專利名稱：具有易于更換的接口單元的半導(dǎo)體測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明總的來(lái)說(shuō)涉及半導(dǎo)體設(shè)備的制造，更具體的說(shuō)涉及用于在測(cè)試中將一個(gè)測(cè)試系統(tǒng)接口至一個(gè)設(shè)備的接口單元。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體設(shè)備的制造中，在制造操作過(guò)程中通常至少對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)行一次測(cè)試。測(cè)試的結(jié)果用于對(duì)半導(dǎo)體制造操作進(jìn)一步的處理進(jìn)行控制?？梢酝ㄟ^(guò)測(cè)試將正常運(yùn)行的設(shè)備與不能正常運(yùn)行的設(shè)備分開(kāi)。然而，還可以將測(cè)試用于將數(shù)據(jù)反饋至制造操作的其它階段從而進(jìn)行能提高正常運(yùn)行設(shè)備生產(chǎn)率的調(diào)整。在其它情況下，測(cè)試結(jié)果用于將設(shè)備按照性能種類進(jìn)行歸類。例如，一個(gè)設(shè)備可能以200MHz的數(shù)據(jù)率運(yùn)行，卻不能以400MHz的數(shù)據(jù)率運(yùn)行。測(cè)試之后，這個(gè)設(shè)備可能會(huì)歸類為200MHz的設(shè)備并且以低于400MHz設(shè)備的價(jià)格出售。
測(cè)試階段還可以用于使受測(cè)試設(shè)備發(fā)生物理改變。很多帶有存儲(chǔ)器的半導(dǎo)體設(shè)備包含有冗余元件。如果在測(cè)試過(guò)程中發(fā)現(xiàn)了有缺陷的存儲(chǔ)單元，可以將半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)送至修理站，例如激光修理站，在該處對(duì)設(shè)備上的連接進(jìn)行重新安排從而將有缺陷的單元斷開(kāi)并且在其位置上連接上冗余元件。
測(cè)試通常由自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(ATE)執(zhí)行。測(cè)試儀包括有產(chǎn)生并測(cè)量確定該設(shè)備是否正常作用所需的電信號(hào)的電路。分開(kāi)的運(yùn)料設(shè)備將半導(dǎo)體設(shè)備移動(dòng)至測(cè)試儀。當(dāng)半導(dǎo)體設(shè)備已經(jīng)包裝好之后進(jìn)行測(cè)試時(shí)，運(yùn)料設(shè)備經(jīng)常稱作“運(yùn)料器(handler)”。運(yùn)料設(shè)備可選地也可以稱作“探測(cè)器(prober)”，在半導(dǎo)體設(shè)備仍然處于晶片之上的同時(shí)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，使用該設(shè)備。一般來(lái)說(shuō)，測(cè)試儀和運(yùn)料設(shè)備裝配在工作單元中，并且根據(jù)待測(cè)試設(shè)備的類型選擇測(cè)試儀和運(yùn)料設(shè)備的具體特點(diǎn)。
為了使測(cè)試儀可以與很多不同類型的設(shè)備相連接，使用了接口單元。經(jīng)常，這種接口單元具有很多適應(yīng)性探針或觸點(diǎn)。運(yùn)料設(shè)備將待測(cè)試的設(shè)備壓在這些探針或觸點(diǎn)上，使得電信號(hào)可以在所測(cè)試的設(shè)備和測(cè)試儀之間移動(dòng)。對(duì)于有包裝的部件的測(cè)試，接口單元經(jīng)常稱為“設(shè)備接口板”或“DIB”。
在其優(yōu)選實(shí)施例中，本發(fā)明的使用與將有包裝的部件移動(dòng)至DIB的運(yùn)料設(shè)備有關(guān)。因此，下述優(yōu)選實(shí)施例的描述將帶有DIB的有包裝部件的運(yùn)料器用作實(shí)例。
