本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔,具體為半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)及其連接方法。
背景技術(shù):
1、半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔是半導(dǎo)體工業(yè)中至關(guān)重要的組成部分,它直接影響半導(dǎo)體器件的質(zhì)量和產(chǎn)量,半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔主要由反應(yīng)室、真空密封接口、氣體噴嘴、加熱元件、襯底夾持裝置和反應(yīng)室支撐架等組成,在高真空條件下,半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔主要工作原理是通過氣體噴嘴將反應(yīng)氣體均勻地引入反應(yīng)室,同時(shí)加熱元件保持反應(yīng)室內(nèi)的恒定溫度。反應(yīng)氣體與襯底表面發(fā)生反應(yīng),達(dá)到沉積或蝕刻的目的。整個(gè)過程中,真空密封接口保證了反應(yīng)腔內(nèi)的高真空環(huán)境,防止外界干擾。
2、現(xiàn)有的半導(dǎo)體反應(yīng)腔會(huì)設(shè)置有法蘭連接結(jié)構(gòu)與外部進(jìn)行對接,但法蘭連接結(jié)構(gòu)通常的連接方式較為單一,導(dǎo)致在進(jìn)行對接時(shí)較為復(fù)雜,還需通過螺栓對準(zhǔn)螺紋孔來對法蘭之間進(jìn)行連接固定,為此,我們提供半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)及其連接方法。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于提供半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)及其連接方法,以解決上述背景技術(shù)中提出現(xiàn)有的法蘭連接結(jié)構(gòu)通常的連接方式較為單一,導(dǎo)致在進(jìn)行對接時(shí)較為復(fù)雜,還需通過螺栓對準(zhǔn)螺紋孔來對法蘭之間進(jìn)行連接固定的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),包括接頭和法蘭本體,所述法蘭本體設(shè)置在接頭的前端;
3、還包括:
4、固定塊,其設(shè)置在法蘭本體的外部一側(cè),所述固定塊的內(nèi)部一體成型設(shè)置有第一圓孔,所述固定塊的內(nèi)部連接有連接柱,且連接柱活動(dòng)卡合在第一圓孔的內(nèi)部,所述法蘭本體的外部兩側(cè)對稱設(shè)置有固定夾,所述固定夾的內(nèi)側(cè)一體成型設(shè)置有卡合槽,且法蘭本體的外側(cè)邊緣卡合于卡合槽的內(nèi)部,一側(cè)所述固定夾的一端上方設(shè)置有第一連接件,另一側(cè)所述固定夾的一端下方設(shè)置有第二連接件,所述第一連接件和第二連接件均設(shè)置有通孔,通孔與連接柱進(jìn)行卡合,且兩側(cè)的固定夾通過連接件在法蘭本體的外部進(jìn)行擺動(dòng)。
5、優(yōu)選的,所述連接柱上下兩端的外側(cè)表面均設(shè)置有第一外螺紋,所述連接柱的上下兩端均連接有第一固定螺帽,且第一固定螺帽與第一外螺紋進(jìn)行螺紋連接。
6、優(yōu)選的,所述法蘭本體的外端表面設(shè)置有圓槽,所述卡合槽內(nèi)部的上下兩端均設(shè)置有限位板,限位板呈半圓弧形狀設(shè)置,限位板的底部呈三角形狀設(shè)置,且限位板活動(dòng)卡合在圓槽的內(nèi)部,所述卡合槽內(nèi)部上下兩端的表面均設(shè)置有活動(dòng)槽,且限位板活動(dòng)卡合于活動(dòng)槽的內(nèi)部。
7、優(yōu)選的,所述固定夾的上下兩端均設(shè)置有若干均勻分布的第三圓孔,且第三圓孔與活動(dòng)槽連通,所述限位板的上端設(shè)置有若干均勻分布的伸縮桿,且若干伸縮桿穿過對應(yīng)的第三圓孔延伸至固定夾的外側(cè),所述伸縮桿的另一端設(shè)置有半圓弧形板,所述半圓弧形板與固定夾之間設(shè)置有彈簧,且彈簧套在伸縮桿的外部。
