情況下的測(cè)定例子，在有法蘭面的透鏡的測(cè)定中，實(shí)施，在慧形像差變得最小的時(shí)刻僅實(shí)施S210和S212的相位測(cè)定，得到TILT X和 TILT Y的測(cè)定結(jié)果。通過(guò)在不使載置臺(tái)25移動(dòng)的狀態(tài)下結(jié)束，從而在有法蘭面的透鏡中，可以進(jìn)行在使透鏡在XY方向上傾斜何種程度時(shí)慧形像差才成為最小這樣的測(cè)定。通過(guò)該測(cè)定，可以評(píng)價(jià)透鏡具有的潛在的光學(xué)性能。作為以上的實(shí)施例例舉了被檢查透鏡10的透射波陣面測(cè)定，但作為其它實(shí)施例， 也可以實(shí)施被檢查透鏡的反射波陣面測(cè)定。這種情況下，在干涉儀20中，代替透射型平面標(biāo)準(zhǔn)原器M而安裝透射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器，從干涉儀主體一側(cè)射出收斂/發(fā)散光而非平行光。在載置臺(tái)25上載置了需要進(jìn)行基于球面波陣面的反射測(cè)定評(píng)價(jià)的被檢查透鏡。 這種情況下的被檢查透鏡是凸面球面透鏡或凹面球面透鏡。在被檢查透鏡的反射波陣面測(cè)定中，不需要與被檢查透鏡相比在光軸+方向的光學(xué)系統(tǒng)，不需要校正玻璃26、反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27、遮光板55。在其它實(shí)施例中，以被檢查透鏡10的聚光點(diǎn)CP位于反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器27的球心0的上方為前提，設(shè)定移動(dòng)控制模塊70的移動(dòng)方向。這種情況下，假定如圖14的(c)所示聚光點(diǎn)CP位于通過(guò)球心0的XY平面M的上側(cè)(+側(cè))，從而移動(dòng)控制模塊70進(jìn)行控制以使明暗區(qū)域16的中心17接近檢測(cè)區(qū)域^a的中心^b即可?？梢詫⒍鄠€(gè)被檢查透鏡排列在托盤(pán)上而連續(xù)進(jìn)行測(cè)定。這種情況下，事先將多個(gè)被檢查透鏡載置在多個(gè)托盤(pán)上，將其位置信息(X^坐標(biāo)、TILT X和TILT Y)存儲(chǔ)到移動(dòng)控制模塊70中。由此，可以從測(cè)定開(kāi)始起自動(dòng)地連續(xù)測(cè)定排列在各托盤(pán)上的多個(gè)透鏡。另外， 可以更正確地登記托盤(pán)的制造誤差中的透鏡的位置信息。也可以在移動(dòng)控制模塊70中針對(duì)每個(gè)托盤(pán)臨時(shí)存儲(chǔ)測(cè)定結(jié)束時(shí)的CTZ坐標(biāo)、TILT X和TILT Y位置。由此，可以識(shí)別下次的各托盤(pán)的測(cè)定開(kāi)始的理想位置。產(chǎn)業(yè)上的可利用件對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)可以應(yīng)用于干涉儀。
權(quán)利要求
1.一種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，被使用于對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置，該測(cè)定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將所述被檢查透鏡的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位，其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)具有移動(dòng)部，使載置所述被檢查透鏡的載置臺(tái)移動(dòng)；和計(jì)算機(jī)，控制所述移動(dòng)部對(duì)所述載置臺(tái)進(jìn)行的移動(dòng)， 其中，所述計(jì)算機(jī)具有明暗區(qū)域識(shí)別模塊，在所述攝像設(shè)備的攝像面的檢測(cè)所述干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，識(shí)別具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡的面積小的明暗區(qū)域；移動(dòng)控制模塊，設(shè)定所述載置臺(tái)應(yīng)移動(dòng)的移動(dòng)方向和移動(dòng)量，根據(jù)所設(shè)定的所述移動(dòng)方向和所述移動(dòng)量來(lái)控制所述移動(dòng)部；和方向判斷模塊，判斷所設(shè)定的位置是接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心還是離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心，其中，在按照所述移動(dòng)控制模塊進(jìn)行所述設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了所述載置臺(tái)的結(jié)果， 在所述方向判斷模塊判斷為所述明暗區(qū)域的中心向從所述檢測(cè)區(qū)域的中心離開(kāi)的方向移動(dòng)的情況下，所述移動(dòng)控制模塊將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并按照重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部。
