專利名稱：一種用漏孔法繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種密封品的檢漏方法，特別是一種用漏孔法繪制壓 差與泄漏量關(guān)系曲線的方法。
(二)
背景技術(shù)：
目前密封品檢漏裝置使用的方法主要有染料滲透檢漏法、升溫 氣泡發(fā)射檢漏法、重量增加檢漏法、放射性同位素檢漏法以及光學(xué)檢 漏法等。這些方法工藝復(fù)雜、效率低、成本高，其中有的方法還屬于 破壞性檢驗(yàn)方式。另外還有一種差壓式氣密檢漏法，主要用于非密封 品如汽車油箱、空調(diào)管路等的泄漏檢測(cè)，但是不能用于密封品如電子 芯片等的檢漏。我們己經(jīng)研制了差壓式密封品檢漏裝置，但是用差壓 式密封品檢漏裝置進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，首先需要繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線， 作為判定密封品是否合格的依據(jù)?，F(xiàn)在繪制壓差與泄漏量對(duì)應(yīng)關(guān)系曲 線圖主要是采用理論計(jì)算法，即根據(jù)差壓檢漏的基本公式，結(jié)合密封品 差壓檢漏的相關(guān)條件，推導(dǎo)出壓差的時(shí)變計(jì)算公式以及小漏率檢測(cè)、 大漏率檢測(cè)的計(jì)算公式，再將被測(cè)件的內(nèi)容積、被測(cè)件密封容器的剩 余容積、測(cè)試管路的容積、測(cè)試壓力等各個(gè)參數(shù)分別代入公式，通過 計(jì)算得到相關(guān)數(shù)據(jù)即可繪制出壓差與泄漏量對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線圖。由于計(jì) 算時(shí)涉及參數(shù)較多，計(jì)算步驟非常復(fù)雜，且選擇的各種參數(shù)與實(shí)際數(shù) 維存在比較大的誤差，所以使用理論計(jì)算法繪制曲線準(zhǔn)確率低，使用 效果不理想。
/三)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是針對(duì)上述存在的問題，提供一種原理科學(xué)、不需 要復(fù)雜計(jì)算、檢測(cè)準(zhǔn)確、操作簡(jiǎn)單、易于實(shí)施的用漏孔法繪制壓差與 泄漏量關(guān)系曲線的方法。
本發(fā)明的技術(shù)方案
一種用漏孔法繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線的方法，其特征在于-采用帶容積漏孔器在密封品檢漏裝置上進(jìn)行，帶容積漏孔器為帶有一 個(gè)已知漏率的漏孔并具有固定內(nèi)腔容積的容器，其實(shí)施步驟如下
1)據(jù)被測(cè)件所需檢測(cè)范圍由小到大設(shè)置至少5個(gè)檢測(cè)點(diǎn)，即采 用至少5個(gè)不同漏率的帶容積漏孔器，帶容積漏孔器的內(nèi)腔容積和被 測(cè)件的內(nèi)腔容積相等；
2) 將兩個(gè)已知不漏的被測(cè)件分別放入被測(cè)件密封容器和基準(zhǔn)件 密封容器內(nèi)，在放置被測(cè)件的密封容器上接入其中一個(gè)已知漏率的帶 容積漏孔器;
3) 利用差壓式密封品檢漏裝置對(duì)被測(cè)件密封容器和基準(zhǔn)件密封 容器進(jìn)行充壓或抽真空，并達(dá)到規(guī)定的測(cè)試壓力；
4) 利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行小漏率檢測(cè)通過差壓式密 封品檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓差；
5) 利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行大漏率檢測(cè)通過差壓式密 封品檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓差；