接口單元上觸點(diǎn)的布局必須與待測(cè)試設(shè)備上的測(cè)試點(diǎn)對(duì)齊，對(duì)于每種待測(cè)試的半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)常需要不同的接口單元。因?yàn)榘雽?dǎo)體制造商一般希望用一個(gè)工作單元來(lái)測(cè)試不同種類的半導(dǎo)體設(shè)備，接口單元制造為與運(yùn)料設(shè)備或測(cè)試儀分開(kāi)的部件。這樣，工作單元就能重新配置為可以測(cè)試半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)的任何種類的部件。
例如，DIB經(jīng)常通過(guò)螺釘連接到運(yùn)料單元，可以通過(guò)移走螺釘從而移走這個(gè)DIB。一旦將DIB連接到運(yùn)料單元，隨后測(cè)試儀，或者測(cè)試儀的至少一個(gè)測(cè)試頭部件，壓在運(yùn)料單元上。彈簧銷或者其它形式的適應(yīng)性觸點(diǎn)在DIB和測(cè)試儀之間形成電連接。
在制造半導(dǎo)體時(shí)，希望制造設(shè)施中的設(shè)備盡可能地處于使用狀態(tài)。使設(shè)備處于停工狀態(tài)，甚至是對(duì)設(shè)備的常規(guī)調(diào)整，都會(huì)降低整個(gè)制造操作的成本效率。因此，希望測(cè)試工作單元中DIB的更換能盡可能快地進(jìn)行。因此定位用于連接或分離DIB的專用工具是一個(gè)缺點(diǎn)。
在一些現(xiàn)有技術(shù)的ATE中，用夾鉗、凸輪等將DIB夾持給運(yùn)料器。這樣，就能移走DIB并安裝一個(gè)新的DIB而無(wú)需移走螺釘?shù)臅r(shí)間。然而，更換DIB仍然需要很多的時(shí)間。
DIB位于測(cè)試儀和運(yùn)料器之間。為了接近DIB，必須移動(dòng)測(cè)試儀。為了能接近DIB，大多數(shù)測(cè)試儀安裝在稱作“操縱器”的設(shè)備上。這個(gè)操縱器可以讓測(cè)試儀與運(yùn)料器對(duì)準(zhǔn)。大多數(shù)運(yùn)料器在定位測(cè)試儀時(shí)可以具有相當(dāng)大的靈活性。為了能接近DIB，運(yùn)料器能將測(cè)試頭擺動(dòng)到旁邊。
但是，一旦安裝了新的DIB，測(cè)試儀必須與處理設(shè)備重新對(duì)準(zhǔn)并且隨后與其重新連接。將測(cè)試儀與運(yùn)料器對(duì)準(zhǔn)并連接在一起的過(guò)程有時(shí)稱作“對(duì)接”。在DIB更換過(guò)程中測(cè)試儀和運(yùn)料器的解除對(duì)接和重新對(duì)接仍然耗費(fèi)大量的時(shí)間，即使在用夾鉗、凸輪等代替螺釘將DIB夾持到運(yùn)料器時(shí)也是如此。
另外，傳統(tǒng)的DIB更換操作會(huì)露出測(cè)試儀和運(yùn)料器上靈敏且易于損害的部件。例如，在測(cè)試儀和DIB之間形成電連接的彈簧銷可能會(huì)受損。
而且，有時(shí)還需要對(duì)操作員進(jìn)行特殊訓(xùn)練以保證他們能正確地安裝DIB。如果沒(méi)有正確地安裝DIB，可能會(huì)出現(xiàn)對(duì)測(cè)試儀、運(yùn)料器或DIB的損害以及可能會(huì)中斷半導(dǎo)體制造操作。

發(fā)明內(nèi)容
考慮到前述背景技術(shù)，本發(fā)明的一個(gè)目標(biāo)是提供一種在半導(dǎo)體制造工廠里更換接口單元的改進(jìn)方法。
前述和其它目標(biāo)是這樣實(shí)現(xiàn)的ATE工作單元裝備有更換器，該更換器用于測(cè)試儀和運(yùn)料單元之間的接口單元。這個(gè)更換器使得可以在運(yùn)料單元和測(cè)試儀之間只有很小間隙的情況下更換接口單元。
在一個(gè)方面，本發(fā)明使得接口單元，例如DIB，易于安裝。更換器通過(guò)在平行于運(yùn)料單元和測(cè)試儀之間配合接口的方向上的轉(zhuǎn)換將接口單元導(dǎo)向入方向?qū)?zhǔn)。然后，接口單元在垂直于配合接口的方向上移動(dòng)，并且在由用作垂直于配合接口移動(dòng)的接口單元的對(duì)準(zhǔn)零件所形成的平面上的方向上具有良好的對(duì)準(zhǔn)度。
在另一個(gè)方面，本發(fā)明使得接口單元易于移走。接口單元垂直于配合接口移動(dòng)從而與對(duì)準(zhǔn)零件脫離。然后，接口元件垂直于配合接口移動(dòng)至可以由操作員將其輕易移走的位置。


