一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型的一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，包括配液桶和儲(chǔ)液桶，配液桶頂部設(shè)置有進(jìn)料口和注水口，注水口連接有帶進(jìn)水手動(dòng)閥門(mén)的注水管，配液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管Ⅰ，外循環(huán)管Ⅰ上設(shè)置有循環(huán)配液泵；配液桶底部與儲(chǔ)液桶上部之間連接有抽液管，抽液管上設(shè)置有抽液泵；儲(chǔ)液桶連接有帶排液手動(dòng)閥門(mén)的排液管，排液管上設(shè)置有氣動(dòng)隔膜泵，儲(chǔ)液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管Ⅱ，外循環(huán)管Ⅱ上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)泵。本實(shí)用新型的有益效果是：本專(zhuān)利能夠?yàn)樯a(chǎn)線連續(xù)供應(yīng)鍍鎳液體，滿足了生產(chǎn)需求，極大的提高了生產(chǎn)效率，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，操作方便。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體晶片的生產(chǎn)工藝需要在半導(dǎo)體晶片上進(jìn)行化學(xué)鍍鎳，化學(xué)鍍鎳的液體需根據(jù)產(chǎn)量隨時(shí)進(jìn)行鍍鎳液配制，其溶質(zhì)為鎳組，溶劑為純水，需按照一定配比混合攪拌均勻，供生產(chǎn)線使用，因其鍍鎳液用量大，其配制容器的容積大小及攪拌設(shè)備成為生產(chǎn)能否量產(chǎn)的影響因素，其缺點(diǎn)如下:現(xiàn)有配制容器的容積小;現(xiàn)有裝置配制頻次較高，影響生產(chǎn)效率；現(xiàn)有鍍鎳液配制裝置需人工攪拌均勻，勞累度及均勻性影響較大;現(xiàn)有鍍鎳液配制后需盛放至小容器使用，使用不方便;不能連續(xù)供給，如供應(yīng)不及時(shí)，將制約產(chǎn)量，影響生產(chǎn)效率。這是現(xiàn)有技術(shù)的不足之處。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決以上技術(shù)上的不足，本實(shí)用新型提供了一種操作簡(jiǎn)便，生產(chǎn)效率高的鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置。
[0004]本實(shí)用新型是通過(guò)以下措施實(shí)現(xiàn)的:
[0005]本實(shí)用新型的一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，包括配液桶和儲(chǔ)液桶，所述配液桶頂部設(shè)置有進(jìn)料口和注水口，所述注水口連接有帶進(jìn)水手動(dòng)閥門(mén)的注水管，配液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管I，所述外循環(huán)管I上設(shè)置有循環(huán)配液栗;配液桶底部與儲(chǔ)液桶上部之間連接有抽液管，所述抽液管上設(shè)置有抽液栗;所述儲(chǔ)液桶連接有帶排液手動(dòng)閥門(mén)的排液管，所述排液管上設(shè)置有氣動(dòng)隔膜栗，儲(chǔ)液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管Π，所述外循環(huán)管π上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)栗。
[0006]上述配液桶和儲(chǔ)液桶內(nèi)均設(shè)置有液位傳感器，所述液位傳感器連接有液位控制器。
[0007]上述循環(huán)配液栗和抽液栗連接有聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)。
[0008]本實(shí)用新型的有益效果是:本專(zhuān)利能夠?yàn)樯a(chǎn)線連續(xù)供應(yīng)鍍鎳液體，滿足了生產(chǎn)需求，極大的提高了生產(chǎn)效率，而且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單實(shí)用，操作方便。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:I是進(jìn)水手動(dòng)閥門(mén)，2是液位控制器，3是液位傳感器，4是注水口，5是投料口，6是配液桶，7是配液循環(huán)栗，8是聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)，9是抽離栗，10是儲(chǔ)液桶，11是儲(chǔ)液循環(huán)栗，12是外循環(huán)管I，13是排液管，14是氣動(dòng)隔膜栗，15是排液手動(dòng)閥門(mén)，16抽液管，17外循環(huán)管Π。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的描述:
