專(zhuān)利名稱(chēng)：太陽(yáng)電池檢查裝置以及太陽(yáng)電池缺陷判定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢查太陽(yáng)電池單元(包含將太陽(yáng)電池單元連接成一排的串 (string)、并將多個(gè)串平行配置的太陽(yáng)電池面板等)的太陽(yáng)電池檢查裝置以及太陽(yáng)電池缺 陷判定方法。
背景技術(shù)：
作為太陽(yáng)能的利用方法，已知有硅型的太陽(yáng)電池。在太陽(yáng)電池的制造中，對(duì)于太陽(yáng) 電池是否具有目標(biāo)發(fā)電能力進(jìn)行的性能評(píng)價(jià)非常重要。作為一般的性能評(píng)價(jià)方法而言，進(jìn) 行的是對(duì)輸出特性的測(cè)量。輸出特性的測(cè)量是在光照射下，通過(guò)測(cè)定太陽(yáng)能電池的電流電壓特性作為光電轉(zhuǎn) 換特性來(lái)進(jìn)行的。作為光源優(yōu)選太陽(yáng)光，但是，太陽(yáng)光的強(qiáng)度因氣候而變化，因此，一般使用 太陽(yáng)能模擬器。在太陽(yáng)能模擬器中，代替太陽(yáng)光而使用氙燈或金屬鹵化物燈等。并且，若 長(zhǎng)時(shí)間點(diǎn)亮這些光源，則光量因溫度上升等而變化。因此，通過(guò)使用這些燈的閃光，將橫軸 設(shè)為電壓，將縱軸設(shè)為電流，并對(duì)收集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行標(biāo)圖，從而得到太陽(yáng)電池的輸出特性曲 線，并且，在輸出特性為一定值以上時(shí)，該太陽(yáng)電池為合格產(chǎn)品(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。作為與上述的太陽(yáng)能模擬器不同的方法，已有專(zhuān)利文獻(xiàn)2的方法。在該方法中提 出有這樣的方法，即，通過(guò)對(duì)多晶硅型的太陽(yáng)電池單元按正向施加電壓，電流正向流動(dòng)，產(chǎn) 生電致發(fā)光(EL)作用，從而根據(jù)發(fā)光狀態(tài)來(lái)判定太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣。通過(guò)觀察從太陽(yáng)電 池單元發(fā)出的EL光而可知電流密度分布，根據(jù)電流密度分布的不均勻的情況來(lái)判斷太陽(yáng) 電池單元的不發(fā)光部分為缺陷部分，若該缺陷部分的面積比預(yù)定的量少，則可判斷為具有 規(guī)定的發(fā)電能力。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2007-88419專(zhuān)利文獻(xiàn)2 :W0/2006/059615但是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2的方法中，不過(guò)是根據(jù)缺陷部分的面積比預(yù)定的量多還是少 來(lái)判斷太陽(yáng)電池的面板的優(yōu)劣，所以?xún)H是能夠判定其在當(dāng)前條件下是否適用，而不能夠詳 細(xì)得知太陽(yáng)電池面板的狀況到底如何，況且也沒(méi)有考慮到在長(zhǎng)期使用的情況下是否會(huì)有可 能出現(xiàn)問(wèn)題。太陽(yáng)電池由于在野外使用，所以使用環(huán)境苛亥lj。因此，存在不能避免使用帶來(lái)的劣 化的方面，即使制作時(shí)為合格品，使用后，其結(jié)果也導(dǎo)致發(fā)電效率降低。已有技術(shù)并沒(méi)有考 慮到這樣的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而研發(fā)的，其目的在于提供通過(guò)對(duì)一種太陽(yáng)電池流一定電 流而使太陽(yáng)電池EL發(fā)光，以能夠根據(jù)發(fā)光狀態(tài)來(lái)檢查判定太陽(yáng)電池的優(yōu)劣，并且對(duì)將來(lái)有 不合格可能性的裂痕(微痕)也能夠進(jìn)行優(yōu)劣判定的一種太陽(yáng)電池檢查裝置以及太陽(yáng)電池 缺陷判定方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的一實(shí)施方式例如具有以下的結(jié)構(gòu)。1、一種太陽(yáng)電池檢查裝置，其能夠判定太陽(yáng)電池內(nèi)的太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣，其特 征在于，具有在遮光空間對(duì)檢查對(duì)象太陽(yáng)電池供給一定電流的電源供給部件；對(duì)每個(gè)由 所述電源供給部件供給電源的所述檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單元攝影來(lái)自單元的發(fā)射光的攝影 部件；分析由所述攝影部件攝影到的單元攝影圖像的分析部件；以及可視顯示所述分析部 件的分析結(jié)果的顯示部件，其中，所述分析部件在強(qiáng)調(diào)處理由所述攝影部件攝影到的單元 攝影圖像后、通過(guò)分析單元攝影圖像的暗部的形狀來(lái)進(jìn)行單元的優(yōu)劣判斷。2、所述的太陽(yáng)電池檢查裝置的所述顯示部件還能夠強(qiáng)調(diào)顯示所述分析部件判定 為存在問(wèn)題的暗部。3、所述攝影部件還能夠連續(xù)攝影多個(gè)太陽(yáng)電池單元，所述分析部件還對(duì)所述攝影 部件攝影到的相鄰單元的間隔進(jìn)行優(yōu)劣判定。4、所述分析部件還通過(guò)進(jìn)行裂痕的檢測(cè)判定，而判斷將來(lái)有可能向不合格發(fā)展的 太陽(yáng)電池單元的狀態(tài)。5、所述分析部件除了單元攝影圖像的暗部的形狀以外，還能夠分析暗部的方向以 及位置，而進(jìn)行單元的狀態(tài)判斷。6、所述顯示部件還同時(shí)顯示由所述分析部件判定為存在問(wèn)題的暗部進(jìn)行強(qiáng)調(diào)顯 示的單元圖像、和由所述攝影部件攝影到的單元攝影圖像，以供肉眼判斷。7、在能夠判斷太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣的所述太陽(yáng)電池檢查裝置的太陽(yáng)電池缺陷判 定方法中，能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，即在遮光空間對(duì)檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單 元供給一定電流，并對(duì)每個(gè)基于被供給電源的所述檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單元攝影來(lái)自單元的 發(fā)射光，在強(qiáng)調(diào)處理所述攝影到的單元攝影圖像后、通過(guò)分析單元攝影圖像的暗部的形狀， 從而進(jìn)行單元的優(yōu)劣判斷。