通過(guò)參考下述更詳細(xì)的說(shuō)明書(shū)以及附圖，可以更好地理解本發(fā)明，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明的包括有一個(gè)DIB更換器的運(yùn)料器的簡(jiǎn)圖；圖2是圖1中DIB更換器更詳細(xì)的簡(jiǎn)圖；圖3是一個(gè)帶有一個(gè)DIB更換器的工作單元在一個(gè)使用階段時(shí)的簡(jiǎn)圖；圖4是一個(gè)工作單元沿著圖3中4-4線的橫截面視圖；圖5是一個(gè)示出DIB和DIB載體對(duì)準(zhǔn)的簡(jiǎn)圖。
具體實(shí)施例方式
圖1示出了適用于半導(dǎo)體制造操作的運(yùn)料單元。這里示出了運(yùn)料器100。運(yùn)料器100將帶包裝的部件移動(dòng)到測(cè)試系統(tǒng)(310，圖3)。
運(yùn)料器100包括接口區(qū)域102，在此處運(yùn)料器100接口至測(cè)試系統(tǒng)。運(yùn)料器的接口區(qū)域典型地包括有機(jī)械對(duì)準(zhǔn)和支承結(jié)構(gòu)，從而可以將測(cè)試儀對(duì)接到運(yùn)料器。這里，接口區(qū)域102位于一個(gè)垂直平面上。所示的對(duì)準(zhǔn)零件104用于對(duì)準(zhǔn)運(yùn)料器100和測(cè)試儀。
優(yōu)選地，對(duì)準(zhǔn)零件形成了如名稱為“自動(dòng)測(cè)試裝備的接口裝置”的美國(guó)專利5,821,764中所述的運(yùn)動(dòng)耦，這個(gè)專利以引用的方式包括于此。在這個(gè)專利中所描述的接口裝置將運(yùn)料器和測(cè)試儀對(duì)準(zhǔn)。另外，這個(gè)接口裝置可以產(chǎn)生一個(gè)力從而將測(cè)試儀拉向運(yùn)料器并將其保持在適當(dāng)?shù)奈恢谩?br> 接口區(qū)域102幫助在測(cè)試儀和運(yùn)料器之間限定配合接口。一般來(lái)說(shuō)，待測(cè)試的半導(dǎo)體設(shè)備在位于與該配合接口基本上平行的平面上時(shí)進(jìn)行測(cè)試。
運(yùn)料單元包括一個(gè)接口單元，在所示實(shí)例中，該接口單元是設(shè)備接口板(DIB)106。DIB 106包括多個(gè)用于形成與待測(cè)試半導(dǎo)體上導(dǎo)線的電連接的電觸點(diǎn)(510，圖5)。運(yùn)料器100將部件運(yùn)載至DIB 106，并且將設(shè)備壓入觸點(diǎn)510，從而與它們形成電接觸。DIB 106上還具有多個(gè)導(dǎo)電襯墊，這些導(dǎo)電襯墊形成與測(cè)試儀上多個(gè)觸點(diǎn)(416，圖4)的電接觸。
在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，經(jīng)常需要安裝DIB或?qū)⑵湟谱?。DIB更換器組件110使這樣的一個(gè)DIB更換操作簡(jiǎn)單并且快捷，并且不再需要使用任何專門(mén)的工具。
圖1示出了沒(méi)有附帶測(cè)試儀的運(yùn)料器100。以使測(cè)試儀和運(yùn)料器能夠分開(kāi)的方式安裝測(cè)試儀，從而可以接近配合接口。一個(gè)將測(cè)試儀和運(yùn)料器分開(kāi)的優(yōu)選方法是將測(cè)試儀附著于操縱器上，使得測(cè)試儀可以移動(dòng)。有利地，如果帶有這里所述的DIB更換器，那么只需測(cè)試頭的很小移動(dòng)就可以更換DIB。并且，不需要將測(cè)試儀擺動(dòng)出運(yùn)料設(shè)備。在優(yōu)選實(shí)施例中要求的是垂直于配合接口的18英寸(45厘米)左右的間隔。
目前優(yōu)選的操縱器在我們的與本申請(qǐng)同日申請(qǐng)的名稱為“具有可控柔性的單軸操縱器”的待審的美國(guó)臨時(shí)申請(qǐng)60/373,065中進(jìn)行了描述，該申請(qǐng)以參考的方式包括于此。這個(gè)操縱器類似于可以朝運(yùn)料器滾動(dòng)的推車。
圖2更詳細(xì)地示出了DIB更換器組件110。DIB更換器組件包括一個(gè)底部元件，在優(yōu)選實(shí)施例中其為擺臂210。擺臂210包括一個(gè)將DIB更換器組件110附著于運(yùn)料器100上的附著機(jī)構(gòu)。該附著機(jī)構(gòu)可允許擺臂210將DIB 106從接口區(qū)域102上移開(kāi)。在所示實(shí)施例中，附著機(jī)構(gòu)是一個(gè)鉸鏈。因此，擺臂210能將DIB 106旋轉(zhuǎn)離開(kāi)接口區(qū)域102。
