本發(fā)明涉及氣體處理，具體為一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置。

背景技術(shù)：

1、在晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，各種晶體生長(zhǎng)設(shè)備被廣泛應(yīng)用，然而，在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，會(huì)不可避免地產(chǎn)生大量的尾氣，這些尾氣通常含有多種復(fù)雜的成分，包括未反應(yīng)的原料氣體、反應(yīng)副產(chǎn)物、揮發(fā)性有機(jī)物、粉塵顆粒以及可能存在的有毒有害物質(zhì)等。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，對(duì)復(fù)雜成分尾氣處理不徹底：晶體生長(zhǎng)過(guò)程中產(chǎn)生的尾氣成分復(fù)雜多樣，可能包含各類有機(jī)化合物、無(wú)機(jī)化合物、微小顆粒等，現(xiàn)有的處理裝置往往難以對(duì)所有成分進(jìn)行高效處理，存在某些成分去除率低的問(wèn)題，導(dǎo)致排放的尾氣仍可能含有一定量的有害物質(zhì)。

3、因此，本發(fā)明旨在提供一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，以改善現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)復(fù)雜成分尾氣處理不徹底的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，解決了對(duì)復(fù)雜成分尾氣處理不徹底的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，包括主架體，在所述主架體的內(nèi)部固定安裝有多個(gè)支撐架，其用于對(duì)每個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定，所述主架體的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有過(guò)濾機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)排放的尾氣進(jìn)行過(guò)濾處理，所述主架體內(nèi)部的中左側(cè)固定安裝有用于對(duì)尾氣進(jìn)行冷卻處理的冷卻機(jī)構(gòu)，在所述主架體的中部安裝有化學(xué)吸收機(jī)構(gòu)，其利用化學(xué)物品對(duì)尾氣里的雜物進(jìn)行吸收處理，所述主架體內(nèi)部的中右側(cè)固定安裝有吸附機(jī)構(gòu)，其是對(duì)吸收后的尾氣進(jìn)行再吸附處理，在所述主架體內(nèi)部的最右側(cè)，固定安裝了用于排放經(jīng)過(guò)處理完畢的尾氣的排氣機(jī)構(gòu)，在所述主架體的前端一側(cè)，固定安裝了用于控制整個(gè)設(shè)備的操作端，所述支撐架的一側(cè)固定安裝有爬梯。

3、優(yōu)選的，所述過(guò)濾機(jī)構(gòu)包括固定安裝在支撐架上的機(jī)箱，在所述機(jī)箱的內(nèi)部一端固定安裝有第一抽風(fēng)機(jī)，所述機(jī)箱的中部安裝有保護(hù)罩，在所述保護(hù)罩的中部固定安裝有第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸。

4、優(yōu)選的，所述第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸的四周安裝有多個(gè)固定塊，在所述保護(hù)罩內(nèi)部四周安裝有多個(gè)限位槽，所述多個(gè)限位槽的槽內(nèi)均安裝有過(guò)濾裝置，所述過(guò)濾裝置包括兩個(gè)過(guò)濾器，在所述保護(hù)罩的一側(cè)安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)門。

5、優(yōu)選的，所述冷卻機(jī)構(gòu)包括固定安裝在支撐架上的吸收箱，在所述吸收箱的一側(cè)固定安裝有水箱，所述吸收箱的外圍一周固定安裝有水管，在所述水管的進(jìn)水端固定安裝有水泵，所述水管的進(jìn)水端與水泵相連接，所述水管的出水端安裝在水箱內(nèi)部。

6、優(yōu)選的，所述化學(xué)吸收機(jī)構(gòu)包括固定安裝在支撐架上的反應(yīng)釜，在所述反應(yīng)釜的上端固定安裝有通氣管，所述反應(yīng)釜的兩側(cè)均安裝有藥劑箱，兩個(gè)所述藥劑箱的內(nèi)部分別安裝了電動(dòng)噴霧器。

