一種電解拋光治具及電解裝置的制造方法
【專利摘要】一種電解拋光治具，屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域。包括鈦多環(huán)、兩根鈦桿及置于鈦桿兩端的固定環(huán)，所述鈦多環(huán)由至少一根鈦絲繞成多環(huán)形狀，各環(huán)之間存在預(yù)設(shè)間隔，所述鈦多環(huán)由所述兩根鈦桿交叉固定，鈦桿長度大于沿鈦桿延伸方向的鈦多環(huán)直徑，每根鈦桿的兩端分別具有一個所述固定環(huán)。本實(shí)用新型增加了電解陰極面積，在電解拋光時，陽極凸起處粘膜薄，電流密度大，電位升高，表面析出大量氧氣，加快產(chǎn)品小孔處毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本電解拋光治具的鈦多環(huán)各環(huán)間距相等，電解拋光效果更加均勻。
【專利說明】
一種電解拋光治具及電解裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于表面處理技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種IC裝備制造業(yè)的小孔電解拋光治具及電解裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前IC裝備(半導(dǎo)體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產(chǎn)設(shè)備)制造行業(yè)中，需要電解拋光的產(chǎn)品很多，其可以美化產(chǎn)品外觀，使產(chǎn)品表面粗糙度和光亮度都有很大改善;但對于有小孔的產(chǎn)品，于小孔電解拋光時溶液流動性不好，去除毛刺實(shí)現(xiàn)難度大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述存在的技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種電解拋光治具，能夠更好的實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的。
[0004]同時，本發(fā)明還提供了一種電解裝置，通過在電解裝置中增加電解陰極面積，更好地去除有小孔產(chǎn)品的小孔處毛刺。
[0005]本發(fā)明目的是通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0006]本發(fā)明一種電解拋光治具，包括鈦多環(huán)、兩根鈦桿及置于鈦桿兩端的固定環(huán)，所述鈦多環(huán)由至少一根鈦絲繞成多環(huán)形狀，各環(huán)之間存在預(yù)設(shè)間隔，所述鈦多環(huán)由所述兩根鈦桿交叉固定，鈦桿長度大于沿鈦桿延伸方向的鈦多環(huán)直徑，每根鈦桿的兩端分別具有一個所述固定環(huán)。
[0007]進(jìn)一步地，所述鈦多環(huán)由鈦絲沿同一方向繞制而成，且各環(huán)之間間隔相等。
[0008]進(jìn)一步地，所述鈦多環(huán)的鈦絲直徑為5mm。
[0009]進(jìn)一步地，所述兩根鈦桿交叉成十字型分別焊接于所述鈦多環(huán)上，交叉點(diǎn)為鈦多環(huán)的中心點(diǎn)。
[0010]進(jìn)一步地，所述鈦桿由兩根鈦絲構(gòu)成。
[0011]進(jìn)一步地，所述兩根鈦桿位于鈦多環(huán)的同一側(cè)。
[0012]進(jìn)一步地，所述固定環(huán)為“U”型；由鈦絲彎制而成。
[0013]本發(fā)明一種電解裝置，包括所述的電解拋光治具；
[0014]電解陰極；
[0015]產(chǎn)品上掛掛具；
[0016]所述電解拋光治具通過一根鈦桿兩端的固定環(huán)與所述電解陰極連接，通過另一根鈦桿兩端的固定環(huán)與所述產(chǎn)品上掛掛具固定。
[0017]進(jìn)一步地，所述電解拋光治具與所述產(chǎn)品上掛掛具的固定連接處通過絕緣介質(zhì)隔離。
[0018]進(jìn)一步地，所述電解拋光治具鈦絲的環(huán)形與產(chǎn)品的小孔工位對準(zhǔn)，且與產(chǎn)品的距離為 5-10cm。
[0019]本發(fā)明的有益效果:
[0020]本發(fā)明增加了電解陰極面積，在電解拋光時，陽極凸起處粘膜薄，電流密度大，電位升高，表面析出大量氧氣，加快產(chǎn)品小孔處毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本電解拋光治具的鈦多環(huán)各環(huán)間距相等，電解拋光效果更加均勻。
【附圖說明】
[0021]附圖是用來提供對本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0022]圖1為本發(fā)明實(shí)施例中電解拋光治具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]圖2為本發(fā)明實(shí)施例中電解裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]附圖標(biāo)記說明
[0025]I鈦多環(huán)2鈦桿3固定環(huán)I電解拋光治具
[0026]Π電解陰極m產(chǎn)品上掛掛具
【具體實(shí)施方式】