8、能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，即強(qiáng)調(diào)顯示在所述分析結(jié)果中被判 定為存在問(wèn)題的暗部。9、還能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，即所述太陽(yáng)電池單元的攝影對(duì)多 個(gè)太陽(yáng)電池單元進(jìn)行連續(xù)攝影，單元攝影圖像的暗部的判定既對(duì)相鄰的單元間隔進(jìn)行優(yōu)劣 判定，也對(duì)相鄰的單元的配設(shè)狀況進(jìn)行優(yōu)劣判定。10、還能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，S卩在所述攝影圖像的分析中，通 過(guò)進(jìn)行裂痕的檢測(cè)判定，而能夠判斷將來(lái)有可能向不合格發(fā)展的太陽(yáng)電池單元的狀態(tài)。11、還能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，S卩在所述攝影圖像的分析中，除 了單元攝影圖像的暗部的形狀以外，還分析暗部的方向以及位置，而進(jìn)行單元的狀態(tài)判斷。12、還能夠采用這樣的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，即能夠?qū)?qiáng)調(diào)顯示判定為存在問(wèn) 題的暗部的單元圖像和攝影到的單元攝影圖像同時(shí)地進(jìn)行可識(shí)別顯示。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的太陽(yáng)電池檢查裝置和太陽(yáng)電池缺陷判定方法，由于對(duì)在攝影到的單 元圖像中判定為存在問(wèn)題的暗部進(jìn)行強(qiáng)調(diào)并顯示于顯示部，檢查人員在顯示部通過(guò)肉眼， 就能夠簡(jiǎn)單且可靠地判定太陽(yáng)電池的好壞。另外，在本發(fā)明的太陽(yáng)電池檢查裝置和太陽(yáng)電池缺陷判定方法中，不僅太陽(yáng)電池 當(dāng)前的不合格部位，而且將來(lái)有可能成為不合格部位的部位也能夠簡(jiǎn)單且可靠地判定。由此，能夠進(jìn)一步提高在長(zhǎng)期使用太陽(yáng)電池的情況下的品質(zhì)和耐久性。


圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的一實(shí)施方式的例子的概略結(jié)構(gòu)的方塊圖。圖2是表示本實(shí)施方式的照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)的詳細(xì)結(jié)構(gòu)的圖。圖3是用于說(shuō)明本實(shí)施方式的太陽(yáng)電池檢查控制的流程圖。圖4是用于說(shuō)明圖3的攝影圖像處理S50的詳細(xì)情況的流程圖。圖5是表示本實(shí)施方式的太陽(yáng)電池單元的檢查結(jié)果的顯示例的圖。圖6是檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池的單元·串·矩陣的說(shuō)明圖。圖7是檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖8是通過(guò)本實(shí)施方式的檢查裝置測(cè)量的太陽(yáng)電池單元的說(shuō)明圖。圖9是檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板內(nèi)的單元的缺陷的樣式的說(shuō)明圖。圖10是檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板內(nèi)的單元的缺陷的樣式的說(shuō)明圖。圖11是檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板內(nèi)的單元的缺陷的樣式的說(shuō)明圖。圖12是多晶硅單元的攝影圖像的例子的圖。圖13是根據(jù)單元攝影圖像來(lái)判斷暗部為裂痕的方法的說(shuō)明圖。附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明10控制部20存儲(chǔ)器30基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔40輸入輸出控制部50照相機(jī)控制部70測(cè)量電流控制部75 探針(probe)80定位機(jī)構(gòu)控制部900外部存儲(chǔ)裝置100太陽(yáng)電池面板(檢查對(duì)象)500照相機(jī)800照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)810 暗室811檢查裝置的頂面812透明板830y軸導(dǎo)向部840x軸導(dǎo)向部832、842驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電動(dòng)機(jī)814導(dǎo)向部件
具體實(shí)施例方式以下，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式的太陽(yáng)電池檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的方塊圖。圖2是表示本實(shí)施方式的裝置的照相機(jī)和照相機(jī)驅(qū) 動(dòng)裝置的結(jié)構(gòu)的圖，(a)為平面圖，(b)為正面圖、(c)為右側(cè)面圖。圖3是用于說(shuō)明本實(shí) 施方式的太陽(yáng)電池檢查方法的流程圖，圖4是用于詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施方式的攝影圖像處理以 及優(yōu)劣判定的工序的流程圖，圖5是表示本實(shí)施方式的檢查結(jié)果的顯示例的圖，(a)為攝影 (原始)圖像，(b)為強(qiáng)調(diào)處理后的攝影圖像。圖6是為清楚作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池的內(nèi) 部的太陽(yáng)電池單元 串 矩陣而描繪的平面圖，圖7是表示太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)的剖面圖。圖8 是通過(guò)本實(shí)施方式的檢查裝置測(cè)量的太陽(yáng)電池單元的結(jié)構(gòu)的說(shuō)明圖。圖9、圖10、圖11是 作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池內(nèi)的單元的缺陷的樣式的說(shuō)明圖。圖12是多晶硅單元的EL攝影 圖像的例子的圖。圖13是根據(jù)單元攝影圖像判斷暗部為裂痕的方法的說(shuō)明圖。<1>檢查對(duì)象(太陽(yáng)電池單元、太陽(yáng)電池面板)首先，以本實(shí)施方式的檢查裝置處理的檢查對(duì)象100為例進(jìn)行說(shuō)明。