如同下述更詳細(xì)的描述中，鉸鏈212并不提供DIB 106與運(yùn)料器100的精細(xì)對(duì)準(zhǔn)。因此，并不需要鉸鏈212精確地加工。相反，優(yōu)選地是鉸鏈212具有某些間隙或柔性，以使得其不會(huì)限制其它對(duì)準(zhǔn)零件的有效性。
擺臂210還包括能由希望進(jìn)行DIB更換的操作員抓持的手柄214。擺臂210優(yōu)選地是足夠長(zhǎng)，以使得當(dāng)鉸鏈212附著于運(yùn)料器100時(shí)，在DIB更換操作過(guò)程中操作員可以接近手柄214。
在沒(méi)有進(jìn)行DIB更換操作時(shí)希望擺臂210固定于運(yùn)料器100。在優(yōu)選實(shí)施例中，手柄214還作為一個(gè)閉鎖件，與一個(gè)放在運(yùn)料器100上的互補(bǔ)部件(410，圖4)接合。
DIB 106安裝至擺臂210。這個(gè)安裝方式可以允許DIB 106相對(duì)于擺臂210移動(dòng)并且可以完全地移走。在優(yōu)選實(shí)施例中，擺臂210包括若干線性軌道216。線性軌道216使得DIB 106可以沿著擺臂210的長(zhǎng)度滑動(dòng)。
在所示實(shí)施例中，DIB 106并不是直接地安裝在軌道216上。而是，DIB 106通過(guò)一個(gè)或多個(gè)其它平臺(tái)安裝在擺臂210上。這些平臺(tái)提供了DIB 106的機(jī)械支承，并且降低了在DIB更換操作過(guò)程中施加在DIB上的力。因?yàn)镈IB通常易于損壞并且很昂貴，所以一般優(yōu)選地是使用這樣的中間平臺(tái)以避免損壞DIB。
在圖2中，所示DIB 106安裝在DIB平臺(tái)218上。在所示實(shí)施例中，DIB平臺(tái)218安裝在一個(gè)中間平臺(tái)(340，圖3)上。中間平臺(tái)340又安裝在軌道216上。在使用了一個(gè)中間平臺(tái)的地方，DIB平臺(tái)218將優(yōu)選地以允許其移動(dòng)的方式安裝在中間平臺(tái)上。在優(yōu)選實(shí)施例中，DIB平臺(tái)218通過(guò)平行于軌道216的線性軌道安裝在中間平臺(tái)340上。
這樣，DIB平臺(tái)218、中間平臺(tái)340和擺臂210形成了一個(gè)伸縮組件。中間平臺(tái)的數(shù)目提高了伸縮組件的行程而無(wú)需提高收縮時(shí)組件的長(zhǎng)度。伸縮量越大，DIB 106能從接口區(qū)域106移開(kāi)的距離越長(zhǎng)。在任何具體實(shí)施例中所需的移動(dòng)量取決于測(cè)試儀的尺寸，因?yàn)閮?yōu)選的是當(dāng)伸縮組件完全伸展時(shí)，DIB 106移動(dòng)得足夠遠(yuǎn)以使得其易于被操作員接近。
伸縮組件優(yōu)選的包括允許操作員朝著或遠(yuǎn)離配合區(qū)域移動(dòng)DIB106的手柄。在圖2中，這個(gè)手柄以DIB平臺(tái)218上的手柄220的形式示出。
圖3示出了帶有處于伸展?fàn)顟B(tài)的伸縮組件的DIB更換器組件110。在圖中，測(cè)試儀310與運(yùn)料器100分開(kāi)一個(gè)足夠的距離，以允許DIB更換器110的操作。
擺臂210從配合接口處擺動(dòng)出去。中間平臺(tái)340伸出并且DIB平臺(tái)218同樣伸出。從圖3中可以看出，DIB組件218清除了測(cè)試儀310側(cè)面的障礙，從而使得可以易于接近DIB 106。優(yōu)選的，DIB平臺(tái)218能完全地從中間平臺(tái)340分離出去，從而使得可以在其位置上安裝帶有不同DIB 106的不同的DIB平臺(tái)218。
圖4示出了從圖3中4-4線所取的測(cè)試元件的側(cè)視圖。如圖中所示，擺臂210通過(guò)鉸鏈212安裝在運(yùn)料器100上并且繞著鉸鏈212轉(zhuǎn)動(dòng)。隨著擺臂轉(zhuǎn)動(dòng)，其在離開(kāi)配合接口的Z方向上移動(dòng)DIB 106。