8、優(yōu)選的,所述半圓弧形板的中部設(shè)置有螺紋孔,所述固定夾上下兩端的中部設(shè)置有螺桿,且螺桿與螺紋孔進(jìn)行螺紋連接,所述螺桿的一端設(shè)置有擰動(dòng)盤,且擰動(dòng)盤位于半圓弧形板的外側(cè)。
9、優(yōu)選的,所述螺桿與固定夾之間通過軸承進(jìn)行連接。
10、優(yōu)選的,一側(cè)所述固定夾的外側(cè)設(shè)置有第一連接板,另一側(cè)所述固定夾的外側(cè)設(shè)置有第二連接板,所述第二連接板的中部前端設(shè)置有第二連接槽,所述第一連接板的中部前端設(shè)置有第一連接槽,所述第一連接槽的內(nèi)部設(shè)置有連接桿,所述連接桿通過轉(zhuǎn)軸在第一連接槽的內(nèi)部進(jìn)行擺動(dòng),且連接桿活動(dòng)卡合在第二連接槽的內(nèi)部。
11、優(yōu)選的,所述連接桿的前端外部設(shè)置有第二外螺紋,所述連接桿的前端外部設(shè)置有第二固定螺帽,且第二固定螺帽與第二外螺紋進(jìn)行螺紋連接。
12、優(yōu)選的,半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)的連接方法,包括以下步驟:
13、步驟一:將需要對接的法蘭本體與接頭的法蘭本體進(jìn)行對接并貼合,使兩個(gè)法蘭本體外側(cè)的固定塊對齊,隨后將連接柱穿過兩個(gè)固定塊之間的第一圓孔中,對法蘭本體和固定塊之間對齊并進(jìn)行限位;
14、步驟二:隨后將兩組固定夾通過連接件與連接柱的卡合安裝在法蘭本體的外側(cè),兩組固定夾的連接件為交錯(cuò)設(shè)置,分別卡合于連接柱的上下兩端,隨后閉合兩組固定夾,使卡合槽將法蘭本體的外側(cè)邊緣包裹;
15、步驟三:此時(shí)卡合槽內(nèi)側(cè)的限位板處在活動(dòng)槽的內(nèi)部,當(dāng)固定夾閉合后,通過擰動(dòng)盤使螺桿轉(zhuǎn)動(dòng),螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)半圓弧形板下降,使伸縮桿進(jìn)行移動(dòng),伸縮桿的另一端與限位板連接,使得可以使限位板下降并卡合進(jìn)圓槽的內(nèi)部,便可對固定夾進(jìn)行限位,使固定夾卡在法蘭本體的外部不能夠進(jìn)行開合;
16、步驟四:兩組固定夾閉合后,第一連接板與第二連接板貼合,將連接桿從第一連接槽轉(zhuǎn)動(dòng)至第二連接槽中,隨后通過擰緊第二固定螺帽,使第二固定螺帽貼合在第二連接板的外側(cè),使第一連接板與第二連接板緊密的貼合在一起;
17、步驟五:最后將第一固定螺帽分別擰進(jìn)連接柱的上下兩端,對第一連接件和第二連接件進(jìn)行限位和固定,對固定夾的兩端進(jìn)行固定,使固定夾牢固的卡合在法蘭本體的外側(cè)不容易出現(xiàn)松動(dòng)。
18、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:
19、本發(fā)明通過在法蘭本體的外部兩側(cè)對稱設(shè)置固定夾,法蘭本體的外側(cè)設(shè)置固定塊,固定塊通過連接柱進(jìn)行連接,固定夾與連接柱通過連接件進(jìn)行連接,可以使固定夾進(jìn)行擺動(dòng),兩側(cè)的固定夾閉合,使固定夾內(nèi)側(cè)的卡合槽與法蘭本體的外側(cè)進(jìn)行卡合,便可對法蘭本體進(jìn)行卡合固定,使法蘭能夠拼接在一起不容易出現(xiàn)松動(dòng)。
20、法蘭本體的表面設(shè)置有圓槽,在卡合槽內(nèi)部的上下兩端設(shè)置限位板,限位板進(jìn)行活動(dòng)連接,固定夾閉合在法蘭本體的兩側(cè)時(shí),可通過螺桿驅(qū)動(dòng)半圓弧形板下降,帶動(dòng)限位板下降并卡合在圓槽的外部,使固定夾卡合在法蘭本體的外部,對固定夾進(jìn)行限位,使固定夾不會(huì)像外側(cè)展開。