如圖6的平面圖所示，在作為檢查對(duì)象100的太陽(yáng)電池面板中，方形的太陽(yáng)電池單 元28通過(guò)引線29形成多列串聯(lián)連接的串25，進(jìn)而通過(guò)引線將多列該串連接在一起地構(gòu)成。作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池，可以是一個(gè)太陽(yáng)電池單元28，也可以是直線連接多個(gè) 太陽(yáng)電池單元的串25的狀態(tài)，也可以是平行并排多列串而將太陽(yáng)電池單元配置成矩陣狀 的太陽(yáng)電池面板30。另外，檢查對(duì)象100的太陽(yáng)電池面板的剖面結(jié)構(gòu)如圖7所示，具有如下所述的結(jié) 構(gòu)，即，在配置于上側(cè)的背面件22和配置于下側(cè)的透明罩玻璃21之間，通過(guò)填充件23、24 夾著多列串25而形成三明治式的結(jié)構(gòu)。背面件22例如使用聚乙烯樹(shù)脂等材料。填充件23、24例如使用EVA樹(shù)脂(聚乙 烯-乙酸乙烯樹(shù)脂)等。為如上所述，串25是通過(guò)引線29連接在電極26、27之間的太陽(yáng) 電池單元28而形成的。這樣的太陽(yáng)電池面板如上所述，對(duì)結(jié)構(gòu)部件進(jìn)行層疊，再通過(guò)層疊裝置等在真空 的加熱狀態(tài)下對(duì)其施加壓力，使EVA發(fā)生交聯(lián)反應(yīng)，從而進(jìn)行層疊加工而得到。另外，關(guān)于方形的太陽(yáng)電池單元28的例子進(jìn)行說(shuō)明。圖8是從光接收面觀察太 陽(yáng)電池單元的平面圖。單元中，在薄板狀的硅半導(dǎo)體的表面印刷有用作取電電極的匯流條 (bus bar)。并且，在硅半導(dǎo)體的表面為了使電流高效地集中在匯流條上而在與匯流條垂直 的垂直方向上印刷有被稱(chēng)為“指狀元件”(finger)的細(xì)導(dǎo)體。另外，作為檢查對(duì)象100能夠以一般被稱(chēng)為薄膜式的太陽(yáng)電池為對(duì)象。在該薄膜式的代表性的結(jié)構(gòu)例中，在圖7中，在配置于下側(cè)的透明罩玻璃上預(yù)先 蒸鍍有由透明電極、半導(dǎo)體、背面電極構(gòu)成的發(fā)電單元。這樣的薄膜型太陽(yáng)電池面板是在下方配置玻璃，在玻璃上的太陽(yáng)電池單元之上覆 蓋填充件，進(jìn)而在填充件之上覆蓋背面件的結(jié)構(gòu)，同樣地，也能夠通過(guò)層疊加工而獲得。這樣，作為檢查對(duì)象100的薄膜式的太陽(yáng)電池面板僅僅是結(jié)晶類(lèi)單元變?yōu)楸徽翦?的發(fā)電單元，其基本的密封結(jié)構(gòu)與前述的結(jié)晶類(lèi)單元的情況相同。<2>太陽(yáng)電池單元的缺陷太陽(yáng)電池單元的缺陷根據(jù)其發(fā)生原因而在其形狀上存在特征。圖9表示在指狀元 件斷線了的情況下的暗部的特征。在指狀元件斷線了的情況下，像這樣沿著指狀元件的方 向出現(xiàn)長(zhǎng)方形的暗部。
圖10表示由發(fā)生原因引起的裂痕狀暗部的特征。在匯流條的近旁的區(qū)域M和區(qū) 域N上，存在因在匯流條上軟釬焊引線時(shí)產(chǎn)生的熱變形所產(chǎn)生的裂痕。該裂痕存在尺寸比 較小的傾向。相對(duì)于此，因?qū)盈B加工中的壓縮和運(yùn)送中、以及模塊制作工序中的處理帶來(lái)的負(fù) 載和沖擊力引起的裂痕并不限于匯流條的近旁、在區(qū)域L上也有發(fā)生。該裂痕比前述的軟 釬焊形成的裂痕有尺寸變大的傾向。另外，由于半導(dǎo)體具有硬且脆的物理特性，雖然這些裂 痕有折曲的部分，但在形狀上有比較單純的傾向。圖11表示具有一定面積的暗部的特征。根據(jù)因裂痕引起的半導(dǎo)體自身的分離情 況而暗部的形成方式也不同。如該圖的Cl部分所示，若因裂痕導(dǎo)致半導(dǎo)體完全分離，則在 匯流條的相反側(cè)出現(xiàn)具有一定面積的暗部。另外，如該圖的C2部分所示，若半導(dǎo)體的一部 分完全脫落，則由于脫落的部分不發(fā)光，所以該部分成為具有一定面積的暗部。另外，如該 圖的C3部分所示，半導(dǎo)體即使沒(méi)有完全脫落但自身分離，則從該裂痕到半導(dǎo)體的端部的部 分構(gòu)成為具有一定面積的暗部。這些具有一定面積的暗部具有暗部的內(nèi)表面的暗度比較穩(wěn) 定的傾向，少有明亮的部分和黑暗的部分復(fù)雜混雜的情況。在攝影圖像中，還印有除了缺陷以外的暗部的情況。圖12是多晶硅單元的攝影圖 像的例子。該圖像中，在單元的整個(gè)表面上分布的呈這樣復(fù)雜形狀的花紋狀的暗部并不是 缺陷，而是因結(jié)晶的交界所形成的暗部。在進(jìn)行單元的優(yōu)劣判定的情況下，需要判別這些實(shí) 際上不是缺陷的暗部和因缺陷所形成的暗部。因此，需要在后述的各種圖像處理和優(yōu)劣判 定基準(zhǔn)上花費(fèi)工夫。<3>本發(fā)明的太陽(yáng)電池檢查裝置的結(jié)構(gòu)在圖1的表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的太陽(yáng)電池檢查裝置的概略結(jié)構(gòu)的方塊圖中， 10是掌管本實(shí)施方式的整體控制并且執(zhí)行本實(shí)施方式的太陽(yáng)電池優(yōu)劣判定處理的控制部， 可由個(gè)人計(jì)算機(jī)系統(tǒng)構(gòu)成。20是存儲(chǔ)在控制部10執(zhí)行的程序和各種處理數(shù)據(jù)的存儲(chǔ)器，30 是登錄檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板的優(yōu)劣判定的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)的基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔。在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中登錄了每個(gè)檢查對(duì)象的種類(lèi)(單元/串/矩陣參照?qǐng)D6) 的設(shè)定值。被登錄的設(shè)定值如下所述(1)太陽(yáng)電池單元的發(fā)光條件(2)單元間隔(照相機(jī)的移動(dòng)間距)(3)串/矩陣時(shí)的單元數(shù)(縱、橫)(4)單元尺寸信息(匯流條位置、角的倒角、指狀元件的配置、傾角位置等)的設(shè)定 fn息其中，單元的尺寸信息設(shè)定可通過(guò)根據(jù)基本圖案的埋孔方式和圖形信息來(lái)設(shè)定的 方式的兩個(gè)方法來(lái)設(shè)定，在根據(jù)圖形信息設(shè)定的情況下，作為圖形信息對(duì)應(yīng)DXF形式，BMP 形式文檔，在埋孔方式的情況下，能夠選擇例如匯流條的根數(shù)為一根的情況、兩根的情況、 三根的情況等多個(gè)圖案。