6) 分別將其余帶容積漏孔器接入被測(cè)件密封容器，重復(fù)3) 5) 操作，通過差壓式密封品檢漏裝置分別記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓 差，完成壓差與泄漏量關(guān)系曲線圖中的小漏率檢測(cè)曲線的繪制和大漏 率檢測(cè)曲線繪制。
本發(fā)明工作原理使用差壓式密封品檢漏裝置對(duì)密封品檢漏， 當(dāng)密封品不漏時(shí)，檢漏裝置的差壓傳感器不會(huì)產(chǎn)生壓差。在差壓氣密 檢漏裝置的兩個(gè)密封容器中放置已知不漏的兩個(gè)被測(cè)件，并將一個(gè)己 知漏率的帶容積漏孔器接入差壓氣密檢漏裝置的被測(cè)件密封容器上； 當(dāng)該檢漏裝置調(diào)整在小漏率檢測(cè)時(shí)，差壓傳感器上反應(yīng)的壓差值即小 漏率檢測(cè)壓差；當(dāng)該檢漏裝置調(diào)整在大漏率檢測(cè)時(shí)，差壓傳感器上反 應(yīng)的壓差值即大漏率檢測(cè)壓差；重復(fù)上述過程，用不同已知漏率的帶 容積漏孔器進(jìn)行檢測(cè)，即可得到一組漏率與壓差的對(duì)應(yīng)數(shù)據(jù)，根據(jù)這 些，應(yīng)數(shù)據(jù)即可在壓差與泄漏量對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線圖中分別繪出小漏率 檢^曲線和大漏率檢測(cè)曲線。
本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是l.原理科學(xué)、不需要復(fù)雜計(jì)算；2.操作簡(jiǎn)單實(shí) 用、易于實(shí)施；3.利用所繪曲線進(jìn)行檢測(cè)，準(zhǔn)確率較高。


附圖l:差壓式密封品檢漏裝置氣動(dòng)回路示意圖。 附圖2:壓差與泄漏量關(guān)系曲線圖。
圖l中l(wèi).氣源2.充壓閥 3.第一平衡閥4.第二平衡閥 5.第一配容容器6.第一大漏率檢測(cè)閥 7.差壓壓力傳感 器8.第二大漏率檢測(cè)閥9.第二配容容器 IO.被測(cè)件 ll.被測(cè)件密封容器12.基準(zhǔn)件 13.基準(zhǔn)件密封容器
14.帶容積漏孔器 具體實(shí)施方式
實(shí)施例 一種用漏孔法繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線的方法，采用 帶容積漏孔器在差壓式密封品檢漏裝置上進(jìn)行，被測(cè)件為電子芯片， 其內(nèi)腔容積為IO立方毫米。附圖1為該差壓式密封品檢漏裝置氣動(dòng)
回路示意圖，其由氣源l、充壓閥2、第一平衡閥3、第二平衡閥4、 第一配容容器5、第一大漏率檢測(cè)閥6、差壓壓力傳感器7、第二大 漏率檢測(cè)閥8、第二配容容器9、被測(cè)件IO、被測(cè)件密封容器ll、基 準(zhǔn)件12和基準(zhǔn)件密封容器13組成并通過管路連接。具體實(shí)施步驟如 下
1) 據(jù)被測(cè)件10所需檢測(cè)范圍由小到大設(shè)置5個(gè)漏率數(shù)量級(jí)為 10—2pa,mVs、 10—3Pa,m7s、 10_4Pa.m3/s、 10_5Pa.m3/s、 lO^Pa. m3/s的帶 容積漏孔器14，帶容積漏孔器14的內(nèi)腔容積和被測(cè)件10的內(nèi)腔容 積相等，均為IO立方毫米；
2) 將兩個(gè)己知不漏的被測(cè)件分別放入被測(cè)件密封容器11和基準(zhǔn) 件密封容器13內(nèi)，在放置被測(cè)件的密封容器11上接入一個(gè)漏率數(shù)量 級(jí)為10—2Pa. mVs的帶容積漏孔器14;
3) 利用差壓式密封品檢漏裝置對(duì)被測(cè)件密封容器11和基準(zhǔn)件密 封容器13進(jìn)行充壓，并達(dá)到10Spa的測(cè)試壓力；
4) 利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行小漏率檢測(cè)通過差壓式密 封品檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器7產(chǎn)生的壓差；