21、連接柱的上下兩端設(shè)置有外螺紋,當(dāng)固定夾安裝在連接柱上并卡合在法蘭本體的外側(cè)后,可通過第一固定螺帽擰在連接柱的上下兩端,對固定夾進(jìn)行限位,對固定夾的一端進(jìn)行固定,并在固定夾的另一端設(shè)置兩個(gè)連接板,連接板通過連接桿和第二固定螺帽進(jìn)行連接鎖定,便可對固定夾的另一端進(jìn)行固定,從而使固定夾固定在法蘭的外部不容易出現(xiàn)松動(dòng)的情況。
1.半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),包括接頭(1)和法蘭本體(2),所述法蘭本體(2)設(shè)置在接頭(1)的前端;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述連接柱(6)上下兩端的外側(cè)表面均設(shè)置有第一外螺紋(7),所述連接柱(6)的上下兩端均連接有第一固定螺帽(9),且第一固定螺帽(9)與第一外螺紋(7)進(jìn)行螺紋連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述法蘭本體(2)的外端表面設(shè)置有圓槽(3),所述卡合槽(10)內(nèi)部的上下兩端均設(shè)置有限位板(17),限位板(17)呈半圓弧形狀設(shè)置,限位板(17)的底部呈三角形狀設(shè)置,且限位板(17)活動(dòng)卡合在圓槽(3)的內(nèi)部,所述卡合槽(10)內(nèi)部上下兩端的表面均設(shè)置有活動(dòng)槽(18),且限位板(17)活動(dòng)卡合于活動(dòng)槽(18)的內(nèi)部。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述固定夾(4)的上下兩端均設(shè)置有若干均勻分布的第三圓孔(19),且第三圓孔(19)與活動(dòng)槽(18)連通,所述限位板(17)的上端設(shè)置有若干均勻分布的伸縮桿(15),且若干伸縮桿(15)穿過對應(yīng)的第三圓孔(19)延伸至固定夾(4)的外側(cè),所述伸縮桿(15)的另一端設(shè)置有半圓弧形板(14),所述半圓弧形板(14)與固定夾(4)之間設(shè)置有彈簧(16),且彈簧(16)套在伸縮桿(15)的外部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述半圓弧形板(14)的中部設(shè)置有螺紋孔(30),所述固定夾(4)上下兩端的中部設(shè)置有螺桿(29),且螺桿(29)與螺紋孔(30)進(jìn)行螺紋連接,所述螺桿(29)的一端設(shè)置有擰動(dòng)盤(28),且擰動(dòng)盤(28)位于半圓弧形板(14)的外側(cè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述螺桿(29)與固定夾(4)之間通過軸承(31)進(jìn)行連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:一側(cè)所述固定夾(4)的外側(cè)設(shè)置有第一連接板(20),另一側(cè)所述固定夾(4)的外側(cè)設(shè)置有第二連接板(21),所述第二連接板(21)的中部前端設(shè)置有第二連接槽(22),所述第一連接板(20)的中部前端設(shè)置有第一連接槽(23),所述第一連接槽(23)的內(nèi)部設(shè)置有連接桿(25),所述連接桿(25)通過轉(zhuǎn)軸(24)在第一連接槽(23)的內(nèi)部進(jìn)行擺動(dòng),且連接桿(25)活動(dòng)卡合在第二連接槽(22)的內(nèi)部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu),其特征在于:所述連接桿(25)的前端外部設(shè)置有第二外螺紋(26),所述連接桿(25)的前端外部設(shè)置有第二固定螺帽(27),且第二固定螺帽(27)與第二外螺紋(26)進(jìn)行螺紋連接。
9.半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)的連接方法,基于權(quán)利要求1-8所述的半導(dǎo)體設(shè)備反應(yīng)腔法蘭連接結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn),其特征在于,包括以下步驟: