專利名稱：閘閥的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種閘閥，該閘閥例如能夠打開/關(guān)閉例如用于壓力流體或氣體的流動通道或排出通道。
目前已經(jīng)進(jìn)行了例如用于半導(dǎo)體片、液晶基片等的處理裝置的操作過程，其中，將半導(dǎo)體片、液晶基片等通過通道而送入不同處理室和從不同處理室取出。為該通道而設(shè)有打開/關(guān)閉該通道的閘閥。
例如，該閘閥的布置方式如日本專利No.2613171所述。即，閥盤根據(jù)閥桿的直線運(yùn)動而到達(dá)對著閥座的位置，該閥桿則可根據(jù)壓力缸的驅(qū)動作用而運(yùn)動。然后，閥盤壓靠在閥座上，并借助于閥桿的傾轉(zhuǎn)運(yùn)動而貼在該閥座上。因此，穿過閥室的通道被關(guān)閉。
也就是說，如圖8和9所示，普通技術(shù)中的閘閥1包括閥室3，該閥室3形成有用于使工件進(jìn)出的通道2；閥盤5，其用于通過貼在形成于閥室3內(nèi)的閥座4上而關(guān)閉該通道2；以及閥桿6，該閥桿6與閥盤5相連，并可向上和向下運(yùn)動和傾轉(zhuǎn)。
塊體7與閥桿6的上部相連。樞軸11安裝在塊體7兩側(cè)表面上，該樞軸11可沿導(dǎo)引槽10(見

圖10)運(yùn)動，該導(dǎo)引槽分別形成于一對壓力缸8a、8b的缸筒9的側(cè)表面上。塊體7可由導(dǎo)引槽10的引導(dǎo)作用而向上和向下運(yùn)動和傾轉(zhuǎn)，該導(dǎo)引槽10與樞軸11配合。缸筒9、塊體7和樞軸11都是由金屬材料制成。
換句話說，塊體7借助于拉伸彈簧12并由與樞軸11配合的導(dǎo)引槽10的引導(dǎo)作用而與軛架13一起在豎直方向進(jìn)行直線運(yùn)動。塊體7繞樞軸11的支承點沿箭頭A所示方向進(jìn)行傾轉(zhuǎn)運(yùn)動，該樞軸11由導(dǎo)引槽10的彎曲底端10a(見圖10)支承。因此，閥盤5繞樞軸11的支承點沿箭頭B所示方向傾轉(zhuǎn)，使它貼在閥座4上。這樣，通道2被密封關(guān)閉。
參考標(biāo)號14是指具有菱形截面的盤狀凸輪。該傾斜的盤狀凸輪14基本水平地移動，這樣，塊體7以箭頭A所示方向繞導(dǎo)引槽10底端10a的支承點而傾轉(zhuǎn)。
不過，上述的普通技術(shù)閘閥1布置得使閥桿6由一對壓力缸8a、8b的驅(qū)動作用而進(jìn)行豎直運(yùn)動和傾轉(zhuǎn)運(yùn)動，而通道2由與閥桿6相連的閥盤5關(guān)閉。因此，對于普通技術(shù)的閘閥1，可能在該閘閥1使用多年后，當(dāng)閥盤5貼在閥座4上以關(guān)閉通道2時，通道2的密封性能會降低。
本發(fā)明的總的目的是提供一種閘閥，該閘閥可以通過使閥盤基本沿垂直方向而壓住并密封住閥室的閥座來防止由于磨損而產(chǎn)生粉塵或類似物。
本發(fā)明的主要目的是提供一種閘閥，該閘閥能通過用閥盤可靠地密封閥室的通道來提高通道的密封性能。
通過下面的說明并結(jié)合附圖，能夠更了解本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點，附圖中通過說明性的實例而示出了本發(fā)明優(yōu)選實施例。
圖1所示為本發(fā)明一個實施例的閘閥的示意透視圖；圖2所示為沿圖1中線Ⅱ-Ⅱ的垂直剖視圖；圖3所示為沿圖2中線Ⅲ-Ⅲ的垂直剖視圖，其中有局部被省略；圖4所示為沿圖2中軸向的局部垂直剖視圖；圖5是表示活塞在下死點的初始位置狀態(tài)的垂直剖視圖；圖6是表示活塞到達(dá)上死點的狀態(tài)的垂直剖視圖；圖7是表示閥盤從圖3所示狀態(tài)開始，基本水平地朝著通道移動的狀態(tài)的垂直剖視圖，其中有局部被省略；圖8是表示普通技術(shù)閘閥的軸向垂直剖視圖；圖9是表示普通技術(shù)閘閥的軸向垂直剖視圖；以及圖10是表示構(gòu)成普通技術(shù)閘閥的缸筒的透視圖。
