用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的制造方法
【專利說明】用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備
[0001]相關(guān)申請的交叉參考
本申請主張2014年11月26日提出申請的第10-2014-0166293號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)，該韓國專利申請的全部公開內(nèi)容以引用方式全文并入本文中。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及一種用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備，且更具體來說，涉及一種能夠使表面檢驗(yàn)器及電解拋光器在機(jī)械、建筑、化工的各種工業(yè)現(xiàn)場而無論是何種類型的測試地點(diǎn)對測試對象進(jìn)行測試，從而減少測試成本及過程，且節(jié)省安裝表面檢驗(yàn)設(shè)備及電解拋光設(shè)備所必需的人力及時(shí)間的用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0003]表面檢驗(yàn)器用以檢驗(yàn)測試對象的表面結(jié)構(gòu)，S卩，以微型數(shù)碼照相機(jī)拍攝測試對象的經(jīng)蝕刻表面照射狀態(tài)、IC芯片等的精細(xì)電路狀態(tài)、半導(dǎo)體表面的異物附著狀態(tài)等，并傳輸所拍攝結(jié)果。
[0004]此外，電解拋光器用以通過在陽極與陰極之間施加電壓而對處理對象的表面進(jìn)行電解以將所述表面拋光，其中使由可溶解在電解溶液中的金屬制成的處理對象作為陽極，并使不能溶解在電解溶液中的處理金屬作為陰極。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)的此種表面檢驗(yàn)器及電解拋光器尺寸大且重，因此必須被固定地安裝在測試室內(nèi)來使用。
[0006]此外，通常必須將測試對象移動(dòng)到測試室且隨后固定到測試設(shè)備來進(jìn)行測試。
[0007]因此，為執(zhí)行表面檢驗(yàn)及電解拋光兩者，必須將測試對象從一個(gè)設(shè)備移動(dòng)到另一設(shè)備，這是不方便的。
[0008]此外，在機(jī)械、建筑、化工等的工業(yè)現(xiàn)場所安裝的各種構(gòu)件及結(jié)構(gòu)不僅尺寸大且重，而且在被安裝到工業(yè)現(xiàn)場的過程中其性質(zhì)可能已改變，或者其可能是在其形狀或結(jié)構(gòu)已改變的情況下被安裝。因此，當(dāng)打算檢查已安裝結(jié)構(gòu)的最終安全性時(shí)，構(gòu)件或結(jié)構(gòu)必須要在已安裝狀態(tài)中來加以測試，這也是一項(xiàng)問題。
[0009]尤其地，為在機(jī)械、建筑、化工等的工業(yè)現(xiàn)場執(zhí)行表面檢驗(yàn)及電解拋光兩者，必須安裝表面檢驗(yàn)器及電解拋光器兩者，從而造成操作過程、人力及時(shí)間增加的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的上述問題，即，提供一種能夠使表面檢驗(yàn)器及電解拋光器在機(jī)械、建筑、化工等的各種工業(yè)現(xiàn)場而無論是何種測試地點(diǎn)對測試對象進(jìn)行測試從而減少成本及過程的用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備。
[0011]本發(fā)明的另一目的是提供一種也無論是何種測試地點(diǎn)均節(jié)省用于安裝表面檢驗(yàn)器及電解拋光器的人力及時(shí)間的用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備。
[0012]然而，并不限于本發(fā)明的上述目的，且因此，基于以下說明，所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員將能清楚地理解本文中未提及的進(jìn)一步目的。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，提供一種用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備，所述設(shè)備包括:殼體，其中嵌入有電動(dòng)機(jī)及控制器；螺桿軸，用以由所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)；圓筒，用以容納耦接到所述螺桿軸的滾珠螺母且用以耦接到滑塊；多個(gè)導(dǎo)引部件，所述導(dǎo)引部件中的每一個(gè)的上端耦接到所述殼體且下端耦接到底座板，且因此所述上端及下端被固定；所述滑塊，所述導(dǎo)引部件穿透所述滑塊且因此耦接到所述滑塊，且所述滑塊用以在所述電動(dòng)機(jī)的運(yùn)行期間沿著所述導(dǎo)引部件與所述圓筒一起上下移動(dòng)；以及表面檢驗(yàn)器及電解拋光器，耦接到所述滑塊且用以與所述滑塊一起上下移動(dòng)。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施例，可使表面檢驗(yàn)器及電解拋光器在機(jī)械、建筑、化工等的各種工業(yè)現(xiàn)場而無論是何種測試地點(diǎn)對測試對象進(jìn)行測試，從而提供減少成本及過程的效果O