(5)圖像處理?xiàng)l件(6)攝影條件40為控制輸入各種指示輸入和優(yōu)劣判定結(jié)果的鍵盤(pán)400等的輸入輸出裝置的輸 入輸出控制部，50為控制攝影作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板100的圖像的太陽(yáng)電池?cái)z影照相機(jī)500的照相機(jī)控制部，60為控制顯示攝影到的圖像的顯示部600的顯示控制部，70為 經(jīng)由探針75對(duì)作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板100施加一定電流(規(guī)定的正向電流)的測(cè) 量電流控制部，75為對(duì)太陽(yáng)電池面板供給電流的探針，80為控制將照相機(jī)500運(yùn)送到并定 位在攝影位置的照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)800的定位機(jī)構(gòu)控制部。包括照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)800在內(nèi)的 照相機(jī)攝影部的詳細(xì)情況示于圖2中。在本實(shí)施方式的裝置中，從測(cè)量電流控制部70經(jīng)由探針75對(duì)太陽(yáng)電池面板100 按正向供給規(guī)定電流，從而使太陽(yáng)電池面板100作為EL (電致發(fā)光)光源起作用，通過(guò)太陽(yáng) 電池?cái)z影照相機(jī)500來(lái)攝影該發(fā)光狀態(tài)。由于攝影是對(duì)太陽(yáng)電池面板的各單元依次攝影， 所以通過(guò)照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)800使照相機(jī)位置對(duì)應(yīng)每個(gè)單元移動(dòng)。利用照相機(jī)500攝影的EL發(fā)光的發(fā)光光量為波長(zhǎng)從IOOOnm到1300nm的微弱光， 于是在暗室內(nèi)發(fā)光來(lái)攝影微弱的光。因此，作為照相機(jī)500，必須是對(duì)微弱光線具有良好感 度的照相機(jī)。本實(shí)施方式中，使用了濱松photonics制造的型號(hào)C9299-02 (Si-CCD照相機(jī))。接著，參照?qǐng)D2說(shuō)明本實(shí)施方式的照相機(jī)500和照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)800的結(jié)構(gòu)和控 制。圖2表示包含照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)800的照相機(jī)攝影部500 (圖中為太陽(yáng)電池?cái)z影照相機(jī)) 的詳細(xì)情況。照相機(jī)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)800在立方體的箱形暗室810的平坦的頂面811上，安裝有丙烯 樹(shù)脂等合成樹(shù)脂制或玻璃制的透明板812。透明板812以外的部分，由使光不能進(jìn)入暗室 810的遮光性材料構(gòu)成。透明板812和檢查對(duì)象100之間的間隙需要由遮光件適當(dāng)覆蓋。 不過(guò)，若將太陽(yáng)電池作為檢查對(duì)象100搭載于頂面811上后，由遮光機(jī)構(gòu)覆蓋整個(gè)含有檢查 對(duì)象100的頂面811，則頂面811也可以整體作為透明板。頂面以外的四個(gè)側(cè)面和底面全部 構(gòu)成遮光性的部件。在頂面811上設(shè)有在運(yùn)送檢查對(duì)象100時(shí)，對(duì)運(yùn)送進(jìn)行導(dǎo)向的一對(duì)導(dǎo) 向部件814。在暗室810內(nèi)具有照相機(jī)500和使該照相機(jī)500沿y軸方向移動(dòng)的y軸導(dǎo)向部 830。在y軸導(dǎo)向部830的一端具有電動(dòng)機(jī)832，通過(guò)該電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)，則能夠使照相機(jī)500沿 y軸方向進(jìn)退。y軸導(dǎo)向部830的兩端被支承于χ軸導(dǎo)向部840、840。并且，y軸導(dǎo)向部830通過(guò) 電動(dòng)機(jī)842和兩端的同步帶844、844，而能夠在χ軸導(dǎo)向部840、840上沿著χ軸方向進(jìn)退。在以上的結(jié)構(gòu)中，由χ軸導(dǎo)向部840、840、y軸導(dǎo)向部830、電動(dòng)機(jī)832、842、同步帶 844、844構(gòu)成了照相機(jī)500的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施例中，χ軸導(dǎo)向部840、840以及y軸導(dǎo)向 部830由電動(dòng)機(jī)和滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)。驅(qū)動(dòng)方式不限于上述實(shí)施方式，也能夠使用各種線性致 動(dòng)器。通過(guò)旋轉(zhuǎn)控制驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電動(dòng)機(jī)832、842，使照相機(jī)500移動(dòng)到χ-y平面內(nèi)的任意 位置，從而能夠攝影到檢查對(duì)象100的各個(gè)角落的整個(gè)面。作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池，可以是一個(gè)太陽(yáng)電池單元，也可以是如圖6所示那樣 直線連接多個(gè)太陽(yáng)電池單元的串的狀態(tài)，也可以是平行并列多個(gè)串而將太陽(yáng)電池單元配置 成矩陣狀的太陽(yáng)電池面板。利用照相機(jī)500的攝影，也可以是對(duì)于每一個(gè)太陽(yáng)電池單元進(jìn) 行攝影，也可以對(duì)于每多個(gè)太陽(yáng)電池單元進(jìn)行攝影，也可以對(duì)于太陽(yáng)電池面板整體進(jìn)行攝影。作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板100是將太陽(yáng)電池單元配置成一列并電氣連接的