圖1中，參考標(biāo)號20是指本發(fā)明實施例的一個閘閥。
閘閥20包括驅(qū)動部分22；閥桿24，該閥桿24可由該驅(qū)動部分22的驅(qū)動作用而垂直移動；閥盤26，用于根據(jù)閥桿24的移動而打開/關(guān)閉通道(后面將介紹)；以及移動機(jī)構(gòu)28，該移動機(jī)構(gòu)28位于閥桿24和閥盤26之間，以便使閥盤26朝著通道來回運(yùn)動。
閥室30借助于螺紋件而與驅(qū)動部分22的上部互聯(lián)。閥室30有用于使大氣與真空室連通的通道32(見圖3)。閥盤26貼在形成于閥室30內(nèi)壁面上的閥座34上，因此以密封方式關(guān)閉該通道32。密封件36沿環(huán)形槽而安裝在閥盤26上。這樣，通過該密封件36，能夠?qū)?dāng)閥盤26貼在閥座34上時所形成的密封保持住。
如圖2和3所示，驅(qū)動部分22由壓力缸機(jī)構(gòu)(驅(qū)動機(jī)構(gòu))44構(gòu)成。壓力缸機(jī)構(gòu)44包括成圓柱形的缸筒46、與該缸筒46的第一端相連的桿套48以及與該缸筒46第二端相連的端蓋50。在缸筒46的外壁面上形成有兩條安裝傳感器的長槽52a、52b，這兩條長槽52a,52b基本相互平行且沿軸向延伸(見圖4)。一對未示出的傳感器安裝在該安裝傳感器的長槽52a、52b中，該對傳感器用于檢測活塞的位置，并將在后面進(jìn)行介紹。
如圖4所示，在桿套48和端蓋50上分別形成有一對壓力流體進(jìn)口/出口孔54a、54b，該對壓力流體進(jìn)口/出口孔54a、54b分別與上部缸室和下部缸室連通，這將在后面進(jìn)行介紹。
如圖2所示，壓力缸機(jī)構(gòu)44包括可沿缸室58移動地裝于缸筒46中的活塞60；以及閥桿24，該閥桿24的第一端與活塞60相連，第二端與該移動機(jī)構(gòu)28相連。
裝在活塞60上的包括有活塞密封圈62，該活塞密封圈62使得由活塞60分成兩部分的上部缸室58a和下部缸室58b分別保持密封；磨損環(huán)64，該磨損環(huán)沿著缸筒46的內(nèi)壁面進(jìn)行滑動；以及環(huán)形磁體66。該環(huán)形磁體66可與活塞60一起移動。通過用裝在安裝傳感器的長槽52a、52b中的且未示出的傳感器來檢測磁體66的磁性而探測活塞60的位置。
一對桿件68a、68b連接到活塞60上，該對桿件68a、68b基本與閥桿24平行。桿件68a、68b的第一端插入導(dǎo)引軸70a、70b的孔72中。彈簧件74設(shè)在導(dǎo)引軸70a、70b的孔72中。該桿件68a、68b總是處于借助彈簧件74的彈力而壓向活塞60(向下)的狀態(tài)。因此，該桿件68a、68b可沿孔72逆著彈簧件74的彈力而移動。
導(dǎo)引軸70a、70b的第一端與一殼體(塊體件)76相連，該殼體構(gòu)成移動機(jī)構(gòu)28。擋塊78與位于對側(cè)的第二端相連，擋塊78各有一徑向向外伸出的環(huán)形擴(kuò)大部分。在該結(jié)構(gòu)中，擋塊78緊靠盤狀緩沖件80，該盤狀緩沖件80固定在桿套48上，以控制導(dǎo)引軸70a、70b的移動。形成于桿件68a、68b第一端上的環(huán)形固定部分82緊靠著擋塊78的內(nèi)圓周凸起。因此，能夠防止桿件68a、68b從導(dǎo)引軸70a、70b中脫出。
在桿套48的基本處于中心的部分處形成有小直徑的第一通孔84，閥桿24穿過該第一通孔84插入。還形成有穿過桿套48的一對第二通孔86a、86b，一對導(dǎo)引軸70a、70b分別穿過該對第二通孔而插入，同時該第一通孔84位于該對第二通孔之間。
一密封件88安裝在第一通孔84的內(nèi)圓周表面，該密封件88通過環(huán)繞閥桿24外圓周表面而保持缸室58的密封。在內(nèi)圓周表面上形成有環(huán)形凹口90，該環(huán)形凹口90作為加在閥桿24外圓周表面上的潤滑油的卸荷槽。