7、優(yōu)選的，所述吸附機(jī)構(gòu)包括固定安裝在主架體內(nèi)部中右側(cè)的吸附箱，所述吸附箱的一側(cè)固定安裝有運(yùn)輸管，在所述吸附箱的內(nèi)部固定安裝有多個(gè)吸附裝置，所述吸附箱的上方固定安裝有遮擋罩。

8、優(yōu)選的，所述排氣機(jī)構(gòu)包括固定安裝在主架體內(nèi)部最右側(cè)的集氣筒，在所述集氣筒的一側(cè)下部固定安裝有第二抽風(fēng)機(jī)，所述集氣筒的上端固定安裝了排氣口。

9、優(yōu)選的，所述操作端包括固定安裝在主架體前部一側(cè)的操作臺(tái)，所述操作臺(tái)的上部固定安裝有控制面板，在所述控制面板的后側(cè)固定安裝有多個(gè)控制器，所述控制面板的一側(cè)固定安裝有報(bào)警按鈕。

10、工作原理：本發(fā)明在使用時(shí)，具體包括以下步驟：

11、首先，將晶體生長(zhǎng)所排放的尾氣通過(guò)第一抽風(fēng)機(jī)吸收到機(jī)箱里，廢氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾裝置時(shí)，先通過(guò)第一個(gè)過(guò)濾網(wǎng)將一些體積較大的廢物過(guò)濾掉，再通過(guò)第二過(guò)濾網(wǎng)將一些體積較小的廢物過(guò)濾掉，在機(jī)箱的中部設(shè)置了循環(huán)裝置，通過(guò)設(shè)置在保護(hù)罩內(nèi)部的多個(gè)過(guò)濾裝置進(jìn)行循環(huán)，設(shè)置的第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸負(fù)責(zé)提供動(dòng)力將其旋轉(zhuǎn)，在過(guò)濾裝置需要進(jìn)行更換時(shí)，工作人員利用爬梯爬到上面，打開(kāi)轉(zhuǎn)動(dòng)門，通過(guò)設(shè)置的限位槽將需要更換的過(guò)濾裝置拿出來(lái)進(jìn)行更換。

12、經(jīng)過(guò)過(guò)濾處理后的尾氣通過(guò)管道運(yùn)送到冷卻機(jī)構(gòu)，考慮到剛排出的尾氣溫度過(guò)高，在經(jīng)過(guò)吸收箱時(shí)，吸收箱是由導(dǎo)熱片組成，通過(guò)水箱里設(shè)置的水管將水圍繞吸收箱進(jìn)行降溫處理，此處的水源做循環(huán)處理，隨后進(jìn)入到下一階段。

13、考慮到尾氣中含有的污染物較多，當(dāng)尾氣通過(guò)通氣管運(yùn)輸?shù)椒磻?yīng)釜里時(shí)，在反應(yīng)釜兩側(cè)設(shè)置的藥劑箱，藥劑箱里的液體通過(guò)電動(dòng)噴霧器對(duì)反應(yīng)釜內(nèi)部的尾氣進(jìn)行噴霧處理，利用化學(xué)物品與尾氣相結(jié)合產(chǎn)生的化學(xué)反應(yīng)對(duì)尾氣中的雜質(zhì)去除掉，進(jìn)入下一階段。

14、當(dāng)尾氣通過(guò)運(yùn)輸管運(yùn)送到吸附箱時(shí)，上下兩端設(shè)置的吸附裝置可以對(duì)處理后的尾氣進(jìn)行吸附，目的是將尾氣中殘留的雜質(zhì)進(jìn)行吸附處理，考慮到吸附劑用完的時(shí)候需要進(jìn)行更換，在吸附板的兩側(cè)均設(shè)置了吸附劑，通過(guò)其內(nèi)部的第二電動(dòng)轉(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)更替吸附劑的使用。經(jīng)過(guò)一系列的處理后，將尾氣通過(guò)第二抽風(fēng)機(jī)吸入到集氣筒內(nèi)，再通過(guò)排氣口將其排出。