[0015]此外，根據(jù)本發(fā)明的上述實(shí)施例，存在減少安裝表面檢驗(yàn)器及電解拋光器所必需的人力及時(shí)間的效果。
【附圖說明】
[0016]通過參照附圖詳細(xì)地描述實(shí)施例，所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將更加清楚本發(fā)明的以上及其他特征以及優(yōu)點(diǎn)，附圖中:
圖1是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的立體圖；
圖2是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的正視圖；
圖3是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的側(cè)視圖；
圖4是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的立體圖；以及圖5是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的一部分的分解立體圖。
[0017]主要元件標(biāo)記說明
101:殼體103:導(dǎo)引部件
105:底座板107:滑塊
107a:轂板107b:鉸鏈軸
107c:緊固部件107d:彈性主體
107e:滾珠109:螺桿軸
111:滾珠螺母113:圓筒
115:限位傳感器115a:定位部件
117:負(fù)荷傳感器120:表面檢驗(yàn)器
121:頭單元?dú)んw121a:延伸凸緣
121b:導(dǎo)引凹槽121c:擱置凹槽
123:檢驗(yàn)頭單元130:電解拋光器
131:探針殼體133:探針
133a:探針尖端。
【具體實(shí)施方式】
[0018]在下文中，將參照附圖更詳細(xì)地描述實(shí)施例。本文中將參照作為實(shí)施例(及中間結(jié)構(gòu))的示意圖的截面圖來描述實(shí)施例。因此，預(yù)期會(huì)因例如制造技術(shù)及/或容差而與各圖所示的形狀有所變化。因此，實(shí)施例不應(yīng)被理解為僅限于本文所例示的特定區(qū)域形狀，而是可包括因例如制造而引起的形狀偏差。在圖式中，為清晰起見，可能擴(kuò)大各層及區(qū)域的長度及大小。圖式中的相同參考編號表示相同元件。
[0019]例如“第一 ”、“第二 ”、“A”、“B ”、“( a) ”、“ (b ) ”等用語可用于描述各種構(gòu)件，但其不應(yīng)限制所述各種構(gòu)件。這些用語僅用于將一構(gòu)件與其他構(gòu)件區(qū)分開。舉例來說，第一構(gòu)件可被稱作第二構(gòu)件，且第二構(gòu)件可被稱作第一構(gòu)件等等，此并不背離本發(fā)明的精神及范圍。此外，“及/或”可包括所提及構(gòu)件中的任一個(gè)或其組合。此外，“連接/接達(dá)/耦接(connected/accessed/coupled)^表示一個(gè)構(gòu)件直接連接、接達(dá)或親接到另一構(gòu)件或者通過另一構(gòu)件間接地連接、接達(dá)或親接。
[0020]圖1是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的立體圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的正視圖；圖3是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的側(cè)視圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的立體圖；且圖5是根據(jù)本發(fā)明用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備的一部分的分解立體圖。
[0021]如圖式中所例示，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備包括:殼體101，其中嵌入有電動(dòng)機(jī)及控制器；螺桿軸109，可由所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)；圓筒113，用于容納耦接到螺桿軸109的滾珠螺母111且耦接到下文將進(jìn)行解釋的滑塊107 ;多個(gè)導(dǎo)引部件103，每一導(dǎo)引部件的上端耦接并因此固定到殼體101，且下端耦接并因此固定到底座板105 ;滑塊107，導(dǎo)引部件103穿透滑塊107且因此穿過滑塊107被耦接，且滑塊107在運(yùn)行期間沿著導(dǎo)引部件103與圓筒113 —起上下移動(dòng)；以及表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130，耦接到滑塊107且因此與滑塊107 —起上下移動(dòng)。
