技術(shù)總結(jié)
本專利公開了一種微橋結(jié)構(gòu)錳鈷鎳氧薄膜紅外探測器件。探測器的微橋結(jié)構(gòu)為一平臺(tái)，將錳鈷鎳氧薄膜材料沉積在該平臺(tái)上制作紅外探測器，其微橋結(jié)構(gòu)的犧牲層采取直接加熱的方式去除，而無需在錳鈷鎳氧探測元上再沉積一層鈍化層，且犧牲層可以在內(nèi)部形成拱形的支撐結(jié)構(gòu)，也簡化了制作流程，節(jié)約了成本，提高了器件之作的成功率，同時(shí)由于其平臺(tái)結(jié)構(gòu)強(qiáng)度較高，在紅外器件的諸如涂黑漆、封裝等步驟中不易受損。

技術(shù)研發(fā)人員：黃志明;張飛;周煒;吳敬;黃敬國;高艷卿;曲越;孫雷;江林;姚娘娟;褚君浩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
文檔號(hào)碼：201621119724
技術(shù)研發(fā)日：2016.10.13
技術(shù)公布日：2017.05.03