[0012]如圖1所示，本實(shí)用新型的一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，包括配液桶6和儲(chǔ)液桶10，配液桶6頂部設(shè)置有進(jìn)料口和注水口 4，注水口 4連接有帶進(jìn)水手動(dòng)閥門(mén)I的注水管，配液桶6上部與底部之間連接有外循環(huán)管112，外循環(huán)管112上設(shè)置有循環(huán)配液栗;配液桶6底部與儲(chǔ)液桶10上部之間連接有抽液管16，抽液管16上設(shè)置有抽液栗;儲(chǔ)液桶10連接有帶排液手動(dòng)閥門(mén)15的排液管13，排液管13上設(shè)置有氣動(dòng)隔膜栗14，儲(chǔ)液桶10上部與底部之間連接有外循環(huán)管Π 17，外循環(huán)管Π 17上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)栗11。配液桶6和儲(chǔ)液桶10內(nèi)均設(shè)置有液位傳感器3，液位傳感器3連接有液位控制器2。配液循環(huán)栗7與抽離栗9之間連接聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)8實(shí)現(xiàn)配液循環(huán)栗7與抽離栗9運(yùn)行與停止自動(dòng)轉(zhuǎn)換，防止操作失誤造成設(shè)備異常。
[0013]其工作原理為:使用時(shí)，從投料口5將物料投放進(jìn)配液桶6內(nèi)，然后通過(guò)注水管向配液桶6內(nèi)注入純水，啟動(dòng)循環(huán)配液栗，在配液循環(huán)栗7的作用下，配液桶6內(nèi)的液體不斷的從上部抽出并從底部送入，從而實(shí)現(xiàn)了液體的攪拌，其攪拌效果完全滿足工藝要求。利用抽離栗9將攪拌好的鍍鎳液抽至儲(chǔ)液桶10內(nèi)，采用相同的原理，通過(guò)儲(chǔ)液循環(huán)栗11使儲(chǔ)液桶10內(nèi)的液體進(jìn)行不間歇循環(huán)，從而防止靜置沉淀，同時(shí)使用氣動(dòng)隔膜栗14將鍍鎳液輸送至產(chǎn)線終端，大大提高了鍍鎳液輸送效率。液位傳感器3實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)配液桶6和儲(chǔ)液桶10內(nèi)的液體容量，通過(guò)液位控制器2控制注水量和排液量。
[0014]以上所述僅是本專(zhuān)利的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本專(zhuān)利技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本專(zhuān)利的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，其特征在于:包括配液桶和儲(chǔ)液桶，所述配液桶頂部設(shè)置有進(jìn)料口和注水口，所述注水口連接有帶進(jìn)水手動(dòng)閥門(mén)的注水管，配液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管I，所述外循環(huán)管I上設(shè)置有循環(huán)配液栗;配液桶底部與儲(chǔ)液桶上部之間連接有抽液管，所述抽液管上設(shè)置有抽液栗;所述儲(chǔ)液桶連接有帶排液手動(dòng)閥門(mén)的排液管，所述排液管上設(shè)置有氣動(dòng)隔膜栗，儲(chǔ)液桶上部與底部之間連接有外循環(huán)管Π，所述外循環(huán)管Π上設(shè)置有儲(chǔ)液循環(huán)栗。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，其特征在于:所述配液桶和儲(chǔ)液桶內(nèi)均設(shè)置有液位傳感器，所述液位傳感器連接有液位控制器。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述鍍鎳液配制攪拌及供液系統(tǒng)裝置，其特征在于:所述循環(huán)配液栗和抽液栗連接有聯(lián)動(dòng)開(kāi)關(guān)。
【文檔編號(hào)】B01F15/00GK205683857SQ201620590901
【公開(kāi)日】2016年11月16日
【申請(qǐng)日】2016年6月17日 公開(kāi)號(hào)201620590901.5, CN 201620590901, CN 205683857 U, CN 205683857U, CN-U-205683857, CN201620590901, CN201620590901.5, CN205683857 U, CN205683857U
【發(fā)明人】史國(guó)順, 徐明星, 陳茂文, 王超
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