15、通過(guò)操作臺(tái)上設(shè)置的控制面板可以對(duì)整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行觀察，當(dāng)機(jī)構(gòu)出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)，設(shè)置的報(bào)警按鈕會(huì)發(fā)出信號(hào)提醒工作人員，通過(guò)控制器可以對(duì)運(yùn)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行控制。

16、本發(fā)明提供了一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置。具備以下有益效果：

17、1、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置了循環(huán)裝置，在機(jī)箱的中部設(shè)置了循環(huán)裝置，通過(guò)設(shè)置在保護(hù)罩內(nèi)部的多個(gè)過(guò)濾裝置進(jìn)行循環(huán)，設(shè)置的第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸負(fù)責(zé)提供動(dòng)力將其旋轉(zhuǎn)，在過(guò)濾裝置需要進(jìn)行更換時(shí)，工作人員利用爬梯爬到上面，打開(kāi)轉(zhuǎn)動(dòng)門，通過(guò)設(shè)置的限位槽將需要更換的過(guò)濾裝置拿出來(lái)進(jìn)行更換，對(duì)過(guò)濾網(wǎng)實(shí)現(xiàn)更方便的更換，一定程度上提高了工作效率。

18、2、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置了冷卻機(jī)構(gòu)，經(jīng)過(guò)過(guò)濾處理后的尾氣通過(guò)管道運(yùn)送到冷卻機(jī)構(gòu)，考慮到剛排出的尾氣溫度過(guò)高，在經(jīng)過(guò)吸收箱時(shí)，吸收箱是由導(dǎo)熱片組成，通過(guò)水箱里設(shè)置的水管將水圍繞吸收箱進(jìn)行降溫處理，此處的水源做循環(huán)處理，隨后進(jìn)入到下一階段，改善了尾氣溫度過(guò)高的問(wèn)題。

19、3、本發(fā)明通過(guò)設(shè)置了吸附劑交換裝置，考慮到吸附劑用完的時(shí)候需要進(jìn)行更換，在吸附板的兩側(cè)均設(shè)置了吸附劑，通過(guò)其內(nèi)部的第二電動(dòng)轉(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)來(lái)更替吸附劑的使用。經(jīng)過(guò)一系列的處理后，將尾氣通過(guò)第二抽風(fēng)機(jī)吸入到集氣筒內(nèi)，再通過(guò)排氣口將其排出，實(shí)現(xiàn)了對(duì)吸附劑進(jìn)行方便更換，提高了工作效率。