由于中間平臺(tái)340和DIB平臺(tái)218沿著由擺臂210限定的軸線滑動(dòng)，DIB 106在平行于配合接口的X方向上移動(dòng)。應(yīng)當(dāng)注意到的是，擺臂210無(wú)需與X方向?qū)?zhǔn)從而使DIB 106在X方向上從接口區(qū)域移動(dòng)更遠(yuǎn)。
從圖4中能看出DIB更換器110操作的某些特點(diǎn)。圖4示出了，DIB平臺(tái)218包含有多個(gè)用于將DIB 106與DIB平臺(tái)218對(duì)準(zhǔn)的對(duì)準(zhǔn)銷450。
對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B也用于將DIB平臺(tái)218與運(yùn)料器100對(duì)準(zhǔn)。如上所述，大多數(shù)DIB更換器110的部件并不是精確的部件。實(shí)際上優(yōu)選地是大多數(shù)部件中存在某些適應(yīng)性，以便于對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B控制DIB 106的最終位置，保證其與運(yùn)料器100正確地對(duì)準(zhǔn)。對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B穿過(guò)DIB平臺(tái)218中的孔(512，圖5)。DIB平臺(tái)能沿著X軸線移動(dòng)，因?yàn)槠浒惭b在線性軌道上。例如鉸鏈212或線性軌道216等其它部件中的適應(yīng)性允許足夠的調(diào)整，以使得DIB 106相對(duì)于運(yùn)料器100具有最終精確的位置。
在圖4中，所示對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B具有一個(gè)“階梯”外形。尖端比底部窄。底部形成時(shí)具有一定的精確度。在制造尖端時(shí)需要的精確度較低，因?yàn)閷?shí)際上是底部設(shè)定DIB 106的最終位置。對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B的尖端還必須比底部小，以使得當(dāng)臂210繞著鉸鏈212樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)其不會(huì)妨礙孔512的側(cè)面。如上所述，樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)的擺臂212在用字母Z指示的方向上移動(dòng)DIB 106。然而，還有其它部件移動(dòng)。
優(yōu)選地，對(duì)準(zhǔn)銷的邊緣和孔512的側(cè)面實(shí)際上將在非?？拷罱K對(duì)準(zhǔn)點(diǎn)的位置成形，以毫無(wú)約束地與擺動(dòng)運(yùn)動(dòng)的所有部件相適應(yīng)。在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，對(duì)準(zhǔn)銷的底部和孔512的側(cè)面彼此平行，并且與擺臂210樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)由孔512繪出的弧線相切。通過(guò)使對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B的尖端遠(yuǎn)比孔512窄，無(wú)需任何特殊的形狀來(lái)避免對(duì)準(zhǔn)銷與孔512的側(cè)面之間的約束。
對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B還用于在所示實(shí)施例中形成與測(cè)試儀的對(duì)準(zhǔn)。測(cè)試儀310包括帶有彈簧銷416的接口區(qū)域414。彈簧銷416與DIB 106電接觸。接口區(qū)域414包括有多個(gè)接納對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B的對(duì)準(zhǔn)零件418。對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B能迫使接口區(qū)域414與DIB 106所對(duì)準(zhǔn)的相同零件對(duì)準(zhǔn)。這樣，一旦測(cè)試儀和運(yùn)料器緊密對(duì)接，運(yùn)料器、DIB和測(cè)試儀的相應(yīng)部件就會(huì)正確地對(duì)準(zhǔn)。