環(huán)繞導(dǎo)引軸70a、70b外圓周表面的導(dǎo)引環(huán)92安裝在第二通孔86a、86b的內(nèi)圓周表面上的環(huán)形槽中。該導(dǎo)引環(huán)92既有保持缸室58密封的密封作用，又有使導(dǎo)引軸70a、70b線性移動的導(dǎo)引作用。
移動機(jī)構(gòu)28包括分別與一對導(dǎo)引軸70a、70b的第一端相連的殼體76，該殼體76可與該對導(dǎo)引軸70a、70b一起軸向移動。殼體76包括由螺紋件94固定的外殼和蓋體(見圖3)。在殼體76內(nèi)部形成有基本呈圓形截面的腔室96。該閥桿24的第一端可插入該腔室96內(nèi)。
如圖2和3所示，齒條98通過螺紋件而與閥桿24的第一端相連。一對基本相互平行的齒形成于齒條98的相對側(cè)部分處。第一小齒輪100a和第二小齒輪100b分別有與齒條98上的一對齒相嚙合的齒，該第一小齒輪100a和第二小齒輪100b分別可旋轉(zhuǎn)地由殼體76支承。在第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的內(nèi)圓周表面分別形成有內(nèi)螺紋102(見圖3)。
一對軸襯件106a、106b通過螺紋件104而分別沿基本垂直的方向連接到閥盤26上。在該對軸襯件106a、106b上形成有外螺紋108，該外螺紋分別與形成于第一小齒輪100a和第二小齒輪100b內(nèi)圓周表面上的內(nèi)螺紋102相配合。相應(yīng)的軸襯件106a、106b可旋轉(zhuǎn)地由一對支承件110a、110b支承，該支承件110a、110b有多個環(huán)形布置的滾子。
形成于一對軸襯件106a、106b上的外螺紋108是螺紋方向相反的右手螺紋和左手螺紋，它們的螺紋方向與第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的內(nèi)螺紋102相對應(yīng)。
在移動機(jī)構(gòu)28中，齒條98與閥桿24一起向上運(yùn)動。這時，齒條98的齒分別與第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的齒嚙合。第一小齒輪100a和第二小齒輪100b以相反的方向旋轉(zhuǎn)。當(dāng)?shù)谝恍↓X輪100a和第二小齒輪100b分別旋轉(zhuǎn)時，由于第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的內(nèi)螺紋102與軸襯件106a、106b的外螺紋108之間的配合作用，軸襯件106a、106b朝通道32伸出。因此，與該對軸襯件106a、106b相連的閥盤26以基本水平的方向朝通道32移動。密封件36貼在閥座34上，從而使該通道32關(guān)閉。
在該結(jié)構(gòu)中，可以獲得下面關(guān)于移動機(jī)構(gòu)28的優(yōu)點。即，當(dāng)閥盤26以基本垂直于閥桿24軸線的方向(基本水平方向)移動時，閥桿24上沒有不平衡負(fù)載，可以通過等效地轉(zhuǎn)動該對第一小齒輪100a和第二小齒輪100b而移動該閥盤26。
本發(fā)明實施例的閘閥20的基本結(jié)構(gòu)如上所述。下面將介紹它的操作、功能和效果。在下面的介紹中，假設(shè)初始位置是處于打開狀態(tài)，其中該活塞60位于缸室58的最底端(下死點)，穿過閥室32而形成的通道32并沒有被閥盤26關(guān)閉，如圖5所示。
在該初始位置，壓力流體(例如壓縮空氣)通過壓力流體進(jìn)口/出口孔54b而從壓力流體供給源(未示出)供給到下部缸室58b中?；钊?0在供給到下部缸室58中的壓力流體的作用下向上運(yùn)動。與活塞60相連的閥桿24也一起向上運(yùn)動。這時，假設(shè)上部缸室58a在未示出的方向控制閥的作用下處于與大氣相通的狀態(tài)。
