耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝的制作方法
【專利摘要】鋁合金耐腐蝕性硬質(zhì)陽極氧化工藝，屬于硫酸陽極氧化工藝技術(shù)領(lǐng)域。具體步驟為：對(duì)鋁合金6061?T6/T651材料工件進(jìn)行硫酸陽極氧化處理，通過對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理：將工件放入10?15％wt的硫酸溶液，控制溫度為?1?1℃，調(diào)整電流密度為1?1.5A/dm2，升流時(shí)間為5?10min，反應(yīng)時(shí)間為3?4h，要求膜厚50?100um；將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入92?100℃的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為4?6小時(shí)；使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)。從而得到致密的氧化膜，此陽極膜進(jìn)行5％的鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試觀察陽極膜的耐腐蝕能，耐腐蝕時(shí)間達(dá)到8h以上，因此具有較高耐腐蝕性能。
【專利說明】
耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于硫酸硬質(zhì)陽極技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，適用于IC裝配關(guān)鍵耐腐蝕性反應(yīng)腔體硬質(zhì)陽極工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，有其特別的重要性。硫酸硬質(zhì)陽極工藝由于其特殊性能在工業(yè)生產(chǎn)中有著廣泛的應(yīng)用，IC領(lǐng)域中對(duì)硬質(zhì)陽極工藝性能要?dú)庠絹碓礁撸绕潢枠O膜的耐腐蝕性能，其廣泛應(yīng)用與關(guān)鍵反應(yīng)腔體及其它關(guān)鍵零部件，開發(fā)具有較高耐腐蝕硬質(zhì)陽極，提高設(shè)備性能及使用壽命有重要意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，對(duì)鋁合金材料工件進(jìn)行硫酸陽極氧化處理，通過控制陽極過程中硫酸濃度，反應(yīng)溫度，及電流密度等。從而得到致密的氧化膜，此陽極膜進(jìn)行5 %的鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到Sh以上，具有較高耐腐蝕性能。
[0004]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:
[0005]本發(fā)明耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，包括如下步驟:
[0006](I)將鋁合金材料6061-T6/T651工件進(jìn)行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra〈16uin，清洗干凈后，去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)；
[0007](2)對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理:將工件放入10_15%wt的硫酸溶液，控制溫度為-1?TC，調(diào)整電流密度為l_1.5A/dm2，升流時(shí)間為5-10min，反應(yīng)時(shí)間為3-4h，要求膜厚50_100um;
[0008](3)將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入92_100°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為4-6小時(shí);使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)；
[0009](4)使用5%wt的鹽酸溶液經(jīng)行鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試，耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到8h以上。
[0010]進(jìn)一步地，所述前處理采用堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面雜質(zhì)。
[0011 ]進(jìn)一步地，控制參數(shù)為:溫度為-1?TC，調(diào)整電流密度為I?1.5A/dm2，升流時(shí)間為5?1min0
[0012]進(jìn)一步地，所述鹽酸溶液經(jīng)行鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試即:將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5 鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。
[0013]本發(fā)明的有益效果為:
[0014]本發(fā)明可有效提高工件的耐腐蝕性能的陽極膜，使用5%Wt的鹽酸溶液經(jīng)行Bubble Test，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5%wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到Sh以上。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0016]實(shí)施例1:本發(fā)明包括如下步驟:(1)將鋁合金材料6061-T6/T651工件進(jìn)行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra〈16uin，清洗干凈后，進(jìn)行堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)。
[0017](2)對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理，將工件放入12 % Wt的硫酸溶液，控制溫度為O°C，調(diào)整電流密度為lA/dm2，升流時(shí)間為7min，反應(yīng)時(shí)間為3.5h，要求膜厚80um。
[0018](3)將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入96 0C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為5小時(shí)。使用壓縮空氣，靜止24小時(shí)。
[0019](4)使用5 % Wt的鹽酸溶液經(jīng)行鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試，即將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5 % wt鹽酸溶液液位高2.5cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到Sh以上。
[0020]所述前處理采用堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面雜質(zhì)。
[0021]實(shí)施例2:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中步驟(2)對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理，將工件放入10%Wt的硫酸溶液，控制溫度為-l°c，調(diào)整電流密度為lA/dm2，升流時(shí)間為5min，反應(yīng)時(shí)間為3h，要求膜厚50um。
[0022]步驟(3)將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入92_100°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為4小時(shí)。
[0023 ]步驟(4)的鹽酸溶液液位高2 cm。
[0024]實(shí)施例3:本例與實(shí)施例1不同的是:本例中步驟(2)對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理，將工件放入15 %wt的硫酸溶液，控制溫度為10C，調(diào)整電流密度為1.5A/dm2，升流時(shí)間為I Omin，反應(yīng)時(shí)間為4h，要求膜厚I OOum。
[0025]步驟(3)將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入92-100°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為6小時(shí)。
[0026]步驟(4)的鹽酸溶液液位高3cm。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，其特征在于:包括如下步驟: (1)將鋁合金材料6061-T6/T651工件進(jìn)行陽極前處理，首先拋光打磨工件表面，要求Ra<16uin，清洗干凈后，去除表面氧化皮，水洗后使用硝酸洗去除表面雜質(zhì)； (2)對(duì)工件進(jìn)行硬質(zhì)陽極氧化處理:將工件放入10-15%wt的硫酸溶液，控制溫度為-1?TC，調(diào)整電流密度為l_1.5A/dm2，升流時(shí)間為5-10min，反應(yīng)時(shí)間為3-4h，要求膜厚50-1OOum； (3)將工件進(jìn)行封孔處理，將陽極好工件放入92-100°C的純水中經(jīng)行封孔，封孔時(shí)間為4-6小時(shí);使用壓縮空氣吹干，靜止24小時(shí)； (4)使用5% wt的鹽酸溶液經(jīng)行鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試，耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝試片耐腐蝕性測(cè)試時(shí)間達(dá)到8h以上。2.如權(quán)利要求1所述耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，其特征在于:所述前處理采用堿咬去除表面氧化皮，水洗后使用50%硝酸洗去除表面雜質(zhì)。3.如權(quán)利要求1所述耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，其特征在于控制參數(shù)為:溫度為-1?1°C，調(diào)整電流密度為I?1.5A/dm2，升流時(shí)間為5?lOmin。4.按照權(quán)利要求1所述耐腐蝕性硫酸硬質(zhì)陽極氧化工藝，其特征在于:所述鹽酸溶液經(jīng)行鹽酸氣泡耐腐蝕性測(cè)試即:將玻璃管使用遮封膠水，粘附在試片表面，在玻璃管內(nèi)加入測(cè)試用5%wt鹽酸溶液液位高2-3cm，測(cè)試區(qū)域溶液同一個(gè)點(diǎn)在一秒鐘內(nèi)連續(xù)冒三個(gè)以上氣泡，代表測(cè)試結(jié)束，記錄結(jié)束時(shí)間。
【文檔編號(hào)】C25D11/04GK105887151SQ201610341907
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年5月23日
【發(fā)明人】張少杰
【申請(qǐng)人】沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司