圖4還示出了，運(yùn)料器100可以裝備有閉鎖件410，以防止DIB更換器組件的意外移動(dòng)。閉鎖件410可以是任何已知的閉鎖機(jī)構(gòu)。例如，可以使用一個(gè)彈簧加載閉鎖件。
在一個(gè)優(yōu)選實(shí)施例中，手柄214用作閉鎖件的配合部件。閉鎖件410與手柄214接合從而將擺臂210保持在一個(gè)關(guān)閉的位置。然而，閉鎖件410也可以打開(kāi)，讓擺臂210移動(dòng)。
在測(cè)試儀310上也可以包括閉鎖件440。當(dāng)擺臂210打開(kāi)時(shí)，閉鎖件440與擺臂210上的互補(bǔ)零件相接合。閉鎖件440為DIB的更換提供了更大的穩(wěn)定性，但這對(duì)于本發(fā)明并不是很重要。
圖4示出了，當(dāng)打開(kāi)時(shí)，彈簧銷416受到保護(hù)而使利用DIB更換器組件110更換DIB的操作員不能接觸。這樣，就降低了彈簧銷受損的幾率。
轉(zhuǎn)到圖5，其中示出了DIB 106安裝到DIB平臺(tái)218上的其它細(xì)節(jié)。所示DIB 106帶有多個(gè)觸點(diǎn)510。對(duì)準(zhǔn)孔514優(yōu)選地相對(duì)于觸點(diǎn)510精確地定位。根據(jù)DIB 106所用的材料，孔514可能具有硬化嵌入物，其用于防止孔在使用中變形并且防止DIB 106在對(duì)接過(guò)程中受損。通過(guò)將DIB 106置于對(duì)準(zhǔn)銷450之上，DIB 106就放在DIB平臺(tái)218上并相對(duì)于它進(jìn)行定位。
DIB平臺(tái)218包括若干對(duì)準(zhǔn)孔512。如上所述，對(duì)準(zhǔn)孔512與對(duì)準(zhǔn)銷412A和412B相互作用以在對(duì)接過(guò)程中將DIB平臺(tái)218與運(yùn)料器對(duì)準(zhǔn)。DIB 106包括有若干與孔512同軸的孔514。然而，在優(yōu)選實(shí)施例中，孔514具有較大的直徑以使得它們不會(huì)接合對(duì)準(zhǔn)孔412A和412B，從而避免將DIB平臺(tái)218從穿過(guò)DIB 106中移走所需的力，這可能會(huì)損壞DIB。
在操作中，DIB更換操作按以下步驟進(jìn)行首先，測(cè)試儀310與運(yùn)料器100分開(kāi)，優(yōu)選地是通過(guò)在字母Z所指示的方向上移動(dòng)測(cè)試儀310完成。
然后，操作員釋放閉鎖件410并擺動(dòng)擺臂210。隨后操作員將擺臂210鎖閉到閉鎖件440。
下一步，操作員抓住手柄220并將DIB平臺(tái)218拉離測(cè)試儀310。隨著如圖2所示DIB組件的伸出，隨后操作員通過(guò)將DIB 106滑離銷450從而使其從DIB平臺(tái)218移走。操作員隨后可以將一個(gè)新的DIB 106滑動(dòng)到銷450上。
操作員然后將DIB平臺(tái)推回到接口區(qū)域中。隨后，操作員釋放閉鎖件440，將擺臂210擺回并將其閉鎖至閉鎖件410。
將測(cè)試儀重新對(duì)接至運(yùn)料器100從而完成操作。
這樣就能快速地更換DIB。并且，這個(gè)操作無(wú)需任何專門(mén)的工具。
在已經(jīng)描述了一個(gè)實(shí)施例之后，可以作出很多可替換的實(shí)施例或變型。例如，在優(yōu)選實(shí)施例中，DIB放在運(yùn)料器上。這并不是要將本發(fā)明限制于這樣的一個(gè)構(gòu)造?？商鎿Q地，可以將DIB更換器放在測(cè)試儀上。
而且，對(duì)于DIB更換器的部件沒(méi)有描述任何具體的材料。不要求任何特殊的材料。本發(fā)明的部件可以由任何在運(yùn)行期間能承受所受的力的合適材料制成。準(zhǔn)確的材料可以根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)工程實(shí)踐進(jìn)行選擇，并且取決于DIB的尺寸以及與自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)相關(guān)的其它因素。然而，可以預(yù)見(jiàn)DIB更換器的大多分組件是經(jīng)過(guò)機(jī)械加工的金屬。