當(dāng)閥桿24向上運(yùn)動時，一對桿件68a、68b、導(dǎo)引軸70a、70b、移動機(jī)構(gòu)28和閥盤26與閥桿24一起整體地向上運(yùn)動。在該結(jié)構(gòu)中，將布置于導(dǎo)引軸70a、70b的各孔72內(nèi)的彈簧件74的彈簧力設(shè)置成預(yù)定值。因此，導(dǎo)引軸70a、70b和與活塞60相連的桿件68a、68b一起向上運(yùn)動。換句話說，在從圖5所示的初始狀態(tài)到圖2所示的閥盤26正對著通道32的狀態(tài)的過程中，桿件68a、68b的移動沒有克服彈簧件74的彈性力。桿件68a、68b和導(dǎo)引軸70a、70b整體移動。
當(dāng)該對導(dǎo)引軸70a、70b向上運(yùn)動時，該對導(dǎo)引軸70a、70b分別由導(dǎo)引環(huán)92支承。因此，布置在該對導(dǎo)引軸70a、70b之間的閥桿24保持線性精確性。
當(dāng)導(dǎo)引軸70a、70b與閥桿24一起向上運(yùn)動時，設(shè)在導(dǎo)引軸70a、70b第一端處的擋塊78緊靠著固定在桿套48上的緩沖件80。這時，該對導(dǎo)引軸70a、70b的移動被限制(見圖2)。因此，與該對導(dǎo)引軸70a、70b的末端相連的移動機(jī)構(gòu)28和閥盤26也靜止不動，這時的狀態(tài)是閥盤26正對著閥室30的通道32(見圖3)。
當(dāng)活塞60從圖2所示狀態(tài)進(jìn)一步向上運(yùn)動時，閥桿24和克服了彈簧件74彈力的桿件68a、68b一起向上運(yùn)動，從而形成如圖6所示狀態(tài)。在該結(jié)構(gòu)中，只有桿件68a、68b和閥桿24向上運(yùn)動，而導(dǎo)引軸70a、70b和殼體76通過擋塊78的固定作用而保持靜止。
因此，在移動機(jī)構(gòu)28的殼體76保持靜止的狀態(tài)下，與閥桿24的第一端相連的齒條98整體地向上運(yùn)動。這樣，齒條98的齒分別與第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的齒嚙合。該第一小齒輪100a和第二小齒輪100b以相反的方向旋轉(zhuǎn)。
當(dāng)?shù)谝恍↓X輪100a和第二小齒輪100b以彼此相反的方向旋轉(zhuǎn)時，由于第一小齒輪100a和第二小齒輪100b的內(nèi)螺紋102與軸襯件106a、106b的外螺紋108的嚙合作用，軸襯件106a、106b朝著通道32伸出。因此，與該對軸襯件106a、106b相連的閥盤26以基本水平的方向運(yùn)動。密封件36貼在閥座36上，從而將通道32關(guān)閉。
當(dāng)閥盤26的密封件36由于移動機(jī)構(gòu)28的推動作用而壓向通道32時，作用在閥桿24上的橫向負(fù)載由基本成橢圓形的活塞60的平表面部分112(見圖1)和缸筒46的內(nèi)壁面吸收。而分別作用在該對導(dǎo)引軸70a、70b上的橫向負(fù)載由導(dǎo)引環(huán)92和磨損環(huán)64吸收。因此，優(yōu)選是對導(dǎo)引環(huán)92和磨損環(huán)64進(jìn)行低摩擦處理。
隨后，當(dāng)閥盤26與閥座34分開以打開通道32時，壓力流體通過未示出的方向控制閥的切換作用而供給到上部缸室58a。因此，活塞60、閥桿24、桿件68a、68b和齒條98一起向下運(yùn)動。下部缸室58b則由于未示出的方向控制閥的切換作用而與大氣相通。這時，與齒條98的齒嚙合的第一小齒輪100a和第二小齒輪100b以與前述方向相反的方向旋轉(zhuǎn)。分別與第一小齒輪100a和第二小齒輪100b嚙合的軸襯件106a、106b以與前述方向相反的方向運(yùn)動。因此，閥盤26以離開通道32的方向運(yùn)動，從而形成圖3所示狀態(tài)。
