金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及金剛線切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在金剛線切割中，切割液是回收再循環(huán)利用的，然而切割過(guò)程中，會(huì)因刀口切割而產(chǎn)生大量的硅粉，硅粉融入到切割液中，而硅粉在切割中起到阻礙切割的作用，使得金剛線切割力大受影響。隨著切割的深入，切割液中硅粉含量越來(lái)越多，影響越來(lái)越大，造成硅片表面附著嚴(yán)重，難以清洗，并出現(xiàn)氧化、色斑等情況，因此，便需要對(duì)過(guò)濾系統(tǒng)的過(guò)濾栗進(jìn)行清洗，然而，如果對(duì)過(guò)濾栗進(jìn)行清洗，就需要將整臺(tái)機(jī)器停機(jī)，將過(guò)濾栗摘下，浪費(fèi)時(shí)間，使得工作不連續(xù)，影響工作效率。
[0003]如圖1所示，其為現(xiàn)有技術(shù)中的金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，切割液收集裝置I收集切割液，通過(guò)第一過(guò)濾管路3輸入到過(guò)濾栗5中，經(jīng)過(guò)過(guò)濾栗5的過(guò)濾，然后通過(guò)輸出管路將切割液輸送至切割液噴出口 11，對(duì)硅片進(jìn)行冷卻、降溫。工作過(guò)程中，需要對(duì)過(guò)濾栗5進(jìn)行清理，將過(guò)濾栗5拆下，必須停機(jī)才能進(jìn)行此項(xiàng)工作，因此，到導(dǎo)致工作的中止、暫停，影響工作的連續(xù)性，浪費(fèi)工作時(shí)間，降低工作的效率。
[0004]再者，在實(shí)際生產(chǎn)中，過(guò)濾栗剛剛進(jìn)行清洗更換顧慮網(wǎng)后的一段時(shí)間內(nèi)，回收的切割液中硅粉的含量并不高，并不會(huì)影響到切割質(zhì)量，因此，在整個(gè)工作時(shí)間內(nèi)，使得過(guò)濾栗均處于工作的狀態(tài)，存在的能源的浪費(fèi)。
[0005]因此，如何研發(fā)一種在對(duì)過(guò)濾栗進(jìn)行清洗的過(guò)程中，使得金剛線切割機(jī)工作連續(xù)、不停機(jī)，節(jié)約工作時(shí)間、提高工作效率，并且設(shè)計(jì)合理，節(jié)約能源的金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問(wèn)題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題，是提供一種金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，其設(shè)計(jì)更加科學(xué)、合理，減少浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
[0007]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:
[0008]金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，包括切割液收集裝置、切割液噴出口和連通二者之間的第一過(guò)濾管路，所述第一過(guò)濾管路上設(shè)有過(guò)濾栗I，在切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路并列的連通管路；所述連通管路上設(shè)有閥門(mén)III ;所述第一過(guò)濾管路上還設(shè)有位于過(guò)濾栗I的上游的閥門(mén)I ;所述第一過(guò)濾管路和連通管路的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置。
[0009]作為優(yōu)選，所述切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路和連通管路并列的第二過(guò)濾管路，所述第二過(guò)濾管路上設(shè)有過(guò)濾栗II和位于過(guò)濾栗II上游的閥門(mén)II。
[0010]作為優(yōu)選，所述閥門(mén)1、閥門(mén)II和閥門(mén)III均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開(kāi)和關(guān)閉的控制裝置。
[0011]作為優(yōu)選，所述過(guò)濾栗I和過(guò)濾栗II內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過(guò)濾袋。
[0012]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:
[0013]1、本實(shí)用新型通過(guò)在原有的過(guò)濾管路上增加一條與原管路并列的沒(méi)有過(guò)濾栗的新管路，并在兩條管路上均設(shè)置閥門(mén)，在兩條管路的上游設(shè)置硅粉的檢測(cè)裝置，以實(shí)現(xiàn)通過(guò)檢測(cè)裝置檢測(cè)切割液中硅粉的含量，當(dāng)硅粉含量較低，不會(huì)影響硅片質(zhì)量時(shí)，啟用不需要過(guò)濾的管路；當(dāng)切割液中的硅粉含量較高，以至于影響硅片的切割質(zhì)量時(shí)，關(guān)閉無(wú)過(guò)濾作用的新管路，打開(kāi)過(guò)濾管路，對(duì)切割液中的硅粉進(jìn)行過(guò)濾，以保證硅片表面的質(zhì)量。這種系統(tǒng)設(shè)計(jì)，科學(xué)、合理，減少了浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
[0014]2、本實(shí)用新型在上述兩條管路的基礎(chǔ)上，增加第二條過(guò)濾管路，此管路上設(shè)有第二過(guò)濾栗和閥門(mén)II，當(dāng)?shù)谝贿^(guò)濾管路的過(guò)濾栗需要清洗時(shí)，關(guān)閉閥門(mén)I，同時(shí)打開(kāi)閥門(mén)II，通過(guò)第二過(guò)濾栗進(jìn)行過(guò)濾，此時(shí)可以摘下第一過(guò)濾栗進(jìn)行清洗，而不影響工作的連續(xù)性。這種結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了當(dāng)切割液的中硅粉含量較高，但是過(guò)濾栗又需要進(jìn)行清洗的情況下，切割機(jī)工作的連續(xù)性，提高了工作效率。
[0015]3、在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，將所有閥門(mén)均設(shè)為電磁閥，通過(guò)控制裝置對(duì)電磁閥的控制，實(shí)現(xiàn)了工作的自動(dòng)化，提高了工作效率，節(jié)省了人力資源。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為現(xiàn)有技術(shù)的過(guò)濾系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]各圖號(hào)名稱為:1 一切割液收集裝置；2—硅粉檢測(cè)裝置；3—第一過(guò)濾管路；4一閥門(mén)I ;5—過(guò)濾栗I ;6—第二過(guò)濾管路；7—閥門(mén)II ；8一過(guò)濾栗II ；9一閥門(mén)111;10—連通管路；11一切割液噴出口。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0020]如圖2所示，本實(shí)用新型包括切割液收集裝置1、切割液噴出口 11和連通二者之間的第一過(guò)濾管路3，所述第一過(guò)濾管路3上設(shè)有過(guò)濾栗I 5，在切割液收集裝置I和切割液噴出口 11之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路3并列的連通管路10 ;所述連通管路10上設(shè)有閥門(mén)III9;所述第一過(guò)濾管路3上還設(shè)有位于過(guò)濾栗I 5的上游的閥門(mén)I 4;所述第一過(guò)濾管路3和連通管路10的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置2。
[0021]本實(shí)用新型的工作過(guò)程為，首先開(kāi)機(jī)，此時(shí)的過(guò)濾栗處于過(guò)濾良好的狀態(tài)，硅粉的檢測(cè)裝置2檢測(cè)到切割液中的硅粉含量較低，不會(huì)影響硅片表面質(zhì)量，此時(shí)關(guān)閉閥門(mén)I 4，第一過(guò)濾管路3不通，同時(shí)打開(kāi)閥門(mén)III 9，切割液通過(guò)連通管路10，從切割液噴出口 11噴出，對(duì)硅片表面進(jìn)行降溫冷卻；當(dāng)工作一段時(shí)間后，硅粉的檢測(cè)裝置2檢測(cè)到切割液中的硅粉含量較高，會(huì)影響硅片表面質(zhì)量時(shí)，關(guān)閉閥門(mén)III 9，同時(shí)打開(kāi)。
[0022]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)科學(xué)、合理，減少了浪費(fèi)、節(jié)約了能源，以最低的能源消耗保證了硅片表面的切割質(zhì)量。
[0023]進(jìn)一步的，所述切割液收集裝置I和切割液噴出口 11之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路3和連通管路10并列的第二過(guò)濾管路6，所述第二過(guò)濾管路6上設(shè)有過(guò)濾栗II 8和位于過(guò)濾栗II 8上游的閥門(mén)II 7。
[0024]本實(shí)用新型在上述兩條管路的基礎(chǔ)上，增加第二條過(guò)濾管路6，此管路6上設(shè)有第二過(guò)濾栗8和閥門(mén)II 7，當(dāng)?shù)谝贿^(guò)濾管路3的過(guò)濾栗5需要清洗時(shí)，關(guān)閉閥門(mén)I 4，同時(shí)打開(kāi)閥門(mén)II 7，通過(guò)第二過(guò)濾栗8進(jìn)行過(guò)濾，此時(shí)可以摘下第一過(guò)濾栗5進(jìn)行清洗，而不影響工作的連續(xù)性。
[0025]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:實(shí)現(xiàn)了當(dāng)切割液的中硅粉含量較高，但是過(guò)濾栗又需要進(jìn)行清洗的情況下，切割機(jī)工作的連續(xù)性，提高了工作效率。
[0026]進(jìn)一步的，所述閥門(mén)I 4、閥門(mén)II 7和閥門(mén)III9均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開(kāi)和關(guān)閉的控制裝置。
[0027]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:將所有閥門(mén)均設(shè)為電磁閥，通過(guò)控制裝置對(duì)電磁閥的控制，實(shí)現(xiàn)了工作的自動(dòng)化，提高了工作效率，節(jié)省了人力資源。
[0028]進(jìn)一步的，所述過(guò)濾栗I 5和過(guò)濾栗II 8內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過(guò)濾袋。
[0029]采用上述結(jié)構(gòu)的有益效果在于:可以提高過(guò)濾栗的過(guò)濾效果，延長(zhǎng)過(guò)濾栗的使用時(shí)間，降低切割液中硅粉的含量，保證硅片的切割質(zhì)量。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，包括切割液收集裝置(I)、切割液噴出口(11)和連通二者之間的第一過(guò)濾管路(3)，所述第一過(guò)濾管路(3)上設(shè)有過(guò)濾栗I (5)，其特征在于:在切割液收集裝置(I)和切割液噴出口(11)之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路(3)并列的連通管路(10);所述連通管路(10)上設(shè)有閥門(mén)111(9);所述第一過(guò)濾管路(3)上還設(shè)有位于過(guò)濾栗I (5)的上游的閥門(mén)I (4);所述第一過(guò)濾管路(3)和連通管路(10)的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置(2 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，其特征在于:所述切割液收集裝置(I)和切割液噴出口( 11)之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路(3 )和連通管路(10)并列的第二過(guò)濾管路(6)，所述第二過(guò)濾管路(6)上設(shè)有過(guò)濾栗II (8)和位于過(guò)濾栗II (8)上游的閥門(mén)II (7)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，其特征在于:所述閥門(mén)I(4)、閥門(mén)II (7)和閥門(mén)111(9)均為電磁閥，還設(shè)有控制電磁閥打開(kāi)和關(guān)閉的控制裝置。4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，其特征在于:所述過(guò)濾栗I (5)和過(guò)濾栗II (8)內(nèi)部設(shè)有目數(shù)為100-120的圓筒濾網(wǎng)及過(guò)濾袋。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種金剛線切割機(jī)硅粉過(guò)濾系統(tǒng)，屬于金剛線切割技術(shù)領(lǐng)域，包括切割液收集裝置、切割液噴出口和連通二者之間的第一過(guò)濾管路，所述第一過(guò)濾管路上設(shè)有過(guò)濾泵Ⅰ，在切割液收集裝置和切割液噴出口之間還設(shè)有連通二者的且與所述第一過(guò)濾管路并列的連通管路；所述連通管路上設(shè)有閥門(mén)Ⅲ；所述第一過(guò)濾管路上還設(shè)有位于過(guò)濾泵Ⅰ的上游的閥門(mén)Ⅰ；所述第一過(guò)濾管路和連通管路的上游還設(shè)有硅粉的檢測(cè)裝置。本實(shí)用新型設(shè)計(jì)更加科學(xué)、合理，減少浪費(fèi)、節(jié)約了能源。
【IPC分類】B28D7/00, B28D5/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204869281
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520557504
【發(fā)明人】王會(huì)敏, 何京輝, 李立偉, 張立濤, 史彪
【申請(qǐng)人】邢臺(tái)晶龍電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月16日
【申請(qǐng)日】2015年7月29日