9串平行并列多個(gè)，而將太陽(yáng)電池單元縱橫配置成矩陣狀的結(jié)構(gòu)。并且，如圖7所示，在最下 側(cè)配置透明的玻璃板，接著，層疊有作為填充件的EVA(乙烯-乙酸乙烯酯)，其次為太陽(yáng)電 池單元，進(jìn)而為EVA，在上側(cè)配置樹(shù)脂制的背承板(back sheet)。將它們?cè)趯盈B裝置中在真 空的加熱狀態(tài)下施加壓力，使EVA交聯(lián)反應(yīng)以層疊形成積層結(jié)構(gòu)。從層疊裝置運(yùn)送出的太 陽(yáng)電池面板接著被傳送帶等運(yùn)送到本發(fā)明的太陽(yáng)電池的檢查裝置。被運(yùn)送來(lái)的太陽(yáng)電池面 板被在導(dǎo)向部件814、814之間引導(dǎo)，到達(dá)暗室810的上方。如圖2所示，到達(dá)暗室810之上的太陽(yáng)電池面板100使透明的玻璃板朝下而在暗 室810的透明板812之上停止，與探針75連接并與測(cè)量電流控制部70連接。由于檢查對(duì) 象100比透明板812小，所以光從周?chē)M(jìn)入暗室內(nèi)，從而暗室810的頂面整體被未圖示的遮 光機(jī)構(gòu)從檢查對(duì)象100之上覆蓋。另外，透明板812和測(cè)量對(duì)象100之間的間隙需要被遮 光件適當(dāng)覆蓋。對(duì)于遮光機(jī)構(gòu)，在上面已經(jīng)說(shuō)明了覆蓋暗室810的全部頂面的方案，但是，在太陽(yáng) 電池面板的情況下，背側(cè)的樹(shù)脂制的背承板是不透明的，遮光性很充分。另外，暗室810的 上表面811除透明板812以外皆由遮光性的部件構(gòu)成。因此，檢查對(duì)象100比透明板812 大，在透明板812整體被檢查對(duì)象100覆蓋時(shí)，則不需要遮光板。但是，若檢查對(duì)象100比透明板小，則由于光從間隙進(jìn)入暗室810內(nèi)，所以需要由 遮光機(jī)構(gòu)覆蓋。覆蓋的范圍最低僅是能夠在透明板812和測(cè)量對(duì)象100之間形成鏡框狀的 間隙。因此，遮光機(jī)構(gòu)最低只要具有覆蓋該間隙的大小即可。向檢查對(duì)象100從測(cè)量電流控制部70流入正向的電流。檢查對(duì)象100由于EL發(fā) 光，所以由照相機(jī)500攝影。通過(guò)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的電動(dòng)機(jī)832、842的旋轉(zhuǎn)控制，照相機(jī)500對(duì)每一個(gè)以矩陣狀配置 在太陽(yáng)電池面板上的太陽(yáng)電池單元進(jìn)行攝影，將圖像數(shù)據(jù)輸送給由未圖示的個(gè)人計(jì)算機(jī)等 構(gòu)成的圖像處理裝置。圖像處理裝置對(duì)從各太陽(yáng)電池單元的圖像未發(fā)光的部分(暗部或陰 影)進(jìn)行讀取并分析，判斷各太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣，根據(jù)關(guān)于全部的太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣 結(jié)果來(lái)判斷太陽(yáng)電池面板整體的優(yōu)劣。本實(shí)施方式中，可以不在特別的暗室內(nèi)檢查太陽(yáng)電池，而如圖2所示，載置于簡(jiǎn)單 機(jī)構(gòu)的裝置中即可。另外，本實(shí)施方式中，僅具有圖2所示的機(jī)構(gòu)和計(jì)算機(jī)系統(tǒng)即足夠，因 此，具有以下的長(zhǎng)處。在太陽(yáng)電池面板的層疊加工等通常的加工工序中，一般使太陽(yáng)電池面板的玻璃面 朝下運(yùn)送。該檢查裝置由于能夠使太陽(yáng)電池的光接收面作為下側(cè)而載置于暗室的頂面811 上，所以不需要翻轉(zhuǎn)的動(dòng)作。因此，在太陽(yáng)電池面板等制造工序中能夠容易配置。<4>太陽(yáng)電池面板的檢查流程以下，參照?qǐng)D3的流程圖，說(shuō)明利用具有以上結(jié)構(gòu)的本實(shí)施方式的檢查裝置對(duì)太 陽(yáng)電池面板進(jìn)行缺陷檢查的方法。首先，在步驟S 1中，在圖2所示的暗室810的頂面811上定位配置作為檢查對(duì)象 100的太陽(yáng)電池面板。接著，在步驟S3中，在載置了的檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板的端子部連 接探針75，從而能夠由測(cè)量電流控制部70施加電流。在接下來(lái)的步驟S5中，控制部10控制定位機(jī)構(gòu)控制部80，使照相機(jī)500定位在太 陽(yáng)電池面板的最初攝影位置上。在步驟S7中，控制測(cè)量電流控制部70，對(duì)作為檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板100施加規(guī)定的正向電流而使其EL發(fā)光。發(fā)光條件(通電電流值、通電時(shí)間 等)按照各檢查對(duì)象預(yù)先設(shè)定，事先登錄到基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中。另外，根據(jù)單元的特性不 同，以單一的條件有可能發(fā)生EL發(fā)光過(guò)多或發(fā)光不足，因此在本實(shí)施方式中，對(duì)于一個(gè)攝 影條件，可以設(shè)定三組發(fā)光條件。這樣，通過(guò)事先設(shè)定多個(gè)發(fā)光條件，在執(zhí)行攝影圖像處理時(shí)，當(dāng)判斷為攝影結(jié)果不 良好時(shí)，可以根據(jù)其狀況變更發(fā)光條件，再次從步驟S7的處理起進(jìn)行再執(zhí)行。以下的說(shuō)明 中，省略關(guān)于再執(zhí)行的說(shuō)明。然后，在步驟SlO中，控制部10控制照相機(jī)控制部50，由照相機(jī)500攝影EL發(fā)光 的太陽(yáng)電池面板單元，并讀取攝影圖像，例如寫(xiě)入存儲(chǔ)器20和外部存儲(chǔ)裝置900的規(guī)定區(qū) 域。在接下來(lái)的步驟S12中，控制顯示控制部60，將之前攝影到的原始圖像從存儲(chǔ)器 20讀出而顯示于顯示部600?？刂撇?0對(duì)步驟S50所示的攝影圖像進(jìn)行圖像處理，并進(jìn)行 攝影圖像信息的分析處理。步驟S50的缺陷的判斷方法等詳細(xì)情況在<5>中后述。然后， 在步驟S16中，根據(jù)步驟S50的圖像處理結(jié)果，將強(qiáng)調(diào)缺陷部分的圖像經(jīng)由顯示控制部60 顯示于顯示部600。圖像的強(qiáng)調(diào)處理的方法在<8>中后述。另外，步驟S18是檢查人員對(duì)強(qiáng)調(diào)顯示后的圖像進(jìn)行手動(dòng)判定的工序，其詳細(xì)情 況在<7>中后述。在步驟S20中，控制部10將單元的判定結(jié)果保存在例如外部存儲(chǔ)裝置900中。接著，在步驟S22中，控制部10將分給每個(gè)檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板的單元的序 列號(hào)進(jìn)行一個(gè)加計(jì)(count up)(步進(jìn))。然后，在接下來(lái)的步驟S24中，控制部10調(diào)查加計(jì) 了的序列號(hào)，調(diào)查對(duì)檢查對(duì)象的太陽(yáng)電池面板的全部單元的攝影和判定處理是否結(jié)束。在 對(duì)全部的單元的處理沒(méi)有結(jié)束的情況下進(jìn)入步驟S30，對(duì)定位機(jī)構(gòu)控制部80輸出指示，控 制照相機(jī)定位機(jī)構(gòu)800，將照相機(jī)500移動(dòng)定位在下一個(gè)單元攝影位置。