技術(shù)特征：

1.一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，包括主架體(1)，在所述主架體(1)的內(nèi)部固定安裝有多個(gè)支撐架(2)，其用于對(duì)每個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定，所述主架體(1)的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有過(guò)濾機(jī)構(gòu)(3)，其用于對(duì)排放的尾氣進(jìn)行過(guò)濾處理，所述主架體(1)內(nèi)部的中左側(cè)固定安裝有用于對(duì)尾氣進(jìn)行冷卻處理的冷卻機(jī)構(gòu)(4)，在所述主架體(1)的中部安裝有化學(xué)吸收機(jī)構(gòu)(5)，其利用化學(xué)物品對(duì)尾氣里的雜物進(jìn)行吸收處理，所述主架體(1)內(nèi)部的中右側(cè)固定安裝有吸附機(jī)構(gòu)(6)，其是對(duì)吸收后的尾氣進(jìn)行再吸附處理，在所述主架體(1)內(nèi)部的最右側(cè)，固定安裝了用于排放經(jīng)過(guò)處理完畢的尾氣的排氣機(jī)構(gòu)(7)，在所述主架體(1)的前端一側(cè)，固定安裝了用于控制整個(gè)設(shè)備的操作端(8)，所述支撐架(2)的一側(cè)固定安裝有爬梯(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述過(guò)濾機(jī)構(gòu)(3)包括固定安裝在支撐架(2)上的機(jī)箱(301)，在所述機(jī)箱(301)的內(nèi)部一端固定安裝有第一抽風(fēng)機(jī)(302)，所述機(jī)箱(301)的中部安裝有保護(hù)罩(303)，在所述保護(hù)罩(303)的中部固定安裝有第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸(304)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述第一電動(dòng)轉(zhuǎn)軸(304)的四周安裝有多個(gè)固定塊(305)，在所述保護(hù)罩(303)內(nèi)部四周安裝有多個(gè)限位槽(306)，所述多個(gè)限位槽(306)的槽內(nèi)均安裝有過(guò)濾裝置(307)，所述過(guò)濾裝置(307)包括兩個(gè)過(guò)濾器，在所述保護(hù)罩(303)的一側(cè)安裝有轉(zhuǎn)動(dòng)門(308)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述冷卻機(jī)構(gòu)(4)包括固定安裝在支撐架(2)上的吸收箱(401)，在所述吸收箱(401)的一側(cè)固定安裝有水箱(402)，所述吸收箱(401)的外圍一周固定安裝有水管(403)，在所述水管(403)的進(jìn)水端固定安裝有水泵(404)，所述水管(403)的進(jìn)水端與水泵(404)相連接，所述水管(403)的出水端安裝在水箱(402)內(nèi)部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述化學(xué)吸收機(jī)構(gòu)(5)包括固定安裝在支撐架(2)上的反應(yīng)釜(501)，在所述反應(yīng)釜(501)的上端固定安裝有通氣管(502)，所述反應(yīng)釜(501)的兩側(cè)均安裝有藥劑箱(503)，兩個(gè)所述藥劑箱(503)的內(nèi)部分別安裝了電動(dòng)噴霧器(504)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述吸附機(jī)構(gòu)(6)包括固定安裝在主架體(1)內(nèi)部中右側(cè)的吸附箱(601)，所述吸附箱(601)的一側(cè)固定安裝有運(yùn)輸管(602)，在所述吸附箱(601)的內(nèi)部固定安裝有多個(gè)吸附裝置(603)，所述吸附箱(601)的上方固定安裝有遮擋罩(604)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述排氣機(jī)構(gòu)(7)包括固定安裝在主架體(1)內(nèi)部最右側(cè)的集氣筒(701)，在所述集氣筒(701)的一側(cè)下部固定安裝有第二抽風(fēng)機(jī)(702)，所述集氣筒(701)的上端固定安裝了排氣口(703)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，其特征在于，所述操作端(8)包括固定安裝在主架體(1)前部一側(cè)的操作臺(tái)(801)，所述操作臺(tái)(801)的上部固定安裝有控制面板(802)，在所述控制面板(802)的后側(cè)固定安裝有多個(gè)控制器(803)，所述控制面板(802)的一側(cè)固定安裝有報(bào)警按鈕(804)。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)涉及氣體處理技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種晶體生長(zhǎng)設(shè)備用尾氣處理裝置，包括主架體，在所述主架體的內(nèi)部固定安裝有多個(gè)支撐架，其用于對(duì)每個(gè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行固定，所述主架體的內(nèi)部左側(cè)固定安裝有過(guò)濾機(jī)構(gòu)，其用于對(duì)排放的尾氣進(jìn)行過(guò)濾處理，所述主架體內(nèi)部的中左側(cè)固定安裝有用于對(duì)尾氣進(jìn)行冷卻處理的冷卻機(jī)構(gòu)，在所述主架體的中部安裝有化學(xué)吸收機(jī)構(gòu)，其利用化學(xué)物品對(duì)尾氣里的雜物進(jìn)行吸收處理，所述主架體內(nèi)部的中右側(cè)固定安裝有吸附機(jī)構(gòu)，其是對(duì)吸收后的尾氣進(jìn)行再吸附處理，在所述主架體內(nèi)部的最右側(cè)，固定安裝了用于排放經(jīng)過(guò)處理完畢的尾氣的排氣機(jī)構(gòu)。通過(guò)設(shè)置了循環(huán)裝置，對(duì)過(guò)濾網(wǎng)實(shí)現(xiàn)更方便的更換，一定程度上提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：楊輝,薛武鵬,李文英
受保護(hù)的技術(shù)使用者：楊輝
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6