專利名稱：?jiǎn)螐埍∧さ娜毕輽z查裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及單張薄膜的缺陷檢查裝置。詳細(xì)地說(shuō)是涉及易于高精度地在整個(gè)薄膜面上光學(xué)地檢查有翹曲等變形的單張薄膜的缺陷的裝置。
背景技術(shù)：
偏光板、相位差板等的光學(xué)薄膜等，作為連續(xù)薄膜或單張薄膜而產(chǎn)品化，并以各自的狀態(tài)進(jìn)行缺陷檢查。
公知有在光學(xué)薄膜等透明薄膜上照射光，并接受其透過(guò)光，從而檢查薄膜的缺陷的方法(參照例如專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2)。
在利用輥一邊輸送薄膜一邊檢查缺陷的方法中，檢測(cè)樹(shù)脂板那樣的硬的片狀物時(shí)，或利用輥將連續(xù)的薄膜保持張緊狀態(tài)而檢查時(shí)，是沒(méi)有問(wèn)題的，但光學(xué)薄膜等柔軟的單張薄膜，由于周邊撓曲，或在輸送裝置上翹曲或下垂，使檢查缺陷的攝像機(jī)的焦點(diǎn)不對(duì)應(yīng)作為被檢查物的薄膜，往往漏掉缺陷。
作為矯正單張薄膜的變形而檢查的方法，雖然可考慮利用透明的樹(shù)脂板或玻璃板夾著該薄膜進(jìn)行檢查的方法、將周圍固定成框狀而進(jìn)行檢查的方法、吸附在吸附片上進(jìn)行檢查的方法或利用牽引工具牽引而進(jìn)行檢查的方法等，但存在夾入環(huán)境中的異物、不夠平坦、不能全面檢查、或矯正變形麻煩等問(wèn)題。
專利文獻(xiàn)1特開(kāi)平8-128968號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2特開(kāi)2001-349839號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供易于高精度地在整個(gè)薄膜面上光學(xué)地檢查有翹曲等變形的單張薄膜的缺陷的裝置。
本發(fā)明者們?yōu)榱私鉀Q上述課題而對(duì)單張薄膜的缺陷檢查裝置進(jìn)行了深入研究，其結(jié)果發(fā)現(xiàn)，通過(guò)將單張薄膜大致水平地插入一對(duì)送出輥，可抑制輸送的單張薄膜的前端部的翹曲或下垂，或通過(guò)在送出輥的前方設(shè)計(jì)由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥及下側(cè)的高度保持輥構(gòu)成的一對(duì)輥而使單張薄膜被大致水平地插入一對(duì)送出輥，其結(jié)果，單張薄膜可大致水平地在送出輥及接受輥之間輸送，從而可高精度地在單張薄膜的整個(gè)面上檢測(cè)缺陷，并最終完成了本發(fā)明。
即本發(fā)明，是邊輸送單張薄膜邊檢查缺陷的裝置，該單張薄膜的缺陷檢查裝置，在輸送單張薄膜的方向上依次配置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥及下側(cè)的高度保持輥構(gòu)成的一對(duì)輥、上下配置的一對(duì)送出輥及上下配置的一對(duì)接受輥，從而使單張薄膜水平地輸送，并在送出輥與接受輥之間上下地配置光源及攝像機(jī)，用于在單張薄膜上照射光，并接受其透過(guò)光而檢查缺陷。
采用本發(fā)明，可易于高精度地在整個(gè)薄膜面上光學(xué)地檢查有翹曲等變形的單張薄膜的缺陷。


圖1是表示本發(fā)明的單張薄膜缺陷檢查裝置的一例的剖面示意圖。
圖2是表示與送出輥有關(guān)的高度異常檢測(cè)傳感器的示意圖。
具體實(shí)施例方式
偏光板、相位差板、層疊它們等而構(gòu)成的光學(xué)薄膜等，大多作為裁成與使用它們的液晶顯示裝置的大小一致的單張薄膜而產(chǎn)品化并加以處理。在這樣的單張薄膜上，通常存在彎曲，雖然由于種類、大小、厚度或放置環(huán)境而使彎曲程度不同，但放置在平板上時(shí)可見(jiàn)約4～6mm的翹曲。并且將該薄膜的前端部從平板突出約30mm時(shí)，由于薄膜的彎曲狀態(tài)，其前端大約垂下約3～12mm。