另外，所述鉸鏈212是一個(gè)簡(jiǎn)單的回轉(zhuǎn)鉸鏈。這個(gè)鉸鏈可以包括更復(fù)雜的運(yùn)動(dòng)。例如，鉸鏈212可以允許擺臂在樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)之前從運(yùn)料器上移走。
而且，已經(jīng)示出了，在DIB 106和測(cè)試儀上觸點(diǎn)之間形成良好電連接所需的力是通過(guò)利用安裝硬件將測(cè)試儀拉離運(yùn)料器而得到的?？蛇x地，也可以利用真空將DIB拉到測(cè)試儀上等。
另外，根據(jù)測(cè)試系統(tǒng)和DIB的設(shè)計(jì)，可能不需要再增加一個(gè)分開(kāi)的DIB平臺(tái)218。很多DIB在制造時(shí)帶有了DIB增強(qiáng)件或其它適于用作DIB平臺(tái)218的類似裝置。相反地，DIB可以包括一個(gè)增強(qiáng)件或其它支承結(jié)構(gòu)。支承結(jié)構(gòu)，而不是印刷電路板本身，可以附著在DIB平臺(tái)218上。
而且，應(yīng)當(dāng)理解到，在現(xiàn)在的優(yōu)選實(shí)施例中，可以手工地更換DIB。然而，由操作員手工進(jìn)行的任何步驟或所有步驟都可以由機(jī)械裝置進(jìn)行。
因此，本發(fā)明只應(yīng)當(dāng)由所附的權(quán)利要求的主旨和范圍來(lái)限定。
權(quán)利要求
1.一種包括適于更換接口單元的分組件的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，該分組件包括a)具有第一末端和一個(gè)第二末端的底部，該第一末端可移動(dòng)地附著于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上；b)至少一個(gè)與所述底部元件滑動(dòng)耦合的平臺(tái)；c)可移動(dòng)地附著于平臺(tái)上的接口單元。
2.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中底部元件的第一末端可樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)地耦合到自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上。
3.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中該平臺(tái)包括多個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷，接口單元包括多個(gè)孔，并且接口單元通過(guò)穿過(guò)孔的對(duì)準(zhǔn)銷而可移動(dòng)地附著于平臺(tái)上。
4.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中所述至少一個(gè)平臺(tái)包括至少兩個(gè)平臺(tái)，由此底部元件和所述至少兩個(gè)平臺(tái)形成伸縮分組件。
5.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)包括原料運(yùn)料器和測(cè)試儀，且底部元件可移動(dòng)地附著于該原料運(yùn)料器上。
6.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其還包括位于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上的對(duì)準(zhǔn)零件以及位于平臺(tái)上的互補(bǔ)的對(duì)準(zhǔn)零件，由此通過(guò)自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)和平臺(tái)上對(duì)準(zhǔn)零件的接合，平臺(tái)相對(duì)于自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行定位。
7.如權(quán)利要求6所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)上的對(duì)準(zhǔn)零件包括至少一個(gè)對(duì)準(zhǔn)銷，并且平臺(tái)上的對(duì)準(zhǔn)零件包括至少一個(gè)孔。