[0022]根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例用于表面檢驗(yàn)及電解拋光的便攜式設(shè)備包括表面檢驗(yàn)器120、電解拋光器130、及框架，所述框架用于支撐表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130并使表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130上下移動(dòng)，其中表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130可旋轉(zhuǎn)以改變位置且可上下移動(dòng)。
[0023]表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130由所述框架支撐，且由所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)及上下移動(dòng)，其中所述框架包括殼體101、螺桿軸109、滾珠螺母111、圓筒113、導(dǎo)引部件103、滑塊107、及底座板105。
[0024]在殼體101中，嵌入有:電動(dòng)機(jī)，用于驅(qū)動(dòng)螺桿軸109 ;以及控制器，包括用于操作所述電動(dòng)機(jī)的開關(guān)、以及用于借助所述框架上端處的限位傳感器115來控制表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130的上/下移動(dòng)的電路與開關(guān)。
[0025]殼體101的下端耦接有形成為柱形狀的多個(gè)導(dǎo)引部件103。本文中，導(dǎo)引部件103平行耦接到殼體101的外部部分，使得螺桿軸109定位在導(dǎo)引部件103的中央部分中。
[0026]在本發(fā)明的圖式中，作為實(shí)例而例示了四個(gè)導(dǎo)引部件103，但并不限于此情況，且因此至少三個(gè)導(dǎo)引部件103可垂直地布置在殼體101的下端上，其中導(dǎo)引部件103彼此盡可能遠(yuǎn)地隔開，使得螺桿軸109、圓筒113、表面檢驗(yàn)器120、及電解拋光器130均布置在導(dǎo)引部件103之間。
[0027]此外，在導(dǎo)引部件103的相對端處，中間帶孔的底座板105被耦接成剛性地支撐導(dǎo)引部件103，且使表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130上下移動(dòng)的滑塊107耦接在導(dǎo)引部件103的兩端之間。
[0028]螺桿軸109被從殼體101的中心向下布置且用以由所述電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)，且螺桿軸109還用以耦接到滾珠螺母111且因此將旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)改變成直線運(yùn)動(dòng)，且滾珠螺母111耦接到與滑塊107耦接的圓筒。
[0029]因此，當(dāng)電動(dòng)機(jī)被驅(qū)動(dòng)且因此螺桿軸109旋轉(zhuǎn)時(shí)，滾珠螺母111沿著螺桿軸109上下移動(dòng)，且滾珠螺母111所耦接到的圓筒113及滑塊107也沿著螺桿軸109移動(dòng)，其中因?yàn)閷?dǎo)引部件103穿透滑塊107，所以滑塊107在上下移動(dòng)時(shí)由導(dǎo)引部件103導(dǎo)引及支撐。
[0030]此外，在圓筒113的上端處耦接有限位傳感器115，且在定位在滑塊107的上側(cè)處的導(dǎo)引部件103上，布置有一對用于設(shè)定限位傳感器115的上/下移動(dòng)位置的定位部件115a，定位部件115a沿上下方向彼此隔開使得其可控制表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130的上下位置，從而防止使表面檢驗(yàn)器120及電解拋光器130損壞或變形。
[0031]表面檢驗(yàn)器120用以檢驗(yàn)測試對象的表面結(jié)構(gòu)狀態(tài)，S卩，以微型數(shù)碼照相機(jī)拍攝測試對象的經(jīng)蝕刻表面照射狀態(tài)、IC芯片的精細(xì)電路狀態(tài)、半導(dǎo)體表面的異物附著狀態(tài)等，并傳輸所拍攝結(jié)果。在本發(fā)明中，表面檢驗(yàn)器120主要用于恰好在壓痕測試之前獲得測試對象的經(jīng)電