當(dāng)活塞60向下運(yùn)動時，該對導(dǎo)引軸70a、70b由于彈簧件74的彈力作用而被向上壓。因此，只有閥桿24向下運(yùn)動，而該對導(dǎo)引軸70a、70b仍處于移動被限制的狀態(tài)。
當(dāng)壓力流體供給到該上部缸室58a中以使活塞60繼續(xù)向下運(yùn)動時，閥桿24、桿件68a、68b、導(dǎo)引軸70a、70b、移動機(jī)構(gòu)28和閥盤26一起向下運(yùn)動，以回復(fù)圖5所示的初始狀態(tài)。當(dāng)與活塞60相連的閥桿24向下運(yùn)動時，形成于桿件68a、68b第一端處的環(huán)形固定部分82與擋塊78的內(nèi)圓周凸起部分相配合。因此，閥桿24和導(dǎo)引軸70a、70b一起運(yùn)動。
在本發(fā)明實施例中，使得閥盤26以基本水平的方向朝著通道32來回運(yùn)動的移動機(jī)構(gòu)28設(shè)在閥桿24的末端。因此，通道32由閥盤26的密封件36可靠關(guān)閉。這可以提高通道32的密封性能。這時，閥盤26的密封件36以基本垂直于閥座34的方向貼合。因此，當(dāng)密封件36貼合時不會產(chǎn)生滑移，從而能避免產(chǎn)生粉塵或類似物。因此，能夠保持閥室30的清潔。
在本發(fā)明的實施例中，閥盤26能夠通過移動機(jī)構(gòu)28的推動作用而朝著通道32來回運(yùn)動，以便使密封件36貼在閥座34上。因此，閥桿24只進(jìn)行往復(fù)直線運(yùn)動，并沒有任何傾轉(zhuǎn)運(yùn)動。因此，可以減小作用在壓力缸機(jī)構(gòu)44上的負(fù)載，從而提高壓力缸機(jī)構(gòu)44的耐久性。
當(dāng)通道32由閥盤26關(guān)閉時作用在閥桿24上的橫向負(fù)載由基本成橢圓形的活塞60的平表面部分112和缸筒46的內(nèi)壁面適當(dāng)吸收。因此，可以減小作用在壓力缸機(jī)構(gòu)44上的負(fù)載，從而進(jìn)一步提高耐久性。且本發(fā)明不需要專門增加用于吸收橫向負(fù)載的構(gòu)件。因此，可以減少零件數(shù)，減少生產(chǎn)成本。
權(quán)利要求
1．一種閘閥，包括一驅(qū)動機(jī)構(gòu)(22)；一閥桿(24)，該閥桿(24)用于根據(jù)該驅(qū)動機(jī)構(gòu)(22)的驅(qū)動作用而移動；一導(dǎo)引軸(70a、70b)，用于引導(dǎo)所述閥桿(24)；一閥盤(26)，用于根據(jù)所述閥桿(24)的移動而打開/關(guān)閉一個穿過閥室(30)而形成的通道(32)；以及一移動機(jī)構(gòu)(28)，該移動機(jī)構(gòu)(28)設(shè)有與所述導(dǎo)引軸(70a、70b)相連的塊體件(76)，用于使所述閥盤(26)以基本垂直于所述閥桿(24)軸線的方向運(yùn)動，其中所述移動機(jī)構(gòu)(28)包括一齒條件(98)，該齒條件(98)與所述閥桿(24)相連，以便與所述閥桿(24)一起運(yùn)動；一小齒輪(100a、100b)，該小齒輪由所述塊體件(76)可旋轉(zhuǎn)地支承，以便與所述齒條件(98)嚙合；以及一軸襯件(106a、106b)，該軸襯件與所述閥盤(26)相連，并形成有用于與在所述小齒輪(100a、100b)內(nèi)圓周表面形成的內(nèi)螺紋(102)相配合的外螺紋(108)。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥，其特征在于，在所述導(dǎo)引軸(70a、70b)的一端設(shè)有用于控制所述導(dǎo)引軸(70a、70b)的移動的擋塊(78)。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥，其特征在于，所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)由壓力缸機(jī)構(gòu)(22)組成，該壓力缸機(jī)構(gòu)(22)設(shè)有用于沿缸筒(46)往復(fù)運(yùn)動的活塞(60)，所述活塞(60)基本成橢圓形。
