專利名稱：多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置，特別是一種半導(dǎo)體行業(yè)專
用的多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體加工業(yè)中，多借助于多線切割機(jī)專用設(shè)備對(duì)單晶、多晶及太陽(yáng)能材料等 進(jìn)行切割加工。在多線切割機(jī)線輪主軸的構(gòu)成中包括軸、軸承座、軸承、軸承壓蓋和與軸端 固定的線輪。為了防塵，多在軸承座與線輪間采用迷宮式密封結(jié)構(gòu)，其不足之處是采用這種 結(jié)構(gòu)的主軸內(nèi)部與外界的空氣壓力是一樣的，這樣就難免在工作過(guò)程中有粉塵進(jìn)入主軸， 造成軸承磨損，降低主軸的使用壽命，尤其是在用沙粒磨料的切割過(guò)程中，更易造成主軸損 壞。

發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種密封性能好、工作可靠、使用壽命長(zhǎng)
的多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置。 本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案 本實(shí)用新型包括軸、軸承座、設(shè)于軸與軸承座之間的軸承、與軸承座固定的軸承壓 蓋和固定于軸端的線輪，所說(shuō)軸承壓蓋與軸間相配合的內(nèi)圓上設(shè)有內(nèi)氣封環(huán)，軸承座的側(cè) 壁上設(shè)有與內(nèi)氣封環(huán)連通的壓縮空氣通道，壓縮空氣通道的進(jìn)氣端設(shè)有與軸承座固定的壓 縮空氣管接頭。 本實(shí)用新型所說(shuō)軸承壓蓋的外端面與線輪的內(nèi)壁間所形成的空腔為外氣封環(huán)。 本實(shí)用新型所說(shuō)軸承壓蓋的內(nèi)圓上所設(shè)的內(nèi)氣封環(huán)為多道迷宮式結(jié)構(gòu)。 本實(shí)用新型的有益效果由于本實(shí)用新型采用了氣密封結(jié)構(gòu)，使得主軸箱體內(nèi)的
空氣壓力大于外界壓力，這樣可有效阻止沙粒及雜質(zhì)等污物進(jìn)入到主軸軸承內(nèi)，從而使得
本裝置的密封性能明顯提高，并確保本裝置工作可靠，使用壽命長(zhǎng)，還可明顯降低設(shè)備的維
修工時(shí)和費(fèi)用，降低設(shè)備的使用成本。

附圖1是本實(shí)用新型一種實(shí)施例的局部剖視結(jié)構(gòu)示意圖； 附圖2是圖1所示軸承壓蓋剖視結(jié)構(gòu)示意圖。 在附圖中1軸、2軸承、3壓縮空氣管接頭、4密封圈、5堵、6內(nèi)氣封環(huán)、7堵、8外氣 封環(huán)、9軸承壓蓋、10調(diào)整墊、11軸承、12軸承座、13隔圈、14線輪、15壓縮空氣通道。
具體實(shí)施方式下面將結(jié)合實(shí)施例附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳述 參見附圖，圖l所示兩組軸承2、11間設(shè)有軸承內(nèi)套隔圈13.軸承壓蓋9壓在軸承11的外套上，并用螺釘固定在軸承座12上，其與軸1間配合的內(nèi)圓上所設(shè)的內(nèi)氣封環(huán)6采用多道迷宮式結(jié)構(gòu)，即采用五道內(nèi)氣封環(huán)6，如圖中所示，軸承座12的側(cè)壁上設(shè)有與內(nèi)氣封環(huán)6連通的壓縮空氣通道15，壓縮空氣通道15的進(jìn)氣端設(shè)有與軸承座12螺紋連接的壓縮空氣管接頭3.壓縮空氣通道15為鉆孔，故其工藝孔需借助于堵5、7封堵，當(dāng)軸承壓蓋9與軸承座12相對(duì)的端面間需加調(diào)整墊10和密封圈4時(shí)，則調(diào)整墊10和密封圈4與軸承座12上所設(shè)的壓縮空氣通道15的對(duì)應(yīng)部位應(yīng)設(shè)通孔，以便壓縮空氣能順利通到軸承壓蓋9的內(nèi)氣封環(huán)6內(nèi)。 軸承壓蓋9的外端面與線輪14的內(nèi)壁間所構(gòu)成的外氣封環(huán)8內(nèi)的氣體是由軸承壓蓋9和軸1之間的配合間隙泄漏過(guò)來(lái)的。
權(quán)利要求一種多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置，它包括軸、軸承座、設(shè)于軸與軸承座之間的軸承、與軸承座固定的軸承壓蓋和固定于軸端的線輪，其特征是所說(shuō)軸承壓蓋(9)與軸(1)間相配合的內(nèi)圓上設(shè)有內(nèi)氣封環(huán)(6)，軸承座(12)的側(cè)壁上設(shè)有與內(nèi)氣封環(huán)(6)連通的壓縮空氣通道(15)，壓縮空氣通道(15)的進(jìn)氣端設(shè)有與軸承座(12)固定的壓縮空氣管接頭(3)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置，其特征是所說(shuō)軸承壓蓋(9)的外端面與線輪(14)的內(nèi)壁間所形成的空腔為外氣封環(huán)(8)。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置，其特征是所說(shuō)軸承壓蓋(9)的內(nèi)圓上所設(shè)的內(nèi)氣封環(huán)(6)為多道迷宮式結(jié)構(gòu)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種多線切割機(jī)線輪主軸氣密封裝置，本實(shí)用新型包括軸、軸承座、設(shè)于軸與軸承座之間的軸承、與軸承座固定的軸承壓蓋和固定于軸端的線輪，所說(shuō)軸承壓蓋與軸間相配合的內(nèi)圓上設(shè)有內(nèi)氣封環(huán)，軸承座的側(cè)壁上設(shè)有與內(nèi)氣封環(huán)連通的壓縮空氣通道，壓縮空氣通道的進(jìn)氣端設(shè)有與軸承座固定的壓縮空氣管接頭。由于本實(shí)用新型采用了氣密封結(jié)構(gòu)，使得主軸箱體內(nèi)的空氣壓力大于外界壓力，這樣可有效阻止沙粒及雜質(zhì)等污物進(jìn)入到主軸軸承內(nèi)，從而使得本裝置的密封性能明顯提高，并確保本裝置工作可靠，使用壽命長(zhǎng)，還可明顯降低設(shè)備的維修工時(shí)和費(fèi)用，降低設(shè)備的使用成本。
文檔編號(hào)F16J15/40GK201525091SQ20092021720
公開日2010年7月14日 申請(qǐng)日期2009年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月22日
發(fā)明者田惠蘭 申請(qǐng)人:中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所