^5)利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行大漏率檢測(cè)通過差壓式密 封i4檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器7產(chǎn)生的壓差；
6)分別將其余四個(gè)漏率數(shù)量級(jí)為10—3Pa.m7s、 10—4Pa.m3/S、 10—5Pa.m3/s、 10_6Pa.m3/S的帶容積漏孔器14分別接入被測(cè)件密封容 器ll，重復(fù)3) 5)操作，通過差壓式密封品檢漏裝置分別記錄差 壓壓力傳感器7產(chǎn)生的壓差，完成壓差與泄漏量關(guān)系曲線圖中的小漏 率檢測(cè)曲線的繪制和大漏率檢測(cè)曲線繪制。
附圖2為根據(jù)上述檢測(cè)方法獲得的數(shù)據(jù)繪制的壓差與泄漏量關(guān) 系曲線圖。根據(jù)密封品的實(shí)際檢測(cè)結(jié)果即小漏率檢測(cè)壓差和大漏率檢 測(cè)壓差，利用該圖能準(zhǔn)確判定密封品的漏率。
權(quán)利要求
1.一種用漏孔法繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線的方法，其特征在于采用帶容積漏孔器在密封品檢漏裝置上進(jìn)行，帶容積漏孔器為帶有一個(gè)已知漏率的漏孔并具有固定內(nèi)腔容積的容器，其實(shí)施步驟如下1)據(jù)被測(cè)件所需檢測(cè)范圍由小到大設(shè)置至少5個(gè)檢測(cè)點(diǎn)，即采用至少5個(gè)不同漏率的帶容積漏孔器，帶容積漏孔器的內(nèi)腔容積和被測(cè)件的內(nèi)腔容積相等；2)將兩個(gè)已知不漏的被測(cè)件分別放入被測(cè)件密封容器和基準(zhǔn)件密封容器內(nèi)，在放置被測(cè)件的密封容器上接入其中一個(gè)已知漏率的帶容積漏孔器；3)利用差壓式密封品檢漏裝置對(duì)被測(cè)件密封容器和基準(zhǔn)件密封容器進(jìn)行充壓或抽真空，并達(dá)到規(guī)定的測(cè)試壓力；4)利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行小漏率檢測(cè)通過差壓式密封品檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓差；5)利用差壓式密封品檢漏裝置進(jìn)行大漏率檢測(cè)通過差壓式密封品檢漏裝置記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓差；6)分別將其余帶容積漏孔器接入被測(cè)件密封容器，重復(fù)3)～5)操作，通過差壓式密封品檢漏裝置分別記錄差壓壓力傳感器產(chǎn)生的壓差，完成壓差與泄漏量關(guān)系曲線圖中的小漏率檢測(cè)曲線的繪制和大漏率檢測(cè)曲線繪制。
全文摘要
一種用漏孔法繪制壓差與泄漏量關(guān)系曲線的方法，其特征在于使用帶容積漏孔器在密封品檢漏裝置上進(jìn)行，其實(shí)施步驟如下在放置被測(cè)件的密封容器上接入帶容積漏孔器；根據(jù)所需檢測(cè)范圍設(shè)置檢測(cè)點(diǎn)，用不同漏率的帶容積漏孔器分別調(diào)整已知漏率，通過差壓式密封品檢漏裝置中的差壓壓力傳感器測(cè)出對(duì)應(yīng)不同漏率下壓差的具體數(shù)值，分別完成壓差與泄漏量關(guān)系曲線圖中的小漏率檢測(cè)曲線和大漏率檢測(cè)曲線的繪制。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是1.原理科學(xué)、不需要復(fù)雜計(jì)算；2.操作簡(jiǎn)單實(shí)用、易于實(shí)施；3.利用所繪曲線進(jìn)行檢測(cè)，準(zhǔn)確率較高。
文檔編號(hào)G01M3/26GK101373163SQ20071005925
公開日2009年2月25日 申請(qǐng)日期2007年8月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月23日
發(fā)明者陳乃克 申請(qǐng)人:博益(天津)氣動(dòng)技術(shù)研究所有限公司