4．根據(jù)權(quán)利要求2所述的閘閥，還包括一與活塞(60)相連的桿件(68a、68b)和一彈簧件(74)，該彈簧件布置在所述導(dǎo)引軸(70a、70b)的孔(72)中，以便將所述桿件(68a、68b)壓向所述活塞(60)；其中，當(dāng)所述導(dǎo)引軸(70a、70b)的所述移動由于所述擋塊(78)的固定作用而受到限制時，所述桿件(68a、68b)可與所述閥桿(24)一起逆著所述彈簧件(74)的彈力而移動。
5．根據(jù)權(quán)利要求4所述的閘閥，其特征在于，一對所述桿件(68a、68b)設(shè)在兩側(cè)，而基本與所述活塞(60)中心部分相連的所述閥桿(24)介于兩桿件(68a、68b)之間。
6．根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥，其特征在于，設(shè)有一對所述導(dǎo)引軸(70a、70b)，而所述閥桿(24)介于其間。
7．根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘閥，其特征在于，在所述齒條件(98)的相對側(cè)部分處形成有一對基本平行的齒，所述小齒輪包括第一小齒輪(100a)和第二小齒輪(100b)，該第一小齒輪(100a)和第二小齒輪(100b)分別與所述齒條件(98)的所述一對齒相嚙合。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的閘閥，其特征在于，一對所述軸襯件(106a、106b)具有所述外螺紋(108)，將該外螺紋(108)設(shè)置成具有螺紋方向彼此相反的右手螺紋和左手螺紋，它們的螺紋方向分別與所述第一小齒輪(100a)和所述第二小齒輪(100b)的所述內(nèi)螺紋(102)相對應(yīng)。
9．根據(jù)權(quán)利要求3所述的閘閥，其特征在于，所述基本成橢圓形的活塞(60)設(shè)有一平表面部分(112)，以便通過與所述缸筒(46)內(nèi)壁面接觸而吸收作用在所述閥桿(24)上的橫向負(fù)載。
10．根據(jù)權(quán)利要求9所述的閘閥，其特征在于，用于吸收作用在所述導(dǎo)引軸(70a、70b)上的橫向負(fù)載的磨損環(huán)(64)安裝在所述活塞(60)上。
11．根據(jù)權(quán)利要求3所述的閘閥，其特征在于，在所述缸筒(46)的一端設(shè)有桿套(48)；用于吸收作用在所述導(dǎo)引軸(70a、70b)上的橫向負(fù)載的導(dǎo)引環(huán)(92)安裝在所述桿套(48)的通孔(86a、86b)中，所述導(dǎo)引軸(70a、70b)穿過該通孔而插入。
全文摘要
一種閘閥包括:閥桿(24),用于由壓力缸機(jī)構(gòu)(44)的驅(qū)動作用而移動;導(dǎo)引軸(70a、70b),用于引導(dǎo)閥桿;閥盤(26),用于根據(jù)閥桿的移動而打開/關(guān)閉通道(32);齒條(98),其與閥桿相連以便與閥桿一起運(yùn)動;小齒輪(100a、100b),其由殼體(76)可旋轉(zhuǎn)地支承以便與齒條嚙合;軸襯件(106a、106b),其與閥盤(26)相連并形成有用于與在小齒輪內(nèi)圓周表面形成的內(nèi)螺紋(102)相嚙合的外螺紋(108)。
文檔編號F16K3/20GK1300910SQ0013548
公開日2001年6月27日 申請日期2000年12月21日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月21日
發(fā)明者藁谷健二, 石垣恒雄 申請人:Smc株式會社