8.如權(quán)利要求1所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其包括運(yùn)料器和測(cè)試儀，并且其中接口單元包括DIB。
9.如權(quán)利要求8所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其中底部元件通過(guò)鉸鏈可移動(dòng)地附著于運(yùn)料器上。
10.如權(quán)利要求9所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其還包括有位于運(yùn)料器上的閉鎖件，該閉鎖件被定位以將底部元件保持與運(yùn)料器緊鄰。
11.如權(quán)利要求9所述的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，其還包括若干位于運(yùn)料器和所述至少一個(gè)平臺(tái)上的對(duì)準(zhǔn)零件，由此通過(guò)運(yùn)料器和平臺(tái)上對(duì)準(zhǔn)零件的接合，DIB與運(yùn)料器對(duì)準(zhǔn)。
12.一種利用ATE制造半導(dǎo)體設(shè)備的方法，該ATE包括在配合區(qū)域相配合的運(yùn)料單元和測(cè)試儀，以及位于配合區(qū)域中的接口單元，該ATE還包括用于定位接口單元的分分組件，該方法包括(a)伸出該分分組件以露出附著點(diǎn)；(b)將接口單元附著在該附著點(diǎn)上；(c)對(duì)伸出的分組件進(jìn)行收縮；(d)移動(dòng)所述分組件使其與ATE上的對(duì)準(zhǔn)零件相接合，由此將接口單元相對(duì)于ATE進(jìn)行定位。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其中所述分組件的附著無(wú)需工具。
14.如權(quán)利要求12所述的方法，其中所述分組件的移動(dòng)包括所述分組件的樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
15.一種利用ATE制造半導(dǎo)體設(shè)備的方法，該ATE包括在配合區(qū)域相配合的運(yùn)料單元和測(cè)試儀，以及位于配合區(qū)域中的接口單元，該ATE還包括用于定位接口單元的分組件，該方法包括a)移動(dòng)該分組件以將接口單元與配合區(qū)域分開(kāi)；b)沿著所述分組件滑動(dòng)接口單元直到露出接口單元；c)將接口單元從所述分組件移走。
16.如權(quán)利要求15所述的方法，其還包括，在移動(dòng)所述分組件之前，將輸送單元與測(cè)試儀分開(kāi)。
17.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述分組件的移動(dòng)包括所述分組件的樞軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
18.如權(quán)利要求15所述的方法，其中接口單元包括用于運(yùn)料器的DIB。
19.如權(quán)利要求15所述的方法，其中所述移走包括不使用工具的移走。
20.如權(quán)利要求15所述的方法，其還包括附著不同的接口單元，將接口單元滑入配合區(qū)域并轉(zhuǎn)動(dòng)所述分組件直到不同的接口單元位于配合區(qū)域中。
全文摘要
一種用于幫助自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)更換接口單元的分組件。所公開(kāi)的實(shí)施例示出了帶有運(yùn)料器和測(cè)試儀的自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)。接口單元是設(shè)備接口板(DIB)。這個(gè)分組件可以使得DIB易于接近，而且能與測(cè)試系統(tǒng)正確地對(duì)準(zhǔn)。無(wú)需專門(mén)的工具就能更換DIB。
文檔編號(hào)G01R31/28GK1646931SQ03808609
公開(kāi)日2005年7月27日 申請(qǐng)日期2003年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月16日
發(fā)明者尼爾·R·本特利, 邁克爾·A·丘, 韋恩·佩蒂托 申請(qǐng)人:泰拉丁公司