然后，進(jìn)入步驟S7, 對(duì)下一個(gè)單元進(jìn)行攝影處理和判定處理。另一方面，在步驟S24中，當(dāng)對(duì)全部的單元的判定處理結(jié)束的情況下進(jìn)入步驟 S26，如下進(jìn)行綜合判定。之后，確認(rèn)各單元彼此間隔等，將綜合判定作為太陽(yáng)電池面板整體 是否能夠構(gòu)成合格品的判定結(jié)果寫(xiě)入例如外部存儲(chǔ)裝置900的規(guī)定區(qū)域。然后，結(jié)束對(duì)一 個(gè)太陽(yáng)電池面板的綜合判定處理。<5>S50攝影圖像的詳細(xì)說(shuō)明接著，參照?qǐng)D4、詳細(xì)說(shuō)明圖3中步驟S50所示的攝影圖像處理。圖像處理首先對(duì)攝影到的單元圖像提取光量少的區(qū)域。接著，將提取的光量少的 區(qū)域或形狀根據(jù)圖9、圖10、圖11的太陽(yáng)電池單元的缺陷模式進(jìn)行圖像處理。圖像處理?xiàng)l 件登錄在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中，依次進(jìn)行以下的處理。首先，在步驟S52中，執(zhí)行定標(biāo)(scaling)處理。因單元的特性不同，整體的發(fā)光 量有所不同。定標(biāo)處理是將最明亮的部分規(guī)格化為某一亮度，調(diào)整圖像整體的亮度以能夠 以更恒定的條件進(jìn)行比較研究的處理。接著，在步驟S54中，執(zhí)行單元區(qū)域提取處理。該處理是將太陽(yáng)電池單元的外周 形狀與預(yù)先設(shè)定并登錄在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中的單元的尺寸信息對(duì)照來(lái)進(jìn)行自動(dòng)計(jì)算的處 理。因此，即使單元的位置以及角度存在偏差，也能夠準(zhǔn)確地求得單元的外周形狀。
在接下來(lái)的步驟S56中，進(jìn)行匯流條排除處理，即進(jìn)行從攝影圖像中排除匯流條 區(qū)域而能夠進(jìn)行單元的優(yōu)劣判定這樣的圖像處理。在太陽(yáng)電池單元上設(shè)置匯流條，與預(yù)先 設(shè)定在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中的單元的尺寸信息對(duì)照而進(jìn)行自動(dòng)計(jì)算，來(lái)求出匯流條區(qū)域，從 用于對(duì)單元進(jìn)行優(yōu)劣判定的區(qū)域排除。因此，即使單元的位置以及角度存在偏差，也能夠準(zhǔn) 確地求得匯流條區(qū)域。在接下來(lái)的步驟S58中，進(jìn)行明暗修正處理。由于在照相機(jī)500上安裝的透鏡的 特性，從而總是中心明亮而越向邊上越暗。由此，通過(guò)該處理，可對(duì)基于照相機(jī)的透鏡特性 的亮度變化進(jìn)行修正。接著，在步驟S60中，進(jìn)行缺損檢測(cè)處理。缺損檢測(cè)處理是將在單元周邊部能夠微 弱看到的面積的暗部中具有某一面積以上的暗部作為缺損提取的處理。另外，是否是陰影 的判定以相對(duì)于周邊的亮度的降低比例作為閾值來(lái)判定。這在以后的各處理中都是一樣 的。缺陷導(dǎo)致的缺損的暗部，如圖11所示，與周邊的明亮部分相比比較穩(wěn)定且存在變 暗的傾向。相對(duì)于此，如圖12所示，缺陷以外的原因造成的暗部中復(fù)雜地混有黑暗的部分 和明亮的部分。對(duì)于這樣的復(fù)雜地混有明亮部分和黑暗部分的圖像實(shí)施平均化亮度分布的處理， 則明亮部分和黑暗部分之差縮小，界限消除。相對(duì)于此，在缺陷導(dǎo)致的缺損中，即使進(jìn)行同 樣的平均化處理也會(huì)殘留明亮部分和黑暗部分的界限。若檢測(cè)該界限，則能夠容易提取缺 損部分。在生成用于強(qiáng)調(diào)顯示判定結(jié)果的強(qiáng)調(diào)圖像時(shí)，對(duì)判定為欠缺的暗部可以實(shí)施賦予 與判定結(jié)果對(duì)應(yīng)的顏色、進(jìn)行顯示等的上述步驟S16能夠?qū)崿F(xiàn)的圖像強(qiáng)調(diào)顯示處理。接著，在步驟S62中，進(jìn)行指狀元件斷線檢測(cè)處理。該處理是在單元內(nèi)部具有能夠 微弱看到面積的陰影狀的部分中具有某一面積以上的部分作為指狀元件斷線檢測(cè)的處理。 該處理中也能夠進(jìn)行與缺損檢測(cè)中相同的亮度的平均化處理，從而提取穩(wěn)定的暗部。另外， 指狀元件斷線的暗部如圖9所示，具有沿著指狀元件的方向顯示出長(zhǎng)方形的形狀的特征。 因此，將與預(yù)先設(shè)定在基準(zhǔn)數(shù)據(jù)文檔30中的指狀元件的方向一致且形狀與長(zhǎng)方形近似的 暗部作為指狀元件斷線來(lái)判定。在生成用于強(qiáng)調(diào)顯示判定結(jié)果的強(qiáng)調(diào)圖像時(shí)，對(duì)判定為指狀元件斷線的暗部可以 實(shí)施賦予與判定結(jié)果對(duì)應(yīng)的顏色、進(jìn)行顯示等的上述步驟S16能夠?qū)崿F(xiàn)的圖像強(qiáng)調(diào)顯示處理。接著，在步驟S64中，進(jìn)行裂痕檢測(cè)處理。在此，該處理為將除指狀元件斷線以外 能夠微弱看到的線狀的暗部中具有一定長(zhǎng)度以上的暗部作為裂痕檢測(cè)的處理。裂痕的暗部 如圖10所示，具有一部分折曲的部分，但構(gòu)成為比較單純的形狀。以下，關(guān)于判斷裂痕的方 法參照?qǐng)D13進(jìn)行說(shuō)明。裂痕的暗部構(gòu)成為如下所述的比較單純的線段的集合。在裂痕檢測(cè)的處理中，將 裂痕引起的暗部(I) (II) (III)識(shí)別為一個(gè)裂痕，將這些長(zhǎng)度合計(jì)作為該裂痕的長(zhǎng)度。僅有 裂痕引起的暗部的情況下，僅單純地通過(guò)觀察各個(gè)暗部的連接處(接合點(diǎn))是否已經(jīng)連接 (接合)，就能夠判定各個(gè)暗部是不是一個(gè)暗部的一部分。如在“<2>太陽(yáng)電池單元的缺陷”中所述的那樣，攝影圖像有可能存在裂痕引起的暗部以外的暗部。當(dāng)其與裂痕引起的暗部的結(jié)合點(diǎn)重合的情況下，僅通過(guò)對(duì)線的接合進(jìn)行 觀察，無(wú)法準(zhǔn)確把握裂痕整體的情況。裂痕引起的暗部如圖13所示，構(gòu)成為比較單純的形狀(接合點(diǎn)以鈍角折曲)，因 此，認(rèn)為各線段彼此的方向較接近。相對(duì)于此，裂痕以外的暗部形成隨機(jī)方向，因此，與裂痕 的方向一致的概率較低。在判定在暗部的接合點(diǎn)連接的下一個(gè)暗部時(shí)，如上所述，將與目前為止的暗部方 向接近的暗部?jī)?yōu)先判定為下一個(gè)暗部，則能夠容易把握裂痕的整體。在生成用于強(qiáng)調(diào)顯示判定結(jié)果的強(qiáng)調(diào)圖像時(shí)，對(duì)判定為裂痕的暗部可以實(shí)施賦予 與判定結(jié)果對(duì)應(yīng)的顏色、進(jìn)行顯示等的上述步驟S16能夠?qū)崿F(xiàn)的圖像強(qiáng)調(diào)顯示處理。