2.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)控制模塊將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向時(shí)，重新設(shè)定上次的移動(dòng)量的2倍的移動(dòng)量。
3.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述移動(dòng)控制模塊還具有初始距離設(shè)定模塊，設(shè)定所述聚光點(diǎn)在初始狀態(tài)下沿著光路從所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器離開(kāi)的初始距離；第1移動(dòng)量設(shè)定模塊，對(duì)在所述攝像面中所述設(shè)定的位置與所述檢測(cè)區(qū)域的中心的距離以下的第1移動(dòng)量進(jìn)行設(shè)定；和第2移動(dòng)量設(shè)定模塊，根據(jù)所述第1移動(dòng)量，設(shè)定使所述設(shè)定的位置移動(dòng)由所述第1移動(dòng)量設(shè)定模塊設(shè)定的所述第1移動(dòng)量這樣的、由所述移動(dòng)部要移動(dòng)的所述載置臺(tái)的第2移動(dòng)量，其中，所述明暗區(qū)域識(shí)別模塊在所述移動(dòng)控制模塊使所述移動(dòng)部移動(dòng)了由所述初始距離設(shè)定模塊設(shè)定的所述初始距離的狀態(tài)下，開(kāi)始進(jìn)行識(shí)別。
4.如權(quán)利要求3所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)還具有識(shí)別率計(jì)算模塊，該識(shí)別率計(jì)算模塊計(jì)算用所述檢測(cè)區(qū)域的面積與由所述明暗區(qū)域識(shí)別模塊所識(shí)別的所述明暗區(qū)域的面積之比來(lái)表示的識(shí)別率，在所述設(shè)定的位置是所述明暗區(qū)域的中心的情況下，所述識(shí)別率計(jì)算模塊計(jì)算出的所述識(shí)別率越高，所述第1移動(dòng)量設(shè)定模塊將所述第1移動(dòng)量設(shè)定得越小。
5.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述移動(dòng)控制模塊具有水平移動(dòng)控制模塊，控制所述移動(dòng)部，以使所述載置臺(tái)在與所述攝像面對(duì)應(yīng)的平面內(nèi)移動(dòng)；和垂直移動(dòng)控制模塊，控制所述移動(dòng)部，以使所述載置臺(tái)向與所述平面垂直的方向移動(dòng)， 所述計(jì)算機(jī)還具有水平方向?qū)ξ慌袛嗄K，該水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測(cè)區(qū)域的中心的距離是否在允許范圍內(nèi)，所述水平移動(dòng)控制模塊繼續(xù)由所述移動(dòng)部進(jìn)行的移動(dòng)，直到所述水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷為在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測(cè)區(qū)域的中心的距離在所述允許范圍內(nèi)， 當(dāng)所述水平方向?qū)ξ慌袛嗄K判斷為在所述平面中所述設(shè)定的位置與所述檢測(cè)區(qū)域的中心的距離在所述允許范圍內(nèi)時(shí)，所述垂直移動(dòng)控制模塊使所述移動(dòng)部移動(dòng)，以使所述明暗區(qū)域直至所述檢測(cè)區(qū)域內(nèi)的設(shè)定范圍為止擴(kuò)大到被識(shí)別為所述干涉條紋的程度。
6.如權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于， 所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)還具有遮光板；和遮光板驅(qū)動(dòng)部，以使該遮光板能夠插入和脫離所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器與所述被檢查透鏡之間的光路的方式，移動(dòng)該遮光板， 所述計(jì)算機(jī)還具有法蘭識(shí)別模塊，識(shí)別所述被檢查透鏡的法蘭；和法蘭傾斜角度計(jì)算模塊，根據(jù)由所述遮光板驅(qū)動(dòng)部將所述遮光板插入到所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器與所述被檢查透鏡之間的光路之后由所述干涉儀對(duì)所述法蘭的干涉條紋進(jìn)行檢測(cè)得到的結(jié)果，計(jì)算所述法蘭的傾斜角度，所述移動(dòng)控制模塊還具有旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊，該旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊控制所述移動(dòng)部， 以使所述載置臺(tái)以垂直于與所述攝像面對(duì)應(yīng)的平面的方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在以使所述法蘭傾斜角度計(jì)算模塊計(jì)算出的所述法蘭的傾斜角度減小的方式由所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊對(duì)所述移動(dòng)部進(jìn)行了控制之后，所述計(jì)算機(jī)進(jìn)行所述聚光點(diǎn)與所述球心的對(duì)位。
