技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于金剛石線切割的水基冷卻液及其制備方法。所述用于金剛石線切割的水基冷卻液包含99.8-99.95重量份的水、0.01-0.07重量份的潤(rùn)濕劑、0.01-0.07重量份的乳化分散劑、0.01-0.05重量份的消泡劑和0.001-0.015重量份的金屬抑制劑。本發(fā)明所述的用于金剛石線切割的水基冷卻液改變了傳統(tǒng)的用油基冷卻液進(jìn)行金剛線切割單多晶硅片技術(shù)，在提升良率的同時(shí)，使切割液水含量達(dá)到99％以上，從而大大降低了切割成本。

技術(shù)研發(fā)人員：孫培亞;劉瑞鴻;唐駿;余剛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：鎮(zhèn)江榮德新能源科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.02.29
技術(shù)公布日：2017.09.05