[0027]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0028]圖1是根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施例提供的電解拋光治具的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本發(fā)明提供的電解拋光治具包括:鈦多環(huán)1、兩根鈦桿2及置于鈦桿2兩端的固定環(huán)3，其中鈦多環(huán)I由至少一根鈦絲沿同一方向繞成多環(huán)形狀，示例地，鈦絲直徑為5mm;各環(huán)之間存在預(yù)設(shè)間隔，示例地，各環(huán)之間間隔相等，電解拋光效果更加均勻;鈦多環(huán)I由兩根鈦桿2交叉固定，鈦桿2長度大于沿鈦桿2延伸方向的鈦多環(huán)I的直徑，示例地，兩根鈦桿2交叉成十字型，分別焊接于鈦多環(huán)I上，交叉點(diǎn)為鈦多環(huán)I的中心點(diǎn)，兩根鈦桿2可以位于鈦多環(huán)I的同側(cè)，也可分置在鈦多環(huán)I的兩側(cè)，為了固定更加牢固，鈦桿2由兩根鈦絲構(gòu)成;每根鈦桿2的兩端分別具有一個固定環(huán)3，示例地，鈦桿2兩端的固定環(huán)3為“U”型，用于同電解裝置的電解陰極Π及產(chǎn)品上掛掛具m連接。
[0029]圖2是根據(jù)本發(fā)明的另一種實(shí)施例提供的電解裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，本發(fā)明提供的電解裝置包括:電解拋光治具1、電解陰極Π及產(chǎn)品上掛掛具m。
[0030]如圖1所示，電解拋光治具I包括:鈦多環(huán)1、兩根鈦桿2及置于鈦桿2兩端的固定環(huán)3，其中鈦多環(huán)I由至少一根鈦絲沿同一方向繞成多環(huán)形狀，示例地，鈦絲直徑為5mm;各環(huán)之間存在預(yù)設(shè)間隔，示例地，各環(huán)之間間隔相等，電解拋光效果更加均勻;鈦多環(huán)I由兩根鈦桿2交叉固定，鈦桿2長度大于沿鈦桿2延伸方向的鈦多環(huán)I的直徑，示例地，兩根鈦桿2交叉成十字型，分別焊接于鈦多環(huán)I上，交叉點(diǎn)為鈦多環(huán)I的中心點(diǎn)，兩根鈦桿2可以位于鈦多環(huán)I的同側(cè)，也可分置在鈦多環(huán)I的兩側(cè)，為了固定更加牢固，鈦桿2由兩根鈦絲構(gòu)成;每根鈦桿2的兩端分別具有一個固定環(huán)3，示例地，鈦桿2兩端的固定環(huán)3為“U”型。
[0031]電解拋光治具I通過一根鈦桿2兩端的兩個固定環(huán)3與電解陰極Π連接，以增大電極面積，通過另一根鈦桿2兩端的固定環(huán)3與產(chǎn)品上掛掛具m固定，固定連接處通過絕緣介質(zhì)進(jìn)行隔離，所述絕緣介質(zhì)為聚氯乙烯膠帶或在產(chǎn)品上掛掛具m上套置絕緣殼，防止連接導(dǎo)電;在電解拋光時，電解拋光治具I與產(chǎn)品的小孔工位對準(zhǔn)，且與產(chǎn)品距離5-lOcm。
[0032]以上結(jié)合附圖詳細(xì)描述了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，本優(yōu)選實(shí)施方式中的電解裝置因采用了電解拋光治具I，增大了陰極面積，根據(jù)電解拋光粘膜理論，陽極凸起處粘膜薄，電流密度大，電位升高，表面析出大量氧氣，加快產(chǎn)品小孔處毛刺凸起部位的粘膜溶解速度，使表面平滑，去除毛刺，且本電解拋光治具I的鈦多環(huán)I各環(huán)間距相等，使電解拋光效果更加均勻。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種電解拋光治具，其特征在于:包括鈦多環(huán)、兩根鈦桿及置于鈦桿兩端的固定環(huán)，所述鈦多環(huán)由至少一根鈦絲繞成多環(huán)形狀，各環(huán)之間存在預(yù)設(shè)間隔，所述鈦多環(huán)由所述兩根鈦桿交叉固定，鈦桿長度大于沿鈦桿延伸方向的鈦多環(huán)直徑，每根鈦桿的兩端分別具有一個所述固定環(huán)。2.如權(quán)利要求1所述的電解拋光治具，其特征在于:所述鈦多環(huán)由鈦絲沿同一方向繞制而成，且各環(huán)之間間隔相等。3.如權(quán)利要求1或2所述的電解拋光治具，其特征在于:所述鈦多環(huán)的鈦絲直徑為5_。4.如權(quán)利要求1所述的電解拋光治具，其特征在于:所述兩根鈦桿交叉成十字型分別焊接于所述鈦多環(huán)上，交叉點(diǎn)為鈦多環(huán)的中心點(diǎn)。5.如權(quán)利要求4所述的電解拋光治具，其特征在于:所述鈦桿由兩根鈦絲構(gòu)成。6.如權(quán)利要求4所述的電解拋光治具，其特征在于:所述兩根鈦桿位于鈦多環(huán)的同一側(cè)。7.如權(quán)利要求1所述的電解拋光治具，其特征在于:所述固定環(huán)為“U”型；由鈦絲彎制而成。8.一種電解裝置，其特征在于:所述電解裝置包括: 權(quán)利要求1-6中任一項(xiàng)所述的電解拋光治具； 電解陰極； 產(chǎn)品上掛掛具； 所述電解拋光治具通過一根鈦桿兩端的固定環(huán)與所述電解陰極連接，通過另一根鈦桿兩端的固定環(huán)與所述產(chǎn)品上掛掛具固定。9.如權(quán)利要求7所述的電解裝置;其特征在于:所述電解拋光治具與所述產(chǎn)品上掛掛具的固定連接處通過絕緣介質(zhì)隔離。10.如權(quán)利要求7所述的電解裝置;其特征在于:所述電解拋光治具鈦絲的環(huán)形與產(chǎn)品的小孔工位對準(zhǔn)，且與產(chǎn)品的距離為5-lOcm。
【文檔編號】C25F7/00GK205676552SQ201620542198
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月7日 公開號201620542198.0, CN 201620542198, CN 205676552 U, CN 205676552U, CN-U-205676552, CN201620542198, CN201620542198.0, CN205676552 U, CN205676552U
【發(fā)明人】徐宏巖
【申請人】沈陽富創(chuàng)精密設(shè)備有限公司