然后，在步驟S66中，將由各檢測(cè)處理提取的“缺損”、“指狀元件斷線”、“裂痕”各 自的大小(面積、長(zhǎng)度)、個(gè)數(shù)與預(yù)先設(shè)定的閾值進(jìn)行比較，判定單元的優(yōu)劣。然后，在接下 來(lái)的步驟S68中輸出判定結(jié)果。如在“<2>太陽(yáng)電池單元的缺陷”中所述的那樣，攝影圖像有可能存在裂痕引起的 暗部以外的暗部。若降低判定為裂痕的判定基準(zhǔn)(識(shí)別為裂痕的裂痕長(zhǎng)度的閾值)，則裂痕 以外的暗部也有可能被誤認(rèn)為裂痕。因此，通過(guò)以下的判定基準(zhǔn)來(lái)判定裂痕。作為步驟S66的綜合判定處理的判定基準(zhǔn)，準(zhǔn)備與單元的區(qū)域特性對(duì)應(yīng)的三種基 準(zhǔn)。如圖10所示，將太陽(yáng)電池單元分開(kāi)為匯流條附近的區(qū)域(區(qū)域M、區(qū)域N)和除此之外 的區(qū)域L。第一判定基準(zhǔn)適用于區(qū)域M和區(qū)域N以外的區(qū)域L，為了排除裂痕以外的暗部而 準(zhǔn)確進(jìn)行提取，優(yōu)先限于對(duì)尺寸大的暗部進(jìn)行提取。第二判定基準(zhǔn)適用于區(qū)域M，裂痕將在 對(duì)匯流條上軟釬焊引線時(shí)產(chǎn)生的尺寸小的也包含在內(nèi)而進(jìn)行提取。第三判定基準(zhǔn)適用于區(qū) 域N，與第二判定基準(zhǔn)相同。在第一判定基準(zhǔn)中，通過(guò)以更長(zhǎng)的長(zhǎng)線狀的暗部作為裂痕，從而 排除裂痕以外的暗部，能夠更準(zhǔn)確地提取裂痕。在第二和第三判定基準(zhǔn)中，以短線狀的暗部 作為裂痕，從而即使小尺寸的裂痕也能夠提取。在單元優(yōu)劣的自動(dòng)判定處理中，首先判定“缺損”、“指狀元件斷線”、“裂痕”的有 無(wú)。當(dāng)沒(méi)有這些時(shí)為合格品。當(dāng)被檢查出時(shí)，以被檢測(cè)出的“缺損”、“指狀元件斷線”、“裂 痕”的信息為基礎(chǔ)將單元的優(yōu)劣進(jìn)行分級(jí)。分級(jí)基于以下的項(xiàng)目進(jìn)行判定。關(guān)于(1)被檢測(cè)出的“缺損”的面積合計(jì)、(2)被 檢測(cè)出的“指狀元件斷線”的面積合計(jì)、(3)被檢測(cè)出的“裂痕”的長(zhǎng)度合計(jì)這三個(gè)項(xiàng)目，與 預(yù)先設(shè)定的閾值進(jìn)行比較，來(lái)決定每個(gè)項(xiàng)目的級(jí)別。級(jí)別例如形成A、B、C、D、E這五個(gè)級(jí)別， A為最好的級(jí)別，E為最低的級(jí)別。判定為存在缺陷的單元的級(jí)別被分類(lèi)到作為自動(dòng)判定的 最低級(jí)別即E級(jí)別。單元的級(jí)別在規(guī)定級(jí)別以下的情況下被判定為不合格(NG)。該規(guī)定級(jí) 別能夠任意設(shè)定。<6>自動(dòng)判定S26然后，在檢查對(duì)象為單元單體的情況下，單元的判定結(jié)果直接作為產(chǎn)品的綜合判 定結(jié)果。另一方面，檢查對(duì)象為串、矩陣的情況下，按照以下順序進(jìn)行作為產(chǎn)品的優(yōu)劣的自 動(dòng)判定。雖然以各單元的判定基準(zhǔn)為基礎(chǔ)進(jìn)行判定，但是仍根據(jù)被分級(jí)的各單元的級(jí)別各 自的單元個(gè)數(shù)進(jìn)行綜合判斷。例如，被設(shè)定的級(jí)別以下的單元的個(gè)數(shù)為設(shè)定以上的情況下， 判斷為不合格。設(shè)定判斷這樣的基準(zhǔn)等例如，在C級(jí)別以下為5個(gè)以上，D級(jí)別以下為3
13個(gè)以上，E級(jí)別以下為1個(gè)以上的任一種情況下，產(chǎn)品的優(yōu)劣判定為不合格。<7>S18檢查人員的手動(dòng)判定在本實(shí)施方式的太陽(yáng)電池缺陷檢查裝置中，具有分析攝影圖像并將判定為存在問(wèn) 題的暗部在其顯示部強(qiáng)調(diào)顯示的功能。還能夠停止該太陽(yáng)電池缺陷檢查裝置的自動(dòng)判定， 在圖3的S18中，檢查人員使用該功能觀察顯示部進(jìn)行手動(dòng)判定。檢查人員進(jìn)行手動(dòng)判定 的情況下，如下進(jìn)行。在圖3的步驟S18中，檢查人員通過(guò)觀察 強(qiáng)調(diào)顯示的圖像進(jìn)行優(yōu)劣判定，并將判定 結(jié)果的指示通過(guò)鍵盤(pán)400輸入。另外，在顯示部600為觸摸屏的情況下，也可以通過(guò)觸摸顯 示部600的顯示畫(huà)面來(lái)進(jìn)行指示輸入。本實(shí)施方式的檢查裝置中，為了使檢查人員可通過(guò)確認(rèn)顯示部的攝影圖像而進(jìn)行 優(yōu)劣判斷，判定功能的“有效/無(wú)效”、自動(dòng)判定功能的“有效/無(wú)效”，手動(dòng)判定功能的“有 效/無(wú)效”可以手動(dòng)設(shè)定。檢查人員對(duì)串、矩陣產(chǎn)品進(jìn)行檢查，當(dāng)檢查人員判斷全部單元判 定結(jié)束時(shí)，輸入“產(chǎn)品判定完成”按鍵，進(jìn)行下一個(gè)太陽(yáng)電池面板的檢查。本實(shí)施方式的強(qiáng)調(diào)步驟S12的原始圖像和步驟S16的缺陷部分的強(qiáng)調(diào)判定圖像的 例子如圖5所示。圖5(A)為原始圖像，⑶為強(qiáng)調(diào)顯示的判定圖像。例如，檢查人員進(jìn)行 手動(dòng)判定的情況下，觀察比較這些圖像進(jìn)行判斷，從而能夠更容易且可靠地判別單元攝影 圖像的優(yōu)劣。<8>S16強(qiáng)調(diào)圖像處理所謂“強(qiáng)調(diào)上述的步驟S16的判定圖像的缺陷部分的圖像”是指根據(jù)以上說(shuō)明的 分析處理中分析攝影圖像的暗部的結(jié)果、除去與匯流條部分等本來(lái)不發(fā)光的部分對(duì)應(yīng)的暗 部、通常必須EL發(fā)光的部分作為暗部識(shí)別后，構(gòu)成以下的強(qiáng)調(diào)圖像。(1)所涉及的部分在上述的判定處理中，判定為缺陷導(dǎo)致的缺損的暗部的情況下， 例如在圖5的左端部附近所示的暗部，以能夠?qū)⑴卸榘挡康乃胁糠秩菀着c周邊部分區(qū) 分的亮度(參照?qǐng)D5(b) I)顯示。在能夠以彩色顯示的情況下，優(yōu)選將所涉及的暗部以特定 的顏色、例如以黃色等來(lái)顯示。(2)所涉及的部分在上述的判定處理中，判定為指狀元件斷線的情況下，例如在圖 5的中央稍向上部所示的部分，以判定為指狀元件斷線的暗部為中心的一定寬度的區(qū)域容 易與周邊部分區(qū)分的亮度(參照?qǐng)D5(b)II)顯示。在能夠以彩色顯示的情況下，優(yōu)選將所 涉及的暗部以特定的顏色、例如黃綠色等來(lái)顯示。(3)所涉及的部分在上述的判定處理中，判定為裂痕所致的暗部的情況下，例如在 圖5的比左側(cè)中央稍向下側(cè)所示的部分，以作為具有以所涉及的部分為中心的一定寬度的 線容易與其他部分區(qū)分的亮度(參照?qǐng)D5(b)III)顯示。在能夠以彩色顯示的情況下，優(yōu)選 將所涉及的暗部以特定的顏色、例如紅色等來(lái)顯示。在所涉及的部分中，沒(méi)有出現(xiàn)該暗部的原因而造成在其他周邊部分顯現(xiàn)缺陷的暗 部，但是，經(jīng)長(zhǎng)時(shí)間使用，存在該暗部擴(kuò)大而導(dǎo)致在其它周邊部分產(chǎn)生缺陷的可能性。由于 將所涉及的部分以一定寬度的線來(lái)顯示，所以能夠容易識(shí)別該部分為攝影圖像的哪一部 分。要判定優(yōu)劣的人員通過(guò)確認(rèn)攝影圖像和該強(qiáng)調(diào)圖像兩者的圖像，通過(guò)解析結(jié)果而能夠 容易且可靠地確認(rèn)判定為存在問(wèn)題的攝影圖像的部位。