7.如權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，在所述法蘭識(shí)別模塊無(wú)法識(shí)別所述法蘭的情況下，進(jìn)行傾斜的狀態(tài)的所述被檢查透鏡的所述聚光點(diǎn)與所述球心的對(duì)位，根據(jù)從所述干涉儀得到的所述被檢查透鏡的透射波陣面，所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊以使所述被檢查透鏡的傾斜角度減小的方式對(duì)所述移動(dòng)部進(jìn)行了控制之后，所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊控制所述移動(dòng)部以使所述法蘭傾斜角度計(jì)算模塊計(jì)算出的所述法蘭的傾斜角度減小。
8.如權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，在以使所述法蘭傾斜角度計(jì)算模塊計(jì)算出的所述法蘭的傾斜角度減小的方式由所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊對(duì)所述移動(dòng)部進(jìn)行了控制之后，所述明暗區(qū)域識(shí)別模塊無(wú)法識(shí)別所述明暗區(qū)域的情況下，所述移動(dòng)控制模塊移動(dòng)所述載置臺(tái)，以使經(jīng)由所述法蘭識(shí)別模塊所取得的所述法蘭的中心接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心。
9.如權(quán)利要求8所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，按照所述移動(dòng)控制模塊進(jìn)行所述設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了所述載置臺(tái)的結(jié)果，在所述方向判斷模塊判斷為實(shí)際上所述法蘭的中心向從所述檢測(cè)區(qū)域的中心離開(kāi)的方向移動(dòng)的情況下，所述移動(dòng)控制模塊將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并根據(jù)重新設(shè)定的移動(dòng)方向，控制所述移動(dòng)部。
10.如權(quán)利要求6 9中的任意一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述移動(dòng)控制模塊控制所述移動(dòng)部，以校正由于所述旋轉(zhuǎn)移動(dòng)控制模塊以使所述法蘭的傾斜角度減小的方式對(duì)所述移動(dòng)部進(jìn)行控制而產(chǎn)生的、所述被檢查透鏡在對(duì)應(yīng)于所述攝像面的平面上的方向以及與對(duì)應(yīng)于所述攝像面的平面垂直的方向上的移動(dòng)量中的至少一個(gè)。
11.一種程序，其特征在于，使對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)作為明暗區(qū)域識(shí)別單元、移動(dòng)控制單元和方向判斷單元而發(fā)揮功能，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)被使用于對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置，該測(cè)定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將由所述被檢查透鏡所聚光的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)具有移動(dòng)部，載置于所述干涉儀，并使載置所述被檢查透鏡的載置臺(tái)進(jìn)行移動(dòng)；和所述計(jì)算機(jī)，參照所述干涉儀的所述攝像設(shè)備的輸出，控制所述移動(dòng)部對(duì)所述載置臺(tái)進(jìn)行的移動(dòng)，其中，所述明暗區(qū)域識(shí)別單元在所述攝像設(shè)備的檢測(cè)所述干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，識(shí)別具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡的面積小的明暗區(qū)域，所述移動(dòng)控制單元設(shè)定所述載置臺(tái)應(yīng)移動(dòng)的移動(dòng)方向和移動(dòng)量，并根據(jù)所設(shè)定的所述移動(dòng)方向和所述移動(dòng)量來(lái)控制所述移動(dòng)部，所述方向判斷單元判斷所設(shè)定的位置是接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心還是離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心，并且，所述程序發(fā)揮如下功能在按照所述移動(dòng)控制單元進(jìn)行所述設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)了所述載置臺(tái)的結(jié)果，在所述方向判斷單元判斷為所述明暗區(qū)域的中心向從所述檢測(cè)區(qū)域的中心離開(kāi)的方向移動(dòng)的情況下，所述移動(dòng)控制單元將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，按照重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部。