如果要在透明平板上或輸送輥上檢查該單張薄膜，則單張薄膜下垂、卷邊或浮動(dòng)而使攝像機(jī)的焦點(diǎn)與薄膜不一致，往往不能檢查到缺陷。
但是，如果在能檢查到希望檢查的缺陷的焦點(diǎn)深度內(nèi)則容許稍許的薄膜變形。使用焦距為50mm的標(biāo)準(zhǔn)透鏡，而在缺陷像上容許有3～5μm左右的模糊時(shí)，光圈是4～5.6且有約1mm的焦點(diǎn)深度。即，通常，如果是1mm左右的翹曲或下垂，則可檢查出其缺陷。
通過(guò)將單張薄膜大致水平地插入上下配置的一對(duì)輥，可將單張薄膜的翹曲或下垂控制在1mm左右。為了將單張薄膜大致水平地插入一對(duì)輥，可通過(guò)在其前面配置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥及下側(cè)的高度保持輥構(gòu)成的一對(duì)輥而實(shí)現(xiàn)。
圖1是表示本發(fā)明的單張薄膜缺陷檢查裝置的一例的剖面示意圖。在輸送要進(jìn)行缺陷檢查的單張薄膜1的方向(空心箭頭所示)，依次配置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥4及下側(cè)的高度保持輥5構(gòu)成的一對(duì)輥、上下配置的一對(duì)送出輥2及上下配置的一對(duì)接受輥3，從而使單張薄膜水平地輸送。在送出輥與接受輥之間上下地配置光源6及攝像機(jī)7，用于在單張薄膜上照射光，并接受其透過(guò)光而檢查缺陷。
通過(guò)設(shè)置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥4及下側(cè)的高度保持輥5構(gòu)成的一對(duì)輥而可矯正單張薄膜1的浮動(dòng)或下垂，并且將單張薄膜1大致水平地從送出輥2向接受輥3輸送。
單張薄膜1利用輥夾持著輸送，并在送出輥2與接受輥3之間進(jìn)行缺陷檢查。
圖2是表示與送出輥有關(guān)的高度異常檢測(cè)傳感器的示意圖。在送出輥2的后方側(cè)部設(shè)置高度異常檢測(cè)傳感器8。當(dāng)利用該傳感器檢測(cè)出輸送的單張薄膜1的高度偏離設(shè)定值時(shí)，利用輥上下調(diào)整機(jī)構(gòu)(未圖示)上下調(diào)整輥，從而調(diào)整單張薄膜的高度。
該高度異常檢測(cè)傳感器及輥上下調(diào)整機(jī)構(gòu)也可同樣設(shè)置在接受輥3的前方側(cè)部，而上下調(diào)整接受輥。
作為送出輥、接受輥、浮動(dòng)矯正輥及高度保持輥的表面材質(zhì)，可舉出聚氨酯橡膠、氯丁橡膠·丁二烯橡膠、硅酮橡膠或樹(shù)脂，最好使用聚氨酯橡膠。最好使用表面硬度為40～100的材料。另外，最好通過(guò)在送出輥上組合粘著式的去塵輥，消除由環(huán)境異物導(dǎo)致的誤檢測(cè)。
送出輥及接受輥的直徑可以相同，也可不同，為了將薄膜的彈性變形設(shè)計(jì)到最小限度，輥的直徑小些為好，約5～30mm，最好是約10～25mm。
浮動(dòng)矯正輥及高度保持輥的直徑可以相同，也可不同，約5～30mm，最好是約5～20mm。因?yàn)榭s小浮動(dòng)矯正輥和高度保持輥構(gòu)成的夾持部與送出輥和接受輥構(gòu)成的夾持部之間的間隔，單張薄膜的變形較小，交接可靠，所以浮動(dòng)矯正輥及高度保持輥的直徑小于送出輥的直徑為好。
送出輥的外周部與接受輥的外周部的最短間隔，在約5～30mm的范圍小些為好。如果有約5mm的間隔即可進(jìn)行光的照射、接受。
浮動(dòng)矯正輥及/或高度保持輥的外周部與送出輥的外周部的最短間隔是約1～30mm，最好是約1～20mm。
實(shí)施例1如圖1所示，配置有浮動(dòng)矯正輥4、高度保持輥5、一對(duì)送出輥2及一對(duì)接受輥3。