權(quán)利要求
一種太陽(yáng)電池檢查裝置，其能夠判定太陽(yáng)電池內(nèi)的太陽(yáng)電池單元的優(yōu)劣，其特征在于，具有電源供給部件，其在遮光空間對(duì)檢查對(duì)象太陽(yáng)電池供給一定電流；攝影部件，其對(duì)每個(gè)由所述電源供給部件供給電源的所述檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單元攝影來(lái)自單元的發(fā)射光；分析部件，其分析由所述攝影部件攝影到的單元攝影圖像；顯示部件，其可視顯示所述分析部件的分析結(jié)果，其中，所述分析部件在強(qiáng)調(diào)處理由所述攝影部件攝影到的單元攝影圖像后、通過(guò)分析單元攝影圖像的暗部的形狀來(lái)進(jìn)行單元的優(yōu)劣判斷。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)電池檢查裝置，其特征在于， 所述顯示部件強(qiáng)調(diào)顯示所述分析部件判定為存在問(wèn)題的暗部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽(yáng)電池檢查裝置，其特征在于， 所述攝影部件對(duì)多個(gè)太陽(yáng)電池單元進(jìn)行連續(xù)攝影，所述分析部件還對(duì)所述攝影部件攝影到的相鄰單元的間隔進(jìn)行優(yōu)劣判定。
4.根據(jù)權(quán)利要求1 3中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池檢查裝置，其特征在于，所述分析部件通過(guò)進(jìn)行裂痕的檢測(cè)判定，而判斷將來(lái)有可能向不合格發(fā)展的太陽(yáng)電池 單元的狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池檢查裝置，其特征在于，所述分析部件除了單元攝影圖像的暗部的形狀以外，還分析暗部的方向及位置，而進(jìn) 行單元的狀態(tài)判斷。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池檢查裝置，其特征在于，所述顯示部件同時(shí)顯示由所述分析部件判定為存在問(wèn)題的暗部進(jìn)行強(qiáng)調(diào)顯示的單元 圖像、和由所述攝影部件攝影到的單元攝影圖像，以供肉眼判斷。
7. 一種太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其是權(quán)利要求1 6中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池檢查裝 置的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于，在遮光空間對(duì)檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單元供給一定電流，并對(duì)每個(gè)基于被供給電源的所述 檢查對(duì)象太陽(yáng)電池單元攝影來(lái)自單元的發(fā)射光，在強(qiáng)調(diào)處理所述攝影到的單元攝影圖像后、通過(guò)分析單元攝影圖像的暗部的形狀，從 而進(jìn)行單元的優(yōu)劣判斷。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于， 強(qiáng)調(diào)顯示在所述分析結(jié)果中被判定為存在問(wèn)題的暗部。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于， 所述太陽(yáng)電池單元的攝影對(duì)多個(gè)太陽(yáng)電池單元進(jìn)行連續(xù)攝影，單元攝影圖像的暗部的判定既對(duì)相鄰的單元間隔進(jìn)行優(yōu)劣判定，也對(duì)相鄰的單元的配 設(shè)狀況進(jìn)行優(yōu)劣判定。
10.根據(jù)權(quán)利要求7 9中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于，在所述攝影圖像的分析中，通過(guò)進(jìn)行裂痕的檢測(cè)判定，而判斷將來(lái)有可能向不合格發(fā) 展的太陽(yáng)電池單元的狀態(tài)。
11.根據(jù)權(quán)利要求7 10中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于，在所述攝影圖像的分析中，除了單元攝影圖像的暗部的形狀以外，還分析暗部的方向 以及位置，而進(jìn)行單元的狀態(tài)判斷。
12.根據(jù)權(quán)利要求7 11中任一項(xiàng)所述的太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其特征在于， 同時(shí)顯示對(duì)被判定為存在所述問(wèn)題的暗部進(jìn)行強(qiáng)調(diào)顯示的單元圖像、和攝影到的單元攝影圖像，以供肉眼判斷。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種太陽(yáng)電池檢查裝置以及太陽(yáng)電池缺陷判定方法，其使太陽(yáng)電池EL發(fā)光，能夠根據(jù)發(fā)光狀態(tài)來(lái)檢查判定太陽(yáng)電池的優(yōu)劣，并且對(duì)將來(lái)有不合格傾向的部位也能夠進(jìn)行優(yōu)劣判定。其中，對(duì)太陽(yáng)電池單元供給一定電流使其EL發(fā)光(S7)，攝影來(lái)自各單元的發(fā)射光(S10)，強(qiáng)調(diào)處理攝影到的單元圖像，分析暗部的形狀(S50)，從而進(jìn)行單元的優(yōu)劣判斷。另外，可對(duì)判定為存在問(wèn)題的缺陷部分進(jìn)行圖像強(qiáng)調(diào)處理，并識(shí)別顯示該強(qiáng)調(diào)圖像(S16)。
文檔編號(hào)H01L31/04GK101960612SQ20088012749
公開(kāi)日2011年1月26日 申請(qǐng)日期2008年12月19日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月28日
發(fā)明者澀谷俊緒, 笠原昌人 申請(qǐng)人:日清紡績(jī)株式會(huì)社