12.—種對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)被使用于對(duì)被檢查透鏡的透射波陣面進(jìn)行測(cè)定的測(cè)定裝置，該測(cè)定裝置具有干涉儀，該干涉儀利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)將由所述被檢查透鏡所聚光的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位，其特征在于，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法具有以下步驟在所述攝像設(shè)備的攝像面的檢測(cè)所述干涉條紋的檢測(cè)區(qū)域內(nèi)，設(shè)定移動(dòng)方向并對(duì)使載置所述被檢查透鏡的載置臺(tái)移動(dòng)的移動(dòng)部進(jìn)行控制，以使具有閾值以上的亮度且比所述被檢查透鏡小的明暗區(qū)域的中心在所述攝像面中接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心的步驟；判斷作為所述控制步驟的結(jié)果，實(shí)際上所述明暗區(qū)域的中心是向接近所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)、還是向離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)的步驟；以及在所述判斷步驟判斷為實(shí)際上所述明暗區(qū)域的中心向離開(kāi)所述檢測(cè)區(qū)域的中心的方向進(jìn)行移動(dòng)的情況下，將所述設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并根據(jù)重新設(shè)定的移動(dòng)方向控制所述移動(dòng)部的步驟。
13. 一種測(cè)定裝置，測(cè)定被檢查透鏡的透射波陣面，其特征在于，具有 干涉儀，利用攝像設(shè)備檢測(cè)由測(cè)定光和來(lái)自參照面的參照光形成的干涉條紋，其中所述測(cè)定光是來(lái)自光源的光通過(guò)所述被檢查透鏡后由反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器反射、并再次通過(guò)所述被檢查透鏡而生成的光；和權(quán)利要求1 10中的任意一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，將所述被檢查透鏡聚光的聚光點(diǎn)與所述反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器的球心進(jìn)行對(duì)位。
全文摘要
提供一種能夠在短時(shí)間內(nèi)簡(jiǎn)單且高精度地測(cè)定被檢查透鏡的透射波陣面的測(cè)定裝置、用于其的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)、對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的控制方法和程序。對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)(40)被用于具有干涉儀(20)且測(cè)定被檢查透鏡(10)的透射波陣面的測(cè)定裝置(1)，將被檢查透鏡(10)的聚光點(diǎn)(CP)與反射型球面標(biāo)準(zhǔn)原器(27)的球心進(jìn)行對(duì)位，所述對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)具有使載置被檢查透鏡(10)的載置臺(tái)(25)移動(dòng)的移動(dòng)部(50)和計(jì)算機(jī)(60)，并且具有根據(jù)所設(shè)定的移動(dòng)方向和移動(dòng)量來(lái)控制移動(dòng)部(50)的移動(dòng)控制模塊(70)，在方向判斷模塊(64)判斷為實(shí)際上明暗區(qū)域(16)的中心(17)向離開(kāi)檢測(cè)區(qū)域(29a)的中心(29b)的方向移動(dòng)的情況下，移動(dòng)控制模塊(70)將所設(shè)定的移動(dòng)方向重新設(shè)定為相反方向，并且控制移動(dòng)部(50)以使載置臺(tái)(25)向重新設(shè)定的移動(dòng)方向移動(dòng)。
文檔編號(hào)G01M11/02GK102203577SQ200980143060
公開(kāi)日2011年9月28日 申請(qǐng)日期2009年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月6日
發(fā)明者鈴木秀和 申請(qǐng)人:佳能市場(chǎng)營(yíng)銷(xiāo)日本株式會(huì)社