浮動(dòng)矯正輥及高度保持輥都是在直徑15φmm的軸上卷繞2.5mm的硬度40的聚氨酯橡膠而成的直徑20φmm的輥；一對(duì)送出輥及一對(duì)接受輥也都是在直徑15φmm的軸上卷繞2.5mm的硬度40的聚氨酯橡膠而成的直徑20φmm的輥。
送出輥間的間隙、接受輥間的間隙設(shè)定在要檢查的單張薄膜的厚度以下。送出輥的外周部與接受輥的外周部的最短間隔設(shè)為5mm。又，浮動(dòng)矯正輥的外周部與送出輥的外周部的最短間隔設(shè)為3mm。
在送出輥與接受輥之間的下部配置光源(メタハラ傳送燈)，在上部配置CCD線路傳感器[SCANTEC(注冊(cè)商標(biāo))6000長(zhǎng)瀨產(chǎn)業(yè)(株)制造，像素5000]。
使用該裝置，輸送單張的疊層光學(xué)薄膜(構(gòu)成保護(hù)薄膜/偏光薄膜/相位差薄膜/隔離薄膜，大小310mm×385mm，厚度0.4mm)，并在整個(gè)薄膜面上進(jìn)行缺陷檢查。
送出輥與接受輥之間的薄膜的變形(翹曲、下垂)約1mm。不會(huì)漏掉30μm的缺陷。
又，也沒(méi)有發(fā)現(xiàn)保護(hù)薄膜或隔離薄膜的剝離。
權(quán)利要求
1.一種單張薄膜的缺陷檢查裝置，是一邊輸送單張薄膜一邊檢查缺陷的裝置，其特征在于在輸送單張薄膜的方向上依次配置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥及下側(cè)的高度保持輥構(gòu)成的一對(duì)輥、上下配置的一對(duì)送出輥及上下配置的一對(duì)接受輥，從而使單張薄膜水平地輸送，并在送出輥與接受輥之間上下地配置光源及攝像機(jī)，用于在單張薄膜上照射光，并接受其透過(guò)光而檢查缺陷。
2.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于送出輥的外周部與接受輥的外周部的最短間隔是約5～30mm。
3.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于浮動(dòng)矯正輥及/或高度保持輥的外周部與送出輥的外周部的最短間隔是約1～30mm。
4.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于送出輥及接受輥的直徑是5～30mm。
5.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于浮動(dòng)矯正輥及高度保持輥的直徑是5～30mm。
6.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于在送出輥的后方側(cè)部及/或接受輥的前方側(cè)部，具有高度異常檢測(cè)傳感器以及使送出輥及/或接受輥上下移動(dòng)的上下調(diào)整機(jī)構(gòu)。
7.如權(quán)利要求1所述的單張薄膜的缺陷檢查裝置，其特征在于輥的表面由硬度40～100的橡膠或樹(shù)脂構(gòu)成。
全文摘要
本發(fā)明提供易于高精度地在整個(gè)薄膜面上光學(xué)地檢查有翹曲等變形的單張薄膜的缺陷的裝置。本發(fā)明的裝置是一邊輸送單張薄膜一邊檢查缺陷的裝置，在輸送單張薄膜的方向上依次配置由上側(cè)的浮動(dòng)矯正輥及下側(cè)的高度保持輥構(gòu)成的一對(duì)輥、上下配置的一對(duì)送出輥及上下配置的一對(duì)接受輥，從而使單張薄膜水平地輸送，在送出輥與接受輥之間上下地配置光源及攝像機(jī)，用于在單張薄膜上照射光，并接受其透過(guò)光而檢查缺陷。
文檔編號(hào)G01N21/896GK1641342SQ20051000433
公開(kāi)日2005年7月20日 申請(qǐng)日期2005年1月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年1月16日
發(fā)明者桑原一 申請(qǐng)人:住友化學(xué)株式會(huì)社